CN115045846A - 一种分子泵 - Google Patents

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Abstract

本发明提供的分子泵，属于泵体技术领域，包括：设置在泵壳内部的分子泵内转子和分子泵外转子；所述分子泵内转子和分子泵外转子在驱动机构的驱动下沿相反的方向转动；本发明的分子泵，通过分子泵内转子和分子泵外转子向相反的发向转动，提升了分子泵内转子和分子泵外转子的相对运动速度，即相对传统的分子泵的分子泵内转子和分子泵外转子速度翻倍，有效的提高分子泵抽气速度、压缩比、极限真空度及前级耐压能力等真空性能，还具有结构紧凑，效率高，节能环保等优点。

Description

一种分子泵
技术领域
本发明涉及泵体技术领域，具体涉及一种分子泵。
背景技术
分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。随着分子泵在半导体、工业镀膜等行业的蓬勃发展，分子泵的应用越来越普遍。
分子泵通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的，对被抽气体产生很高的压缩比，从而获得所需要的真空性能。
通过提高转子叶片和静止叶片的相对转速，进而可以提升分子泵的真空性能。
发明内容
因此，本发明为了提升分子泵的真空性能，从而提供一种分子泵。
本发明的分子泵，包括：设置在泵壳内部的分子泵内转子和分子泵外转子；所述分子泵内转子和分子泵外转子在驱动机构的驱动下沿相反的方向转动。
作为优选方案，所述驱动机构为双转子电机；所述双转子电机包括：沿相反的方向转动设置的电机内转子和电机外转子；所述电机内转子与分子泵内转子连接；所述电机外转子与分子泵外转子连接。
作为优选方案，还包括：
上轴承组，具有第一上轴承和第二上轴承；所述第一上轴承的外圈与泵壳连接，内圈与所述电机外转子连接；所述第二上轴承的外圈与所述电机外转子连接，内圈与所述电机内转子连接。
作为优选方案，还包括：
下轴承组，具有第一下轴承和第二下轴承；所述第一下轴承的外圈与泵壳连接，内圈与所述电机外转子连接；所述第二下轴承的外圈与所述电机外转子连接，内圈与所述电机内转子连接。
作为优选方案，所述泵壳包括：上壳体和下壳体；所述上壳体和所述下壳体之间通过第一连接件连接。
作为优选方案，所述上壳体和所述下壳体之间设置有密封圈。
作为优选方案，所述泵壳和所述分子泵外转子之间设置密封机构；所述密封机构为磁流体密封；磁流体密封的磁极片固定于泵壳的内圈的顶部，磁流体悬浮于磁极片和分子泵外转子的外圈之间。
作为优选方案，还包括：
泵底盖，设置在泵壳的底部；所述泵底盖与所述泵壳的底部通过第二连接件连接；所述双转子电机设置在所述泵底盖上。
本发明技术方案，具有如下优点：
1.本发明提供的分子泵，分子泵内转子和分子泵外转子在驱动机构的驱动下沿相反的方向转动；通过分子泵内转子和分子泵外转子向相反的发向转动，提升了分子泵内转子和分子泵外转子的相对运动速度，即相对传统的分子泵的分子泵内转子和分子泵外转子速度翻倍，有效的提高分子泵抽气速度、压缩比、极限真空度及前级耐压能力等真空性能，还具有结构紧凑，效率高，节能环保等优点。
2.本发明提供的分子泵，所述驱动机构为双转子电机；双转子电机具有2个机械轴，可以实现2个机械轴能量的独立传递。这种新型电机极大的减小了设备的体积和重量，提高了工作效率，能很好的满足节能和调速的要求，有着优越的运行性能。
3.本发明提供的分子泵，还包括：上轴承组和下轴承组；上轴承组和下轴承组实现了泵壳、电机内转子和电机外转子的连接。
4.本发明提供的分子泵，所述泵壳包括：上壳体和下壳体；使得分子泵整体方便安装。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明的分子泵的内部结构示意图。
图2为本发明的分子泵的剖视结构示意图。
附图标记说明：
1、泵壳；2、上壳体；3、下壳体；4、分子泵内转子；5、分子泵外转子；6、电机内转子；7、电机外转子；8、第一上轴承；9、第二上轴承；10、第一下轴承；11、第二下轴承；12、密封圈；13、密封机构；14、泵底盖。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
本实施例提供一种分子泵，如图1所示，包括设置在泵壳1内部的分子泵内转子4和分子泵外转子5；分子泵内转子4和分子泵外转子5在驱动机构的驱动下沿相反的方向转动。
通过分子泵内转子4和分子泵外转子5向相反的发向转动，提升了分子泵内转子4和分子泵外转子5的相对运动速度，即相对传统的分子泵的分子泵内转子4和分子泵外转子5速度翻倍，有效的提高分子泵抽气速度、压缩比、极限真空度及前级耐压能力等真空性能，还具有结构紧凑，效率高，节能环保等优点。
如图2所示，在本方案中，驱动结构为双转子电机；双转子电机包括电机内转子6和电机外转子7；电机内转子6和电机外转子7沿相反的方向转动，进一步的，电机内转子6和分子泵内转子4连接，进而带动分子泵内转子4转动；电机外转子7与分子泵外转子5连接，进而带动分子泵外传子转动。
双转子电机具有2个机械轴，可以实现2个机械轴能量的独立传递，即可以实现分子泵内转子4和分子泵外转子5的转动。这种新型电机极大的减小了设备的体积和重量，提高了工作效率，能很好的满足节能和调速的要求，有着优越的运行性能。
在双转子电机和泵壳1之间设置有上轴承组和下轴承组；上轴承组具有第一上轴承8和第一下轴承10；第一上轴承8的外圈与泵壳1连接，内圈与电机外转子7连接；第二上轴承9的外圈与电机外转子7连接，内圈与电机内转子6连接；
下轴承组具有第一下轴承10和第二下轴承11；第一下轴承10的外圈与泵壳1连接，内圈与电机外转子7连接；第二下轴承11的外圈与电机外转子7连接，内圈与电机内转子6连接。
第一上轴承8、第二上轴承9、第一下轴承10和第二下轴承11均通过轴肩以及轴承挡圈固定在泵壳1、分子泵外转子5和分子泵内转子4上。进一步的，第一下轴承和第二下轴承与下壳体的座孔是紧配合，并通过孔肩与挡圈约束轴向位置。
进一步的，泵壳1包括上壳体2和下壳体3；上壳体2和下壳体3之间通过第一连接件连接，在本方案中，第一连接件优选为螺栓。在上壳体2和下壳体3连接对接的位置设置有密封圈12，能够保证上壳体2和下壳体3之间的密封性。
泵壳1的底部，即下壳体3的下端设置有泵底盖14，泵底盖14与下壳体3的底部通过第二连接件连接，双转子电机设置在泵底盖14上。
进一步，由于分子泵内转子4和分子泵外转子5在双转子电机的驱动下均发生转动，所以，分子泵外转子5和泵壳1之间也会存在间隙；为了保证分子泵的密封性，在泵壳1和分子泵外转子5之间设置有密封机构13，进一步的，密封机构13选择为磁流体密封。
磁流体密封以磁性流体为基础，将磁性流体注入存在磁场的动静零部件的间隙中，通常静止的部分称磁极片为梳形结构，磁性流体填满了梳形尖端与转动部分形成了“液体O型密封圈12”。具体的，磁流体密封的磁极片固定于泵壳的内圈的顶部，磁流体悬浮于磁极片和分子泵外转子的外圈之间。
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (8)

1.一种分子泵，其特征在于，包括：设置在泵壳(1)内部的分子泵内转子(4)和分子泵外转子(5)；所述分子泵内转子(4)和分子泵外转子(5)在驱动机构的驱动下沿相反的方向转动。
2.根据权利要求1所述的分子泵，其特征在于，所述驱动机构为双转子电机；所述双转子电机包括：沿相反的方向转动设置的电机内转子(6)和电机外转子(7)；所述电机内转子(6)与分子泵内转子(4)连接；所述电机外转子(7)与分子泵外转子(5)连接。
3.根据权利要求2所述的分子泵，其特征在于，还包括：
上轴承组，具有第一上轴承(8)和第二上轴承(9)；所述第一上轴承(8)的外圈与泵壳(1)连接，内圈与所述电机外转子(7)连接；所述第二上轴承(9)的外圈与所述电机外转子(7)连接，内圈与所述电机内转子(6)连接。
4.根据权利要求3所述的分子泵，其特征在于，还包括：
下轴承组，具有第一下轴承(10)和第二下轴承(11)；所述第一下轴承(10)的外圈与泵壳(1)连接，内圈与所述电机外转子(7)连接；所述第二下轴承(11)的外圈与所述电机外转子(7)连接，内圈与所述电机内转子(6)连接。
5.根据权利要求1所述的分子泵，其特征在于，所述泵壳(1)包括：上壳体(2)和下壳体(3)；所述上壳体(2)和所述下壳体(3)之间通过第一连接件连接。
6.根据权利要求5所述的分子泵，其特征在于，所述上壳体(2)和所述下壳体(3)之间设置有密封圈(12)。
7.根据权利要求1所述的分子泵，其特征在于，所述泵壳和所述分子泵外转子之间设置密封机构；所述密封机构为磁流体密封；磁流体密封的磁极片固定于泵壳的内圈的顶部，磁流体悬浮于磁极片和分子泵外转子的外圈之间。
8.根据权利要求2所述的分子泵，其特征在于，还包括：
泵底盖(14)，设置在泵壳(1)的底部；所述泵底盖(14)与所述泵壳(1)的底部通过第二连接件连接；所述双转子电机设置在所述泵底盖(14)上。
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