JP7463150B2 - 真空ポンプ及び真空ポンプ用部品 - Google Patents
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Description
1A ポンプケース
1B ポンプベース
1C フランジ
2 ガス吸気口
3 ガス排気口
4 ステータコラム
5 ロータ軸
6 ロータ
7 ボス孔
9 肩部
10 ラジアル磁気軸受
11 アキシャル磁気軸受
13 回転翼ブレード
14 固定翼ブレード
15 ネジ溝排気部ステータ
16 ネジ溝
20 モータ
30 パージガス注入路
41、411、412、413 突起
42 凸部
43、44、45 溝
46 凹部
B1、B2 保護ベアリング
P 真空ポンプ
Pt 翼排気部
Ps ネジ溝排気部
S ネジ溝排気通路
Claims (10)
- 吸気口と排気口を有するケーシングと、前記ケーシング内で回転するロータとを備え、前記ロータの回転により前記吸気口から前記排気口へのガスの排気を行う真空ポンプであって、
前記ロータの形状を略円筒形状とし、前記ロータの内周面と前記ロータの前記内周面の少なくとも一部に対向する固定部の外周面との間に略円筒形状のガス流通空間が区画され、前記ガス流通空間に不活性ガスを流すとともに、
前記ガス流通空間に前記不活性ガスの流れを乱す複数の流乱部を設け、
前記不活性ガスは、前記ロータの軸方向に対して傾斜するとともに前記ガス流通空間の周方向に対して傾斜する方向に沿って、前記ガス流通空間の軸方向の一側から他側へ流れ、
前記複数の流乱部は、前記ロータの前記軸方向に沿って互いに離間して並ぶとともに、前記ガス流通空間の前記周方向に沿って互いに離間して並ぶように、前記ガス流通空間の前記一側から前記他側までの領域に配置されている
ことを特徴とする真空ポンプ。 - 前記複数の流乱部の各々は、前記固定部の前記外周面もしくは前記ロータの前記内周面に形成された突起部からなる
ことを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。 - 前記突起部は、板体形状である
ことを特徴とする請求項2に記載の真空ポンプ。 - 前記突起部は、前記不活性ガスの流れ方向に対して湾曲した部分を有する
ことを特徴とする請求項2または3に記載の真空ポンプ。 - 前記突起部は、前記固定部の前記外周面または前記ロータの前記内周面に前記軸方向から所定角度傾斜し形成される
ことを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1項に記載の真空ポンプ。 - 前記突起部は、前記固定部の前記外周面または前記ロータの前記内周面に前記軸方向から所定角度傾斜した方向に対して互いに間隙を設けて複数配列されている
ことを特徴とする請求項2乃至5のいずれか1項に記載の真空ポンプ。 - 前記複数の流乱部の各々は、前記固定部の前記外周面または前記ロータの前記内周面に形成された凹部からなる
ことを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。 - 前記凹部は、前記固定部の前記外周面または前記ロータの前記内周面に前記軸方向から所定角度傾斜した方向に対して互いに間隙を設けて複数配列されている
ことを特徴とする請求項7に記載の真空ポンプ。 - 吸気口と排気口を有するケーシングと、前記ケーシング内で回転するロータとを備え、前記ロータの回転により前記吸気口から前記排気口へのガスの排気を行う真空ポンプであって、前記ロータの形状を略円筒形状とし、前記ロータの内周面と前記ロータの前記内周面の少なくとも一部に対向する固定部の外周面との間に略円筒形状のガス流通空間が区画され、前記ガス流通空間に不活性ガスを流すとともに、前記ガス流通空間に前記不活性ガスの流れを乱す複数の流乱部を設けた真空ポンプで用いられる前記固定部に対応する真空ポンプ用部品において、
前記ロータの前記内周面に対向する前記外周面上に前記不活性ガスの流れを乱す前記複数の流乱部を設け、
前記不活性ガスは、前記ロータの軸方向に対して傾斜するとともに前記ガス流通空間の周方向に対して傾斜する方向に沿って、前記ガス流通空間の軸方向の一側から他側へ流れ、
前記複数の流乱部は、前記ロータの前記軸方向に沿って互いに離間して並ぶとともに、前記ガス流通空間の前記周方向に沿って互いに離間して並ぶように、前記ガス流通空間の前記一側から前記他側までの領域に配置されている
ことを特徴とする真空ポンプ用部品。 - 吸気口と排気口を有するケーシングと、前記ケーシング内で回転するロータとを備え、前記ロータの回転により前記吸気口から前記排気口へのガスの排気を行う真空ポンプであって、前記ロータの形状を略円筒形状とし、前記ロータの内周面と前記ロータの前記内周面の少なくとも一部に対向する固定部の外周面との間に略円筒形状のガス流通空間が区画され、前記ガス流通空間に不活性ガスを流すとともに、前記ガス流通空間に前記不活性ガスの流れを乱す複数の流乱部を設けた真空ポンプで用いられる前記ロータに対応する真空ポンプ用部品において、
前記固定部の前記外周面に対向する前記内周面上に前記不活性ガスの流れを乱す前記複数の流乱部を設け、
前記不活性ガスは、前記ロータの軸方向に対して傾斜するとともに前記ガス流通空間の周方向に対して傾斜する方向に沿って、前記ガス流通空間の軸方向の一側から他側へ流れ、
前記複数の流乱部は、前記ロータの前記軸方向に沿って互いに離間して並ぶとともに、前記ガス流通空間の前記周方向に沿って互いに離間して並ぶように、前記ガス流通空間の前記一側から前記他側までの領域に配置されている
ことを特徴とする真空ポンプ用部品。
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