CN115256199A - 汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及晶圆加工附属装置的技术领域，特别是涉及一种汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备，包括底板和圆台，圆台固定在底板上，圆台上呈圆周状均匀滑动设置有若干滑动块，若干滑动块顶端均转动设置有驱动轮，驱动轮外壁上设置有阻尼垫，圆台上设置有抛光组件，抛光组件由抛光动板和抛光定板组成，抛光定板固定在圆台上，抛光动板安装在底板上，抛光动板位于抛光定板正上方，且抛光动板能够上下滑动；圆台上纵向贯通设置有若干滑动孔，滑动块在对应的滑动孔内做向心或离心运动，若干驱动轮同步同向旋转。本发明中同步对晶圆的两个面进行抛光处理，抛光过程中无需停机，无需工作人员参与，省时省力，工作效率高。

Description

汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备

技术领域

本发明涉及晶圆加工附属装置的技术领域，特别是涉及一种汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备。

背景技术

晶圆是生产汽车传感芯片的重要组成部分，在对晶圆进行加工的过程中，需要对晶圆的表面进行抛光处理，目前，对晶圆的表面进行抛光处理的方式是首先对晶圆进行固定，通过抛光轮对晶圆的一个面进行抛光，之后对晶圆进行翻转，再对晶圆的另一个面进行抛光，现有的对晶圆进行抛光处理的方式，需要依次对晶圆的两个面进行抛光，抛光时间较长，需要工作人员对晶圆进行翻转，工作人员劳动强度较高，工作效率较低。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备，从而有效解决背景技术中所指出的问题。

为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案是：

汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备，包括底板和圆台，圆台固定在底板上，圆台上呈圆周状均匀滑动设置有若干滑动块，若干滑动块顶端均转动设置有驱动轮，驱动轮外壁上设置有阻尼垫，圆台上设置有抛光组件，抛光组件由抛光动板和抛光定板组成，抛光定板固定在圆台上，抛光动板安装在底板上，抛光动板位于抛光定板正上方，且抛光动板能够上下滑动；

圆台上纵向贯通设置有若干滑动孔，滑动块在对应的滑动孔内做向心或离心运动，若干驱动轮同步同向旋转。

优选地，若干滑动块上均纵向贯穿转动设置有转轴，驱动轮固定安装在转轴顶端，转轴底端固定设置有联动轮，若干联动轮上传动套设有皮带；

底板上滑动设置有滑动座，滑动座上设置有电机，电机输出端设置有输出轴，输出轴背向电机的一端与若干联动轮中的一个驱动轮固定连接。

优选地，还包括环形板，环形板套在若干滑动块的外部，若干滑动块的离心一端均设置有凹槽，环形板的内圈壁与凹槽内壁滑动连接，环形板的内圈壁上均匀设置有若干斜坡道，斜坡道的数量与滑动块的数量一致，滑动块的离心一端与滑动孔的内壁之间设置有第一弹簧，底板上固定设置有支撑架，支撑架顶端固定设置有气缸，气缸输出端设置有伸缩轴，伸缩轴背向气缸的一端固定设置有齿条，环形板的圆周外壁上设置有齿结构，齿条与环形板上的齿结构啮合。

优选地，底板上固定设置有支撑板，支撑板上设置有方形孔，方形孔内滑动设置有移动块，方形孔内底壁上转动设置有转动柱，转动柱顶端转动贯穿方形孔内顶壁，转动柱的圆周外壁位于方形孔内的部分设置有外螺纹，移动块螺装套设在转动柱上，抛光动板的一端与移动块朝向圆台的一端铰接；

抛光定板顶端设置有两根限位柱，两根限位柱分别位于圆台的两侧，抛光动板上与两根限位柱对应的位置上纵向贯通设置有限位孔。

优选地，底板上设置有滑动槽，滑动槽内滑动设置有调节座，调节座与滑动槽内壁之间设置有第二弹簧，调节座顶端转动设置有连接轴，连接轴顶端固定设置有撑紧轮，撑紧轮的圆周外壁与皮带的外圈壁紧密接触。

优选地，圆台顶端设置有两个圆弧支板，两个圆弧支板的顶面与抛光定板的顶面齐平，两个圆弧支板位置对称。

优选地，转动柱顶端固定设置有圆板，圆板顶端的圆心位置转动设置有摇杆。

优选地，底板底端设置有支腿，底板顶端固定设置有立柱，立柱顶端与圆台底端固定连接。

采用上述技术方案后，本发明的有益效果是：

通过阻尼垫的作用，起到增加驱动轮与晶圆的圆周外壁之间摩擦阻力的作用，使得若干驱动轮同步同向旋转的过程，依靠摩擦力的作用推动晶圆进行自旋转，由于抛光定板与晶圆底面接触，抛光动板与晶圆顶面接触，使得晶圆自旋转的过程中，抛光定板和抛光动板自动对晶圆的两个面进行打磨抛光，抛光均匀，且能够同步对晶圆的两个面进行抛光处理，抛光过程中无需停机，无需工作人员参与，省时省力，工作效率高。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例中的整体右前顶角向下斜视结构示意立体图；

图2是本发明实施例中的联动轮和皮带处的部分结构右前顶角向下斜视结构示意立体图；

图3是本发明实施例中的环形板和若干滑动块处的部分结构右前顶角向下斜视结构示意立体图；

图4是本发明实施例中的圆台、驱动轮、抛光定板和抛光动板处的部分结构左前顶角向下斜视结构示意立体图；

图5是本发明实施例中的圆台、驱动轮、抛光定板、两个圆弧支板、阻尼垫和第一弹簧的俯视平面结构图；

图6是本发明实施例中的底板、支撑板和圆台处的部分结构从前侧剖视情况下的前视平面图；

图7是本发明实施例中的抛光动板旋转一定角度从圆台上方移开时的部分结构左前顶角向下斜视结构示意立体图；

图8是本发明实施例中的滑动块、转轴、驱动轮、阻尼垫和联动轮的结构示意立体图；

图9是本发明实施例中的环形板的结构示意俯视平面图；

图10是本发明实施例中的本发明实施例图6中A处的局部结构放大示意图；

图11是本发明实施例中的若干驱动轮驱动待抛光的晶圆进行旋转的示意图；

附图标记：1、底板；2、圆台；3、滑动块；4、驱动轮；5、阻尼垫；6、抛光动板；7、抛光定板；8、滑动孔；9、转轴；10、联动轮；11、皮带；12、滑动座；13、电机；14、输出轴；15、环形板；16、凹槽；17、斜坡道；18、第一弹簧；19、支撑架；20、气缸；21、伸缩轴；22、齿条；23、支撑板；24、方形孔；25、移动块；26、转动柱；27、限位柱；28、限位孔；29、滑动槽；30、调节座；31、第二弹簧；32、连接轴；33、撑紧轮；34、圆弧支板；35、圆板；36、摇杆；37、支腿；38、立柱；39、待抛光的晶圆。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

本发明实施例中为了解决现有技术中需要依次对晶圆的两个面进行抛光，抛光时间较长，需要工作人员对晶圆进行翻转，工作人员劳动强度较高，工作效率较低的问题，实现了同步对晶圆的两个面进行抛光处理，抛光过程中无需停机，无需工作人员参与，省时省力，工作效率高，下面对本发明实施例进行详细介绍：

如图1-图11所示的汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备,包括底板1和圆台2，圆台2固定在底板1上，圆台2上呈圆周状均匀滑动设置有若干滑动块3，若干滑动块3顶端均转动设置有驱动轮4，驱动轮4外壁上设置有阻尼垫5，圆台2上设置有抛光组件，抛光组件由抛光动板6和抛光定板7组成，抛光定板7固定在圆台2上，抛光动板6安装在底板1上，抛光动板6位于抛光定板7正上方，且抛光动板6能够上下滑动；

更为具体的，圆台2上纵向贯通设置有若干滑动孔8，若干滑动孔8用于滑动收容若干滑动块3，滑动块3在对应的滑动孔8内做向心或离心运动，若干驱动轮4同步同向旋转；

在具体实施过程中，首先将待抛光处理的晶圆放置于圆台2上方，使晶圆与圆台2同心，若干滑动块3同步做向心运动，进而带动若干驱动轮4做向心运动，直到若干驱动轮4均与晶圆的圆周外壁接触之后停止，由于阻尼垫5的作用使得若干驱动轮4与晶圆的圆周外壁之间的接触比较紧密，晶圆底端与抛光定板7顶端接触，向下移动抛光动板6，使晶圆顶端与抛光动板6底端接触，通过阻尼垫5的作用，起到增加驱动轮4与晶圆的圆周外壁之间摩擦阻力的作用，使得若干驱动轮4同步同向旋转的过程，依靠摩擦力的作用推动晶圆进行自旋转，由于抛光定板7与晶圆底面接触，抛光动板6与晶圆顶面接触，使得晶圆自旋转的过程中，抛光定板7和抛光动板6自动对晶圆的两个面进行打磨抛光，抛光均匀，且能够同步对晶圆的两个面进行抛光处理，抛光过程中无需停机，无需工作人员参与，省时省力，工作效率高。

以上述实施例为基础，若干滑动块3上均纵向贯穿转动设置有转轴9，驱动轮4固定安装在转轴9顶端，转轴9底端固定设置有联动轮10，若干联动轮10上传动套设有皮带11；

更为具体的，底板1上滑动设置有滑动座12，滑动座12上设置有电机13，电机13输出端设置有输出轴14，输出轴14背向电机13的一端与若干联动轮10中的一个驱动轮4固定连接；

在具体实施过程中，把电机13通电，电机13通过传动轴驱动对应的联动轮10旋转，若干联动轮10在皮带11的作用下同步同向旋转，由于电机13安装在滑动座12上，且滑动座12滑动安装在底板1上，因此，在若干联动轮10同步做向心运动的过程中，滑动板在底板1上随着一起移动，当若干驱动轮4与晶圆的圆周外壁紧密接触时，在电机13的驱动下，联动轮10通过转轴9带动驱动轮4旋转，通过若干驱动轮4的旋转带动晶圆进行自旋转，通过晶圆的自旋转，在抛光定模和抛光动模的作用下，完成对晶圆的两个面的同步抛光，自动化程度高，省时省力，工作效率高。

以上述实施例为基础，还包括环形板15，环形板15套在若干滑动块3的外部，若干滑动块3的离心一端均设置有凹槽16，环形板15的内圈壁与凹槽16内壁滑动连接，环形板15的内圈壁上均匀设置有若干斜坡道17，斜坡道17的数量与滑动块3的数量一致，滑动块3的离心一端与滑动孔8的内壁之间设置有第一弹簧18，底板1上固定设置有支撑架19，支撑架19顶端固定设置有气缸20，气缸20输出端设置有伸缩轴21，伸缩轴21背向气缸20的一端固定设置有齿条22，环形板15的圆周外壁上设置有齿结构，齿条22与环形板15上的齿结构啮合；

更为具体的，当若干滑动块3位于离心的最远一端时，此时的斜坡道17较窄的一端距离对应的滑动块3最近，而斜坡道17较宽的一端距离对应滑动块3最远；

在具体实施过程中，气缸20通过伸缩轴21带动齿条22移动，齿条22移动的过程中带动环形板15旋转，环形板15旋转的过程中，使得斜坡道17较宽的一端逐渐靠近对应的滑动块3，通过若干斜坡道17旋转的过程中，使得若干滑动块3同步做向心运动，在若干滑动块3同步做向心运动的过程中，若干第一弹簧18处于持续被拉伸的状态，当环形板15反向旋转时，在若干第一弹簧18恢复弹性形变的作用下，若干滑动块3同步做离心运动，通过一个气缸20即可完成对若干滑动块3做向心运动和离心运动的驱动，工作效率高。

以上述实施例为基础，底板1上固定设置有支撑板23，支撑板23上设置有方形孔24，方形孔24内滑动设置有移动块25，方形孔24内底壁上转动设置有转动柱26，转动柱26顶端转动贯穿方形孔24内顶壁，转动柱26的圆周外壁位于方形孔24内的部分设置有外螺纹，移动块25螺装套设在转动柱26上，抛光动板6的一端与移动块25朝向圆台2的一端铰接；

更为具体的，抛光定板7顶端设置有两根限位柱27，两根限位柱27分别位于圆台2的两侧，抛光动板6上与两根限位柱27对应的位置上纵向贯通设置有限位孔28；

在具体实施过程中，由于抛光动板6与移动块25之间为铰接关系，使得需要将晶圆放置于圆台2上之前，首先旋转抛光动板6，使得抛光动板6从圆台2的上方移开，便于将晶圆放置于圆台2上，使得晶圆底端与抛光定板7顶端接触，之后反向旋转抛光动板6，直到限位孔28与限位杆对齐之后，旋动转动柱26，在转动柱26的作用下，移动块25在方形孔24内向下移动，移动块25带动抛光动板6向下移动，限位杆穿过限位孔28，通过两根限位杆与两个限位孔28的配合，使得抛光定板7与抛光动板6处于上下对齐的状态，直到抛光动板6底端与晶圆顶端接触之后，移动块25停止向下移动，此时，完成对晶圆的放置，操作便利，工作效率高。

以上述实施例为基础，底板1上设置有滑动槽29，滑动槽29内滑动设置有调节座30，调节座30与滑动槽29内壁之间设置有第二弹簧31，调节座30顶端转动设置有连接轴32，连接轴32顶端固定设置有撑紧轮33，撑紧轮33的圆周外壁与皮带11的外圈壁紧密接触；

在具体实施过程中，第二弹簧31对调节座30起到稳定的弹性支撑作用，在第二弹簧31的支撑作用下，撑紧轮33对皮带11进行撑紧，在若干联动轮10同步做向心运动的过程中，撑紧轮33始终对皮带11进行撑紧，使得皮带11始终与若干联动轮10接触，并始终能够驱动若干联动轮10做同步同向旋转，工作稳定可靠，工作效率高。

以上述实施例为基础，圆台2顶端设置有两个圆弧支板34，两个圆弧支板34的顶面与抛光定板7的顶面齐平，两个圆弧支板34位置对称；

在具体实施过程中，将晶圆放置到圆台2上之后，两个圆弧支板34和抛光定板7均与晶圆底端接触，通过两个圆弧支板34的作用对晶圆进行稳定的支撑，提高使用稳定性。

以上述实施例为基础，转动柱26顶端固定设置有圆板35，圆板35顶端的圆心位置转动设置有摇杆36；

在具体实施过程中，工作人员用手握住摇杆36，通过摇杆36对圆板35进行旋转，圆板35带动转动柱26旋转，通过转动柱26的旋转带动移动块25上下移动，操作便利，提高使用便利性。

以上述实施例为基础，底板1底端设置有支腿37，底板1顶端固定设置有立柱38，立柱38顶端与圆台2底端固定连接；

在具体实施过程中，支腿37对装置整体进行稳定的支撑，立柱38对圆台2进行支撑，提高使用稳定性。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备，其特征在于，包括底板（1）和圆台（2），圆台（2）固定在底板（1）上，圆台（2）上呈圆周状均匀滑动设置有若干滑动块（3），若干滑动块（3）顶端均转动设置有驱动轮（4），驱动轮（4）外壁上设置有阻尼垫（5），圆台（2）上设置有抛光组件，抛光组件由抛光动板（6）和抛光定板（7）组成，抛光定板（7）固定在圆台（2）上，抛光动板（6）安装在底板（1）上，抛光动板（6）位于抛光定板（7）正上方，且抛光动板（6）能够上下滑动；

圆台（2）上纵向贯通设置有若干滑动孔（8），滑动块（3）在对应的滑动孔（8）内做向心或离心运动，若干驱动轮（4）同步同向旋转。

2.根据权利要求1所述的汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备，其特征在于，若干滑动块（3）上均纵向贯穿转动设置有转轴（9），驱动轮（4）固定安装在转轴（9）顶端，转轴（9）底端固定设置有联动轮（10），若干联动轮（10）上传动套设有皮带（11）；

底板（1）上滑动设置有滑动座（12），滑动座（12）上设置有电机（13），电机（13）输出端设置有输出轴（14），输出轴（14）背向电机（13）的一端与若干联动轮（10）中的一个驱动轮（4）固定连接。

3.根据权利要求1所述的汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备，其特征在于，还包括环形板（15），环形板（15）套在若干滑动块（3）的外部，若干滑动块（3）的离心一端均设置有凹槽（16），环形板（15）的内圈壁与凹槽（16）内壁滑动连接，环形板（15）的内圈壁上均匀设置有若干斜坡道（17），斜坡道（17）的数量与滑动块（3）的数量一致，滑动块（3）的离心一端与滑动孔（8）的内壁之间设置有第一弹簧（18），底板（1）上固定设置有支撑架（19），支撑架（19）顶端固定设置有气缸（20），气缸（20）输出端设置有伸缩轴（21），伸缩轴（21）背向气缸（20）的一端固定设置有齿条（22），环形板（15）的圆周外壁上设置有齿结构，齿条（22）与环形板（15）上的齿结构啮合。

4.根据权利要求1所述的汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备，其特征在于，底板（1）上固定设置有支撑板（23），支撑板（23）上设置有方形孔（24），方形孔（24）内滑动设置有移动块（25），方形孔（24）内底壁上转动设置有转动柱（26），转动柱（26）顶端转动贯穿方形孔（24）内顶壁，转动柱（26）的圆周外壁位于方形孔（24）内的部分设置有外螺纹，移动块（25）螺装套设在转动柱（26）上，抛光动板（6）的一端与移动块（25）朝向圆台（2）的一端铰接；

抛光定板（7）顶端设置有两根限位柱（27），两根限位柱（27）分别位于圆台（2）的两侧，抛光动板（6）上与两根限位柱（27）对应的位置上纵向贯通设置有限位孔（28）。

5.根据权利要求2所述的汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备，其特征在于，底板（1）上设置有滑动槽（29），滑动槽（29）内滑动设置有调节座（30），调节座（30）与滑动槽（29）内壁之间设置有第二弹簧（31），调节座（30）顶端转动设置有连接轴（32），连接轴（32）顶端固定设置有撑紧轮（33），撑紧轮（33）的圆周外壁与皮带（11）的外圈壁紧密接触。

6.根据权利要求1所述的汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备，其特征在于，圆台（2）顶端设置有两个圆弧支板（34），两个圆弧支板（34）的顶面与抛光定板（7）的顶面齐平，两个圆弧支板（34）位置对称。

7.根据权利要求4所述的汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备，其特征在于，转动柱（26）顶端固定设置有圆板（35），圆板（35）顶端的圆心位置转动设置有摇杆（36）。

8.根据权利要求1所述的汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备，其特征在于，底板（1）底端设置有支腿（37），底板（1）顶端固定设置有立柱（38），立柱（38）顶端与圆台（2）底端固定连接。

Images