CN115135445A - 升降装置 - Google Patents

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CN115135445A
CN115135445A CN202180015338.2A CN202180015338A CN115135445A CN 115135445 A CN115135445 A CN 115135445A CN 202180015338 A CN202180015338 A CN 202180015338A CN 115135445 A CN115135445 A CN 115135445A
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下吉拓明
高嶋大介
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Nippon Thompson Co Ltd
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Abstract

升降装置(1)包括：第一基座部(10)、第二基座部(40)、第一轨道(21A、21B)、第一滑块(61A、61B)、第一定子模块(31)、多个第一磁铁(51)、工作台(70)、第二轨道(22A、22B)、第二滑块(62A、62B)、第二定子模块(32)、以及多个第二磁铁(52)。

Description

升降装置
技术领域
本公开涉及升降装置。本申请主张基于2020年3月31日申请的日本专利申请2020-062407号的优先权，并将所述日本专利申请所记载的全部内容援引于此。
背景技术
已知一种升降装置，具有：第一基座部；具有倾斜面的第二基座部；第一驱动机构，设置于第一基座部与第二基座部之间，使第二基座部在水平方向上移动；工作台；以及第二驱动机构，设置于工作台与第二基座部之间，使工作台沿着倾斜面移动(例如参照专利文献1)。在专利文献1中，第一驱动机构和第二驱动机构是滚珠丝杠，包括螺旋轴以及能够与螺旋轴的旋转连动地移动的螺母。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本实开平6-53042号公报
发明内容
发明所要解决的问题
在上述专利文献1的升降装置中，由于第一驱动机构以及第二驱动机构是滚珠丝杠，因此，存在升降装置的截面高度(与设置有升降装置的设置面垂直的方向上的升降装置的高度)变高的情况。在上述升降装置中，期望能够减小升降装置的截面高度，即实现紧凑化。因此，本发明的目的之一在于，提供一种能够实现紧凑化的升降装置。
解决问题的技术手段
本公开的升降装置，具有：第一基座部，具有平面状的第一面；第二基座部，包含与第一面对置的平面状的第二面、以及在与第一面垂直的方向即第一方向上配置于与第二面相反的一侧且相对于第一面倾斜的平面状的第三面；第一轨道，固定于第一面或第二面并呈直线状延伸；第一滑块，固定于第一面以及第二面中的未固定第一轨道的面，并且能够在第一轨道上行进；第一定子模块，固定于第一面或第二面，具有沿着第一轨道排列配置的多个第一线圈；多个第一磁铁，固定于第一面以及第二面中的未固定第一定子模块的面，与多个第一线圈对置，并且以磁场的朝向交替相反的方式排列配置；工作台，包含与第三面对置的平面状的第四面；第二轨道，固定于第三面或第四面，以相对于第一面倾斜的方式呈直线状延伸，并且在投影于与第一方向垂直的假想平面的投影像中与第一轨道平行地延伸；第二滑块，固定于第三面以及第四面中的未固定第二轨道的面，并且能够在第二轨道上行进；第二定子模块，固定于第三面或第四面，具有沿着第二轨道排列配置的多个第二线圈；以及多个第二磁铁，固定于第三面以及第四面中的未固定第二定子模块的面，与多个第二线圈对置，并且以磁场的朝向交替地相反的方式排列配置。
发明效果
根据上述升降装置，能够实现紧凑化。
附图说明
图1是表示升降装置的结构的概略立体图。
图2是表示升降装置的结构的概略主视图。
图3是表示升降装置的结构的概略侧视图。
图4是表示卸下了第二支撑部、第三支撑部、第二轨道、第二滑块、第二定子模块、第二磁铁以及工作台的状态下的升降装置的结构的概略立体图。
图5是表示卸下了第一磁铁、第二基座部、第二轨道、第二滑块、第二定子模块、第二磁铁以及工作台的状态下的升降装置的结构的概略立体图。
图6是表示卸下了第二滑块、第二磁铁以及工作台的状态下的升降装置的结构的概略立体图。
图7是表示卸下了第一基座部、第一轨道、第一滑块、第一定子模块以及第一磁铁的状态下的升降装置的结构的概略立体图。
图8是表示卸下了第一基座部、第一轨道、第一滑块、第一定子模块以及第一磁铁的状态下的升降装置的结构的概略立体图。
图9是表示卸下了第一基座部、第一轨道、第一滑块、第一定子模块、第一磁铁以及第二部分的状态下的升降装置的结构的概略立体图。
图10是表示卸下了第一基座部、第一轨道、第一滑块、第一定子模块、第一磁铁、第二磁铁以及工作台的状态下的升降装置的结构的概略立体图。
图11是表示升降装置的电连接状态的框图。
图12是表示升降装置升降中的状态的概略主视图。
图13是表示升降装置升降中的状态的概略主视图。
具体实施方式
[实施方式的概要]
首先，列举本公开的实施方式进行说明。本公开的升降装置，具有：第一基座部，具有平面状的第一面；第二基座部，包含与第一面对置的平面状的第二面、以及在与第一面垂直的方向即第一方向上配置于与第二面相反的一侧且相对于第一面倾斜的平面状的第三面；第一轨道，固定于第一面或第二面并呈直线状延伸；第一滑块，固定于第一面以及第二面中的未固定第一轨道的面，并且能够在第一轨道上行进；第一定子模块，固定于第一面或第二面，具有沿着第一轨道排列配置的多个第一线圈；多个第一磁铁，固定于第一面以及第二面中的未固定第一定子模块的面，与多个第一线圈对置，并且以磁场的朝向交替相反的方式排列配置；工作台，包含与第三面对置的平面状的第四面；第二轨道，固定于第三面或第四面，以相对于第一面倾斜的方式呈直线状延伸，并且在投影于与第一方向垂直的假想平面的投影像中与第一轨道平行地延伸；第二滑块，固定于第三面以及第四面中的未固定第二轨道的面，并且能够在第二轨道上行进；第二定子模块，固定于第三面或第四面，具有沿着第二轨道排列配置的多个第二线圈；以及多个第二磁铁，固定于第三面以及第四面中的未固定第二定子模块的面，与多个第二线圈对置，并且以磁场的朝向交替地相反的方式排列配置。
在本公开的升降装置中，通过使流过第一线圈的电流的朝向变化，从而使第一基座部与第一磁铁之间的磁通密度变化，第二基座部能够沿着第一轨道延伸的方向(例如水平方向)移动。另外，通过使流过第二线圈的电流的朝向变化，使第二基座部与第二磁铁之间的磁通密度变化，工作台能够沿着第二轨道延伸的方向(倾斜方向)移动。
在此，例如，若以第一轨道与水平面平行的方式设置升降装置，则第二轨道相对于水平面倾斜。在第二轨道相对于水平面的倾斜角为θ(rad)的情况下，若工作台相对于第二基座部移动距离d，则工作台沿铅垂方向移动d×sin(θ)并且沿水平方向移动d×cos(θ)。此时，通过使第二基座部相对于第一基座部向与上述工作台的水平方向的移动方向相反的方向移动d×cos(θ)，能够使工作台在不改变水平方向的位置的情况下在铅垂方向上移动(升降)。
通过采用这样的结构，即使不设置使工作台沿铅垂方向移动的直动引导设备，也能够使工作台升降。另外，由于本公开的升降装置未使用滚珠丝杠作为用于使第一滑块、第二滑块行进的驱动源，因此能够实现升降装置的紧凑化。这样，根据本公开的升降装置，能够提供一种能够实现升降装置的紧凑化的升降装置。
在上述升降装置中，还可以具有弹性构件，该弹性构件具有沿着第二轨道延伸的形状，并且包括固定于第二基座部的第一端部以及固定于工作台的第二端部，能够限制工作台相对于第二基座部以接近第一基座部的方式相对移动。通过采用这样的结构，在停止向升降装置供给电力时，能够抑制工作台滑落而向第一基座部靠近。另外，通过施加于工作台的弹性构件的张力，使工作台70容易以离开第一基座部的方式移动。
在上述升降装置中，弹性构件也可以是螺旋弹簧。螺旋弹簧的中心轴以沿着第二轨道延伸的方向的方式配置。螺旋弹簧适合作为升降装置的弹性构件。
在上述升降装置中，还可以具有：第一连接部，具有沿第二轨道延伸的第一贯通孔，并保持弹性构件的第一端部；以及螺钉，贯通第一贯通孔且被拧入工作台，将第一连接部固定于工作台。通过采用这样的结构，能够沿第二轨道延伸的方向调整第一连接部相对于工作台的固定位置，并且能够调整施加于工作台的弹性构件的张力。
[实施方式的具体例]
接着，参照附图对本公开的升降装置的具体的实施方式的一例进行说明。在以下的附图中，对相同或相当的部分标注相同的附图标记并省略对其重复说明。
图1是表示本公开的一个实施方式中的升降装置的结构的概略立体图。在图1中，Y轴方向是沿着第一面的长边的方向，X轴方向是沿着第一面的短边的方向，Z轴方向是与第一面(X-Y平面)垂直的方向。图2是表示升降装置的结构的概略主视图。图3是表示升降装置的结构的概略侧视图。图4是表示从图1中所示的升降装置卸下了第二支撑部、第三支撑部、第二轨道、第二滑块、第二定子模块、第二磁铁以及工作台的状态下的升降装置的结构的概略立体图。从表示内部的结构的观点出发，在图4中示出了局部切断一部分部件的状态。在图4中，带有阴影的区域对应于截面。图5是表示从图1所示的升降装置卸下了第一磁铁、第二基座部、第二轨道、第二滑块、第二定子模块、第二磁铁以及工作台的状态下的升降装置的结构的概略立体图。图6是表示从图1所示的升降装置卸下了第二滑块、第二磁铁、以及工作台的状态下的升降装置的结构的概略立体图。图7是表示从图1所示的升降装置卸下了第一基座部、第一轨道、第一滑块、第一定子模块以及第一磁铁的状态下的升降装置的结构的概略立体图。图8是与从图1所示的升降装置卸下了第一基座部、第一轨道、第一滑块、第一定子模块以及第一磁铁的状态对应地从与图7不同的视角观察时的立体图。图9是表示从图1所示的升降装置卸下了第一基座部、第一轨道、第一滑块、第一定子模块、第一磁铁以及第二部分的状态下的升降装置的结构的概略立体图。从表示内部的结构的观点出发，在图9中示出了局部切断一部分部件的状态。在图9中，带有阴影的区域对应于截面。图10是表示从图1所示的升降装置卸下了第一基座部、第一轨道、第一滑块、第一定子模块、第一磁铁、第二磁铁以及工作台的状态下的升降装置的结构的概略立体图。
参照图1～图4，本实施方式中的升降装置1具有第一基座部10、第二基座部40、第一轨道21A、21B、第一滑块61A、61B、第一定子模块31、以及多个第一磁铁51。升降装置1将使用了后述的线圈和磁铁的所谓线性马达设为驱动源。
第一基座部10具有平板状的形状。第一基座部10包括长方形状的平面即第一面10A。在第一面10A的外缘，沿着Y轴方向隔开间隔地形成有多个螺纹孔13。在第一面10A上固定有第一轨道21A、21B。以第一轨道21A、21B的形成有螺纹孔212的位置与第一基座部10的形成有螺纹孔(未图示)的位置一致的方式配置第一轨道21A、21B，通过拧入螺钉211，从而第一轨道21A、21B固定于第一基座部10。第一轨道21A、21B具有呈直线状延伸的形状。第一轨道21A、21B沿Y轴方向配置。第一轨道21A和第一轨道21B在X轴方向上隔开间隔地配置。
参照图4，第一定子模块31固定于第一面10A上。第一定子模块31包括平板状的基板316、多个第一线圈311、模制部312、电线313、以及保护片314。基板316配置于第一面10A上。以基板316的形成有螺纹孔(未图示)的位置与第一基座部10的形成有螺纹孔(未图示)的位置一致的方式配置基板316，通过拧入螺钉315，从而基板316固定于第一基座部10。从Z轴方向俯视观察时，基板316具有长方形状的形状。在基板316的表面上配置有多个第一线圈311。第一线圈311是电磁铁。多个第一线圈311沿着Y轴方向排列配置。第一线圈311具有平板环状的形状。第一线圈311的中心轴与X-Y平面交叉(在本实施方式中为正交)。多个第一线圈311彼此电连接。多个第一线圈311排列地配置，以使电流流过多个第一线圈311时，第一线圈311的磁场的朝向交替地相反。多个第一线圈311经由接线部与电线313电连接。电线313与外部电源电连接。
以覆盖基板316以及多个第一线圈311的方式配置有树脂制的模制部312。通过模制(mould)部312，多个第一线圈311固定于基板316上。构成模制部312的材料例如是环氧树脂。以覆盖模制部312的表面的方式配置有保护片314。保护片314例如通过粘接剂固定于模制部312。端板14、15沿着第一面10A的短边配置在第一面10A上。通过配置端板14、15，从而能够抑制后述的第二基座部40从第一基座部10滑落。以端板14、15的形成有螺纹孔(未图示)的位置与第一基座部10的形成有螺纹孔(未图示)的位置一致的方式配置端板14、15，通过拧入螺钉141、151，从而端板14、15固定于第一基座部10。参照图2，端板14、15具有衬垫14A、15A。参照图1和图2，在第一基座部10的Y轴方向上的中央设置有传感器11。传感器11的电线11a由固定于第一基座部10的支撑带12保持。
参照图1和图2，第二基座部40包括第一支撑部41、第二支撑部42、第三支撑部43。第一支撑部41具有平板状的形状。第一支撑部41包括在Z轴方向上的一个面41A、以及作为配置于与面41A相反的一侧的第二面的面41B。面41A、41B分别具有长方形状的形状。面41B与第一面10A对置。面41B与第一面10A平行地配置。第二支撑部42以与第一支撑部41的面41A接触的方式固定于第一支撑部41。第二支撑部42具有四棱柱状的形状。第二支撑部42包括与第一支撑部41的面41A接触的侧面42B、在Z轴方向上位于与侧面42B相反的一侧的侧面42A、以及连接侧面42A和侧面42B的侧面42C、42D。侧面42A相对于X-Y平面倾斜。侧面42A具有平面状的形状。参照图3，在第二支撑部42的侧面42C形成有凹部421。参照图1和图2，第三支撑部43以与第二支撑部42的侧面42A接触的方式固定于第二支撑部42。第三支撑部43具有平板状的形状。第三支撑部43包括在厚度方向上配置于与第二支撑部42相反的一侧的第三面的面43A。面43A具有长方形状的形状。面43A相对于X-Y平面倾斜地配置。面43A在Z轴方向上从第二支撑部42观察时配置于与第一支撑部41的面41B相反的一侧。参照图6，在面43A的外缘沿Y轴方向上隔开间隔地形成有多个螺纹孔433。以第三支撑部43的形成有螺纹孔433的位置与第二支撑部42的形成有螺纹孔(未图示)的位置一致的方式配置有第三支撑部43，并将螺钉422拧入螺纹孔433。
参照图4，在第一支撑部41的面41B上以与多个第一线圈311对置的方式固定有多个第一磁铁51。第一磁铁51是永久磁铁。第一磁铁51具有长方体状的形状。多个第一磁铁51沿着Y轴方向排列配置，以使磁场的朝向交替地相反。更具体而言，沿着Y轴方向，与第一线圈311对置的一侧的表面为N极的磁极即第一磁铁51和与第一线圈311对置的一侧的表面为S极的磁极的第一磁铁51交替地配置。参照图4和图5，在第一支撑部41的面41B上沿Y轴方向隔开间隔地固定有两组一对第一滑块61A、61B。以第一滑块61A、61B的形成有螺纹孔612的位置与第一支撑部41的形成有螺纹孔613的位置一致的方式配置有第一滑块61A、61B，通过拧入螺钉611，从而第一滑块61A、61B固定于第一支撑部41。第一滑块61A和第一滑块61B隔着多个第一磁铁51地配置。第一滑块61A能够在第一轨道21A上行进。第一滑块61B能够在第一轨道21B上行进。在本实施方式中，两个第一滑块61A和两个第一滑块61B安装于第一支撑部41。在第一支撑部41的面41B上以与传感器11对置的方式固定有线性标尺411。
参照图6～图9，升降装置1还具有第二轨道22A、22B、第二滑块62A、62B、第二定子模块32、多个第二磁铁52、以及工作台70。第二轨道22A、22B配置在第三支撑部43的面43A上。以第二轨道22A、22B的形成有螺纹孔212的位置与第三支撑部43的形成有螺纹孔(未图示)的位置一致的方式配置有第二轨道22A、22B，通过拧入螺钉212，从而第二轨道22A、22B固定于第三支撑部43。第二轨道22A、22B具有呈直线状延伸的形状。第二轨道22A、22B相对于第一面10A倾斜。在将第一轨道21A、21B以及第二轨道22A、22B投影于与Z轴方向垂直的X-Y平面的投影像中，第一轨道21A、21B与第二轨道22A、22B平行地配置。第二轨道22A和第二轨道22B在X轴方向上隔开间隔地配置。在本实施方式中，X轴方向上的第二轨道22A与第二轨道22B的间隔和第一轨道21A与第一轨道21B的间隔相同。在图6中，箭头W是沿着第二轨道22A、22B的延伸方向的方向。
参照图9，第二定子模块32固定于第三支撑部43的面43A上。第二定子模块32包括平板状的基板326、多个第二线圈321、模制部322、电线323、以及保护片324。基板326配置于第三支撑部43的面43A上。以基板326的形成有螺纹孔(未图示)的位置与第三支撑部43的形成有螺纹孔(未图示)的位置一致的方式配置有基板326，通过拧入螺钉325，基板326固定于第三支撑部43。在基板326上配置有多个第二线圈321。第二线圈321是电磁铁。多个第二线圈321沿着箭头W的方向排列配置。第二线圈321具有平板环状的形状。第二线圈321的中心轴与面43A交叉(在本实施方式中为正交)。多个第二线圈321彼此电连接。以在电流流过多个第二线圈321时第二线圈321的磁场的朝向交替地相反的方式配置有多个第二线圈321。多个第二线圈321经由接线部与电线323电连接。电线323与外部电源电连接。
以覆盖基板326以及多个第二线圈321的方式配置有树脂制的模制部322。通过模制部322，多个第二线圈321固定于基板326上。构成模制部322的材料例如是环氧树脂。以覆盖模制部322的表面的方式配置有保护片324。保护片324例如通过粘接剂而固定于模制部322。端板434、436沿着第三支撑部43的面43A的短边配置于面43A上。通过配置端板434、436，从而能够抑制后述的工作台70从第三支撑部43滑落。以端板434、436的形成有螺纹孔(未图示)的位置与第三支撑部43的形成有螺纹孔(未图示)的位置一致的方式配置有端板434、436，通过拧入螺钉435、437，从而端板434、436固定于第三支撑部43。端板434、436分别具有衬垫434A、436A。在第三支撑部43的面43A的长边的中央设置有传感器431。传感器431的电线431a由固定于第三支撑部43的支撑带432来保持。
参照图7～图9，工作台70包括第一部分71和第二部分72。第一部分71具有平板状的形状。第一部分71包括厚度方向上的一个面71A、和作为配置于与面71A相反的一侧的第四面的面71B。面71A、71B具有长方形状的形状。面71B与第三支撑部43的面43A对置。面71B与面43A平行地配置。第二部分72以与第一部分71的面71A上接触的方式固定于第一部分71。以第二部分72的形成有螺纹孔722的位置与第一部分71的形成有螺纹孔(未图示)的位置一致的方式配置有第二部分72，通过拧入螺钉721，第二部分72固定于第一部分71。第二部分72具有四棱柱状的形状。第二部分72包括在Z轴方向上与第一部分71相反的一侧的侧面72A。侧面72A具有平面状的形状。侧面72A与X-Y平面平行。
参照图9，在第一部分71的面71B上以与多个第二线圈321对置的方式固定有多个第二磁铁52。第二磁铁52是永久磁铁。第二磁铁52具有长方体状的形状。多个第二磁铁52以磁场的朝向交替地相反的方式沿箭头W的方向排列配置。更具体而言，在与第二线圈321对置的表面具有N极的磁极的第二磁铁52、以及在与第二线圈321对置的表面具有S极的磁极的第二磁铁52交替地排列配置。参照图9和图10，在第一部分71的面71B固定有一对第二滑块62A、62B。以第二滑块62A、62B的形成有螺纹孔(未图示)的位置与第一部分71的形成有螺纹孔622的位置一致的方式配置第二滑块62A、62B，通过拧入螺钉621，从而第二滑块62A、62B固定于第一部分71。第二滑块62A和第二滑块62B隔着多个第二磁铁52配置。第二滑块62A能够在第二轨道22A上行进。第二滑块62B能够在第二轨道22B上行进。在本实施方式中，两个第二滑块62A和两个第二滑块62B安装于第一部分71。在第一部分71的面71B上以与传感器431对置的方式固定有线性标尺711。
参照图7和图8，升降装置1还具有作为弹性构件的螺旋弹簧81、第一连接部82、以及第二连接部83。第一连接部82具有钢板弯曲后的结构。第一连接部82包括平板状的头部821、平板状的连接部822、以及平板状的弯曲部823。连接部822从头部821的外缘沿着Y-Z平面配置。弯曲部823从连接部822的与头部821相反的一侧的端部沿着X轴方向弯曲。在弯曲部823形成有沿厚度方向贯通的贯通孔82B。在头部821形成有沿着箭头W的方向延伸的第一贯通孔82A。以第一连接部82的形成有第一贯通孔82A的位置与第二部分72的形成有螺纹孔(未图示)的位置一致的方式配置有第一连接部82，通过拧入两个螺钉84，第一连接部82固定于第二部分72。第二连接部83具有钢板弯曲后的结构。第二连接部83包括平板状的板状部831、以及从板状部831的外缘沿着Y-Z平面配置的平板状的弯曲部832。在弯曲部832形成有贯通厚度方向的贯通孔83A。以板状部831的形成有螺纹孔(未图示)的位置与第二支撑部42的形成有螺纹孔(未图示)的位置一致的方式配置有第二连接部83，通过拧入螺钉85，从而第二连接部83固定于第二支撑部42。在螺旋弹簧81的一个端部形成有第一卡合部811。在螺旋弹簧81的另一个端部形成有第二卡合部812。第一卡合部811插通于第一连接部82的贯通孔82B。第二卡合部812插通于第二连接部83的贯通孔83A。这样一来，螺旋弹簧81将第一连接部82和第二连接部83连接。螺旋弹簧81能够限制工作台70相对于第二基座部40向与箭头W的朝向相反的方向相对地移动。
参照图11，升降装置1还具有控制部80。控制部80与第一定子模块31的第一线圈311、第二定子模块32的第二线圈321、传感器11、431电连接。参照图2，控制部80基于传感器11、431的输出信号(位置信息)，控制流过第一线圈311以及第二线圈321的电流，来控制第二基座部40的Y轴方向上的位置(水平方向的位置)、以及工作台70的箭头W方向上的位置(倾斜方向的位置)。需要说明的是，在图11中，为了使图示的内容容易理解，而省略了传感器11、431的记载。
接着，对工作台70升降时的动作进行说明。例如，以第一轨道21A、21B与水平面平行的方式设置升降装置1。在第二轨道22A、22B相对于水平面的倾斜角为θ(rad)的情况下，若工作台70相对于第二基座部40移动距离d，则工作台沿铅垂方向移动d×sin(θ)并且沿水平方向移动d×cos(θ)。此时，通过使第二基座部40相对于第一基座部10向与上述工作台70的水平方向的移动方向相反的方向移动d×cos(θ)，能够使工作台70在不改变水平方向的位置的情况下在铅垂方向上移动(升降)。
参照图12，以使第二基座部40向箭头L1的方向移动并且使工作台70向箭头R1的方向移动的方式来控制升降装置1。通过这样，能够使工作台70的Z轴方向上的位置下降。参照图13，以使第二基座部40向箭头L2的方向移动并且使工作台70向箭头R2的方向的方式控制升降装置1。通过这样，能够使工作台70的Z轴方向上的位置上升。
根据本实施方式的升降装置1，即使不设置使工作台70沿铅垂方向移动的直动引导设备，也能够使工作台70升降。另外，由于本公开的升降装置未使用滚珠丝杠作为用于使第一滑块61A、61B、第二滑块62A、62B行进的驱动源，因此能够实现升降装置1的紧凑化。这样，根据本实施方式的升降装置1，提供一种能够实现紧凑化的升降装置1。
本实施方式的升降装置1能够应用于机床、各种组装装置、试验装置、或者半导体的制造装置等。本实施方式的升降装置1能够应用于为了进行加工、组装或检测等处理而使载置有被处理对象物的工作台70升降的升降装置。此时，工作台70的第二部分72的侧面72A成为被处理对象物的载置面。
在上述实施方式中，升降装置1具有螺旋弹簧81。螺旋弹簧81的一个端部保持于第一连接部82，另一个端部保持于第二连接部83。螺旋弹簧81的中心轴以沿箭头W的方向的方式配置。通过采用这样的结构，在停止向升降装置1供给电力时，能够抑制工作台70滑落而向第一基座部10靠近。另外，通过施加于工作台70的螺旋弹簧81的张力，使工作台70容易以离开第一基座部10的方式移动。在上述实施方式中，对采用螺旋弹簧81作为弹性构件的情况进行了说明，但不限于此，也可以采用具有沿箭头W的方向延伸的形状的橡胶，作为弹性构件。
在上述实施方式中，升降装置1具有：第一连接部82，具有沿箭头W的方向延伸的第一贯通孔82A；以及螺钉84，贯通第一贯通孔82A并且被拧入第二部分72，将第一连接部82固定于第二部分72。通过采用这样的结构，能够沿箭头W的方向调整第一连接部82相对于第二部分72固定的位置，并调整施加于第二部分72的螺旋弹簧81的张力。
需要说明的是，在上述实施方式中，对第一轨道21A、21B以及第一定子模块31固定于第一基座部10的第一面10A上，第一滑块61A、61B以及多个第一磁铁51固定于第一支撑部41的面41B上的情况进行了说明，但不限于此，也可以第一轨道21A、21B以及第一定子模块31固定于第一支撑部41的面41B上，第一滑块61A、61B以及多个第一磁铁51固定于第一基座部10的第一面10A上。另外，在上述实施方式中，对第二轨道22A、22B以及第二定子模块32固定于第三支撑部43的面43A上，第二滑块62A、62B以及多个第二磁铁52固定于工作台70的第一部分71的面71B上的情况进行了说明，但不限于此，也可以第二轨道22A、22B以及第二定子模块32固定于第一部分71的面71B上，第二滑块62A、62B以及多个第二磁铁52固定于第三支撑部43的面43A上。另外，构成模制部312、322的材料不限于环氧树脂，也能够采用团状模塑料(bulk molding compound，以下称为BMC)。BMC是将增强材料、填充材料、以及固化剂与不饱和聚酯树脂混合后，注塑成型而得到的材料。
在上述实施方式中，对使工作台70不改变水平方向的位置而沿铅垂方向移动的情况进行说明，但不限于此，通过使第二基座部40沿第一轨道21A、21B移动，从而能够使工作台70沿Y轴方向移动。另外，使与工作台70不同的第二工作台在Z轴方向上隔开间隔地配置，通过安装沿X轴方向配置的第三轨道、能够在第三轨道上行进的第三滑块、具有沿第三轨道配置的多个第三线圈的第三定子模块、以及与多个第三线圈对置的多个第三磁铁，从而能够构成还能够在X轴方向上移动的升降装置1。
本次公开的实施方式在所有方面均是例示，应该理解为不受任何方面的限制。本发明的范围不是由上述的说明限定的，而是由权利要求书来规定的，意在包括与权利要求书等同的意思及范围内的所有变更。
附图标记说明
1升降装置；10第一基座部；10A第一面；11、431传感器；11a、313、323、431a电线；12、432支撑带；13、212、433、612、613、622、722螺纹孔；14、15、434、436端板；14A、15A、434A、436A衬垫；21A、21B第一轨道；22A、22B第二轨道；31第一定子模块；32第二定子模块；40第二基座部；41第一支撑部；41A、41B、43A、71A、71B面；42第二支撑部；42A、42B、42C、42D、72A侧面；43第三支撑部；51第一磁铁；52第二磁铁；61A、61B第一滑块；62A、62B第二滑块；70工作台；71第一部分；72第二部分；80控制部；81螺旋弹簧；82第一连接部；82A第一贯通孔；82B、83A贯通孔；83第二连接部；84、85、141、151、211、212、315、325、422、435、437、611、621、721螺钉；311第一线圈；312、322模制部；314、324保护片；316、326基板；321第二线圈；411、711线性标尺；421凹部；811第一卡合部；812第二卡合部；821头部；822连接部；823、832弯曲部；831板状部；L1、L2、R1、R2、W箭头；d距离。

Claims (4)

1.一种升降装置，其中，
具有：
第一基座部，具有平面状的第一面；
第二基座部，包含与所述第一面对置的平面状的第二面、以及在与所述第一面垂直的方向即第一方向上配置于与所述第二面相反的一侧且相对于所述第一面倾斜的平面状的第三面；
第一轨道，固定于所述第一面或所述第二面并呈直线状延伸；
第一滑块，固定于所述第一面以及所述第二面中的未固定所述第一轨道的面，并且能够在所述第一轨道上行进；
第一定子模块，固定于所述第一面或所述第二面，具有沿着所述第一轨道排列配置的多个第一线圈；
多个第一磁铁，固定于所述第一面以及所述第二面中的未固定所述第一定子模块的面，与所述多个第一线圈对置，并且以磁场的朝向交替相反的方式排列配置；
工作台，包含与所述第三面对置的平面状的第四面；
第二轨道，固定于所述第三面或所述第四面，以相对于所述第一面倾斜的方式呈直线状延伸，并且在投影于与所述第一方向垂直的假想平面的投影像中与所述第一轨道平行地延伸；
第二滑块，固定于所述第三面以及所述第四面中的未固定所述第二轨道的面，并且能够在所述第二轨道上行进；
第二定子模块，固定于所述第三面或所述第四面，具有沿着所述第二轨道排列配置的多个第二线圈；以及
多个第二磁铁，固定于所述第三面以及所述第四面中的未固定所述第二定子模块的面，与所述多个第二线圈对置，并且以磁场的朝向交替地相反的方式排列配置。
2.如权利要求1所述的升降装置，其中，
还具有弹性构件，所述弹性构件具有沿着所述第二轨道延伸的形状，并且包括固定于所述第二基座部的第一端部以及固定于所述工作台的第二端部，能够限制所述工作台相对于所述第二基座部以接近所述第一基座部的方式相对移动。
3.如权利要求2所述的升降装置，其中，
所述弹性构件是螺旋弹簧，
所述螺旋弹簧的中心轴以沿着所述第二轨道延伸的方向的方式配置。
4.如权利要求2或3所述的升降装置，其中，
还具有：
第一连接部，具有沿着所述第二轨道延伸的第一贯通孔，并保持所述弹性构件的所述第一端部；以及
螺钉，贯通所述第一贯通孔且被拧入所述工作台，将所述第一连接部固定于所述工作台。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117300991A (zh) * 2023-11-30 2023-12-29 沈阳汇博热能设备有限公司 一种工作台及机电设备

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4838515A (en) * 1987-05-18 1989-06-13 Teledyne, Inc. Article positioner and method
JPH0653042A (ja) 1992-07-31 1994-02-25 Nec Kansai Ltd 空芯コイル及びその実装装置
JPH09266659A (ja) * 1996-03-28 1997-10-07 Nippon Thompson Co Ltd 小形リニアモータテーブル
JP5006579B2 (ja) * 2006-05-31 2012-08-22 日本トムソン株式会社 可動マグネット型リニアモータを内蔵したスライド装置
DE102008032057A1 (de) * 2008-07-08 2010-01-14 Ifr Engineering Gmbh Werkzeugmaschine, insbesondere Drehbank
JP5308551B2 (ja) * 2012-03-21 2013-10-09 マイクロ・テック株式会社 移動テーブル位置決め装置及びスクリーン印刷機

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117300991A (zh) * 2023-11-30 2023-12-29 沈阳汇博热能设备有限公司 一种工作台及机电设备

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