CN106015034A - 一种高压比复合分子泵 - Google Patents

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陶继忠
王文升
何朝晖
蔡飞飞
刘广民
马绍兴
刘有海
雷艳华
张明君
吴定柱
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    • F04D19/00—Axial-flow pumps
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Abstract

本发明提供了一种高压比复合分子泵，该复合分子泵的压比量级为1010~1011，包括涡轮段和牵引段，涡轮段由动叶轮和静叶片组成，实现大抽速，牵引段由牵引鼓筒和牵引槽筒组成，实现高压比，本发明的高压比复合分子泵还在涡轮段和牵引段之间增加了盘式牵引功能，即在动叶轮组件上装配了牵引盘，在外槽筒上安装了双面加工有圆弧或直线槽的牵引槽盘，增加的两级牵引功能，可以有效提高分子泵的压比，降低真空腔内部的真空压力，提高复合分子泵的抽气性能，满足仪器对超低真空的要求。

Description

一种高压比复合分子泵
技术领域
本发明属于真空技术领域，具体涉及一种高压比复合分子泵。
背景技术
复合分子泵属于高速旋转的真空获得设备，由动叶轮、静叶片、高速电机、滚动轴承等组成。复合分子泵包括涡轮段和牵引段，涡轮段由多组动叶轮和静叶片组成，实现大抽速；牵引段由牵引鼓筒和牵引槽筒组成，实现高压比。如果压比不够高，在前级加气负载时，真空腔内部的压力会升高，影响测量结果，甚至会损坏高精度的测量仪器。
目前，亟需一种高压比复合分子泵。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种高压比复合分子泵。
本发明的高压比复合分子泵，其特点是，包括内磁环、泵壳、球轴承组件、底座组件、外槽筒、牵引槽盘、静叶片、定位环、动叶轮、永磁轴承外磁环、牵引盘、芯轴、牵引鼓筒、永磁电机转子；其连接关系是，所述的泵壳与底座组件沿底座组件的圆周固定，球轴承组件放置在泵壳中心的空腔中，与底座组件圆周固定，泵壳中心安装有芯轴；所述的外槽筒、牵引槽盘、静叶片、定位环从下至上依次与芯轴同轴安装在泵壳中心的空腔中，在泵壳的内腔壁上定位固定；所述的动叶轮、永磁轴承外磁环、牵引盘、牵引鼓筒依次过盈装配在芯轴上，永磁电机转子粘接在芯轴上；所述的芯轴的下端支承固定于球轴承组件，芯轴的上端由泵壳顶端的内磁环、外磁环构成的永磁轴承支承，内磁环安装在泵壳的上端，外磁环安装在动叶轮的内孔腔。所述的牵引槽盘的上表面刻有上牵引槽，下表面刻有下牵引槽，上牵引槽的外径小于下牵引槽的外径。
所述的牵引槽盘采用双面牵引槽结构，牵引槽轮廓为圆弧或直线。
所述的牵引槽盘采用两瓣结构，使用止口定位。
所述的牵引槽盘的材料为铝合金。
所述的牵引盘采用平面盘形结构。
所述的牵引盘的材料为铝合金，铝合金的抗拉强度高于400MPa。
本发明的高压比复合分子泵的压比量级为1010~1011，该高压比复合分子泵在动叶轮上装配有牵引盘、在外槽筒上安装双面有槽的牵引槽盘，增加了两级盘式牵引功能，提高了分子泵的压比，降低了真空腔内部的真空压力，提高复合分子泵的抽气性能，满足仪器对超低真空的要求。
附图说明
图1为本发明的高压比复合分子泵结构示意图；
图2为本发明的高压比复合分子泵的上牵引槽示意图；
图3为本发明的高压比复合分子泵的下牵引槽示意图；
图中：1.内磁环 2.泵壳 3.球轴承组件 4.底座组件 5.外槽筒 6.牵引槽盘 7.静叶片8.定位环 9.动叶轮 10.外磁环 11.牵引盘 12.芯轴 13.牵引鼓筒 14.永磁电机转子601.上牵引槽 602.下牵引槽。
具体实施方式
下面结合附图详细说明本发明。
如图1~图3所示，高压比复合分子泵，包括内磁环1、泵壳2、球轴承组件3、底座组件4、外槽筒5、牵引槽盘6、静叶片7、定位环8、动叶轮9、永磁轴承外磁环10、牵引盘11、芯轴12、牵引鼓筒13、永磁电机转子14；其连接关系是，所述的泵壳2与底座组件4沿底座组件4的圆周固定，球轴承组件3放置在泵壳2中心的空腔中，与底座组件4圆周固定，泵壳2中心安装有芯轴12；所述的外槽筒5、牵引槽盘6、静叶片7、定位环8从下至上依次与芯轴12同轴安装在泵壳2中心的空腔中，在泵壳2的内腔壁上定位固定；所述的动叶轮9、永磁轴承外磁环10、牵引盘11、牵引鼓筒13依次过盈装配在芯轴12上，永磁电机转子14粘接在芯轴12上；所述的芯轴12的下端支承固定于球轴承组件3，芯轴12的上端由泵壳2顶端的内磁环1、外磁环10构成的永磁轴承支承，内磁环1安装在泵壳2的上端，外磁环10安装在动叶轮9的内孔腔；所述的牵引槽盘6的上表面刻有上牵引槽601，下表面刻有下牵引槽602，上牵引槽601的外径小于下牵引槽602的外径。
所述的牵引槽盘6采用双面牵引槽结构，牵引槽轮廓为圆弧或直线。
所述的牵引槽盘6采用两瓣结构，使用止口定位。
所述的牵引槽盘6的材料为铝合金。
所述的牵引盘11采用平面盘形结构。
所述的牵引盘11的材料为铝合金，铝合金的抗拉强度高于400MPa。
本发明的高压比复合分子泵工作过程如下：
底座组件4中的电机驱动动芯轴12高速旋转，气体分子被动叶轮9和静叶片7向下驱赶，再由牵引盘11和牵引槽盘6、牵引鼓筒13和外槽筒5驱赶至前级泵，最后排入大气。所增加的牵引盘11和牵引槽盘6的结构，能进一步提高压比，满足高压比的要求。
本发明不局限于上述具体实施方式，所属技术领域的技术人员从上述构思出发，不经过创造性的劳动，所作出的种种变换，均落在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种高压比复合分子泵，其特征在于，包括内磁环（1）、泵壳（2）、球轴承组件（3）、底座组件（4）、外槽筒（5）、牵引槽盘（6）、静叶片（7）、定位环（8）、动叶轮（9）、永磁轴承外磁环（10）、牵引盘（11）、芯轴（12）、牵引鼓筒（13）、永磁电机转子（14）；其连接关系是，所述的泵壳（2）与底座组件（4）沿底座组件（4）的圆周固定，球轴承组件（3）放置在泵壳（2）中心的空腔中，与底座组件（4）圆周固定，泵壳（2）中心安装有芯轴（12）；所述的外槽筒（5）、牵引槽盘（6）、静叶片（7）、定位环（8）从下至上依次与芯轴（12）同轴安装在泵壳（2）中心的空腔中，在泵壳（2）的内腔壁上定位固定；所述的动叶轮（9）、永磁轴承外磁环（10）、牵引盘（11）、牵引鼓筒（13）依次过盈装配在芯轴（12）上，永磁电机转子（14）粘接在芯轴（12）上；所述的芯轴（12）的下端支承固定于球轴承组件（3），芯轴（12）的上端由泵壳（2）顶端的内磁环（1）、外磁环（10）构成的永磁轴承支承，内磁环（1）安装在泵壳（2）的上端，外磁环（10）安装在动叶轮（9）的内孔腔；所述的牵引槽盘（6）的上表面刻有上牵引槽（601），下表面刻有下牵引槽（602），上牵引槽（601）的外径小于下牵引槽（602）的外径。
2.根据权利要求1所述的一种高压比复合分子泵，其特征在于：所述的牵引槽盘（6）采用双面牵引槽结构，牵引槽轮廓为圆弧或直线。
3.根据权利要求1所述的一种高压比复合分子泵，其特征在于：所述的牵引槽盘（6）采用两瓣结构，使用止口定位。
4.根据权利要求1所述的一种高压比复合分子泵，其特征在于：所述的牵引槽盘（6）的材料为铝合金。
5.根据权利要求1所述的一种高压比复合分子泵，其特征在于：所述的牵引盘（11）采用平面盘形结构。
6.根据权利要求1所述的一种高压比复合分子泵，其特征在于：所述的牵引盘（11）的材料为铝合金，铝合金的抗拉强度高于400MPa。
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