CN115228863A - 一种旋涂废液收集杯清洗辅助工具及旋涂装置 - Google Patents

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CN115228863A CN202211076532.4A CN202211076532A CN115228863A CN 115228863 A CN115228863 A CN 115228863A CN 202211076532 A CN202211076532 A CN 202211076532A CN 115228863 A CN115228863 A CN 115228863A
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耿克涛
姜岩松
刘长伟
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Abstract

本发明公开了一种旋涂废液收集杯清洗辅助工具及旋涂装置，旋涂废液收集杯清洗辅助工具设于晶圆承载座；旋涂废液收集杯内设置有清洗液喷座，清洗液喷座设置在旋涂废液收集杯清洗辅助工具下端；旋涂废液收集杯清洗辅助工具包括：清洗底座，设于晶圆承载座并覆盖晶圆承载座的顶面；入液腔体，围绕清洗底座设置，设有朝向清洗液喷座的入液开口，以及位于入液开口远离清洗底座一侧的集液槽，清洗液从入液开口进入由入液腔体的内壁阻挡后进入集液槽；多个出液口，连通集液槽并朝向旋涂废液收集杯的内壁，至少包括两种高度不同的出液口。本发明有效解决旋涂工艺中多余的光刻胶和显影液飞溅至旋涂废液收集杯内，旋涂废液收集杯清洗效率低的问题。

Description

一种旋涂废液收集杯清洗辅助工具及旋涂装置
技术领域
本发明涉及半导体行业晶圆领域，尤其涉及一种旋涂废液收集杯清洗辅助工具及旋涂装置。
背景技术
晶圆是指制造硅半导体电路所用的硅晶片，其是制造芯片的基本材料。随着半导体行业的晶圆制造技术的发展，芯片的电路结构趋于复杂，其加工的难度也逐渐增加。
在晶圆的旋涂工艺中，晶圆放在承载座上旋转，光刻胶和显影液不可避免的会溅到上旋涂废液收集杯的表面。当承载座的电机转速由于不同工艺要求而改变时，多余的光刻胶或显影液在旋涂工艺过程中飞溅出一个扇形的圆周，造成顶部的旋涂废液收集杯脏污，如果清理不及时则会造成晶圆的污染问题。
目前，直接手动清洗旋涂废液收集杯内壁的方式效率低，操作困难；而拆卸旋涂废液收集杯单独清洗，又需要花费拆装的时间，因此清洗不方便。
发明内容
因此，本发明实施例提供一种旋涂废液收集杯清洗辅助工具及旋涂装置，有效解决旋涂工艺中多余的光刻胶和显影液飞溅至旋涂废液收集杯内，旋涂废液收集杯清洗效率低的问题。
一方面，本发明实施例提供一种旋涂废液收集杯清洗辅助工具，所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具设于晶圆承载座；所述旋涂废液收集杯内设置有清洗液喷座，所述清洗液喷座环绕设置在旋涂废液收集杯清洗辅助工具下端；所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具包括：清洗底座，所述清洗底座设于所述晶圆承载座并覆盖所述晶圆承载座的顶面；入液腔体，所述入液腔体围绕清洗底座设置，所述入液腔体设有朝向所述清洗液喷座的入液开口，以及位于所述入液开口远离所述清洗底座一侧的集液槽，其中，清洗液从所述入液开口进入，由所述入液腔体的内壁阻挡后进入所述集液槽；多个出液口，所述出液口连通所述集液槽，并朝向所述旋涂废液收集杯的内壁，其中，多个所述出液口中至少包括两种高度不同的所述出液口。
与现有技术相比，采用该技术方案后所达到的技术效果：清洗液喷座喷出的清洗液受到所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具阻挡后，不会从所述旋涂废液收集杯顶部喷出，而是可以导入所述集液槽中，实现缓冲，清洗液在集液槽中沿圆周方向铺开，再从所述出液口喷出，因此清洗液不会以集中的水柱状态接触所述旋涂废液收集杯，使清洗液充分利用；清洗液从所述集液槽中沿多个不同高度的所述出液口喷出，从而清洗所述旋涂废液收集杯内壁不同高度的位置，在所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具与所述晶圆承载座固定后，所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具随所述晶圆承载座旋转，从而实现所述旋涂废液收集杯的充分清洗，提高了清洗效率；在清洗前所述旋涂废液收集杯无需拆卸，因此清洗过程更加方便。
进一步的，所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具还包括：导流件，所述导流件围绕所述清洗底座设置，所述导流件和所述清洗底座之间形成所述入液开口，所述集液槽设于所述导流件远离所述清洗液喷座的一侧。
采用该技术方案后所达到的技术效果：所述导流件用于设置所述集液槽以容纳清洗液，并引导清洗液从所述出液口喷出。
进一步的，所述导流件包括集液板和连接件，所述集液槽开设于所述集液板，所述连接件设于所述集液板远离所述入液开口的一侧；其中，出液口开设于所述连接件。
采用该技术方案后所达到的技术效果：从所述入液开口进入的清洗液被所述入液腔体的内壁阻挡后可以进入所述集液槽，得到初步缓冲，集液槽内的清洗液从出液口喷出，得到进一步限流和缓冲，清洗液经过多个出液口后能够均匀清洗所述旋涂废液收集杯。
进一步的，所述集液槽底面为斜面，所述集液槽底面靠近所述入液开口的一侧，高于所述集液槽底面远离所述入液开口的一侧。
采用该技术方案后所达到的技术效果：清洗液进入所述集液槽后能够沿集液槽的方向从靠近所述入液开口的一侧流动至远离所述入液开口的一侧，便于清洗液从出液口喷出。
进一步的，所述连接件周向设置多个出液单元，每个出液单元由至少两种不同高度和/或不同倾斜程度的所述出液口组成。
采用该技术方案后所达到的技术效果：每个所述出液单元能够对所述旋涂废液收集杯的一侧进行清洗，通过设置不同高度的出液口，可以对所述旋涂废液收集杯对应一侧的不同高度位置进行清洗，而设置不同倾斜程度的出液口，还可以对所述旋涂废液收集杯的任意位置进行不同方向的冲洗，因此有效提高了所述旋涂废液收集杯的清洗效果。
进一步的，所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具包括：连接盘，所述连接盘覆盖于所述导流件和所述清洗底座的顶部；并且，所述连接盘与所述导流件可拆卸连接，和/或，所述连接盘与所述清洗底座可拆卸连接。
采用该技术方案后所达到的技术效果：所述连接盘与所述导流件可拆卸连接，便于单独加工所述连接盘与所述导流件，因此所述集液槽和所述出液口的加工更加方便，同时，分离所述连接盘与所述导流件，便于所述集液槽和所述出液口的清洗；所述连接盘与所述清洗底座可拆卸连接，便于单独加工所述连接盘与所述清洗底座。
另一方面，本发明实施例还提供一种旋涂装置，包括上述任一实施例提供的旋涂废液收集杯清洗辅助工具，所述旋涂装置还包括：旋涂废液收集杯，所述旋涂废液收集杯内具有匀胶腔体；晶圆承载座，所述晶圆承载座设于所述匀胶腔体，用于承载所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具；清洗液喷座，设于所述晶圆承载座周侧，所述清洗液喷座朝向所述入液开口。
采用该技术方案后所达到的技术效果：所述旋涂装置将所述晶圆承载座上的晶圆替换为所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具，所述晶圆承载座通过真空吸附或静电吸附的方式固定所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具，此时开启所述清洗液喷座，清洗液经过所述集液槽实现缓冲并沿圆周方向铺开，经过多个不同高度的所述出液口实现对所述旋涂废液收集杯内壁的均匀清洗。
进一步的，所述旋涂废液收集杯还包括：第一开口，所述第一开口能够容纳所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具；第一挡液件，所述第一挡液件周向设于所述第一开口，并朝向所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具。
采用该技术方案后所达到的技术效果：所述第一开口便于装入旋涂废液收集杯清洗辅助工具，所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具阻挡清洗液从所述第一开口喷出；所述第一挡液件用于阻挡所述旋涂废液收集杯内壁的清洗液反溅至所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具上方，导致所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具上方被污染。
进一步的，所述旋涂装置还包括：第二壳体，所述第二壳体位于所述旋涂废液收集杯内，所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具设于所述旋涂废液收集杯和所述第二壳体之间，所述第二壳体包括：第二开口和围绕所述第二开口的第二挡液件，所述第二挡液件朝向所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具。
采用该技术方案后所达到的技术效果：清洗液经过所述入液腔体缓冲后，一部分从出液口喷出用于清洗所述旋涂废液收集杯的内表面，另一部分流动至第二壳体的上表面，用于 清洗所述第二壳体的上表面；其中，第二挡液件用于避免清洗液从第二开口进入清洗液喷座所在空间。
进一步的，所述旋涂装置还包括：排液底座，所述排液底座连接所述旋涂废液收集杯，所述排液底座包括：排液槽；其中，所述旋涂废液收集杯和所述第二壳体之间形成排液通道，所述排液通道连通所述排液槽。
采用该技术方案后所达到的技术效果：所述排液槽用于收集所述旋涂废液收集杯和所述第二壳体的清洗后的清洗液，实现集中回收。
综上所述，本申请上述各个实施例可以具有如下一个或多个优点或有益效果：i)清洗液喷座喷出的清洗液由受到所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具阻挡后，不会从所述旋涂废液收集杯顶部的第一开口喷出，而是可以导向所述旋涂废液收集杯的内壁，避让所述第二壳体，实现对所述旋涂废液收集杯的内壁的清洗；ii)清洗液在所述集液槽中沿圆周方向铺开，再从所述出液口喷出，因此清洗液不会以集中的水柱状态接触所述旋涂废液收集杯，使清洗液能够充分利用；iii)多个不同高度的出液口可以清洗所述旋涂废液收集杯上的不同位置，多个不同倾斜程度的出液口可以以不同角度冲洗所述旋涂废液收集杯，使得所述旋涂废液收集杯能够获得更加全面的清洗效果；iv)所述连接盘与所述导流件可拆卸连接，便于所述集液槽和所述出液口的加工和清洗；v)所述集液槽为斜面，清洗液进入所述集液槽后能够沿集液槽的方向从靠近所述入液开口的一侧流动至远离所述入液开口的一侧，便于清洗液从出液口喷出；vi)通过所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具实现对所述旋涂废液收集杯内壁的清洗，在清洗前所述旋涂废液收集杯无需拆卸，因此清洗过程更加方便。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明第一实施例提供的一种旋涂废液收集杯清洗辅助工具的结构示意图。
图2为图1中的旋涂废液收集杯清洗辅助工具另一视角的结构示意图。
图3为图2中A-A方向的剖视图。
图4为图3中导流件的结构示意图。
图5为本发明第二实施例提供的一种旋涂装置的结构示意图。
图6为图5中旋涂装置的另一视角结构示意图。
图7为图6中B-B方向的剖视图。
主要元件符号说明：
100为旋涂废液收集杯清洗辅助工具；110为清洗底座；120为入液腔体；121为入液开口；122为集液槽；123为出液口；130为导流件；131为集液板；132为连接件；140为连接盘；200为旋涂装置；210为旋涂废液收集杯；211为第一开口；212为第一挡液件；220为晶圆承载座；230为清洗液喷座；240为第二壳体；241为第二开口；242为排液通道；243为环形限位件；244为第二挡液件；250为排液底座；251为排液槽；252为第二支撑件；260为背喷板；261为第一支撑件。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
【第一实施例】
参见图1-图7，本发明第一实施例提供一种旋涂废液收集杯清洗辅助工具100，旋涂废液收集杯清洗辅助工具100设于晶圆承载座220；旋涂废液收集杯210内设置有清洗液喷座230，清洗液喷座230环绕设置在旋涂废液收集杯清洗辅助工具100下端；旋涂废液收集杯清洗辅助工具100包括：清洗底座110，清洗底座110设于晶圆承载座220并覆盖晶圆承载座220的顶面；入液腔体120，入液腔体120围绕清洗底座110设置，入液腔体120设有朝向清洗液喷座230的入液开口121，以及位于入液开口121远离清洗底座110一侧的集液槽122。
在一个具体的实施例中，旋涂废液收集杯清洗辅助工具100例如还包括：导流件130，导流件130围绕清洗底座110，导流件130和清洗底座110之间形成入液开口121。举例来说，导流件130内侧和清洗底座110外侧形成同心的环形结构，使得旋涂废液收集杯清洗辅助工具100随晶圆承载座220旋转，入液开口121各处进入的清洗液的量相同，旋涂废液收集杯210内壁各处能够得到均匀的清洗效果。其中，入液开口121可以是圆环状整圆开口，形成在导流件130内侧和清洗底座110外侧之间，或者是入液开口121是多个间隔分布的开口，依次等间距设置在导流件130内侧和清洗底座110外侧之间。
优选的，旋涂废液收集杯清洗辅助工具100例如还包括：多个出液口123，出液口123连通集液槽122，并朝向旋涂废液收集杯210的内壁。集液槽122设于导流件130远离清洗液喷座230的一侧，从而容纳清洗液，并引导清洗液从出液口123喷出。
需要说明的是，清洗液从入液开口121进入，由入液腔体120的内壁阻挡后进入集液槽122。因此，清洗液喷座230喷出的清洗液受到旋涂废液收集杯清洗辅助工具100阻挡后，不会从旋涂废液收集杯210顶部喷出，而是可以导入集液槽122中，实现缓冲，清洗液在集液槽122中沿圆周方向铺开，再从出液口123喷出，因此清洗液不会以集中的水柱状态接触旋涂废液收集杯210，使清洗液充分利用。
在一个具体的实施例中，多个出液口123中至少存在两种不同高度的出液口123。清洗液从集液槽122中沿多个不同高度的出液口123喷出，从而清洗旋涂废液收集杯210内壁不同高度的位置，在旋涂废液收集杯清洗辅助工具100与晶圆承载座220固定后，旋涂废液收集杯清洗辅助工具100随晶圆承载座220旋转，从而实现旋涂废液收集杯210的充分清洗，提高了清洗效率；在清洗前旋涂废液收集杯210无需拆卸，因此清洗过程更加方便。
在一个具体的实施例中，导流件130例如包括集液板131和连接件132，集液板131沿水平方向设置，连接件132的设置方向与集液板倾斜或垂直，例如连接件132竖直设置。集液槽122开设于集液板131上，连接件132设于集液板131远离入液开口121的一侧；其中，出液口123开设于连接件132。其中，从入液开口121进入的清洗液被入液腔体120的内壁阻挡后可以进入集液槽122，得到初步缓冲，集液槽122内的清洗液从出液口123喷出，得到进一步限流和缓冲，清洗液经过多个出液口123后能够均匀清洗旋涂废液收集杯210。
在一个具体的实施例中，集液槽122底面为斜面，集液槽122底面靠近入液开口121的一侧，高于集液槽122远离入液开口121的一侧。其中，清洗液进入集液槽122后能够沿集液槽122的方向从靠近入液开口121的一侧流动至远离入液开口121的一侧，便于清洗液从出液口123喷出。
当然，集液槽122的底面也可以是弧面，此处不做限定。
在一个具体的实施例中，连接件132周向设置多个出液单元，每个出液单元由至少两种不同高度和/或不同倾斜程度的出液口123组成。其中，每个出液单元能够对旋涂废液收集杯210的一侧进行清洗，通过设置不同高度的出液口123，可以对旋涂废液收集杯210对应一侧的不同高度位置进行清洗，而设置不同倾斜程度的出液口123，还可以对旋涂废液收集杯210的任意位置进行不同方向的冲洗，因此有效提高了旋涂废液收集杯210的清洗效果。
优选的，出液单元的数量例如为8个、10个、12个，此处不做限定，所有出液单元沿连接件132周向均匀设置。
优选的，每个出液单元例如包括三个出液口123，三个出液口123由高到低为第一出液口123，第二出液口123和第三出液口123，举例来说，第一出液口123内的清洗液斜向上喷出，第二出液口123的清洗液水平喷出，第三出液口123的清洗液斜向下喷出，此处不做限定。
在一个具体的实施例中，旋涂废液收集杯清洗辅助工具100例如包括：连接盘140，连接盘140覆盖于导流件130和清洗底座110的顶部；并且，连接盘140与导流件130可拆卸连接，和/或，连接盘140与清洗底座110可拆卸连接。其中，连接盘140与导流件130可拆卸连接，便于单独加工连接盘140与导流件130，因此集液槽122和出液口123的加工更加方便，同时，分离连接盘140与导流件130，便于集液槽122和出液口123的清洗；连接盘140与清洗底座110可拆卸连接，便于单独加工连接盘140与清洗底座110。
举例来说，连接盘140与导流件130之间，以及连接盘140与清洗底座110之间，均可以通过螺钉和螺纹孔的方式连接。
【第二实施例】
参见图5-图7，本发明第二实施例还提供一种旋涂装置200，包括上述任一具体实施例提供的旋涂废液收集杯清洗辅助工具100，旋涂装置200还包括：旋涂废液收集杯210，旋涂废液收集杯210内具有匀胶腔体；晶圆承载座220，晶圆承载座220设于匀胶腔体，用于承载旋涂废液收集杯清洗辅助工具100；清洗液喷座230，设于晶圆承载座220周侧，清洗液喷座230朝向入液开口121。
需要说明的是，旋涂装置200将晶圆承载座220上的晶圆替换为旋涂废液收集杯清洗辅助工具100，晶圆承载座220通过真空吸附或静电吸附的方式固定旋涂废液收集杯清洗辅助工具100，此时开启清洗液喷座230，清洗液经过集液槽122实现缓冲并沿圆周方向铺开，经过多个不同高度的出液口123实现对旋涂废液收集杯210内壁的均匀清洗。
在一个具体的实施例中，旋涂废液收集杯210例如还包括：第一开口211，第一开口211能够容纳旋涂废液收集杯清洗辅助工具100；其中，出液口123的对应旋涂废液收集杯210的内壁的位置，低于第一开口211的边缘。第一开口211便于装入旋涂废液收集杯清洗辅助工具100，旋涂废液收集杯清洗辅助工具100阻挡清洗液从第一开口211喷出。
优选的，旋涂废液收集杯210例如还包括：第一挡液件212，第一挡液件212周向设于第一开口211，并朝向旋涂废液收集杯清洗辅助工具100。其中，第一挡液件212用于阻挡旋涂废液收集杯210内壁的清洗液反溅至旋涂废液收集杯清洗辅助工具100上方，导致旋涂废液收集杯清洗辅助工具100上方被污染。
在一个具体的实施例中，旋涂废液收集杯210例如还包括：第二壳体240，第二壳体240位于旋涂废液收集杯210内，旋涂废液收集杯清洗辅助工具100设于旋涂废液收集杯210和第二壳体240之间。清洗液经过入液腔体120缓冲后，一部分从出液口123喷出用于清洗旋涂废液收集杯210的内表面，另一部分流动至第二壳体240的上表面，用于清洗第二壳体240的上表面。
优选的，第二壳体240例如包括：第二开口241和围绕第二开口241的第二挡液件244，第二挡液件244朝向旋涂废液收集杯清洗辅助工具100。其中，第二挡液件244用于避免清洗液从第二开口241进入清洗液喷座230所在空间。
在一个具体的实施例中，旋涂装置200例如还包括：排液底座250，排液底座250连接旋涂废液收集杯210，排液底座250包括：排液槽251；其中，旋涂废液收集杯210和第二壳体240之间形成排液通道242，排液通道242连通排液槽251。排液槽251用于收集旋涂废液收集杯210和第二壳体240的清洗后的清洗液，实现集中回收。
优选的，排液底座250顶部套接于旋涂废液收集杯210外，使旋涂废液收集杯210内壁流下的清洗液能够全部进入排液槽251。
在一个具体的实施例中，排液底座250例如还包括至少一个排液管，连通排液槽251，用于导出排液槽251收集的清洗液。举例来说，排液管位于排液槽251相对的两侧，也可以沿排液槽251周向设置；排液槽251的底面靠近排液管的一侧向下倾斜，以便于清洗液排出。
优选的，旋涂装置200例如还包括：背喷板260，背喷板260用于安装清洗液喷座230，背喷板260中心设有驱动过孔，用于穿过晶圆承载座220。其中，背喷板260周侧环绕有第一支撑件261，排液底座250内侧环绕有第二支撑件252，第二支撑件252与第一支撑件261的顶面和侧面配合，实现排液底座250和背喷板260的快速装配。
进一步的，第二壳体240底部设有同心设置两个环形限位件243，其中，第二壳体240设于第二支撑件252上，并且两个环形限位件243卡设于第二支撑件252的内侧和外侧，实现第二壳体240的定位，以及快速装配。
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种旋涂废液收集杯清洗辅助工具，其特征在于，所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具设于晶圆承载座；所述旋涂废液收集杯内设置有清洗液喷座，所述清洗液喷座环绕设置在旋涂废液收集杯清洗辅助工具下端；
所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具包括：
清洗底座，所述清洗底座设于所述晶圆承载座并覆盖所述晶圆承载座的顶面；
入液腔体，所述入液腔体围绕所述清洗底座设置，所述入液腔体设有朝向所述清洗液喷座的入液开口，以及位于所述入液开口远离所述清洗底座一侧的集液槽，其中，清洗液从所述入液开口进入，由所述入液腔体的内壁阻挡后进入所述集液槽；
多个出液口，所述出液口连通所述集液槽，并朝向所述旋涂废液收集杯的内壁，其中，多个所述出液口中至少包括两种高度不同的所述出液口。
2.根据权利要求1所述的旋涂废液收集杯清洗辅助工具，其特征在于，所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具还包括：
导流件，所述导流件围绕所述清洗底座设置，所述导流件和所述清洗底座之间形成所述入液开口，所述集液槽设于所述导流件远离所述清洗液喷座的一侧。
3.根据权利要求2所述的旋涂废液收集杯清洗辅助工具，其特征在于，所述导流件包括集液板和连接件，所述集液槽开设于所述集液板，所述连接件设于所述集液板远离所述入液开口的一侧；
其中，所述出液口开设于所述连接件。
4.根据权利要求3所述的旋涂废液收集杯清洗辅助工具，其特征在于，所述集液槽底面为斜面，所述集液槽底面靠近所述入液开口的一侧，高于所述集液槽底面远离所述入液开口的一侧。
5.根据权利要求3所述的旋涂废液收集杯清洗辅助工具，其特征在于，所述连接件周向设置多个出液单元，每个出液单元由至少两种不同高度和/或不同倾斜程度的所述出液口组成。
6.根据权利要求2-5任一项所述的旋涂废液收集杯清洗辅助工具，其特征在于，所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具包括：
连接盘，所述连接盘覆盖于所述导流件和所述清洗底座的顶部；并且，所述连接盘与所述导流件可拆卸连接，和/或，所述连接盘与所述清洗底座可拆卸连接。
7.一种旋涂装置，其特征在于，包括权利要求1-6任一项所述的旋涂废液收集杯清洗辅助工具，所述旋涂装置还包括：
旋涂废液收集杯，所述旋涂废液收集杯内具有匀胶腔体；
晶圆承载座，所述晶圆承载座设于所述匀胶腔体，用于承载所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具；
清洗液喷座，设于所述晶圆承载座周侧，所述清洗液喷座朝向所述入液开口。
8.根据权利要求7所述的旋涂装置，其特征在于，所述旋涂废液收集杯还包括：
第一开口，所述第一开口能够容纳所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具；
第一挡液件，所述第一挡液件周向设于所述第一开口，并朝向所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具。
9.根据权利要求8所述的旋涂装置，其特征在于，所述旋涂装置还包括：
第二壳体，所述第二壳体位于所述旋涂废液收集杯内，所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具设于所述旋涂废液收集杯和所述第二壳体之间，所述第二壳体包括：第二开口和围绕所述第二开口的第二挡液件，所述第二挡液件朝向所述旋涂废液收集杯清洗辅助工具。
10.根据权利要求9所述的旋涂装置，其特征在于，所述旋涂装置还包括：
排液底座，所述排液底座连接所述旋涂废液收集杯，所述排液底座包括：排液槽；
其中，所述旋涂废液收集杯和所述第二壳体之间形成排液通道，所述排液通道连通所述排液槽。
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