CN115072537B - 一种可旋转的真空吸附装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种可旋转的真空吸附装置,其包括驱动组件和吸附组件,驱动组件包括第一壳体和电机组件,电机组件设置在第一壳体内,电机组件包括旋转轴,吸附组件包括第二壳体、气体回路系统和吸盘机构,第二壳体固定连接于旋转轴上,气体回路系统设置在第二壳体内,吸盘机构固定设置在第二壳体外,吸盘机构的轴线方向与旋转轴的轴线方向一致,气体回路系统与吸盘机构连通,气体回路系统被配置的能够通过气路转换控制吸盘机构的吸附或释放,吸附组件能够被电机组件驱动的相对于第一壳体旋转。本申请的真空吸附装置可对待吸附物体进行吸附,并在吸附的同时还可进行任意角度的旋转,实现了在一个操作过程中,吸附和旋转功能的兼容。
Description
技术领域
本发明涉及真空吸附技术领域,尤其涉及一种可旋转的真空吸附装置。
背景技术
近年来,真空吸附技术在工业自动化生产中的应用越来越广泛。真空吸附是利用真空发生装置产生真空压力为动力源,由真空吸盘机构吸附抓取物体,从而达到移动物体,为产品的加工和组装服务。传统的真空吸盘机构往往仅具有对物体的吸附功能,当被吸附物体需要进行角度旋转或者特定位置摆放时,通常无法实现。还有一些装置即使具有旋转吸附功能,但装置的集成度低,占用空间大,且还会出现真空吸盘机构旋转时的绕线问题,无法满足整圈或多圈旋转。
因此,结合上述存在的技术问题,有必要提出一种新的技术方案。
发明内容
本发明的目的在于解决现有技术中存在的技术问题之一,提供一种可旋转的真空吸附装置,其包括驱动组件和吸附组件,所述驱动组件包括第一壳体和电机组件,所述电机组件设置在第一壳体内,所述电机组件包括旋转轴,所述吸附组件包括第二壳体、气体回路系统和吸盘机构,所述第二壳体固定连接于旋转轴上,所述气体回路系统设置在第二壳体内,所述吸盘机构固定设置在第二壳体外,所述吸盘机构的轴线方向与旋转轴的轴线方向一致,所述气体回路系统与吸盘机构连通,所述气体回路系统被配置的能够通过气路转换控制吸盘机构的吸附或释放,所述吸附组件能够被电机组件驱动的相对于第一壳体旋转。
进一步的,所述电机组件还包括电机转子和电机定子,所述电机定子与第一壳体固定连接,所述电机转子固定套设于旋转轴上,且所述电机转子设置在电机定子的内部。
进一步的,所述电机定子两端分别设置有第一压紧件,所述第一压紧件与第一壳体连接,所述电机转子的两端分别设置有第二压紧件,所述第二压紧件与旋转轴连接,所述旋转轴上套设有至少一个轴承,所述轴承设置于第一壳体内,所述第一壳体内具有固定件将轴承轴向压紧。
进一步的,还包括控制组件,所述控制组件包括主电路板,所述主电路板设置在第一壳体内,所述电机组件与主电路板电连接,所述旋转轴具有中心通孔,所述中心通孔内设置有滑环,所述滑环包括滑环定子和滑环转子,所述滑环定子与所述滑环转子之间可转动连接,所述滑环转子与旋转轴固定连接,所述滑环定子上设置有定子导线,所述滑环转子上设置有转子导线,所述定子导线与主电路板电连接,所述转子导线延伸至第一壳体外与气体回路系统电连接。
进一步的,所述旋转轴上设置有码盘,所述码盘与主电路板相对设置,所述主电路板上设置有编码器,所述编码器与码盘配合测量旋转轴的旋转角度。
进一步的,所述气体回路系统包括气体转换机构、抽真空机构、流体控制机构和副电路板,所述抽真空机构和流体控制机构分别与副电路板电连接,所述副电路板与转子导线电连接。
进一步的,所述气体转换机构具有进气腔、通气腔和排气腔,所述流体控制机构包括第一管路、第二管路和第三管路,所述第一管路和进气腔连通,所述第二管路和通气腔连通,所述第三管路和排气腔连通,所述流体控制机构能够控制第一管路与第二管路连通,或控制第一管路和第三管路连通,所述抽真空机构具有抽真空进气口和抽真空排气口,所述抽真空进气口和通气腔连通,所述抽真空排气口与排气腔连通。
进一步的,所述气体回路系统还包括压力检测机构,所述压力检测机构和进气腔连通,所述压力检测机构与所述副电路板电连接。
进一步的,所述气体转换机构包括气腔上板和气腔下板,所述气腔上板设置在气腔下板一侧,所述气腔上板和气腔下板之间形成进气腔、通气腔和排气腔,所述抽真空机构、压力检测机构和流体控制机构均设置在所述气腔上板远离所述气腔下板一侧,所述吸盘机构设置在所述气腔下板远离所述气腔上板一侧,所述气腔下板上设置有第一通孔和第二通孔,所述进气腔通过第一通孔与吸盘机构连通,所述排气腔通过第二通孔和外界空气连通。
进一步的,所述第一通孔和第二通孔上均设置有过滤网;和/或所述气腔上板和气腔下板之间还设置有密封垫。
与现有技术相比,本申请可旋转的真空吸附装置至少具有如下一个或多个有益效果:
本申请可旋转的真空吸附装置,其通过将无框架的电机组件集成到装置中,在较小的空间内利用了电机组件的旋转功能,降低了设备的体积占比;通过设置多个挡圈和垫圈保证了电机定子和电机转子的可装配性,同时还可限制电机转子和电机定子轴向窜动;通过设置轴承对旋转轴进行支撑,进而实现电机转子和旋转轴转动的平稳性;在电机组件内部中空设置旋转轴,并在旋转轴内设置滑环,主电路板与吸附组件之间通过滑环电连接,滑环可直接用于吸附组件的360度旋转,既方便了控制组件的线束转接,还可以在不影响将控制组件的信号传输至吸附组件的同时,防止吸附组件在进行旋转时与控制组件产生绕线;气腔上板和气腔下板之间设置多个互不连通的气腔凹槽,在气体转换机构的控制下多个气腔凹槽之间进行连通,使得吸附机构避免了气管连接的复杂性;其可对待吸附物体进行吸附,并在吸附的同时还可进行任意角度的旋转,实现了在一个操作过程中,吸附和旋转功能的兼容,另外,吸附动作和旋转动作是相互独立的,既可以单独动作也可以同时动作,为自动化行业的多样化需求提供了更多的可能。
附图说明
图1为本申请实施例提供的可旋转的真空吸附装置的立体结构示意图;
图2为本申请实施例提供的可旋转的真空吸附装置的爆炸结构示意图;
图3为本申请实施例提供的可旋转的真空吸附装置的局部剖视结构示意图;
图4为本申请实施例提供的驱动组件的半剖结构示意图;
图5为本申请实施例提供的吸附组件的局部剖视结构示意图;
图6为本申请实施例提供的气体转换机构的立体结构示意图;
图7为本申请实施例提供的气体转换机构的爆炸结构示意图;
图8为本申请实施例提供的气体转换机构去除气腔上板后的局部剖视结构示意图。
其中,10、第一壳体;100、第一凸环;11、电机转子;12、电机定子;13、旋转轴;130、中心通孔;131、第二凸环;14、滑环;140、滑环定子;141、滑环转子;142、定子导线;143、转子导线;15、第一轴承;16、第二轴承;170、第一垫圈;171、第二垫圈;172、第一挡圈;173、第二挡圈;18、码盘;20、第二壳体;21、吸盘机构;22、抽真空机构;220、抽真空进气口;221、抽真空排气口;23、压力检测机构;24、流体控制机构;240、第一管路;241、第二管路;242、第三管路;250、进气腔;251、通气腔;252、排气腔;26、气腔上板;260、第一管接头;261、第二管接头;27、气腔下板;270、第一通孔;271、第二通孔;272、过滤网;28、密封垫;29、凸起台阶;30、主电路板;31、副电路板;32、编码器;33、线缆。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例,对依据本发明的具体实施方式、结构、特征及其功效,详细说明如下。
请参看图1至图4,本实施例提供了一种可旋转的真空吸附装置,其包括驱动组件、吸附组件和控制组件。所述驱动组件包括第一壳体10和电机组件,所述电机组件设置在第一壳体10内。所述电机组件包括电机转子11、电机定子12和旋转轴13,所述电机组件外部无框架。所述电机转子11、电机定子12和旋转轴13同轴设置。所述电机定子12与所述第一壳体10固定连接,所述电机转子11设置在电机定子12的内部,所述电机转子11固定套设于所述旋转轴13上,所述电机定子12和电机转子11之间相互作用,所述电机转子11可无限制旋转,进而能够带动旋转轴13旋转。所述电机定子12的端面设置有接线,所述接线与所述控制组件电连接,所述控制组件可用于控制电机转子11的旋转。通过将无框架的电机组件集成到装置中,在较小的空间内利用了电机组件的旋转功能,降低了设备的体积占比。
所述电机定子12两端分别设置有第一压紧件,所述第一压紧件与第一壳体10连接。所述电机转子11的两端分别设置有第二压紧件,所述第二压紧件与旋转轴13连接。所述旋转轴13上套设有至少一个轴承,所述轴承设置于第一壳体10内,所述第一壳体10内具有固定件将轴承轴向压紧。需要说明的是,所述第一压紧件和所述第二压紧件均并不限制为一个部件,其均既可以是由几个部件组合而成,也可以仅是所述第一壳体上的某个结构,比如在一个可选择的实施例中,请参看图4,所述第一壳体10内安装有第一轴承15、第一垫圈170、第二垫圈171、第一挡圈172和第二挡圈173,所述第一轴承15套设于旋转轴13上。所述第一壳体10内壁凸设有第一凸环100,所述旋转轴13外壁凸设有第二凸环131。所述电机定子12的一端与第一垫圈170抵接,所述电机定子12的另一端与第一凸环100抵接。所述电机转子11的一端与第二垫圈171抵接,所述电机转子11的另一端与第二凸环131抵接。所述第一垫圈170远离电机定子12的一端与第一轴承15的外圈抵接,所述第二垫圈171远离电机转子11的一端与第一轴承15的内圈抵接。所述第一轴承15内圈相对于所述第一轴承15的外圈转动,所述第一轴承15的内圈固定套设于旋转轴13,所述第一轴承15的外圈第一壳体10的内壁固定连接。所述第一轴承15的外圈远离第一垫圈170的一端与第一挡圈172抵接,所述第一轴承15的内圈远离第二垫圈171的一端与第二挡圈173抵接。所述第一挡圈172与第一壳体10固定连接,所述第二挡圈173固定套设于旋转轴13,所述第一挡圈172和第二挡圈173即为上述的固定件对第一轴承15进行轴向压紧。而以上所述的第一垫圈170、第一轴承15的外圈以及第一挡圈172即共同构成了设置在所述电机定子12一端的一个第一压紧件,而所述第一壳体10内壁的第一凸环100即为设置在所述电机定子12另一端的另一个第一压紧件。同样,以上所述的第二垫圈171、第一轴承15的内圈以及第二挡圈173即共同构成了设置在所述电机转子11一端的一个第二压紧件,而所述旋转轴13外壁的第二凸环131即为设置在所述电机转子11另一端的另一个第二压紧件。通过第一轴承15、第一垫圈170、第二垫圈171、第一挡圈172和第二挡圈173的设置保证了电机定子12和电机转子11的可装配性,同时还可限制电机转子11和电机定子12轴向窜动,以及实现对所述旋转轴13的定位,进而限制旋转轴13轴向窜动。
请参看图4,所述第一壳体10还安装有第二轴承16。所述电机定子12和电机转子11均位于第一轴承15和第二轴承16之间。所述第二轴承16的外圈与第一凸环100远离电机定子12的一端抵接,所述第二轴承16的内圈与第二凸环131远离电机转子11的一端抵接。通过在所述第一壳体10内设置第一轴承15和第二轴承16可对所述旋转轴13和电机组件进行支撑,实现电机转子11和旋转轴13转动的平稳性。
请参看图3和图5,所述吸附组件包括第二壳体20、气体回路系统和吸盘机构21。所述气体回路系统设置在第二壳体20内。所述吸盘机构21固定设置在第二壳体20外,用于贴近所要吸附的物体并对其进行吸附。所述气体回路系统与吸盘机构21连通,所述气体回路系统被配置的能够通过抽真空方式控制吸盘机构21的吸附、以及通过破真空的方式控制吸盘机构21的释放。所述旋转轴13能够被所述电机组件驱动的相对于第一壳体10旋转,而所述旋转轴13转动则可带动所述吸附组件相对于第一壳体10旋转。
在一个实施例中,所述控制组件包括主电路板30,请参看图3和图4。所述气体回路系统包括气体转换机构、抽真空机构22、压力检测机构23、流体控制机构24和副电路板31,请参看图3和图5。所述主电路板30设置在第一壳体10内,所述副电路板31设置在所述第二壳体20内。所述第一壳体10上设置有线缆33,外部系统通过所述线缆33与主电路板30电连接。所述旋转轴13具有中心通孔130,所述中心通孔130内设置有滑环14。所述滑环14包括滑环定子140和滑环转子141,所述滑环定子140与所述滑环转子141之间可转动连接,而所述滑环转子141与旋转轴13固定连接,如图4所示。其中需要说明的是,滑环14较为常见的部件,因此在图4中仅是示意性画出了滑环,并未详细画出滑环定子140和所述滑环转子141之间具体的连接结构,但在具体实施时,所述滑环定子140和所述滑环转子141之间是可转动连接的。所述滑环定子140上设置有定子导线142,所述滑环转子141上设置有转子导线143。所述定子导线142与主电路板30电连接,所述转子导线143延伸至第一壳体10外与气体回路系统内的副电路板31电连接。所述主电路板30通过所述滑环14与副电路板31电连接,进而可控制所述吸附组件的吸附与释放。而使用所述滑环14则可在不影响将所述控制组件的信号传输至吸附组件的同时,还可以避免吸附组件在进行360度旋转时线束发生缠绕。
请参看图4,所述旋转轴13上设置有码盘18,所述码盘18上具有刻度,所述码盘18可固定设置在所述旋转轴13的端面上,使得所述码盘18随着旋转轴13转动而转动。所述码盘18与主电路板30相对设置,所述主电路板30上连接有编码器32,所述编码器32可与码盘18配合来对码盘18进行识别,从而测量旋转轴13的旋转角度。
在本实施例中,所述抽真空机构22优选为真空泵,所述压力检测机构23优选为压力传感器,所述流体控制机构24优选为三通电磁阀。所述抽真空机构22、压力检测机构23、流体控制机构24分别与副电路板31电连接。而所述气体转换机构具有进气腔250、通气腔251和排气腔252,如图5和图7所示。所述进气腔250与吸盘机构21连通,所述排气腔252与外界空气连通。所述流体控制机构24包括第一管路240、第二管路241和第三管路242,所述第一管路240和进气腔250连通,所述第二管路241和通气腔251连通,所述第三管路242和排气腔252连通。所述流体控制机构24能够控制第一管路240与第二管路241连通,或控制第一管路240和第三管路242连通,进而实现所述进气腔250与通气腔251或排气腔252连通。
请参看图5,所述抽真空机构22具有抽真空进气口220和抽真空排气口221。所述抽真空进气口220和通气腔251连通,所述抽真空排气口221与排气腔252连通。所述压力检测机构23和进气腔250连通,用于检测进气腔250中的气压值,同时可将气压值反馈至控制组件。
进一步的,请参看图6和图7,所述气体转换机构包括气腔上板26和气腔下板27,所述气腔上板26或气腔下板27具有三个气腔凹槽,三个所述气腔凹槽互不连通。所述气腔上板26盖合在所述气腔下板27的一侧,进而使得三个气腔凹槽形成上述的进气腔250、通气腔251和排气腔252。在所述气腔上板26和气腔下板27的盖合封闭下,所述进气腔250、通气腔251和排气腔252则也是相互独立,互不连通的。还可在三个所述气腔凹槽的端面处设置凸起台阶29,凸起台阶29环绕气腔设置,如图8所示,可以增加气腔的密封性。
请参看图7和图8,所述气腔下板27设置有第一通孔270和第二通孔271。所述进气腔250通过第一通孔270与吸盘机构21连通,所述排气腔252通过第二通孔271和外界空气连通。可以在所述第一通孔270和第二通孔271上均设置过滤网272,从而防止外界空气中的大颗粒物体被气流带进气腔250和排气腔252内部。
请参看图3和图5,所述抽真空机构22、压力检测机构23和流体控制机构24均设置在所述气腔上板26远离所述气腔下板27的一侧,即所述气腔上板26的顶部。所述吸盘机构21设置在所述气腔下板27远离所述气腔上板26的一侧,即所述气腔下板27的底部。所述气腔上板26设置有第一管接头260和第二管接头261,所述第一管接头260与通气腔251连通,所述第一管接头260通过气管与抽真空机构22的抽真空进气口220连通,所述第二管接头261与排气腔252连通,所述第二管接头261通过气管与抽真空机构22的抽真空排气口221连通。所述气腔上板26上分别设置有对应流体控制机构24三个管路以及第一管接头260、第二管接头261和压力检测机构23的开孔,所述抽真空机构22、压力检测机构23和流体控制机构24通过对应的开孔与气腔进行连通。所述气腔上板26和气腔下板27之间还可以设置密封垫28,如图6和图7所示,可提高气腔上板26和气腔下板27盖合后气腔凹槽的密封性,由于所述密封垫28覆盖于三个气腔凹槽,因此在所述密封垫28上对应所述气腔上板26上各开孔的位置同样也要进行开孔。
旋转工作原理:外部信号经过线缆33传递到控制组件,控制组件接受信号后控制电机组件工作,电机定子12和电机转子11间相互作用,电机转子11进行旋转,进而带动旋转轴13旋转,而旋转轴13再带动码盘18旋转,码盘18与主电路板30上设置的编码器32配合进而识别旋转轴13的旋转角度。
控制原理:旋转轴13旋转时,滑环转子141跟随旋转轴13转动,滑环定子140相对主电路板30保持静止,此时主电路板30将信号指令经滑环14上的定子导线142传输至转子导线143,再由转子导线143传输进入吸附组件内的副电路板31,副电路板31控制抽真空机构22、压力检测机构23和流体控制机构24进行工作。
吸盘机构21吸附物体工作原理:抽真空机构22进行工作,流体控制机构24控制第一管路240与第二管路241之间进行连通,第一管路240和进气腔250连通,第二管路241和通气腔251连通,抽真空进气口220和通气腔251连通,抽真空排气口221与排气腔252连通。当吸盘机构21与待吸附物体接触后,位于吸盘机构21和待吸附物体之间密闭的气体依次从第一通孔270进入进气腔250、第一管路240、第二管路241、通气腔251、抽真空进气口220、抽真空排气口221和排气腔252,气体在排气腔内252通过第二通孔271排出至外界空气中,吸盘机构21与吸附物体之间密闭的气体被抽真空机构22抽走形成负压,产生吸附效应,进而能够吸附物体。
吸盘机构21释放物体工作原理:流体控制机构24控制第一管路240和第三管路242之间进行连通,第一管路240和进气腔250连通,第三管路242和排气腔252连通,外界空气依次通过第二通孔271进入排气腔252、第三管路242、第一管路240和进气腔250,气体在进气腔250内通过第一通孔270进入吸盘机构21中,导致吸盘机构21内的真空状态被破坏直至与外界气压趋于一致,最终吸附力消失释放待吸附物体。
与现有技术相比,本发明的可旋转的真空吸附装置具有如下一个或多个有益效果:本发明中,通过将无框架的电机组件集成到装置中,在较小的空间内利用了电机组件的旋转功能,降低了设备的体积占比;通过多个挡圈和垫圈的设置保证电机定子和电机转子的可装配性,且可限制电机转子和电机定子轴向窜动,通过设置轴承对旋转轴进行支撑,实现电机转子和旋转轴转动的平稳性;在电机组件内部中空设置有旋转轴,旋转轴内设置有滑环,主电路板通过滑环与吸附组件电连接,滑环可直接用于吸附组件的360度旋转,方便了控制组件的线束转接,并将控制组件的信号传输至吸附组件,防止吸附组件旋转时与控制组件产生绕线;气腔上板和气腔下板具有多个气腔凹槽,在气体转换机构的控制下多个气腔之间进行连通,使得吸附机构避免了气管连接的复杂性;可对待吸附物体进行吸附,并在吸附的同时可进行任意角度的旋转,实现了在一个操作过程中,吸附和旋转功能的兼容,另外,吸附和旋转动作是相互独立的,可以分别控制也可以同时动作,为自动化行业的多样化需求提供了更多的可能。
在本文中,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,除了包含所列的那些要素,而且还可包含没有明确列出的其他要素。
在本文中,所涉及的前、后、上、下等方位词是以附图中零部件位于图中以及零部件相互之间的位置来定义的,只是为了表达技术方案的清楚及方便。应当理解,所述方位词的使用不应限制本申请请求保护的范围。
在不冲突的情况下,本文中上述实施例及实施例中的特征可以相互结合。
以上所述仅为本发明的较佳实施例,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种可旋转的真空吸附装置,其特征在于,包括驱动组件和吸附组件,所述驱动组件包括第一壳体(10)和电机组件,所述电机组件设置在第一壳体(10)内,所述电机组件包括旋转轴(13),所述吸附组件包括第二壳体(20)、气体回路系统和吸盘机构(21),所述第二壳体(20)固定连接于旋转轴(13)上,所述气体回路系统设置在第二壳体(20)内,
所述气体回路系统包括气体转换机构、抽真空机构(22)、流体控制机构(24),所述气体转换机构包括气腔上板(26)和气腔下板(27),所述气腔上板(26)设置在气腔下板(27)一侧,所述气腔上板(26)和气腔下板(27)之间形成进气腔(250)、通气腔(251)和排气腔(252),所述进气腔(250)、通气腔(251)和排气腔(252)相互独立,所述抽真空机构(22)和流体控制机构(24)均设置在所述气腔上板(26)远离所述气腔下板(27)一侧,所述吸盘机构(21)设置在所述气腔下板(27)远离所述气腔上板(26)一侧,所述气腔下板(27)上设置有第一通孔(270)和第二通孔(271),所述进气腔(250)通过第一通孔(270)与吸盘机构(21)连通,所述排气腔(252)通过第二通孔(271)与外界空气连通;
所述流体控制机构(24)为三通电磁阀,其包括第一管路(240)、第二管路(241)和第三管路(242),所述第一管路(240)和进气腔(250)连通,所述第二管路(241)和通气腔(251)连通,所述第三管路(242)和排气腔(252)连通,所述流体控制机构(24)能够控制第一管路(240)与第二管路(241)连通,或控制第一管路(240)和第三管路(242)连通,
所述抽真空机构(22)具有抽真空进气口(220)和抽真空排气口(221),所述抽真空进气口(220)和通气腔(251)连通,所述抽真空排气口(221)与排气腔(252)连通,
所述吸盘机构(21)固定设置在第二壳体(20)外,所述吸盘机构(21)的轴线方向与旋转轴(13)的轴线方向一致,所述气体回路系统被配置的能够通过气路转换控制吸盘机构(21)的吸附或释放,所述吸附组件能够被电机组件驱动的相对于第一壳体(10)旋转。
2.根据权利要求1所述的可旋转的真空吸附装置,其特征在于,所述电机组件还包括电机转子(11)和电机定子(12),所述电机定子(12)与第一壳体(10)固定连接,所述电机转子(11)固定套设于旋转轴(13)上,且所述电机转子(11)设置在电机定子(12)的内部。
3.根据权利要求2所述的可旋转的真空吸附装置,其特征在于,所述电机定子(12)两端分别设置有第一压紧件,所述第一压紧件与第一壳体(10)连接,所述电机转子(11)的两端分别设置有第二压紧件,所述第二压紧件与旋转轴(13)连接,所述旋转轴(13)上套设有至少一个轴承,所述轴承设置于第一壳体(10)内,所述第一壳体(10)内具有固定件将轴承轴向压紧。
4.根据权利要求1所述的可旋转的真空吸附装置,其特征在于,还包括控制组件,所述控制组件包括主电路板(30),所述主电路板(30)设置在第一壳体(10)内,所述电机组件与主电路板(30)电连接,所述旋转轴(13)具有中心通孔(130),所述中心通孔(130)内设置有滑环(14),所述滑环(14)包括滑环定子(140)和滑环转子(141),所述滑环定子(140)与所述滑环转子(141)之间转动连接,所述滑环转子(141)与旋转轴(13)固定连接,所述滑环定子(140)上设置有定子导线(142),所述滑环转子(141)上设置有转子导线(143),所述定子导线(142)与主电路板(30)电连接,所述转子导线(143)延伸至第一壳体(10)外与气体回路系统电连接。
5.根据权利要求4所述的可旋转的真空吸附装置,其特征在于,所述旋转轴(13)上设置有码盘(18),所述码盘(18)与主电路板(30)相对设置,所述主电路板(30)上设置有编码器(32),所述编码器(32)与码盘(18)配合测量旋转轴(13)的旋转角度。
6.根据权利要求4所述的可旋转的真空吸附装置,其特征在于,所述气体回路系统还包括副电路板(31),所述抽真空机构(22)和流体控制机构(24)分别与副电路板(31)电连接,所述副电路板(31)与转子导线(143)电连接。
7.根据权利要求6所述的可旋转的真空吸附装置,其特征在于,所述气体回路系统还包括压力检测机构(23),所述压力检测机构(23)和进气腔(250)连通,所述压力检测机构(23)与所述副电路板(31)电连接。
8.根据权利要求7所述的可旋转的真空吸附装置,其特征在于,所述压力检测机构(23)设置在所述气腔上板(26)远离所述气腔下板(27)一侧。
9.根据权利要求1所述的可旋转的真空吸附装置,其特征在于,所述第一通孔(270)和第二通孔(271)上均设置有过滤网(272);和/或所述气腔上板(26)和气腔下板(27)之间还设置有密封垫(28)。
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