CN115309004B - 一种多尺寸兼容光刻机的传输系统 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，包括工作台和螺栓安装在工作台顶部的第一限位导轨以及安装在工作台顶部左侧的光刻设备，所述第一限位导轨内轨滑动设置有第一电动滑块，通过设置了调节机构在安装板架顶部，通过调节气缸带动调节位移板进行长度调节动作，然后通过第二电动滑块带动安装侧板在第二限位导轨上进行位移而进行宽度调节动作，再然后通过第一高精度电推杆带动位移侧板等部件进行高度调节动作，有利于提高对夹持部件的调节动作，进而提高对不同规格的光刻线板的适用效果。

Description

一种多尺寸兼容光刻机的传输系统
技术领域
本发明涉及光刻设备相关领域，具体是一种多尺寸兼容光刻机的传输系统。
背景技术
光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备；它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上；现有的光刻机在进行生产过程中，需要用到传输、定位和清洁等部件来实现其的自动化和生产高效率。
现有的装置大多结构较为固定，较难因生产材料的规格不同而进行相对应的自动调节动作，也较难对线路板进行自动化翻转动作，从而导致在光刻机进行双面光刻动作时，需要人为进行翻料，降低了生产效率的同时，也容易影响生产精度，同时现有的装置在进行传输时缺少对生产材料的事先预处理功效，从而导致生产材料表面容易出现静电或者粉尘而导致光刻效果较差的现象发生。
发明内容
因此，为了解决上述不足，本发明在此提供一种多尺寸兼容光刻机的传输系统。
本发明是这样实现的，构造一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，该装置包括工作台和螺栓安装在工作台顶部的第一限位导轨以及安装在工作台顶部左侧的光刻设备，所述第一限位导轨内轨滑动设置有第一电动滑块，所述第一电动滑块安装在安装板架底部的前后两侧，所述安装板架上方设有光刻线板，所述光刻设备前端螺栓安装有控制面板，所述第一电动滑块和光刻设备均与控制面板电连接。
优选的，还包括安装在安装板架顶部的调节机构和安装在工作台顶部后侧的除静电机构，所述调节机构包括安装在安装板架内部的调节气缸和安装在安装板架顶部的第二限位导轨，所述调节气缸右端推杆安装有调节位移板，所述调节位移板顶部安装有第二限位导轨，所述第二限位导轨内轨滑动设置有第二电动滑块，所述第二电动滑块安装有安装侧板，所述安装侧板内部安装有对位移侧板起到调节作用的第一高精度电推杆，所述第一高精度电推杆顶部推杆安装有位移侧板，所述位移侧板内部安装有限位轴承和安装在位移侧板左右两侧的翻转机构和支撑机构，所述调节气缸和第二电动滑块以及第一高精度电推杆均与控制面板电连接。
优选的，所述翻转机构包括安装在位移侧板左右两侧的第一微型马达，所述第一微型马达轴动端安装有对光刻线板起到夹持作用的夹持底板，所述夹持底板左端连板内部滑动安装有对夹持顶板起到限位作用的限位滑杆和弹性安装在夹持底板顶部左侧的电磁弹簧和橡胶套筒以及安装在夹持底板右端中侧的红外定位器，所述夹持底板顶侧通槽安装有对挤压位移块起到调节作用的微型气缸，所述微型气缸左右两侧推杆安装有挤压位移块，所述限位滑杆顶部安装有夹持顶板，所述夹持顶板底部左侧弹性安装有电磁弹簧和橡胶套筒，所述第一微型马达、电磁弹簧和红外定位器以及微型气缸均与控制面板电连接。
优选的，所述支撑机构包括安装在位移侧板右端对支撑侧板起到传动作用的第二微型马达，所述第二微型马达轴动端与支撑侧板后端固定转动，所述支撑侧板内部安装有对限位夹板起到调节作用的双轴电推杆，所述双轴电推杆上下两侧推杆均安装有限位夹板，所述双轴电推杆上下两侧的限位夹板相对面均安装有橡胶垫以及弹性安装在双轴电推杆上下两侧的限位夹板相对面右侧的橡胶柱，所述第二微型马达和双轴电推杆均与控制面板电连接。
优选的，所述除静电机构包括安装在工作台顶部后侧的第三限位导轨，所述第三限位导轨内轨滑动设置有气动滑座，所述气动滑座顶部安装有安装底板，所述安装底板顶部螺栓安装有防护箱，所述防护箱顶部安装有第二高精度电推杆和滑动设置在防护箱前后两侧通槽的折叠窗帘以及设置在防护箱内部的导流机构，所述气动滑座和第二高精度电推杆均与控制面板电连接。
优选的，所述导流机构包括安装在第二高精度电推杆调节推杆底部的过滤箱，所述过滤箱顶部与折叠窗帘底部螺栓连接和安装在过滤箱后端起到过滤作用的过滤网板以及填充放置在过滤箱内部的过滤填层，所述过滤箱前端螺栓安装有起到导流作用的风机安装板，所述风机安装板前端管道安装有导流槽管，所述导流槽管内部螺栓安装有电离子管和螺栓安装在导流槽管底部的导流风板，所述风机安装板和电离子管均与控制面板电连接。
优选的，所述夹持底板顶部通槽呈十字形状，且该通槽内部设有的两组微型气缸呈上下交叉分布。
优选的，所述导流槽管内部共设有九组电离子管，且电离子管前后两侧通气孔与风机安装板处于同一水平线上。
优选的，所述夹持顶板材质为材料钢。
本发明具有如下优点：本发明通过改进在此提供一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，与同类型设备相比，具有如下改进：
本发明所述一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，通过设置了调节机构在安装板架顶部，通过调节气缸带动调节位移板进行长度调节动作，然后通过第二电动滑块带动安装侧板在第二限位导轨上进行位移而进行宽度调节动作，再然后通过第一高精度电推杆带动位移侧板等部件进行高度调节动作，有利于提高对夹持部件的调节动作，进而提高对不同规格的光刻线板的适用效果。
本发明所述一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，通过设置了翻转机构在位移侧板左右两侧，通过电磁弹簧和橡胶套筒的收缩而带动夹持底板和夹持顶板对光刻线板进行夹持，并通过微型气缸带动挤压位移块对光刻线板进行限位动作，通过第一微型马达带动夹持底板和夹持顶板以及两者夹持的光刻线板进行翻转动作，有利于提高对光刻线板的限位和翻转效果。
本发明所述一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，通过设置了支撑机构在位移侧板右端，通过第二微型马达带动支撑侧板进行翻转动作，并通过支撑侧板内部的双轴电推杆带动限位夹板对光刻线板进行限位和支撑动作，有利于提高对光刻线板的夹持效果。
本发明所述一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，通过设置了除静电机构在工作台顶部，通过气动滑座带动安装底板在第三限位导轨在进行滑动，然后通过第二高精度电推杆带动导流机构进行高度调节动作，并通过两组折叠窗帘对防护箱内部空间进行防护效果。
本发明所述一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，通过设置了导流机构在防护箱内部，通过过滤箱前端的过滤箱带动外部空气通过过滤网板和过滤填层进行过滤，然后将该气流导入导流槽管内部，并带动电离子管内部的电离子通过导流风板流出并与光刻线板表面相接触，有利于提高对光刻线板的消除静电效果以及对其的除尘效果。
附图说明
图1是本发明结构示意图；
图2是本发明的安装板架和调节机构立体结构示意图；
图3是本发明的调节机构立体结构示意图；
图4是本发明的图3中B处的放大结构示意图；
图5是本发明的图2中A处的放大结构示意图；
图6是本发明的除静电机构立体结构示意图；
图7是本发明的除静电机构立体剖视结构示意图；
图8是本发明的图7中C处的放大结构示意图。
其中：工作台-1、第一限位导轨-2、第一电动滑块-3、安装板架-4、调节机构-5、光刻线板-6、除静电机构-7、光刻设备-8、控制面板-9、调节气缸-51、调节位移板-52、第二限位导轨-53、第二电动滑块-54、安装侧板-55、第一高精度电推杆-56、位移侧板-57、限位轴承-58、翻转机构-59、支撑机构-510、第一微型马达-591、夹持底板-592、限位滑杆-593、夹持顶板-594、电磁弹簧-595、橡胶套筒-596、红外定位器-597、微型气缸-598、挤压位移块-599、第二微型马达-5101、支撑侧板-5102、双轴电推杆-5103、限位夹板-5104、橡胶垫-5105、橡胶柱-5106、第三限位导轨-71、气动滑座-72、安装底板-73、防护箱-74、第二高精度电推杆-75、折叠窗帘-76、导流机构-77、过滤箱-771、过滤网板-772、过滤填层-773、风机安装板-774、导流槽管-775、电离子管-776、导流风板-777。
具体实施方式
下面将结合附图1-8对本发明进行详细说明，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1，本发明的一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，包括工作台1和螺栓安装在工作台1顶部的第一限位导轨2以及安装在工作台1顶部左侧的光刻设备8，第一限位导轨2内轨滑动设置有第一电动滑块3，第一电动滑块3安装在安装板架4底部的前后两侧，安装板架4上方设有光刻线板6，光刻设备8前端螺栓安装有控制面板9，第一电动滑块3和光刻设备8均与控制面板9电连接。
请参阅图2、图3和图4，本发明的一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，还包括安装在安装板架4顶部的调节机构5和安装在工作台1顶部后侧的除静电机构7，调节机构5包括安装在安装板架4内部的调节气缸51和安装在安装板架4顶部的第二限位导轨53，调节气缸51右端推杆安装有调节位移板52，通过调节气缸51为调节位移板52的位移提供调节效果，调节位移板52顶部安装有第二限位导轨53，第二限位导轨53内轨滑动设置有第二电动滑块54，通过第二限位导轨53为第二电动滑块54的位移提供限位效果，第二电动滑块54安装有安装侧板55，安装侧板55内部安装有对位移侧板57起到调节作用的第一高精度电推杆56，通过第一高精度电推杆56为位移侧板57起到调节作用，第一高精度电推杆56顶部推杆安装有位移侧板57，位移侧板57内部安装有限位轴承58和安装在位移侧板57左右两侧的翻转机构59和支撑机构510，调节气缸51和第二电动滑块54以及第一高精度电推杆56均与控制面板9电连接，为调节气缸51和第二电动滑块54以及第一高精度电推杆56提供电能。
请参阅图4，本发明的一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，翻转机构59包括安装在位移侧板57左右两侧的第一微型马达591，第一微型马达591轴动端安装有对光刻线板6起到夹持作用的夹持底板592，通过第一微型马达591为夹持底板592提供传动效果，夹持底板592左端连板内部滑动安装有对夹持顶板594起到限位作用的限位滑杆593和弹性安装在夹持底板592顶部左侧的电磁弹簧595和橡胶套筒596以及安装在夹持底板592右端中侧的红外定位器597，通过红外定位器597为两组夹持底板592的位置进行定位，夹持底板592顶侧通槽安装有对挤压位移块599起到调节作用的微型气缸598，微型气缸598左右两侧推杆安装有挤压位移块599，通过微型气缸598为挤压位移块599提供调节效果，限位滑杆593顶部安装有夹持顶板594，夹持顶板594底部左侧弹性安装有电磁弹簧595和橡胶套筒596，第一微型马达591、电磁弹簧595和红外定位器597以及微型气缸598均与控制面板9电连接，为第一微型马达591、电磁弹簧595和红外定位器597以及微型气缸598提供电能，夹持底板592顶部通槽呈十字形状，且该通槽内部设有的两组微型气缸598呈上下交叉分布，通过两组微型气缸598为橡胶套筒596提供调节效果。
请参阅图5，本发明的一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，支撑机构510包括安装在位移侧板57右端对支撑侧板5102起到传动作用的第二微型马达5101，第二微型马达5101轴动端与支撑侧板5102后端固定转动，通过第二微型马达5101为支撑侧板5102提供传动力，支撑侧板5102内部安装有对限位夹板5104起到调节作用的双轴电推杆5103，双轴电推杆5103上下两侧推杆均安装有限位夹板5104，通过双轴电推杆5103为两组限位夹板5104提供调节效果，双轴电推杆5103上下两侧的限位夹板5104相对面均安装有橡胶垫5105以及弹性安装在双轴电推杆5103上下两侧的限位夹板5104相对面右侧的橡胶柱5106，第二微型马达5101和双轴电推杆5103均与控制面板9电连接，为第二微型马达5101和双轴电推杆5103提供电能。
请参阅图6和图7，本发明的一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，除静电机构7包括安装在工作台1顶部后侧的第三限位导轨71，第三限位导轨71内轨滑动设置有气动滑座72，通过第三限位导轨71为气动滑座72提供位移限位效果，气动滑座72顶部安装有安装底板73，安装底板73顶部螺栓安装有防护箱74，防护箱74顶部安装有第二高精度电推杆75和滑动设置在防护箱74前后两侧通槽的折叠窗帘76以及设置在防护箱74内部的导流机构77，气动滑座72和第二高精度电推杆75均与控制面板9电连接，为气动滑座72和第二高精度电推杆75提供电能。
请参阅图8，本发明的一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，导流机构77包括安装在第二高精度电推杆75调节推杆底部的过滤箱771，过滤箱771顶部与折叠窗帘76底部螺栓连接和安装在过滤箱771后端起到过滤作用的过滤网板772以及填充放置在过滤箱771内部的过滤填层773，通过过滤网板772和过滤填层773为流经的气流进行过滤，过滤箱771前端螺栓安装有起到导流作用的风机安装板774，风机安装板774前端管道安装有导流槽管775，导流槽管775内部螺栓安装有电离子管776和螺栓安装在导流槽管775底部的导流风板777，通过导流槽管775为电离子管776提供限位效果，风机安装板774和电离子管776均与控制面板9电连接，为风机安装板774和电离子管776提供电能，导流槽管775内部共设有九组电离子管776，且电离子管776前后两侧通气孔与风机安装板774处于同一水平线上，为电离子管776内部的电离子提供导流效果。
本发明通过改进提供一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，其工作原理如下；
第一，使用本设备时，首先将本设备放置在工作区域中，然后将装置与外部电源相连接，即可为本设备提供工作所需的电源；
第二，在对不同规格的光刻线板6进行夹持传输动作时，工作人员先通过控制面板9控制安装板架4顶部左侧的第二电动滑块54和调节位移板52顶部的第二电动滑块54同步位移至安装板架4前侧，并控制安装板架4顶部中侧的第二电动滑块54进行相反方向的位移，然后通过控制调节气缸51带动调节位移板52进行长度调节动作，工作人员将光刻线板6放置在两组夹持底板592顶部，并使光刻线板6前侧通孔与夹持底板592顶部四组挤压位移块599相对滑动；
第三，然后通过控制面板9控制两组微型气缸598带动挤压位移块599进行位移，从而使挤压位移块599对光刻线板6的通孔处进行限位动作，然后通过电磁弹簧595通电收缩而带动两组夹持底板592和夹持顶板594相向位移而对光刻线板6进行夹持动作，此时通过橡胶套筒596为电磁弹簧595提供防护效果，然后通过控制支撑侧板5102内部的双轴电推杆5103带动限位夹板5104对光刻线板6进行限位和夹持动作，有利于提高对光刻线板6的夹持效果；
第四，然后通过控制气动滑座72带动安装底板73和防护箱74在第三限位导轨71内轨上进行滑动动作，从而使防护箱74在位移使能同步带动导流槽管775位移经过光刻线板6上方，此时通过控制第二高精度电推杆75带动过滤箱771进行高度调节动作，避免出现过滤箱771与光刻线板6以及调节机构5等部件的碰撞现象，然后通过控制风机安装板774带动外部空气通过过滤网板772和过滤填层773进行过滤；
第五，然后将该气流导入导流槽管775内部，并带动电离子管776内部的电离子通过导流风板777流出并与光刻线板6表面相接触，吹出带有电离子的气流与光刻线板6表面的静电进行中和，并对其顶部的粉尘进行吹扫动作，有利于提高对光刻线板6的消除静电效果以及对其的除尘效果，由于设置导流风板777的内部风孔的倒锥形状，避免带有电离子的气流与光刻线板6表面接触后出现回流现象；
第六，在需要进行翻转动作时，工作人员先通过控制面板9控制支撑机构510停止对光刻线板6进行夹持和支撑动作，然后通过第一微型马达591带动夹持底板592和夹持顶板594进行翻转动作，并通过夹持底板592左右两侧的红外定位器597对两者的位置进行监测动作，从而通过控制第二电动滑块54和第一高精度电推杆56来调节两组夹持底板592的相对位置，然后通过第二电动滑块54带动两组安装侧板55和光刻线板6进行位移，从而使光刻线板6能在翻转的同时进行左右位置的移动，进而可减小翻转用的空间，与此同时可通过控制面板9控制第二电动滑块54带动支撑机构510进行相对方向的位移，并通过第二微型马达5101带动支撑侧板5102进行翻转动作，从而使光刻线板6在翻转动作完成后，能通过支撑机构510中的限位夹板5104和橡胶垫5105继续对光刻线板6一侧进行夹持和支撑动作，有利于提高对光刻线板6的翻转效果。
本发明通过改进提供一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，通过调节气缸51带动调节位移板52进行长度调节动作，然后通过第二电动滑块54带动安装侧板55在第二限位导轨53上进行位移而进行宽度调节动作，再然后通过第一高精度电推杆56带动位移侧板57等部件进行高度调节动作，有利于提高对夹持部件的调节动作，进而提高对不同规格的光刻线板6的适用效果，通过电磁弹簧595和橡胶套筒596的收缩而带动夹持底板592和夹持顶板594对光刻线板6进行夹持，并通过微型气缸598带动挤压位移块599对光刻线板6进行限位动作，通过第一微型马达591带动夹持底板592和夹持顶板594以及两者夹持的光刻线板6进行翻转动作，有利于提高对光刻线板6的限位和翻转效果，通过第二微型马达5101带动支撑侧板5102进行翻转动作，并通过支撑侧板5102内部的双轴电推杆5103带动限位夹板5104对光刻线板6进行限位和支撑动作，有利于提高对光刻线板6的夹持效果，通过气动滑座72带动安装底板73在第三限位导轨71在进行滑动，然后通过第二高精度电推杆75带动导流机构77进行高度调节动作，并通过两组折叠窗帘76对防护箱74内部空间进行防护效果，通过过滤箱771前端的过滤箱771带动外部空气通过过滤网板772和过滤填层773进行过滤，然后将该气流导入导流槽管775内部，并带动电离子管776内部的电离子通过导流风板777流出并与光刻线板6表面相接触，有利于提高对光刻线板6的消除静电效果以及对其的除尘效果。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点,并且本发明使用到的标准零件均可以从市场上购买,异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制,各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中,常规的型号,加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式,在此不再详述。
对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (7)

1.一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，包括工作台(1)和螺栓安装在工作台(1)顶部的第一限位导轨(2)以及安装在工作台(1)顶部左侧的光刻设备(8)，所述第一限位导轨(2)内轨滑动设置有第一电动滑块(3)，所述第一电动滑块(3)安装在安装板架(4)底部的前后两侧，所述安装板架(4)上方设有光刻线板(6)，所述光刻设备(8)前端螺栓安装有控制面板(9)，所述第一电动滑块(3)和光刻设备(8)均与控制面板(9)电连接；
其特征在于：还包括安装在安装板架(4)顶部的调节机构(5)和安装在工作台(1)顶部后侧的除静电机构(7)，所述调节机构(5)包括安装在安装板架(4)内部的调节气缸(51)和安装在安装板架(4)顶部的第二限位导轨(53)，所述调节气缸(51)右端推杆安装有调节位移板(52)，所述调节位移板(52)顶部安装有第二限位导轨(53)，所述第二限位导轨(53)内轨滑动设置有第二电动滑块(54)，所述第二电动滑块(54)安装有安装侧板(55)，所述安装侧板(55)内部安装有对位移侧板(57)起到调节作用的第一高精度电推杆(56)，所述第一高精度电推杆(56)顶部推杆安装有位移侧板(57)，所述位移侧板(57)内部安装有限位轴承(58)和安装在位移侧板(57)左右两侧的翻转机构(59)和支撑机构(510)，所述调节气缸(51)和第二电动滑块(54)以及第一高精度电推杆(56)均与控制面板(9)电连接。
2.根据权利要求1所述一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，其特征在于：所述翻转机构(59)包括安装在位移侧板(57)左右两侧的第一微型马达(591)，所述第一微型马达(591)轴动端安装有对光刻线板(6)起到夹持作用的夹持底板(592)，所述夹持底板(592)左端连板内部滑动安装有对夹持顶板(594)起到限位作用的限位滑杆(593)和弹性安装在夹持底板(592)顶部左侧的电磁弹簧(595)和橡胶套筒(596)以及安装在夹持底板(592)右端中侧的红外定位器(597)，所述夹持底板(592)顶侧通槽安装有对挤压位移块(599)起到调节作用的微型气缸(598)，所述微型气缸(598)左右两侧推杆安装有挤压位移块(599)，所述限位滑杆(593)顶部安装有夹持顶板(594)，所述夹持顶板(594)底部左侧弹性安装有电磁弹簧(595)和橡胶套筒(596)，所述第一微型马达(591)、电磁弹簧(595)和红外定位器(597)以及微型气缸(598)均与控制面板(9)电连接。
3.根据权利要求1所述一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，其特征在于：所述支撑机构(510)包括安装在位移侧板(57)右端对支撑侧板(5102)起到传动作用的第二微型马达(5101)，所述第二微型马达(5101)轴动端与支撑侧板(5102)后端固定转动，所述支撑侧板(5102)内部安装有对限位夹板(5104)起到调节作用的双轴电推杆(5103)，所述双轴电推杆(5103)上下两侧推杆均安装有限位夹板(5104)，所述双轴电推杆(5103)上下两侧的限位夹板(5104)相对面均安装有橡胶垫(5105)以及弹性安装在双轴电推杆(5103)上下两侧的限位夹板(5104)相对面右侧的橡胶柱(5106)，所述第二微型马达(5101)和双轴电推杆(5103)均与控制面板(9)电连接。
4.根据权利要求1所述一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，其特征在于：所述除静电机构(7)包括安装在工作台(1)顶部后侧的第三限位导轨(71)，所述第三限位导轨(71)内轨滑动设置有气动滑座(72)，所述气动滑座(72)顶部安装有安装底板(73)，所述安装底板(73)顶部螺栓安装有防护箱(74)，所述防护箱(74)顶部安装有第二高精度电推杆(75)和滑动设置在防护箱(74)前后两侧通槽的折叠窗帘(76)以及设置在防护箱(74)内部的导流机构(77)，所述气动滑座(72)和第二高精度电推杆(75)均与控制面板(9)电连接。
5.根据权利要求4所述一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，其特征在于：所述导流机构(77)包括安装在第二高精度电推杆(75)调节推杆底部的过滤箱(771)，所述过滤箱(771)顶部与折叠窗帘(76)底部螺栓连接和安装在过滤箱(771)后端起到过滤作用的过滤网板(772)以及填充放置在过滤箱(771)内部的过滤填层(773)，所述过滤箱(771)前端螺栓安装有起到导流作用的风机安装板(774)，所述风机安装板(774)前端管道安装有导流槽管(775)，所述导流槽管(775)内部螺栓安装有电离子管(776)和螺栓安装在导流槽管(775)底部的导流风板(777)，所述风机安装板(774)和电离子管(776)均与控制面板(9)电连接。
6.根据权利要求2所述一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，其特征在于：所述夹持底板(592)顶部通槽呈十字形状，且该通槽内部设有的两组微型气缸(598)呈上下交叉分布。
7.根据权利要求5所述一种多尺寸兼容光刻机的传输系统，其特征在于：所述导流槽管(775)内部共设有九组电离子管(776)，且电离子管(776)前后两侧通气孔与风机安装板(774)处于同一水平线上。
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