CN115176089A - 真空泵及真空泵用零件 - Google Patents

Abstract

为了不将固定翼、旋转翼的材料、构造变更而实现转子的效率良好的散热，真空泵（P）具有气体吸气口（2）和气体排气口（3）的外装壳（1）以及在外装壳（1）中旋转的转子（6），借助转子（6）的旋转，进行从气体吸气口（2）向气体排气口（3）的气体的排气；在真空泵（P）中，将转子（6）的形状做成大致圆筒形状，在转子（6）的内周面与定子柱（4）之间流动着吹扫气体（PG），所述定子柱（4）与转子（6）的内周面的至少一部分对置，并且在吹扫气体（PG）的流路设置有将吹扫气体（PG）的流动扰乱的突起（41）或槽（43）。

Description

真空泵及真空泵用零件

技术领域

本发明涉及作为半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能面板制造装置等的工艺腔室、其他密闭腔室的气体排气机构利用的真空泵及真空泵用零件。

背景技术

以往，作为通过对气体分子赋予动能而进行气体的压缩、将所吸气的气体向排气口放出的真空泵，已知有以下的真空泵：具备安装于壳体内壁的多个定子翼、具有与前述定子翼对置的多个旋转翼叶片的转子、以及在前述转子的内周面设置规定的间隙而对置的固定部（定子柱），通过使多个旋转翼叶片高速旋转来进行气体的抽吸、排气。

此外，在上述真空泵中，还提出了在上述结构的真空泵的后段组合了螺纹槽泵的结构。

顺便说一下，在半导体制造中使用这种真空泵的情况下，最近随着半导体制造技术发展，容易固体化的工艺气体被使用，在此情况下，特别是为了防止生成物的堆积而需要螺纹槽泵的高温化。

另一方面，转子的多个旋转翼叶片因气体分子的碰撞热等而成为高温，所以需要将在该转子部产生的热适当地散热。

作为将在转子部产生的热散热的技术，一般是用固定翼接受来自旋转翼叶片表面的辐射热、将该热经由固定翼间隔件、壳体向外部散热的方法，作为其之一，以往已知有专利文献1中记载的“分子泵”。

该专利文献1中记载的“分子泵”构成为，在比设置在最上段的转子翼靠下游，在与转子部对置并且与气体的流路面对的区域的定子叶片32的表面，形成朝向气体的流路伸出的板状的翅片（fin）51，借助该翅片51的形成，将定子叶片32的表面积扩大，使得容易接受来自旋转翼叶片表面的辐射热，同时，由此进一步减少经过定子翼22的气体分子的数量，通过使碰撞于定子叶片32而成为低温的气体分子的数量增加，使转子翼21的冷却效率提高。

但是，在上述专利文献1所记载的“分子泵”中，需要在定子叶片的表面上形成板状的翅片等的构造的变更。

却说，在专利文献2中公开了在转子的内周面与对置于该转子的内周面的定子柱之间流动着非活性气体的“真空泵”。

根据该专利文献2的“真空泵”，虽然不需要定子叶片等的构造的变更，此外也不需要变更旋转翼的材料、构造等，但由于在转子的内周面与定子柱之间流动的非活性气体成为层流，所以有不能进行利用该非活性气体的对流热传递的效率良好的转子的散热这一问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004－278500号公报

专利文献2：日本特开2003－184785号公报。

发明内容

发明要解决的课题

鉴于此，本发明是为了解决这样的问题而做出的，其目的在于提供一种能够不变更固定翼、旋转翼的材料、构造而进行转子的效率良好的散热的真空泵及真空泵用零件。

用来解决课题的手段

为了达成上述的目的，技术方案1所记载的发明是一种真空泵，具有吸气口和排气口的壳体以及在前述壳体内旋转的转子，借助前述转子的旋转，进行从前述吸气口向前述排气口的气体的排气，其特征在于，将前述转子的形状做成大致圆筒形状，在前述转子的内周面与固定部之间流动着非活性气体，所述固定部与前述转子的前述内周面的至少一部分对置，并且，在前述非活性气体的流路设置有将前述非活性气体的流动扰乱的流动扰乱部。

技术方案2所记载的发明在技术方案1所记载的发明中，其特征在于，前述流动扰乱部由形成于前述固定部的周面或前述转子的前述内周面的一个或多个突起部构成。

技术方案3所记载的发明在技术方案2所记载的发明中，其特征在于，前述突起部是板体形状。

技术方案4所记载的发明在技术方案2或3所记载的发明中，其特征在于，前述突起部具有相对于前述非活性气体的流动方向弯曲的部分。

技术方案5所记载的发明在技术方案2至4的任一项所记载的发明中，其特征在于，前述突起部在前述固定部的周面或前述转子的前述内周面从其轴向以规定角度倾斜而形成。

技术方案6所记载的发明在技术方案2至5的任一项所记载的发明中，其特征在于，前述突起部在前述固定部的周面或前述转子的前述内周面相对于从其轴向以规定角度倾斜的方向相互设置间隙而排列有多个。

技术方案7所记载的发明在技术方案1所记载的发明中，其特征在于，前述流动扰乱部由形成于前述固定部的周面或前述转子的前述内周面的一个或多个凹部构成。

技术方案8所记载的发明在技术方案7所记载的发明中，其特征在于，前述凹部是在前述固定部的周面或前述转子的前述内周面沿着其轴向形成的槽。

技术方案9所记载的发明在技术方案7或8所记载的发明中，其特征在于，前述凹部在前述固定部的周面或前述转子的前述内周面从其轴向以规定角度倾斜而形成。

技术方案10所记载的发明在技术方案7至9的任一项所记载的发明中，其特征在于，前述凹部在前述固定部的周面或前述转子的前述内周面相对于从其轴向以规定角度倾斜的方向相互设置间隙而排列有多个。

技术方案11所记载的发明是一种真空泵用零件，对应于在真空泵中使用的固定部，所述真空泵具有吸气口和排气口的壳体以及在前述壳体内旋转的转子，借助前述转子的旋转，进行从前述吸气口向前述排气口的气体的排气，将前述转子的形状做成大致圆筒形状，在前述转子的内周面与前述固定部之间流动着非活性气体，所述固定部与前述转子的前述内周面的至少一部分对置，并且在前述非活性气体的流路设置有将前述非活性气体的流动扰乱的流动扰乱部，该真空泵用零件的特征在于，在与前述转子的前述内周面对置的周面设置有将前述非活性气体的流动扰乱的前述流动扰乱部。

技术方案12所记载的发明是一种真空泵用零件，对应于在真空泵中使用的转子，所述真空泵具有吸气口和排气口的壳体以及在前述壳体内旋转的前述转子，借助前述转子的旋转，进行从前述吸气口向前述排气口的气体的排气，将前述转子的形状做成大致圆筒形状，在前述转子的内周面与固定部之间流动着非活性气体，所述固定部与前述转子的前述内周面的至少一部分对置，并且在前述非活性气体的流路设置有将前述非活性气体的流动扰乱的流动扰乱部，该真空泵用零件的特征在于，在与前述固定部对置的前述内周面上设置有将前述非活性气体的流动扰乱的前述流动扰乱部。

发明效果

根据本发明，由于真空泵具有吸气口和排气口的壳体以及在前述壳体内旋转的转子，借助前述转子的旋转，进行从前述吸气口向前述排气口的气体的排气，将前述转子的形状做成大致圆筒形状，即使是在前述转子的内周面与和前述转子的前述内周面的至少一部分对置的固定部之间、为了防止排气气体流入到内置电装品的前述固定部的内部而流动着非活性气体的情况，也在前述非活性气体的流路设置将前述非活性气体的流动扰乱的流动扰乱部而构成，所以能够不将旋转翼的材料、构造变更而进行效率良好的转子的散热。

附图说明

图1是应用了本发明的真空泵的剖视图。

图2是说明图1所示的真空泵的非活性气体的流动的图。

图3是表示有关本申请发明的真空泵的实施例1的图。

图4所示的是图3所示的真空泵的主要部放大图。

图5是表示在图3所示的真空泵中采用的将非活性气体的流动扰乱的流动扰乱部的另一例的图。

图6是有关本申请发明的真空泵的实施例2的主要部放大图。

图7是表示有关本申请发明的真空泵的实施例3的图。

图8是表示在图7所示的真空泵中采用的槽的一例的图。

图9是在图7所示的真空泵中采用的将非活性气体的流动扰乱的流动扰乱部的另一例的图。

图10是有关本申请发明的真空泵的实施例4的主要部放大图。

具体实施方式

以下，一边参照申请书中添附的附图一边对用来实施本发明的实施例详细地进行说明。

图1是应用了本发明的真空泵的剖视图。该图的真空泵P被作为半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能面板制造装置的工艺腔室、其他密闭腔室的气体排气机构等利用。

该真空泵P在外装壳1内具有借助旋转翼叶片13和固定翼叶片14将气体排气的翼排气部Pt、利用螺纹槽16将气体排气的螺纹槽排气部Ps、以及它们的驱动系统。

外装壳（壳体）1成为将筒状的泵壳1A和有底筒状的泵底座1B在其筒轴方向上用螺栓一体地连结的有底圆筒形。泵壳1A的上端部侧作为气体吸气口2开口，在泵底座1B的下端部侧面设置有气体排气口3。

气体吸气口2借助设置在泵壳1A上缘的凸缘1C处的未图示的螺栓，与例如半导体制造装置的工艺腔室等成为高真空的未图示的密闭腔室连接。气体排气口3与未图示的辅助泵以连通的方式连接。

在泵壳1A内的中央部设置有内置各种电装品的圆筒状的定子柱4，定子柱4其下端侧以螺纹件止动固定的形态立设在泵底座1B上。

在定子柱4的内侧设置有转子轴5，转子轴5以其上端部朝向气体吸气口2的方向、其下端部朝向泵底座1B的方向的方式配置。此外，转子轴5的上端部以从定子柱4的圆筒上端面向上方突出的方式设置。

转子轴5其径向和轴向被径向磁轴承10和轴向磁轴承11的磁力能够旋转地悬浮支承，被马达20旋转驱动。此外，在该转子轴5的上下端侧设置有保护轴承B1、B2。

在定子柱4的外侧设置有转子6。转子6是将定子柱4的外周包围的圆筒形状，与转子轴5一体化，并且构成为，以其转子轴5为旋转轴心在泵壳1A内旋转。

因而，在图1的真空泵P中，转子轴5、径向磁轴承10、10及轴向磁轴承11作为将转子6能够绕其轴心旋转地支承的支承机构发挥功能。此外，由于该转子6与转子轴5一体地旋转，所以将转子轴5旋转驱动的马达20作为将转子6旋转驱动的驱动机构发挥功能。

关于保护轴承B1和B2、径向磁轴承10及轴向磁轴承11的详细结构是业界周知的内容，所以省略说明。

在图1的真空泵P中，比转子6的大致中间靠上游（从转子6的大致中间到转子6的气体吸气口2侧端部的范围）作为翼排气部Pt发挥功能。以下，说明该翼排气部Pt的详细结构。

在比转子6的大致中间靠上游侧的转子6外周面，一体地设置有多个旋转翼叶片13。这些多个旋转翼叶片13成为从转子6外周面在转子径向上突出的形态，并且以转子6的旋转轴心（转子轴5）或外装壳1的轴心（以下称作“泵轴心”）为中心以放射状配置。此外，旋转翼叶片13是与转子6的外径加工部一体地借助切削加工而切出形成的切削加工品，以最适合于气体分子的排气的角度倾斜。

在泵壳1A的内周面侧设置有多个固定翼叶片14，这些固定翼叶片14成为从泵壳1A内周面朝向转子6外周面突出的形态，并且以泵轴心为中心以放射状配置。这些固定翼叶片14也还是与旋转翼叶片13同样，以最适合于气体分子的排气的角度倾斜。

而且，在图1的真空泵P中，通过将前述那样的多个旋转翼叶片13和固定翼叶片14沿着泵轴心交替地多段地配置，形成多段的翼排气部Pt。

在由以上的结构构成的翼排气部Pt中，借助马达20的起动，转子轴5、转子6及多个旋转翼叶片13一体地高速旋转，最上段的旋转翼叶片13对从气体吸气口2入射的气体分子赋予朝下方向的动量。具有该朝下方向的动量的气体分子被固定翼14向下一段的旋转翼叶片13侧送入。通过将这样的对于气体分子的动量的赋予和送入动作反复多段地进行，以气体吸气口2侧的气体分子朝向转子6的下游依次移行的方式进行排气。

在图1的真空泵P中，比转子6的大致中间靠下游（从转子6的大致中间到转子6的气体排气口3侧端部的范围）作为螺纹槽排气部（螺纹槽泵）Ps发挥功能。以下，说明该螺纹槽排气部Ps的详细结构。

比转子6的大致中间靠下游侧的转子6是作为螺纹槽排气部Ps的旋转部件旋转的部分，配置在螺纹槽排气部定子15的内侧。

螺纹槽排气部定子15是筒形的固定部件，以将转子6的外周（比转子6的大致中间靠下游）包围的方式配置。此外，该螺纹槽排气部定子15设置为，其下端部被泵底座1B支承。

在螺纹槽排气部定子15的内周部，形成有以深度朝向下方小径化的圆锥形状变化的螺纹槽16。该螺纹槽16从螺纹槽排气部定子15的上端到下端被以螺旋状刻设，成为借助该螺纹槽16在转子6与螺纹槽排气部定子15之间设置螺旋状的螺纹槽排气通路S的结构。另外，虽然图示省略，但也可以采用通过在转子6的内周面形成前面说明的螺纹槽16而设置螺纹槽排气通路S的结构。

在螺纹槽排气部Ps中，为了借助螺纹槽16和转子6的外周面处的拖拽（drag）效应将气体一边压缩一边移送，螺纹槽16的深度设定为，在螺纹槽排气通路S的上游入口侧（距气体吸气口2较近的通路开口端）最深，在其下游出口侧（距气体排气口3较近的通路开口端）最浅。

构成为，螺纹槽排气通路S的上游入口与在如前述那样以多段配置的旋转翼叶片13和固定翼叶片14中的最下段的翼（在图1的例子中是最下段的固定翼叶片14）的下游形成的间隙连通，此外，该螺纹槽排气通路S的下游出口与气体排气口3侧连通。

借助前面说明的由翼排气部Pt的排气动作带来的移送而到达了最下段的翼（在图1的例子中是旋转翼叶片13）的气体分子从螺纹槽排气通路S的上游入口移行到该螺纹槽排气通路S。移行后的气体分子借助由转子6的旋转产生的效应、即转子6的外周面和螺纹槽16处的拖拽效应，一边被从过渡流压缩为粘性流一边朝向气体排气口3移行，最终经由未图示的辅助泵被向外部排气。

图2是说明在图1所示的真空泵中采用的有关本发明的非活性气体（吹扫气体（purge gas））的流动的图。

如前述那样，内置各种电装品的圆筒状的定子柱4的外周被圆筒形状的转子6包围，吹扫气体PG被从外部经由吹扫气体注入路30注入到泵壳1A内，在从转子轴5的外壁与定子柱4的内壁的间隙到定子柱4的外壁与转子6的内壁的间隙连通的通路中流动，被从气体排气口3排气。

这里，作为吹扫气体PG而使用热传导率较高的例如氮气等，将蓄积于转子6的压缩热从转子6的内壁面经由吹扫气体PG向定子柱4的外壁面散热，进行转子6及旋转翼叶片13的冷却。

顺便说一下，在定子PG柱4的外壁与转子6的内壁的间隙中流动的吹扫气体PG在以往的结构中形成层流，即使作为吹扫气体PG而使用热传导率较高的例如氮气等，也不能得到作为转子6及旋转翼叶片13的冷却效果而满足的情况。

鉴于此，在本发明的真空泵中，在吹扫气体PG的流路形成将吹扫气体PG的流动扰乱的流动扰乱部，由此将吹扫气体PG的流动从层流尽可能变换为紊流，要将转子6及旋转翼叶片13的冷却效果改善。

以下，对本发明的真空泵的各种实施例详细地进行说明。

实施例 1

图3是表示有关本申请发明的真空泵的一实施例的图，图4是图3所示的真空泵的主要部放大图。在图3及图4中，该实施例1的真空泵在定子柱4的外周面（周面）形成多个突起41而构成。其他的结构与在图1及图2中说明的结构相同。

根据这样的结构，在定子柱4的外壁与转子6的内壁的间隙中流动的吹扫气体PG通过与多个突起41碰撞而其流动紊乱，结果，在定子柱4的外壁与转子6的内壁的间隙中流动的吹扫气体流从层流转变为紊流或接近于紊流的流动。作为设置多个突起41的优点可以举出：即使是借助上游侧的突起41转变为接近于紊流的流的流动在下游侧再次转变为层流的情况，也能够借助多个突起41使其再次转变为接近于紊流的流动，所以能够在较大的区域中形成接近于紊流的流。

这样，如果在定子柱4的外壁与转子6的内壁的间隙中流动的吹扫气体PG转变为紊流或接近于紊流的流动，则由吹扫气体PG进行的对流热传递被大幅改善，能够不将固定翼、旋转翼的材料、构造变更而进行效率良好的转子的散热。

另外，在图3及图4所示的实施例中，作为突起41而使用由长方体形状的板体构成的突起，但即使作为该突起41而使用图5（A）所示那样的由在吹扫气体PG的流动方向上凹陷的截面碗型的板体构成的突起411、图5（B）所示那样的由在吹扫气体PG的流动方向上隆起的截面逆碗型的板体构成的突起412、图5（C）所示那样的在吹扫气体PG的流动方向上隆起的截面弓型的板体413，也能够同样地构成。

此外，在图3及图4所示的实施例中，表示了作为突起41而形成多个突起的结构，但即使形成一个突起41，也能够将某种程度的吹扫气体PG的流动扰乱，能够改善由吹扫气体PG进行的对流热传递。

实施例 2

图6是有关本申请发明的真空泵的实施例2的主要部放大图，与图4所示的真空泵的主要部放大图对应。

在图6所示的实施例2中，代替图4所示的突起41而采用半球状的凸部42来构成。在图6所示的实施例2的真空泵中，在定子柱4的外壁与转子6的内壁的间隙中流动的吹扫气体PG通过与多个半球状的凸部42碰撞，其流动紊乱，结果，在定子柱4的外壁与转子6的内壁的间隙中流动的吹扫气体流从层流转变为紊流或接近于紊流的流动。

由此，在实施例2的真空泵中，由在定子柱4的外壁与转子6的内壁的间隙中流动的吹扫气体PG进行的对流热传递也被大幅改善，能够不将固定翼、旋转翼的材料、构造变更而进行效率良好的转子的散热。

实施例 3

图7是表示有关本申请发明的真空泵的实施例3的图。

在图7所示的实施例3的真空泵中，在定子柱4的外周面（周面）形成多个槽43而构成。其他的结构与在图1及图2中说明的结构相同。

如果将图7所示的槽43的形状用定子柱4的剖视图表示，则成为图8（A）所示那样。即，如图8（A）所示，槽43的形状形成为，使与定子柱4的轴正交的方向的截面形状成为矩形。即使形成该槽43，在定子柱4的外壁与转子6的内壁的间隙中流动的吹扫气体流也借助该槽43紊乱，从层流转变为紊流或接近于紊流的流动。由此，由在定子柱4的外壁与转子6的内壁的间隙中流动的吹扫气体PG进行的对流热传递被大幅改善，能够不将固定翼、旋转翼的材料、构造变更而进行效率良好的转子的散热。

另外，吹扫气体的规定角度的流动方向根据由上游侧与下游侧的压力差产生的定子柱4的轴向的速度成分、和借助由转子6的内周面带来的流体的拖拽效应产生的旋转的切线方向的速度成分的关系而产生。

图7所示的槽43的形状也可以如图8（B）所示那样形成与定子柱4的轴正交的方向的截面形状为具有沿着非活性气体的流动方向上升的倾斜部的锯齿形形状的槽44。即使形成该锯齿形形状的槽44，在定子柱4的外壁与转子6的内壁的间隙中流动的吹扫气体流也借助该槽44而紊乱，从层流转变为紊流或接近于紊流的流动。由此，由在定子柱4的外壁与转子6的内壁的间隙中流动的吹扫气体PG进行的对流热传递被大幅改善，能够不将固定翼、旋转翼的材料、构造变更而进行效率良好的转子的散热。

另外，在图7所示的实施例3中，将槽43沿着定子柱4的轴向形成，但也可以如图9所示那样，在定子柱4的周面形成沿着从其轴向以规定角度倾斜的妨碍吹扫气体PG的流动方向的方向形成的槽45。借助该槽45，在定子柱4的外壁与转子6的内壁的间隙中流动的吹扫气体流紊乱，从层流转变为紊流或接近于紊流的流动，由此由在定子柱4的外壁与转子6的内壁的间隙中流动的吹扫气体PG进行的对流热传递被大幅改善，能够不将固定翼、旋转翼的材料、构造变更而进行效率良好的转子的散热。

这里，作为槽45的形状，可以使用如图8（A）所示那样与定子柱4的轴正交的方向的截面形状成为矩形者，或者如图8（B）所示那样与定子柱4的轴正交的方向的截面形状成为具有沿着非活性气体的流动方向上升的倾斜部的锯齿形者。

实施例 4

图10是有关本申请发明的真空泵的实施例4的主要部放大图，与图6所示的真空泵的主要部放大图对应。

在图6所示的真空泵中，在定子柱4的表面采用多个半球状的凸部42而构成，但在图10所示的实施例4中，在定子柱4的表面采用多个半球状的凹部46而构成。其他的结构与在图6中说明的结构相同。

在该定子柱4的表面形成多个半球状的凹部46的结构中，在定子柱4的外壁与转子6的内壁的间隙中流动的吹扫气体流也紊乱，从层流转变为紊流或接近于紊流的流动，由此由在定子柱4的外壁与转子6的内壁的间隙中流动的吹扫气体PG进行的对流热传递被大幅改善，能够不将固定翼、旋转翼的材料、构造变更而进行效率良好的转子的散热。

另外，在上述实施例中，作为将吹扫气体PG的流动扰乱的流动扰乱部，说明了在定子柱4的周面形成多个突起41、411、412、413、凸部42、槽43、43、44、45、凹部46的结构，但作为将吹扫气体PG的流动扰乱的流动扰乱部，也可以构成为，在转子6的内壁形成与上述多个突起41、411、412、413、凸部42、槽43、43、44、45、凹部46对应的流动扰乱部。

借助这样的结构，在定子柱4的外壁与转子6的内壁的间隙中流动的吹扫气体流也紊乱，从层流转变为紊流或接近于紊流的流动，由此由在定子柱4的外壁与转子6的内壁的间隙中流动的吹扫气体PG进行的对流热传递被大幅改善，能够不将固定翼、旋转翼的材料、构造变更而进行效率良好的转子的散热。

另外，在上述实施例中，作为将吹扫气体PG的流动扰乱的流动扰乱部，表示了在定子柱4的表面或转子6的内周面形成多个突起或槽等的结构，但也可以构成为，将定子柱4的表面或转子6的内周面在表面处理等中粗面化而将吹扫气体PG的流动扰乱。

此外，设置在定子柱4的表面或转子6的内周面的流动扰乱部只要将吹扫气体PG的流动扰乱，是怎样的形状都可以，其个数及形成区域也能够采用各种个数及形成区域。

本发明并不限定于上述的实施方式，只要是本发明的技术思想的范围内，借助本领域技术人员的通常的创作能力能够进行许多变形。

附图标记说明

1 泵外装壳

1A 泵壳

1B 泵底座

1C 凸缘

2 气体吸气口

3 气体排气口

4 定子柱

5 转子轴

6 转子

7 凸台孔

9 肩部

10 径向磁轴承

11 轴向磁轴承

13 旋转翼叶片

14 固定翼叶片

15 螺纹槽排气部定子

16 螺纹槽

20 马达

30 吹扫气体注入路

41、411、412、413 突起

42 凸部

43、44、45 槽

46 凹部

B1、B2 保护轴承

P 真空泵

Pt 翼排气部

Ps 螺纹槽排气部

S 螺纹槽排气通路。

Claims (12)

1.一种真空泵，具有吸气口和排气口的壳体以及在前述壳体内旋转的转子，借助前述转子的旋转，进行从前述吸气口向前述排气口的气体的排气，其特征在于，

将前述转子的形状做成大致圆筒形状，在前述转子的内周面与固定部之间流动着非活性气体，所述固定部与前述转子的前述内周面的至少一部分对置，并且，

在前述非活性气体的流路设置有将前述非活性气体的流动扰乱的流动扰乱部。

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

前述流动扰乱部由形成于前述固定部的周面或前述转子的前述内周面的一个或多个突起部构成。

3.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

前述突起部是板体形状。

4.如权利要求2或3所述的真空泵，其特征在于，

前述突起部具有相对于前述非活性气体的流动方向弯曲的部分。

5.如权利要求2～4中任一项所述的真空泵，其特征在于，

前述突起部在前述固定部的周面或前述转子的前述内周面从其轴向以规定角度倾斜而形成。

6.如权利要求2～5中任一项所述的真空泵，其特征在于，

前述突起部在前述固定部的周面或前述转子的前述内周面相对于从其轴向以规定角度倾斜的方向相互设置间隙而排列有多个。

7.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

前述流动扰乱部由形成于前述固定部的周面或前述转子的前述内周面的一个或多个凹部构成。

8.如权利要求7所述的真空泵，其特征在于，

前述凹部是在前述固定部的周面或前述转子的前述内周面沿着其轴向形成的槽。

9.如权利要求7或8所述的真空泵，其特征在于，

前述凹部在前述固定部的周面或前述转子的前述内周面从其轴向以规定角度倾斜而形成。

10.如权利要求7～9中任一项所述的真空泵，其特征在于，

前述凹部在前述固定部的周面或前述转子的前述内周面相对于从其轴向以规定角度倾斜的方向相互设置间隙而排列有多个。

11.一种真空泵用零件，对应于在真空泵中使用的固定部，

所述真空泵具有吸气口和排气口的壳体以及在前述壳体内旋转的转子，借助前述转子的旋转，进行从前述吸气口向前述排气口的气体的排气，

将前述转子的形状做成大致圆筒形状，在前述转子的内周面与前述固定部之间流动着非活性气体，所述固定部与前述转子的前述内周面的至少一部分对置，并且在前述非活性气体的流路设置有将前述非活性气体的流动扰乱的流动扰乱部，

该真空泵用零件的特征在于，

在与前述转子的前述内周面对置的周面设置有将前述非活性气体的流动扰乱的前述流动扰乱部。

12.一种真空泵用零件，对应于在真空泵中使用的转子，

所述真空泵具有吸气口和排气口的壳体以及在前述壳体内旋转的前述转子，借助前述转子的旋转，进行从前述吸气口向前述排气口的气体的排气，

将前述转子的形状做成大致圆筒形状，在前述转子的内周面与固定部之间流动着非活性气体，所述固定部与前述转子的前述内周面的至少一部分对置，并且在前述非活性气体的流路设置有将前述非活性气体的流动扰乱的流动扰乱部，

该真空泵用零件的特征在于，

在与前述固定部对置的前述内周面上设置有将前述非活性气体的流动扰乱的前述流动扰乱部。

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