CN115122516A - 晶圆切割机 - Google Patents

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CN115122516A CN202210841572.7A CN202210841572A CN115122516A CN 115122516 A CN115122516 A CN 115122516A CN 202210841572 A CN202210841572 A CN 202210841572A CN 115122516 A CN115122516 A CN 115122516A
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魏余红
谭将强
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Dongguan Kezhuo Robot Co ltd
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Abstract

本发明涉及晶圆技术领域，特指一种晶圆切割机；本发明主体呈方形，前端一侧形成进料区、另一侧形成上料区，上料区具有清洗装置，清洗装置包括清洗桶，清洗桶的上端顶盖，顶盖具有开口，清洗桶的下端安装有支架，清洗桶内具有物料座，清洗桶的下端安装有旋转电机，旋转电机驱动物料座旋转；本发明内部直接安装有清洗装置，实现旋转清洗以及旋转甩干，体积小，结构简单，制造成本低，而且节约了生产工序，提高生产效率。

Description

晶圆切割机
技术领域
本发明涉及晶圆技术领域，特指一种晶圆切割机。
背景技术
现有的晶圆切割机，它具有切刀，用于晶圆切割，晶圆切割好之后，需要对晶圆进行清洗，将切割产生的碎屑清洗掉，现有的晶圆切割机，只能对晶圆进行切割，晶圆清洗需要使用专用的清洗设备，设备成本比较高，而且结构复杂。
现有的晶圆切割机，一般只有一组移料装置，生产效率较低。如果要对生产的晶圆进行检查，则需要先停机，然后在检修口对晶圆进行检查，安全性低。另外，切刀的更换非常麻烦。
因此，基于上述现有的晶圆切割机清洗设备的缺陷，需要对现有的晶圆切割机清洗设备进行改进。
发明内容
本发明的目的在于针对现有技术的不足提供一种晶圆切割机清洗装置，该晶圆切割机清洗装置解决了现有的晶圆清洗设备所存在的：成本高、结构复杂等缺陷。
为实现上述目的，本发明是通过以下技术方案实现的：晶圆切割机，主体呈方形，前端一侧形成进料区、另一侧形成上料区，上料区具有清洗装置，清洗装置包括清洗桶，清洗桶的上端顶盖，顶盖具有开口，清洗桶的下端安装有支架，清洗桶内具有物料座，清洗桶的下端安装有旋转电机，旋转电机驱动物料座旋转。
进一步的，所述的清洗桶的下端安装有顶升气缸，顶升气缸的伸缩杆与物料座的底面活动接触，用于顶升物料座。
进一步的，所述的物料座上端具有多个固定位，用于晶圆定位。
进一步的，所述的清洗桶的下端具有清洗电机，清洗桶内竖直安装有固定轴，清洗电机驱动固定轴，固定轴的上端连接有安装杆，安装杆固定有清洗头，用于对晶圆清洗。
进一步的，所述的安装杆水平设置，方便移动。
进一步的，所述的上料区具有移动门，方便观察。
进一步的，所述的主体的后端具有检修门，主体的左侧具有控制区，主体的右侧后端具有电气区，整体更方便统一管理。
本发明的有益效果在于：切割机内直接安装有清洗装置，实现旋转清洗以及旋转甩干，体积小，结构简单，制造成本低，而且节约了生产工序，提高生产效率。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图2为本发明的清洗装置示意图。
图3为本发明的进料装置示意图。
图4为图3的另一角度示意图。
图5为本发明的移料装置示意图。
图6为图5的另一角度示意图。
图7为本发明的切割刀座示意图。
图8为图7的另一角度示意图。
标号及说明：
进料区1、另一侧形成上料区2、控制区3、电气区4、晶圆5、清洗桶6、物料座7、旋转电机8、顶盖9、支架10、固定位11、顶升气缸12、清洗电机 13、固定轴14、安装杆15、清洗头16；
上物料板26、下物料板27、升降板28、升降板固定座29、底板固定板210、底板211、进料升降电机212、进料丝杆213、待检滑槽214、晶圆检测器215、抽屉门216；
移动装置安装板36、第一水平丝杆37、第二水平丝杆38、第一水平座39、第二水平座310、第一移动臂311、第二移动臂312、第一吸盘313、第二吸盘 314、第一固定板315、前支撑板316、侧连接板317、中间连接板318、后支撑板319；
刀座45、切刀46、第一刀套47、第二刀套48、喷头49、导向块410、曲面 11、冷却管412、第一刀套固定座413、刀套气缸414、切刀感应器固定座415。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步的说明。
见图1，本发明应用的晶圆切割机，切割机主体呈方形，它的前端一侧形成进料区1、另一侧形成上料区2，上料区2具有移动门，主体的后端具有检修门，可以进行切刀更换，主体的左侧具有控制区3，用于切割机的操作控制，主体的右侧后端具有电气区4，切割机的主要电气装置都安装在电气区4，便于统一管理，非常方便。
见图2，本发明的清洗装置包括：清洗桶6，图中未示出清洗桶6的侧壁，清洗桶6的上端顶盖9，清洗桶6的下端安装有支架10，支架10安装于切割机内。
进一步的，上料区2包括两个并排设置的部分，一个是切割上料移动轨道区域，切割上料移动轨道区域内设置有切割轨道，切割轨道上具有切割台，用于移动晶圆切割，另一个即是清洗装置。
本发明的清洗桶6内具有物料座7，清洗桶6的下端安装有旋转电机8、顶升气缸12，旋转电机8驱动物料座7旋转，顶升气缸12的伸缩杆与物料座7的底面活动接触，顶升气缸12可以将物料座7向上顶起，晶圆从顶盖9的开口送入到物料座7，顶升气缸向下复位，使物料座7向下带动晶圆进入清洗桶6内进行清洗。
本发明的物料座7上端具有多个固定位11，用于对晶圆定位。
本发明的清洗桶6的下端具有清洗电机13，清洗电机13驱动位于清洗桶6 内的固定轴14旋转，固定轴14的上端连接有安装杆15，安装杆15固定有清洗头16，清洗电机13驱动固定轴14旋转，使安装杆15带动清洗头16产生旋转，清洗头16对晶圆5进行清洗，同时，通过旋转电机8驱动物料座7旋转，将晶圆5表面的水甩干。
本发明应用的切割机可以在切割完成后直接进行清洗，不需要再拿到外部清洗设备进行清洗非常方便。
见图3、图4，本发明的进料区1设置有进料装置，进料装置包括：上物料板26、下物料板27、侧板，上物料板26、下物料板27、两个侧板形成抽屉，抽屉的外侧具有抽屉门216，抽屉的内侧开口用于将晶圆移入抽屉内，抽屉内具有待检滑槽214，待检滑槽214用于晶圆移动。
本发明包括有下物料板7前端具有缺口，缺口处安装有晶圆检测器215，晶圆检测器215用于感应检测是否有晶圆5沿待检滑槽214被移入抽屉内。
本发明的下物料板7的底端固定有升降板28，升降板28的侧面具有升降板固定座29，升降板固定座29套设于竖直安装的进料丝杆213上，进料丝杆213 固定于竖直安装的底板固定板210上，底板固定板210的下端水平安装有底板 211，底板211上安装有进料升降电机212，进料升降电机212驱动进料丝杆213 旋转，从而控制固定座9带动升降板28升降。
本发明的上物料板26用于放置正常需要进料的晶圆5，在生产加工时，如果需要对某个晶圆进行检查，则通过机械手将晶圆移送到抽屉内，操作人员打开抽屉门216，将晶圆5从抽屉内取出进行检查，非常方便。
本发明对晶圆进料装置进行了改进，使其具有晶圆进料的功能，同时还具有输出晶圆进行检查的功能，不影响生产，而且安全性高。
见图5、图6，本发明的上料区2设置有移料装置，移料装置包括：移动装置安装板36，移动装置安装板36上下设置有平行的第一水平丝杆37、第二水平丝杆38，第一水平丝杆37、第二水平丝杆38分别由第一电机和第二电机驱动产生旋转，第一水平丝杆37上套设有第一水平座39，第二水平丝杆38上套设有第二水平座310，第一水平座39上竖直设置有升降移动的第一移动臂311，第二水平座310上竖直设置有升降移动的第二移动臂312，第一移动臂311的下端配设有多个第一吸盘313，第二移动臂312的下端配设有多个第二吸盘314，第一移动臂311、第二移动臂312错位。
本发明由于第一移动臂311、第二移动臂312错位，而且第一移动臂311、第二移动臂312可以水平移动以及升降移动，所以第一移动臂311、第二移动臂312可以分别移动到对方所处的位置，因此，大大提高了晶圆5移动的效率。
本发明的第二移动臂312的下端连接有第一固定板315，第一固定板315连接有中间连接板318，中间连接板318的两端分别连接有侧连接板317，侧连接板317的前端连接有前支撑板316，侧连接板317的后端连接有后支撑板319，后支撑板319滑设于侧连接板317上，后支撑板319的滑动可以采用气缸驱动的方式，在此不作赘述。
本发明的前支撑板316、后支撑板319的位置可以调节，所以，第一移动臂 311将进料区1的晶圆5吸取后，可以移动到第二移动臂312的前支撑板316、后支撑板319上，对晶圆5进行定位，定位后的晶圆5，再由第一移动臂311吸取送入切割轨道输送进行切割，切割后的晶圆5输送回来之后，由第二移动臂 312移动过去吸取后移出，然后送到清洗装置中进行清洗。
本发明的第一移动臂311、第二移动臂312可以分别在上料区2的切割上料移动轨道区域、清洗装置上方移动。
本发明具有两组移料装置，而且可以实现晶圆定位，生产效率高。
见图7、图8，本发明具有切割刀座，切割刀座包括刀座45，刀座45的一端安装有切刀46，刀座45的上端固定有第一刀套固定座13，第一刀套固定座 413的一侧连接有第一刀套47，刀座45的上端安装有刀套气缸414，刀套气缸 414驱动第一刀套固定座413，刀座45的另一侧安装有第二刀套48，第一刀套 47、第二刀套48分别位于切刀46的两侧。
本发明的刀套气缸14驱动第一刀套47平行切刀移动，从而留出空间用于更换切刀，非常方便、快捷。
本发明的第一刀套47下端具有冷却管412，冷却管412有两条，分别位于切刀46的正面和反面的下部，冷却管412朝向切刀46的一侧开设有冷却液喷孔。
本发明的第二刀套48的外侧竖直固定有喷头49，喷头49的下端一外侧配设有导向块410，导向块410具有曲面411，曲面411朝向切刀46，喷头49喷水时，经过导向块410的曲面411导向而喷到切刀46切割的位置。
本发明的第一刀套47安装有切刀感应器固定座415，切刀感应器固定座415 安装有切刀感应器，切刀感应器沿切刀46的径向安装，切刀感应器延伸到切刀 46的端面，切刀感应器用于感应切刀46的状况，如果出现切刀46损坏的情况，则切刀感应器可以将信息反馈到控制系统，从而在控制区3的控制面板上出现相应提示，提醒操作人员需要进行切刀46检查及更换。

Claims (7)

1.晶圆切割机，其特征在于：主体呈方形，前端一侧形成进料区、另一侧形成上料区，上料区具有清洗装置，清洗装置包括清洗桶，清洗桶的上端顶盖，顶盖具有开口，清洗桶的下端安装有支架，清洗桶内具有物料座，清洗桶的下端安装有旋转电机，旋转电机驱动物料座旋转。
2.根据权利要求1所述的晶圆切割机，其特征在于：所述的清洗桶的下端安装有顶升气缸，顶升气缸的伸缩杆与物料座的底面活动接触。
3.根据权利要求1所述的晶圆切割机，其特征在于：所述的物料座上端具有多个固定位。
4.根据权利要求1所述的晶圆切割机，其特征在于：所述的清洗桶的下端具有清洗电机，清洗桶内竖直安装有固定轴，清洗电机驱动固定轴，固定轴的上端连接有安装杆，安装杆固定有清洗头。
5.根据权利要求5所述的晶圆切割机，其特征在于：所述的安装杆水平设置。
6.根据权利要求1所述的晶圆切割机，其特征在于：所述的上料区具有移动门。
7.根据权利要求1所述的晶圆切割机，其特征在于：所述的主体的后端具有检修门，主体的左侧具有控制区，主体的右侧后端具有电气区。
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