CN115283152A - 喷头 - Google Patents

Abstract

本发明的一实施例公开一种喷头，包括：气体分配板，具有多个气孔以使一个以上气体通过；第一支承部件，配置成与所述气孔隔开并支承所述气体分配板的第一面；以及第二支承部件，配置成与所述气孔隔开并支承所述气体分配板的面中的与所述第一面相反的相反面即第二面，并且形成为比所述第一支承部件小。

Description

喷头

技术领域

本发明涉及喷头。

背景技术

随着技术发展，制造以及使用各种电气、电子元件，这样的电子元件可以通过各种工艺形成电或者电磁特性。

另外，在这样的形成电或者电磁特性的各种工艺中，使用利用气体或者等离子体处理的半导体工艺。

在这样的半导体工艺中，使用包括与被处理材对应的喷头的装置。

另一方面，这样的喷头可以根据用途配置在各种条件和环境下，随着技术发展，提升配置于严酷条件下的喷头的耐久性以及制造特性逐渐存在局限。

发明内容

本发明可以提供耐久性以及制造特性得到提升的喷头。

本发明的一实施例公开一种喷头，包括：气体分配板，具有多个气孔以使一个以上气体通过；第一支承部件，配置成与所述气孔隔开并支承所述气体分配板的第一面；第二支承部件，配置成与所述气孔隔开并支承所述气体分配板的面中的与所述第一面相反的相反面即第二面，并且形成为比所述第一支承部件小；以及第三支承部件，形成为连接所述第一支承部件和所述第二支承部件，所述第一支承部件包括：第一区域，形成为具有比所述气体分配板大的宽度，以超过所述气体分配板的边缘；以及第二区域，从与所述第一区域的外侧边缘隔开的一区域向上方凸出形成为支承所述气体分配板的第一面，并形成为厚度具有比所述第一区域的厚度大的值，所述第二区域与所述第三支承部件一体形成。

在本实施例中，可以是，所述第二支承部件以彼此隔开的方式形成多个。

在本实施例中，可以是，多个所述第二支承部件配置成沿着所述气体分配板的圆周方向彼此隔开。

在本实施例中，可以是，多个所述第二支承部件在以所述第一支承部件的中心点为基准而圆点非对称位置配置成彼此隔开。

在本实施例中，可以是，所述第一支承部件和所述第二支承部件配置成具有重叠区域，所述气体分配板配置成与所述重叠区域对应。

在本实施例中，可以是，所述第三支承部件形成多个。

在本实施例中，可以是，所述第三支承部件形成为具有从所述第一支承部件的一面延伸的形态。

在本实施例中，可以是，所述气体分配板形成有与所述第三支承部件对应的槽部。

在本实施例中，可以是，所述第一支承部件的所述第二区域的外侧边缘比所述第一区域的外侧边缘位于内侧，所述第一支承部件形成为厚度以从所述第二区域朝向所述第一区域的外侧边缘的方向为基准变小而成的台阶形态。

在本实施例中，可以是，所述第二区域的外侧边缘形成为与所述气体分配板的边缘对应。

本发明的另一实施例公开一种喷头，包括：气体分配板，具有多个气孔以使一个以上气体通过；第一支承部件，配置成与所述气孔隔开并支承所述气体分配板的第一面；第二支承部件，配置成与所述气孔隔开并支承所述气体分配板的面中的与所述第一面相反的相反面即第二面，并且形成为比所述第一支承部件小；以及支承部，支承所述喷头的一区域，所述第一支承部件包括：第一区域，形成为具有比所述气体分配板大的宽度，以超过所述气体分配板的边缘；以及第二区域，形成为以所述第一支承部件的厚度方向为基准向上方凸出，以使得从与所述第一区域的外侧边缘隔开的一区域朝向所述气体分配板，所述第一支承部件包括厚度以从所述第二区域朝向所述第一区域的外侧边缘的方向为基准变小而成的台阶形态，所述支承部形成为具有台阶形态以与所述第一支承部件的厚度变小而成的台阶形态对应。

在本实施例中，可以是，所述第三支承部件形成彼此隔开的至少两个以与一个所述第二支承部件对应。

前述之外的其它方面、特征、优点会从下面的附图、权利要求书以及发明的详细说明得到清楚。

本发明的喷头可以容易地提升耐久性以及制造特性。

附图说明

图1是示出本发明的一实施例的喷头的概要图。

图2是从一方向观察图1的喷头的例示性立体图。

图3是从图2的K方向观察的侧视图。

图4是从图2的S方向观察的平面图。

图5是概要示出图2的第一支承部件以及第三支承部件的立体图。

图6是示出图2的气体分配板的概要平面图。

图7是示出图2的第二支承部件的概要图。

图8是示出图4的変形例的图。

图9是用于使用本发明的一实施例的喷头的例示性图。

(附图标记说明)

100：喷头 110：第一支承部件

111：第一区域 112：第二区域

120：第二支承部件 120A：第二支承部件A

120B：第二支承部件B 123：紧固孔

130：第三支承部件 DP：气体分配板

DPHA：第一槽部 DPHB：第二槽部

SA：空间部 SH：孔

TH：气孔 SPB：支承部

SW：被处理材 DEW：电介质窗

SPB：支承部

具体实施方式

以下，参照所附附图中示出的本发明的实施例来详细说明本发明的结构以及作用。

本发明可以实施各种变换，可以具有各种实施例，特定实施例在附图中进行例示并在详细的说明进行详细说明。本发明的效果以及特征以及实现它们的方法参照与附图一起详细后述的实施例则得到清楚。但是，本发明不限于以下所公开的实施例，可以以各种形态实现。

以下，参照所附附图来详细说明本发明的实施例，在参照附图来进行说明时，相同或对应的构成要件标注相同的附图标记，省略对其的重复说明。

在以下的实施例中，第一、第二等用语用作将一个构成要件与另一个构成要件区分的目的，而不是限定性的含义。

在以下的实施例中，只要在文脉上没有明确意指不同，单数的表达包括复数的表达。

在以下的实施例中，包括或者具有等用语意指存在说明书中记载的特征或者构成要件，并不是预先排除附加一个以上的其它特征或者构成要件的可能性。

在附图中，为了便于说明，构成要件可能夸张或者缩小其尺寸。例如，为了便于说明，附图中示出的各结构的尺寸以及厚度任意示出，因此本发明并不是必须限于图示。

在以下的实施例中，x轴、y轴以及z轴不限于直角坐标系上的三轴，可以解释为包括其的宽的含义。例如，x轴、y轴以及z轴虽可以彼此正交，但也可以指称彼此不正交的彼此不同方向。

当某实施例可以不同地实现时，特定的工艺顺序也可以与所说明的顺序不同地执行。例如，连续地说明的两个工艺既可以实质上同时执行，也可以以与所说明的顺序相反的顺序进行。

图1是示出本发明的一实施例的喷头的概要图。

本实施例的喷头100可以包括气体分配板DP、第一支承部件110以及第二支承部件120。

本发明中记载的喷头100可以用于各种用途。可以用作用于使一个以上的气体流入而对基板或者晶圆之类被处理材进行半导体工艺的用途。例如，可以适用于针对被处理材的蚀刻工艺、清洗工艺、灰化工艺、蒸镀工艺或者离子注入工艺等各种领域。

气体分配板DP可以包括多个气孔TH以使得用于半导体工艺的一个以上的气体通过。气孔TH的数量以及排列可以进行各种确定，可以根据利用气体分配板DP的工艺的种类以及使用领域来确定。此时，气体可以是在RF频率下反应而形成等离子体的反应气体。

通过气体分配板DP的气孔TH，一个以上的气体为了工序而流入，例如以图1为基准通过气体分配板DP的气孔TH从上方朝向下方流入。

作为选择性实施例，气体分配板DP也可以配置成具有用于有效地分配穿过气孔TH的气体的排列图案。

气体分配板DP可以由各种材料形成。例如可以利用绝缘性材料来形成。作为选择性实施例，气体分配板DP可以利用耐久性优异的无机材来形成，作为具体例子，可以由陶瓷系列材质形成。

第一支承部件110可以形成为支承气体分配板DP的第一面(例如，以图1为基准)的一区域。例如，气体分配板DP的第一面可以是在利用喷头100对被处理材进行的工序过程中朝向被处理材的面。

另外，第一支承部件110可以配置成与气体分配板DP的气孔TH隔开。由此，可以使得形成穿过气孔TH的气体的顺畅流入。

例如，第一支承部件110可以形成为在内侧具有开口形态的空间部SA，作为具体例子，可以形成为环绕空间部SA。

第一支承部件110可以由各种材料形成，例如可以由能够有效地支承气体分配板DP且具有耐久性的材质形成，作为具体例子，可以由金属材质形成。作为选择性实施例，第一支承部件110也可以形成为含有铝。

第一支承部件110可以形成为具有比气体分配板DP大的宽度以超过气体分配板DP的边缘。作为一例，第一支承部件110可以包括第一区域111以及与第一区域111连接并凸出成朝向气体分配板DP的形态的第二区域112。此时，至少第一区域111可以形成为具有比气体分配板DP大的宽度而形成为超过气体分配板DP的边缘。

可以是，第二区域112形成为宽度比第一区域111小，第一区域111的区域中的超过气体分配板DP边缘的至少一区域延伸成通过第二区域112，从而第一区域111的边缘存在于第二区域112的外侧。

可以形成沿着第一区域111的边缘配置成彼此隔开的多个孔(例如图2的SH)，以紧固用于将第一区域111的边缘和其它部件结合或者紧固的螺丝、螺栓等紧固部件(未图示)。此时，其它部件可以是后述的图9的支承部SPB。通过这样的区域配置，当将喷头100用于工艺而进行配置时，可以容易地将喷头100与相邻的其它部件结合或者紧固。

结果，替代气体分配板DP与其它部件直接结合或者紧固，通过第一支承部件110将气体分配板DP与其它部件间接结合或者紧固，从而减少或者防止在制造中以及使用中气体分配板DP的损伤以及变形可能性，可以提升气体分配板DP的耐久性。例如，为了将气体分配板DP与其它部件直接结合或者紧固，紧固部件紧固于气体分配板DP，在将紧固部件紧固的过程或者将用于紧固紧固部件的紧固孔加工于气体分配板DP的过程中产生裂纹等而气体分配板DP可能损伤或者变形，或者在半导体工艺的高温环境下暴露而由于具有与气体分配板DP不同的热膨胀率的紧固部件而产生裂纹等，从而可能损伤以及变形，相反，本发明的气体分配板DP可以替代紧固部件而支承以及结合于第一支承部件110，减少或者防止在制造中以及使用中气体分配板DP的损伤以及变形可能性，从而可以提升气体分配板DP的耐久性。

第二支承部件120可以形成为支承气体分配板DP的面中的与由第一支承部件110支承的第一面(下面)相反的相反面即第二面(以图1为基准的上面)的一区域。

另外，第二支承部件120可以配置成与气体分配板DP的气孔TH隔开。由此，可以形成穿过气孔TH的气体的顺畅流入。

第二支承部件120可以配置成与第一支承部件110重叠且隔开。在第一支承部件110和第二支承部件120之间，在与第一支承部件110以及第二支承部件120重叠的区域可以配置气体分配板DP的一区域，例如包括气体分配板DP的边缘的区域。

第二支承部件120可以形成为小于第一支承部件110，例如可以具有小的宽度。作为选择性实施例，第二支承部件120可以形成为与第一支承部件110的第二区域112重叠且与第二区域112的边缘对应或者不超过第二区域112的边缘。由此，具有比较小的宽度的第二支承部件120以及第一支承部件110的第二区域112可以有效地支承气体分配板DP。

第二支承部件120可以由各种材料形成，例如可以由能够有效地支承气体分配板DP且具有耐久性的材质，作为具体例子，可以由金属材质形成。作为选择性实施例，第二支承部件120也可以形成为含有铝。另外，作为一例，第二支承部件120可以由与第一支承部件110相同的材质形成。

作为选择性实施例，第二支承部件120可以形成为比第一支承部件110薄，作为具体例子，可以形成为比第一支承部件110的第二区域112薄。通过与第一支承部件110重叠的配置，有效地支承气体分配板DP，从而使第二支承部件120变薄，由此可以减少第二支承部件120的重量。

作为选择性实施例，第三支承部件130可以配置于第一支承部件110和第二支承部件120之间。例如，在第一支承部件110和第二支承部件120之间区域中的没有配置气体分配板DP的区域可以配置第三支承部件130。

第三支承部件130可以形成为具有各种形态，例如可以形成为具有从第一支承部件110的一区域，作为具体例子从第一支承部件110的第二区域112延伸的形态，也可以与第二区域112一体形成。

第三支承部件130可以配置一个以上，当配置为多个时，可以彼此隔开配置。

第三支承部件130的宽度可以进行各种确定，例如可以形成为不超过第二区域112的宽度，作为具体的一例，可以具有与第二区域112对应的宽度。由此，有效地连接第一支承部件110和第二支承部件120，可以容易地支承第一支承部件110和第二支承部件120之间的气体分配板DP。

结果，替代气体分配板DP与第一支承部件110直接结合或者紧固，气体分配板DP支承于第一支承部件110和第二支承部件120之间而被间接结合或者紧固，从而减少或者防止在制造中以及使用中气体分配板DP的损伤以及变形可能性，可以提升气体分配板DP的耐久性。例如，为了将气体分配板DP与第一支承部件110直接结合或者紧固，紧固部件紧固于气体分配板DP，在将紧固部件紧固的过程或者将用于紧固紧固部件的孔加工于气体分配板DP的过程中产生裂纹等损伤以及变形，或者在半导体工艺的高温环境下暴露而由于具有与气体分配板DP不同的热膨胀率的紧固部件而可能产生裂纹等损伤以及变形。相反，本发明是替代紧固部件紧固于气体分配板DP，支承于第一支承部件110和第二支承部件120之间，从而减少或者防止在制造中以及使用中气体分配板DP的损伤以及变形可能性，从而可以提升气体分配板DP的耐久性。

另外，当将第一支承部件110与其它部件结合或者分离时，支承于第一支承部件110和第二支承部件120之间的气体分配板DP与其它部件一起结合或者分离，因此可以提升使用便利性。例如，替代需要将第一支承部件110和气体分配板DP分别与其它部件结合或者分离，若将第一支承部件110与其它部件结合或者分离则支承于第一支承部件110和第二支承部件120之间的气体分配板DP一起被结合或者分离，从而可以提升使用便利性。

图2是从一方向观察图1的喷头的例示性立体图，图3是从图2的K方向观察的侧视图，图4是从图2的S方向观察的平面图。

图5是概要示出图2的第一支承部件以及第三支承部件的立体图，图6是示出图2的气体分配板的概要平面图，图7是示出图2的第二支承部件的概要图。

喷头100可以形成为整体上具有曲线的边缘，例如接近圆形的边缘。

参照图2至图6，气体分配板DP可以形成为具有曲线的边缘，例如接近圆形的边缘。

配置于气体分配板DP的多个气孔TH可以具有各种配置，附图中示出的同心圆型的排列可以是一个例示。

气体分配板DP可以在边缘包括多个槽部DPHA、DPHB。多个槽部DPHA、DPHB的每一个可以具有向外侧面方向开放的形态。

例如，气体分配板DP可以包括一个以上的第一槽部DPHA，作为具体例子，可以包括彼此隔开的2个第一槽部DPHA。

另外，气体分配板DP可以包括一个以上的第二槽部DPHB，作为具体例子，可以包括彼此隔开的2个第二槽部DPHB，这样的多个槽部DPHA、DPHB可以形成为与后述的第三支承部件130对应。

参照图2至图5，第一支承部件110可以形成为具有曲线的边缘，例如接近圆形的边缘，例如可以是包括具有与比气体分配板DP大的直径的圆近似的边缘的第一区域111，包括向第一区域111延伸并具有与具有比第一区域111小的直径的圆近似的边缘的第二区域112。

作为选择性实施例，第二区域112可以形成为具有与气体分配板DP对应的边缘。由此，气体分配板DP有效地支承于第二区域112，可以减少或者防止气体分配板DP向外侧凸出而破损或者变形。

第二支承部件120可以设置多个，例如可以包括彼此隔开的第二支承部件A 120A以及第二支承部件B 120B。第二支承部件120的每一个可以具有与气体分配板DP或者第一支承部件110的第二区域112对应的形态，例如对应的边缘。作为具体例子，彼此隔开的第二支承部件A 120A以及第二支承部件B 120B可以配置成沿着气体分配板DP的圆周或者边缘彼此隔开，由此，可以在支承气体分配板DP的少面积的同时确保有效的支承特性。

作为选择性实施例，第二支承部件120的每一个可以具有曲线的边缘，可以形成为具有与圆弧近似的形态。作为具体例子，如图7所示，第二支承部件A 120A可以形成为具有曲线部CV。

第三支承部件130可以形成为从第二区域112延伸并凸出的形态，可以形成为与第二支承部件120连接。作为选择性实施例，第三支承部件130可以与第二支承部件120利用紧固部件(未图示)来紧固，为此，如图7所示，第二支承部件A 120A也可以具有彼此隔开的多个紧固孔123，第三支承部件130也可以包括与紧固孔123对应的对应孔。

第三支承部件130可以形成为多个。例如，第三支承部件130可以形成为与气体分配板DP的多个槽部DPHA、DPHB对应。例如，可以是，第三支承部件130收纳于多个槽部DPHA、DPHB的内侧区域，第三支承部件130具有不超过气体分配板DP的边缘的形态。

作为选择性实施例，第三支承部件130可以具有与四边形近似的平面形态，气体分配板DP的槽部DPHA、DPHB也可以具有与向侧面开放形态的四边形近似的形态以与此对应。

第三支承部件130设置有彼此隔开的两个以与第二支承部件A 120A对应，可以具有设置有彼此隔开的两个的形态以与第二支承部件B 120B对应。

作为一例，可以形成多个(例如，如图5那样2个)第三支承部件130以与第二支承部件120的彼此隔开的第二支承部件A 120A以及第二支承部件B 120B的每一个对应，可以形成气体分配板DP的多个槽部DPHA、DPHB以与这样的第三支承部件130对应。

作为具体例子，可以是，气体分配板DP的第一槽部DPHA(例如，如图6那样2个)形成为与2个第三支承部件130对应且与第二支承部件A 120A重叠，气体分配板DP的第二槽部DPHB(例如，如图6那样2个)形成为与2个第三支承部件130对应且与第二支承部件B 120B重叠。

由此，可以是，气体分配板DP配置于第一支承部件110和第二支承部件120之间，并在第一支承部件110和第二支承部件120的重叠区域中被支承，第一支承部件110和第二支承部件120利用形成为与气体分配板DP的多个槽部DPHA、DPHB对应的第三支承部件130相连接。

结果，可以通过在减少与第一支承部件110和第二支承部件120重叠的区域的同时还有效地支承气体分配板DP，提升喷头100的耐久性。另外，第二支承部件120可以与第三支承部件130连接，形成为通过紧固部件的紧固容易，从而可以提升喷头100的制造效率以及制造稳定性。

另外，可以以与相邻于气体分配板DP边缘的区域连接的形态形成多个槽部DPHA、DPHB而使第三支承部件130与这样的槽部DPHA、DPHB对应，由此，提高气体分配板DP的设计自由度，减少或者防止在制造中以及使用中气体分配板DP的损伤以及变形可能性，从而可以提升气体分配板DP的耐久性。

另一方面，作为选择性实施例，喷头100的第二支承部件120的彼此隔开的第二支承部件A 120A以及第二支承部件B 120B可以具有非对称性关系。

作为一例，第二支承部件A 120A以及第二支承部件B 120B可以具有非对称性配置。

参照图4，第二支承部件A 120A以及第二支承部件B 120B可以配置于以第一支承部件110的中心点AX为基准非圆点对称的位置。作为不同的表达，第二支承部件B 120B可以配置成与第二支承部件A 120A的圆点对称位置区域(120AB')不对应。

另外，可以是，以使得第二支承部件120的彼此隔开的第二支承部件A 120A以及第二支承部件B 120B配置成非对称形态的方式，与第二支承部件120的彼此隔开的第二支承部件A 120A以及第二支承部件B120B对应的气体分配板DP的第一槽部DPHA和第二槽部DPHB也图6所示那样具有非对称形态配置，如图5所示那样第三支承部件130也以非对称形态配置。

由此，当使用喷头100时，在与相邻的部件结合时可以容易地进行结合过程。作为具体例子，当以彼此隔开的第二支承部件A 120A以及第二支承部件B 120B嵌入于相邻的部件的方式进行结合时，可以准确地控制其位置来配置，因此可以容易地提升结合以及使用便利性。另外，可以通过喷头100的准确配置，精密地控制通过气体分配板DP的气体喷射方向。

彼此隔开的第二支承部件A 120A以及第二支承部件B 120B的长度可以按照设定确定，例如可以具有相同的长度且具有相同的形态。

作为选择性实施例，第二支承部件A 120A以及第二支承部件B 120B可以具有不同的形态。

图8是示出图4的変形例的图。如图8所示，第二支承部件B 120B'可以形成为比第二支承部件A 120A长。由此，第二支承部件B 120B'和第二支承部件A 120A会具有彼此非对称性关系，可以容易地确保将喷头100结合于相邻部件的过程的准确性以及迅速性，可以容易地进行气体喷射方向的精密控制。

图9是用于使用本发明的一实施例的喷头的例示性图。

参照图9，在喷头100的下方示出有要进行处理的被处理材SW，该处理是利用通过喷头100分配的气体的处理或者利用分配的气体的等离子体反应的处理，被处理材SW可以是基板或者晶圆等各种种类。

喷头100可以配置或者结合于支承部SPB。支承部SPB可以具有与第一支承部件110重叠的区域，可以大大地形成为超过第一支承部件110。第一支承部件110的一区域，例如第一区域111的区域中的长长地延伸成越过第二区域112的区域可以接触于支承部SPB的一区域，第二支承部件120的上面可以与支承部SPB的一区域接触。

另外，支承部SPB可以具有台阶形态以与第一支承部件110对应，由此，第一支承部件110的第二区域112可以稳定地被支承部SPB支承。

另外，支承部SPB可以形成为彼此隔开的多个以与第二支承部件120对应，例如形成为具有2个收纳区域以与2个第二支承部件120对应。

由此，第一支承部件110、第二支承部件120可以有效地被引导并配置或者结合于支承部SPB。

作为选择性实施例，电介质窗DEW可以配置成朝向气体分配板DP的上面。

电介质窗DEW可以由支承部SPB支承，例如包括电介质窗DEW的边缘的侧面可以被支承部SPB的内侧面引导而结合或者支承。

结果，包括支承部SPB以及被支承部SPB引导并支承的第一支承部件110、第二支承部件120以及电介质窗DEW的整体结构可以稳定且紧凑地实现。

如此，参照附图所示的实施例说明了本发明，但其仅是例示性的，本技术领域中具有通常知识的人应理解可以根据此实施各种变形以及等同的其它实施例。因此，本发明的真正的技术保护范围应根据所附的权利要求书的技术构思来确定。

实施例中说明的特定实施是一实施例，不以任何方法限定实施例的范围。另外，只要没有如“必须”、“重要地”等之类那样具体提及，可以不是为了适用本发明而必须的构成要件。

实施例的说明书(尤其权利要求书)中“所述”的用语以及与其近似的指代用语的使用会相当于单数以及复数的全部。另外，在实施例中，当记载范围(range)时，包括适用属于所述范围的个别值的发明(没有与其相反的记载的话)，与在详细的说明中记载了构成所述范围的各个别值的相同。最后，若针对构成根据实施例的方法的步骤没有明确地记载顺序或相反记载，则所述步骤可以以适当的顺序进行。并不是必须按照所述步骤的记载顺序限定实施例。在实施例中，所有例子或者例示性用语(例如，等等)的使用仅用于详细说明实施例，实施例的范围并不因所述例子或者例示性用语而被限定，除非通过权利要求书所限定。另外，通常技术人员可以知晓各种修改、组合以及变更可以在所附的权利要求书或者其等同物的范畴内根据设计条件以及因素构成。

Claims (12)

1.一种喷头，包括：

气体分配板，具有多个气孔以使一个以上气体通过；

第一支承部件，配置成与所述气孔隔开并支承所述气体分配板的第一面；

第二支承部件，配置成与所述气孔隔开并支承所述气体分配板的面中的与所述第一面相反的相反面即第二面，并且形成为比所述第一支承部件小；以及

第三支承部件，形成为连接所述第一支承部件和所述第二支承部件，

所述第一支承部件包括：

第一区域，形成为具有比所述气体分配板大的宽度，以超过所述气体分配板的边缘；以及

第二区域，从与所述第一区域的外侧边缘隔开的一区域向上方凸出形成为支承所述气体分配板的第一面，并形成为厚度具有比所述第一区域的厚度大的值，

所述第二区域与所述第三支承部件一体形成。

2.根据权利要求1所述的喷头，其中，

所述第二支承部件以彼此隔开的方式形成多个。

3.根据权利要求2所述的喷头，其中，

多个所述第二支承部件配置成沿着所述气体分配板的圆周方向彼此隔开。

4.根据权利要求2所述的喷头，其中，

多个所述第二支承部件在以所述第一支承部件的中心点为基准而圆点非对称位置配置成彼此隔开。

5.根据权利要求1所述的喷头，其中，

所述第一支承部件和所述第二支承部件配置成具有重叠区域，

所述气体分配板配置成与所述重叠区域对应。

6.根据权利要求1所述的喷头，其中，

所述第三支承部件形成多个。

7.根据权利要求1所述的喷头，其中，

所述第三支承部件形成为具有从所述第一支承部件的一面延伸的形态。

8.根据权利要求1所述的喷头，其中，

所述气体分配板形成有与所述第三支承部件对应的槽部。

9.根据权利要求1所述的喷头，其中，

所述第一支承部件的所述第二区域的外侧边缘比所述第一区域的外侧边缘位于内侧，

所述第一支承部件形成为厚度以从所述第二区域朝向所述第一区域的外侧边缘的方向为基准变小而成的台阶形态。

10.根据权利要求9所述的喷头，其中，

所述第二区域的外侧边缘形成为与所述气体分配板的边缘对应。

11.根据权利要求1所述的喷头，其中，

所述第三支承部件形成彼此隔开的至少两个以与一个所述第二支承部件对应。

12.一种喷头，包括：

气体分配板，具有多个气孔以使一个以上气体通过；

第一支承部件，配置成与所述气孔隔开并支承所述气体分配板的第一面；

第二支承部件，配置成与所述气孔隔开并支承所述气体分配板的面中的与所述第一面相反的相反面即第二面，并且形成为比所述第一支承部件小；以及

支承部，支承所述喷头的一区域，

所述第一支承部件包括：

第一区域，形成为具有比所述气体分配板大的宽度，以超过所述气体分配板的边缘；以及

第二区域，形成为以所述第一支承部件的厚度方向为基准向上方凸出，以使得从与所述第一区域的外侧边缘隔开的一区域朝向所述气体分配板，

所述第一支承部件包括厚度以从所述第二区域朝向所述第一区域的外侧边缘的方向为基准变小而成的台阶形态，

所述支承部形成为具有台阶形态以与所述第一支承部件的厚度变小而成的台阶形态对应。

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