CN115039318A - 电源切断装置及电源切断方法 - Google Patents

Abstract

电源切断装置具备可动部、驱动部、电源装置、配电部、电力供给电路、供给控制部。可动部能够在沿着基板生产线设置的行走路径上行走，上述基板生产线排列设置有对基板进行预定的对基板作业的多个对基板作业机。驱动部设置于可动部，并使用通过非接触供电从对基板作业机供给的供给电力来使可动部行走。电源装置生成电力。配电部将由电源装置生成的电力分别分配到多个对基板作业机。电力供给电路分别设置于多个对基板作业机，并使用经由配电部而分配的电力来生成向驱动部供给的供给电力。在多个对基板作业机中的至少一个对基板作业机中对对基板作业机进行驱动的驱动电力被切断时，供给控制部使电力向电力供给电路的供给停止。

Description

电源切断装置及电源切断方法

技术领域

本说明书公开与电源切断装置及电源切断方法相关的技术。

背景技术

在专利文献1记载的非接触供电装置中，固定部是列设有多个基板生产机的基板生产线，在多个基板生产机的列设方向设定有移动体的移动方向。在多个基板生产机分别配置有数目相同的供电线圈，移动体配置有至少一个受电线圈。若一个基板生产机的供电线圈能够向受电线圈供电，则从供电线圈开始对受电线圈供电。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2017/163388号

发明内容

发明所要解决的课题

在专利文献1记载的非接触供电装置中，假定电力供给电路分别设置于多个对基板作业机的形式。电力供给电路使用经由配电部而配电的电力而生成供给于驱动部的供给电力。在该形式下，即便对对基板作业机进行驱动的驱动电力切断，也存在经由配电部持续对电力供给电路供给电力的可能性。若对对基板作业机进行驱动的驱动电力切断，则存在作业者进行维护作业等的可能性，因此，优选在对对基板作业机进行驱动的驱动电力切断的情况下，使电力向电力供给电路的供给停止。

鉴于这样的状况，本说明书公开一种电源切断装置，能够在对对基板作业机进行驱动的驱动电力切断时使电力向电力供给电路的供给停止。

用于解决课题的技术方案

本说明书公开具备可动部、驱动部、电源装置、配电部、电力供给电路、供给控制部的电源切断装置。上述可动部能够在沿着基板生产线设置的行走路径上行走，上述基板生产线排列设置有对基板进行预定的对基板作业的多个对基板作业机。上述驱动部设置于上述可动部，并使用通过非接触供电从上述对基板作业机供给的供给电力来使上述可动部行走。上述电源装置生成电力。上述配电部将由上述电源装置生成的上述电力分别分配到多个上述对基板作业机。上述电力供给电路分别设置于多个上述对基板作业机，并使用经由上述配电部而分配的上述电力来生成向上述驱动部供给的上述供给电力。上述供给控制部在多个上述对基板作业机中的至少一个上述对基板作业机中对上述对基板作业机进行驱动的驱动电力被切断时，使上述电力向上述电力供给电路的供给停止。

另外，本说明书公开一种电源切断方法，应用于具备可动部、驱动部、电源装置、配电部、电力供给电路的供电系统，并具备供给控制工序。上述可动部能够在沿着基板生产线设置的行走路径上行走，上述基板生产线排列设置有对基板进行预定的对基板作业的多个对基板作业机。上述驱动部设置于上述可动部，并使用通过非接触供电从上述对基板作业机供给的供给电力来使上述可动部行走。上述电源装置生成电力。上述配电部将由上述电源装置生成的上述电力分别分配到多个上述对基板作业机。上述电力供给电路分别设置于多个上述对基板作业机，并使用经由上述配电部而分配的上述电力来生成向上述驱动部供给的上述供给电力。在上述供给控制工序中，在多个上述对基板作业机中的至少一个上述对基板作业机中对上述对基板作业机进行驱动的驱动电力被切断时，使上述电力向上述电力供给电路的供给停止。

发明效果

上述的电源切断装置具备供给控制部。由此，电源切断装置能够在对对基板作业机进行驱动的驱动电力被切断时使电力向电力供给电路的供给停止。针对电源切断装置而上述的内容可以说针对电源切断方法也相同。

附图说明

图1是表示具备供电系统的基板生产线的结构例的俯视图。

图2是表示图1的行走装置及元件装配机的概略结构的立体图。

图3是表示图1的行走装置的侧视图。

图4是表示具备第一形式的供给控制部的电源切断装置的结构例的示意图。

图5是表示在对基板作业机与驱动部之间进行非接触供电的供电电路的一个例子的电路图。

图6是表示具备第二形式的供给控制部的电源切断装置的结构例的示意图。

图7是表示第二形式的供给控制部的控制块的一个例子的框图。

图8是表示基于第二形式的供给控制部的控制次序的一个例子的流程图。

图9是表示元件装配机的结构例的侧视的示意图。

具体实施方式

1.实施方式

1-1.基板生产线1的结构例

本实施方式的电源切断装置70应用于基板生产线1。如图1所示，对于基板生产线1而言，多个(该图中，4个)元件装配机10沿图2所示的基板90的搬运方向排列设置。元件装配机10包含于对基板90进行预定的对基板作业的对基板作业机WM0。需要说明的是，基板生产线1例如能够设置丝网印刷机、焊料检查机、外观检查机、回流焊炉等各种对基板作业机WM0。

另外，在基板生产线1的基板搬入侧(图1的纸面左侧)设置有用于盒式供料器20的保管的供料器保管装置BS0。在本实施方式的基板生产线1设置有分别对于多个(4个)元件装配机10及供料器保管装置BS0进行预定作业的作为作业机的行走装置50。构成基板生产线1的各装置及行走装置50构成为能够经由网络而与线控制装置LC0之间输入输出各种数据。行走装置50的详细结构将后述。

供料器保管装置BS0具备多个插槽。供料器保管装置BS0储存分别装备于多个插槽的供料器20。装备于供料器保管装置BS0的插槽的供料器20成为能够在与线控制装置LC0之间通信的状态。由此，供料器保管装置BS0的插槽与装备于该插槽的供料器20的识别信息相关联而记录于线控制装置LC0。

线控制装置LC0监视基板生产线1的动作状况，进行包括元件装配机10、供料器保管装置BS0、行走装置50的生产设备的控制。例如，线控制装置LC0存储有用于控制元件装配机10的各种数据。线控制装置LC0在各生产设备的生产处理执行时适当地将控制程序等各种数据送出至各生产设备。

1-2.元件装配机10的结构例

如图2所示，构成基板生产线1的多个(4个)元件装配机10具备基板搬运装置11、元件供给装置12、头驱动装置13。在以下的说明中，将元件装配机10的水平宽度方向且基板90的搬运方向作为X方向，将元件装配机10的水平进深方向作为Y方向，将与X方向及Y方向垂直的铅垂方向(图2的纸面上下方向)作为Z方向。

基板搬运装置11由传送带及定位装置等构成。基板搬运装置11将基板90依次沿搬运方向(X方向)搬运，并且使基板90在机内的预定位置定位。基板搬运装置11在由元件装配机10进行的装配处理结束之后将基板90搬出至元件装配机10的机外。

元件供给装置12供给向基板90装配的元件。元件供给装置12具备能够装备供料器20的上部插槽121及下部插槽122。上部插槽121配置于元件装配机10的前部侧的上部，并对装备的供料器20以能够动作的方式进行保持。换句话说，装备于上部插槽121的供料器20在基于元件装配机10的装配处理中被控制动作，在设置于该供料器20的上部的规定位置的取出部中供给元件。

下部插槽122配置于上部插槽121的下方，储存所装备的供料器20。换句话说，下部插槽122预备地保持用于生产的供料器20。另外，下部插槽122暂时保持用于生产的使用完毕的供料器20。需要说明的是，上部插槽121与下部插槽122之间的供料器20的更换通过后述的基于行走装置50的自动更换或者基于作业者的手动更换来进行。

另外，供料器20若装备于元件供给装置12的上部插槽121或者下部插槽122，则经由连接器从元件装配机10被供给电力。而且，供料器20成为能够在与元件装配机10之间通信的状态。装备于上部插槽121的供料器20基于元件装配机10的控制指令等，控制收容元件的载带的进给动作。由此，供料器20在设置于供料器20的上部的取出部中，以能够通过后述的装配头30的保持部件拾取元件的方式供给元件。

头驱动装置13将由元件供给装置12供给的元件移载至由基板搬运装置11搬入机内的基板90上的预定的装配位置为止。头驱动装置13通过直动机构使移动台131沿水平方向(X方向及Y方向)移动。通过夹紧部件将装配头30以能够更换的方式固定于移动台131。装配头30拾取元件，并且调整元件的上下方向位置及角度而向基板90装配。

具体而言，保持由供料器20供给的元件的保持部件安装于装配头30。保持部件例如能够应用通过供给的负压空气保持元件的吸嘴、把持并保持元件的夹头等。装配头30将保持部件保持为能够沿Z方向移动，并且能够绕与Z轴平行的θ轴旋转。装配头30通过头驱动装置13的直动机构而沿水平方向(X方向及Y方向)移动。

上述的元件装配机10执行将元件向基板90装配的装配处理。在装配处理中，元件装配机10基于图像处理的结果、各种传感器的检测结果、预先存储的控制程序等，对头驱动装置13送出控制信号。由此，控制被装配头30支承的多个保持部件(例如吸嘴)的位置及角度。

需要说明的是，保持于装配头30的保持部件(例如吸嘴)能够在装配处理中根据装配于基板90的元件的种类而适当地变更。例如，元件装配机10在执行的装配处理中使用的吸嘴没有保持于装配头30的情况下，使装配头30保持收容于吸嘴站的吸嘴。吸嘴站能够拆装地装备于元件装配机10的机内的预定位置。

1-3.更换系统40及行走装置50的结构例

如图1～图3所示，更换系统40具备第一导轨41、第二导轨42、行走装置50。如图1所示，第一导轨41及第二导轨42是固定于多个元件装配机10的前部的固定部。本实施方式的第一导轨41及第二导轨42由导电体形成，构成行走装置50的行走路径40R。

第一导轨41设置于上下方向上多个(4个)元件装配机10各自的上部插槽121与下部插槽122之间。第二导轨42设置于元件装配机10的下部插槽122的下方。第一导轨41及第二导轨42在基板生产线1遍及基板90的搬运方向(X方向)的大体全域延伸。

另外，如图3所示，第一导轨41形成为向上方开口的槽形状。多个磁铁43沿X方向排列设置于第一导轨41的一对侧壁部。多个磁铁43分别配置为在X方向上交替出现N极及S极。在第一导轨41的上表面设置有沿X方向延伸的线性标尺44。在第一导轨41的槽底部，沿Y方向配置有一对输电部45。一对输电部45是沿X方向延伸的输电线圈。一对输电部45以非接触方式对后述的行走装置50的受电部52供给电力。

另外，在第一导轨41的一对侧壁部中，在上部构成行走装置50的可动部51的多个第一引导辊512被支承为能够转动。并且，在第一导轨41的槽底部的Y方向中央形成有能够供构成可动部51的多个行走辊514转动的行走槽46。在第二导轨42中，构成行走装置50的可动部51的第二引导辊513被支承为能够转动。根据上述结构，第一导轨41及第二导轨42沿铅垂方向支承行走装置50，并且抑制行走装置50的倾动。

行走装置50具备可动部51、受电部52、驱动部53、位置检测部54、作业机器人55、维护开关56、人感传感器57、控制装置58。可动部51是行走装置50的主体。可动部51设置为能够沿着由第一导轨41及第二导轨42形成的行走路径40R上行走。可动部51具备托架511、第一引导辊512、第二引导辊513及行走辊514。

托架511是支承驱动部53等的框架部件。第一引导辊512设置于托架511，且能够转动地卡合于第一导轨41的上部。此时，第一引导辊512允许X方向的移动，且限制Y方向及Z方向的移动。第二引导辊513设置于托架511，并沿着第二导轨42转动。

行走辊514将形成于第一导轨41的槽底部的行走槽46的一对侧壁部以能够转动的方式沿Y方向排列并以两个为一组设置于托架511。根据上述结构，可动部51维持行走装置50的姿势，并且能够沿着由第一导轨41及第二导轨42形成的行走路径40R上行走。

受电部52在托架511中在行走辊514的Y方向外侧成对设置。在本实施方式中，一对受电部52分别是沿X方向延伸的受电线圈。受电部52无论可动部51的X方向位置如何，均与设置于第一导轨41的至少一个输电部45相向。如后述那样，从分别设置于多个(4个)元件装配机10的电力供给电路73对输电部45供给交流电力。电力供给电路73使用从电源装置71输出的电力生成交流电力。

根据这些，输电部45及受电部52电磁耦合而形成磁路。这样，受电部52例如通过电磁耦合方式的非接触供电，能够从输电部45接受电力。受电部52接受到的电力经由后述的受电电路PR0而供给于驱动部53、作业机器人55、控制装置58等。

驱动部53设置于可动部51。驱动部53使用通过非接触供电从对基板作业机WM0供给的供给电力使可动部51行走。具体而言，驱动部53使用移动线圈531。移动线圈531与设置于第一导轨41的磁铁43相向配置。驱动部53通过供电至移动线圈531而使移动线圈531励磁。由此，驱动部53在与磁铁43之间生成X方向的推进力。这样，驱动部53与沿作为固定部的第一导轨41排列设置的磁铁43一起构成线性马达。

位置检测部54以与设置于第一导轨41的线性标尺44相向的方式配置于托架511。位置检测部54检测线性标尺44的刻度，检测可动部51的在行走路径40R上的当前位置。位置检测部54能够通过各种方法，检测可动部51的当前位置。例如，位置检测部54能够通过光学的检测方法、使用了电磁感应的检测方法等，检测可动部51的当前位置。

作业机器人55设置于可动部51，进行预定作业。预定作业包括更换作业，在上述更换作业中，将能够拆装地装备于元件装配机10等对基板作业机WM0的更换要素在与对基板作业机WM0之间进行更换。本实施方式的作业机器人55以供给向基板90装配的元件的供料器20作为更换要素，在与构成基板生产线1的多个(4个)元件装配机10之间及在与供料器保管装置BS0之间进行供料器20的更换作业。上述的更换作业包括供料器20的回收作业及供料器20的补给作业中的至少一方。

本实施方式的作业机器人55从供料器保管装置BS0向元件装配机10的上部插槽121或者下部插槽122搬运供料器20。另外，作业机器人55在元件装配机10的上部插槽121与下部插槽122之间更换供料器20。并且，作业机器人55从元件装配机10向使用完毕的供料器20搬运供料器保管装置BS0。如图3所示，作业机器人55的保持部551保持供料器20。保持部551以能够移动的方式沿供料器20的拆装方向(在本实施方式中，Y方向)及上下方向(Z方向)设置。

维护开关56接受作业者的操作，对控制装置58送出信号。控制装置58基于维护开关56的状态，将行走装置50的控制模式切换为通常的运用模式或者维护模式。例如在产生了行走装置50的行走停止、作业机器人55的作业错误等的情况下、在进行基板生产线1中使用的设备的维护的情况下等，由作业者操作维护开关56。在维护模式下，可动部51的行走及作业机器人55的作业被限制。

人感传感器57检测周边的作业者的存在，对控制装置58送出检测信号。人感传感器57例如使用红外线、超声波等，检测作业者。控制装置58能够基于有无从人感传感器57送出的检测信号，识别作业者是否接近行走装置50的预定范围。

控制装置58具备运算装置、存储装置及控制电路。控制装置58设置为能够与多个(4个)元件装配机10、供料器保管装置BS0、包括行走装置50的更换系统40及线控制装置LC0等进行通信，并能够对这些进行驱动控制。例如，行走装置50由控制装置58驱动控制，沿着第一导轨41及第二导轨42移动至预定位置为止，并且在停止位置进行作为更换要素的供料器20的更换。

1-4.供电系统60及电源切断装置70的结构例

如图1及图4所示，供电系统60具备可动部51、驱动部53、电源装置71、配电部72、电力供给电路73。电源切断装置70具备可动部51、驱动部53、电源装置71、配电部72、电力供给电路73、供给控制部74。如已叙述的那样，可动部51能够在沿着基板生产线1设置的行走路径40R上行走，上述基板生产线1排列设置有对基板90进行预定的对基板作业的多个对基板作业机WM0。驱动部53设置于可动部51，使用通过非接触供电从对基板作业机WM0供给的供给电力使可动部51行走。

电源装置71生成电力。电源装置71能够使用公知的电源装置，能够生成各种直流电力或者交流电力。本实施方式的电源装置71是将三相(R相、S相、T相)的交流电力转换为直流电力的电力转换器，并由输入的交流电力生成直流电力。另外，电源装置71例如能够设置于基板生产线1的一端侧的作业机。本实施方式的电源装置71设置于供料器保管装置BS0。

配电部72将由电源装置71生成的电力分别向多个对基板作业机WM0分配。电源装置71及多个对基板作业机WM0例如通过菊花链连接、总线连接、星形连接等而电连接。在本实施方式的配电部72中，电源装置71及多个对基板作业机WM0以菊花链方式连接，配电部72将由电源装置71生成的电力从基板生产线1的一端侧的对基板作业机WM0依次分配至另一端侧的对基板作业机WM0。该图中，为了方便图示，示出电源装置71及多个(两个)元件装配机10以菊花链方式连接的状态，但实际上电源装置71及图1所示的多个(4个)元件装配机10以菊花链方式连接。

电力供给电路73分别设置于多个对基板作业机WM0，并使用经由配电部72而分配的电力生成向驱动部53供给的供给电力。例如，供给电力经由图5所示的供电电路PS0而向驱动部53供给。供电电路PS0是在对基板作业机WM0与驱动部53之间进行非接触供电的电路，且具备输电电路PT0和受电电路PR0。电力供给电路73对输电电路PT0供给交流电力。

如图5所示，电力供给电路73具备平滑电容器C0、放电电路DS0、电力转换器INV0。平滑电容器C0及放电电路DS0在电力转换器INV0的输入侧并列连接。经由配电部72而输入的直流电力(该图中，以直流电力Vdc1表示。)通过平滑电容器C0而平滑，通过电力转换器INV0而转换为交流电力。电力转换器INV0是将直流电力转换为交流电力的电力转换器，能够使用公知的电力转换器。需要说明的是，针对放电电路DS0将后述。

对于输电电路PT0而言，输电侧共振部RT1与输电部45串联连接，形成有输电侧共振电路。例如，输电侧共振部RT1能够使用电容器。输电部45能够使用线圈。受电电路PR0具备受电部52、受电侧共振部RR1、整流电路RC0。受电部52及受电侧共振部RR1在整流电路RC0的输入侧并列连接，并形成有受电侧共振电路。例如，受电部52能够使用线圈。受电侧共振部RR1能够使用电容器。

整流电路RC0是对从输电电路PT0供给的交流电力进行整流的整流电路，能够使用公知的整流电路。如已叙述的那样，在本实施方式中，由整流电路RC0整流后的直流电力(该图中，以直流电力Vdc2表示。)供给于驱动部53、作业机器人55、控制装置58等。需要说明的是，受电电路PR0也能够具备将由整流电路RC0整流后的直流电力转换为交流电力的电力转换器。

供给控制部74在多个对基板作业机WM0中的至少一个对基板作业机WM0中对对基板作业机WM0进行驱动的驱动电力被切断时，使电力向电力供给电路73的供给停止。供给控制部74能够在对对基板作业机WM0进行驱动的驱动电力被切断时使电力向电力供给电路73的供给停止即可，可采取各种形式。例如，供给控制部74也可以是以下所示的第一形式，也可以是第二形式。另外，供给控制部74也可以是将第一形式及第二形式组合的形式。

1-5.第一形式的供给控制部74的结构例

如图4所示，第一形式的供给控制部74具备电磁接触器75、励磁电路76、作业机侧开闭器77。电磁接触器75设置于电源装置71的输入侧，在电磁线圈751被励磁时能够将交流电力输入到电源装置71。具体而言，电磁接触器75在电磁线圈751被励磁时，接点成为闭合状态，将三相(R相、S相、T相)的交流电力输入到电源装置71。相反，电磁接触器75在电磁线圈751没有被励磁时，接点成为断开状态，三相(R相、S相、T相)的交流电力没有输入到电源装置71。

励磁电路76对电磁线圈751进行励磁。本形式的励磁电路76通过从直流电源DC1输出的直流电力对电磁线圈751进行励磁。作业机侧开闭器77分别设置于多个对基板作业机WM0，在多个对基板作业机WM0中的至少一个对基板作业机WM0的驱动电力被切断时，断开励磁电路76。

励磁电路76串联连接有电磁线圈751及作业机侧开闭器77。因此，若设置于多个对基板作业机WM0中的至少一个对基板作业机WM0的作业机侧开闭器77从闭合状态切换为断开状态，则断开励磁电路76。作为其结果，电磁线圈751没有被励磁，三相(R相、S相、T相)的交流电力没有输入到电源装置71。换句话说，电力向电力供给电路73的供给停止。

作业机侧开闭器77能够使作业机侧开闭器77与对基板作业机WM0的驱动电力的切断联动地从闭合状态切换为断开状态即可，可采取各种形式。本形式的作业机侧开闭器77是能够由作业者进行对基板作业机WM0的驱动电力的接入或者切断的断路器。在这种情况下，若作业者使多个对基板作业机WM0的所有断路器成为闭合状态，将所有对基板作业机WM0的驱动电力接入，则励磁电路76闭合，电磁线圈751被励磁。作为其结果，电磁接触器75的接点成为闭合状态，三相(R相、S相、T相)的交流电力输入到电源装置71，对电力供给电路73供给直流电力。

若作业者使多个对基板作业机WM0中的至少一个对基板作业机WM0的断路器成为断开状态而将至少一个对基板作业机WM0的驱动电力切断，则断开励磁电路76，电磁线圈751没有被励磁。作为其结果，电磁接触器75的接点成为断开状态，三相(R相、S相、T相)的交流电力没有输入到电源装置71，电力向电力供给电路73的供给停止。这样，本形式的作业机侧开闭器77是能够由作业者进行对基板作业机WM0的驱动电力的接入或者切断的断路器，因此，能够容易使作业机侧开闭器77与对基板作业机WM0的驱动电力的切断联动地从闭合状态切换为断开状态。

1-6.第二形式的供给控制部74的结构例

如图6所示，第二形式的供给控制部74具备电磁接触器75、励磁电路76、电源侧开闭器78、正常状态确认部80。电磁接触器75与第一形式的供给控制部74的电磁接触器75相同。电源侧开闭器78设置于具备电源装置71的作业机，在多个对基板作业机WM0中的至少一个对基板作业机WM0的驱动电力被切断时，断开励磁电路76。如已叙述的那样，电源装置71设置于供料器保管装置BS0，本形式的电源侧开闭器78设置于供料器保管装置BS0。

励磁电路76与第一形式的供给控制部74同样，对电磁线圈751进行励磁。其中，本形式的励磁电路76串联连接有电磁线圈751及电源侧开闭器78。因此，若设置于供料器保管装置BS0的电源侧开闭器78从闭合状态切换为断开状态，则断开励磁电路76。作为其结果，电磁线圈751没有被励磁，三相(R相、S相、T相)的交流电力没有输入到电源装置71。换句话说，电力向电力供给电路73的供给停止。

正常状态确认部80每经过预定时间就对多个对基板作业机WM0来确认对基板作业机WM0正常动作的正常状态。在对多个对基板作业机WM0中的至少一个对基板作业机WM0无法确认到正常状态时，正常状态确认部80使电源侧开闭器78成为断开状态。如图7所示，本形式的正常状态确认部80设置于图1所示的线控制装置LC0。需要说明的是，正常状态确认部80也能够设置于管理多个基板生产线1的管理装置。另外，正常状态确认部80也能够形成在云上。

正常状态确认部80对多个对基板作业机WM0确认正常状态，能够在对至少一个对基板作业机WM0无法确认到正常状态时使电源侧开闭器78成为断开状态即可，可采取各种形式。例如，正常状态确认部80每经过预定时间就尝试与多个对基板作业机WM0进行通信，在无法与多个对基板作业机WM0中的至少一个对基板作业机WM0进行通信时，能够判断为无法确认到正常状态。

正常状态确认部80根据图8所示的流程图，对电源侧开闭器78进行开闭控制。具体而言，正常状态确认部80每经过预定时间就尝试与多个对基板作业机WM0进行通信，判断是否无法与多个对基板作业机WM0中的至少一个对基板作业机WM0进行通信(步骤S11)。如已叙述的那样，构成基板生产线1的多个对基板作业机WM0构成为能够经由网络而与线控制装置LC0之间输入输出各种数据。正常状态确认部80例如对图7所示的对基板作业机WM0的控制装置14发送正常状态确认信号。控制装置14对构成对基板作业机WM0的各装置进行驱动控制。

正常状态确认信号没有被限定。正常状态确认信号例如能够使用PING。在这种情况下，正常状态确认部80向多个对基板作业机WM0各自的控制装置14发送预定消息。而且，正常状态确认部80对从发送消息起至接收针对消息的回信为止的所需时间进行测定。正常状态确认部80在至经过预定时间为止接收到回信时，判断为能够与对基板作业机WM0进行通信，在至经过预定时间为止没有接收到回信时，判断为无法与对基板作业机WM0进行通信。

在无法与至少一个对基板作业机WM0进行通信的情况下(步骤S11中“是”的情况下)，正常状态确认部80判断为无法确认到对基板作业机WM0的正常状态(步骤S12)。然后，正常状态确认部80使电源侧开闭器78成为断开状态(步骤S13)，控制暂时结束。在能够与所有对基板作业机WM0进行通信的情况下(步骤S11中“否”的情况下)，正常状态确认部80判断为能够确认对基板作业机WM0的正常状态(步骤S14)，控制暂时结束。

电力供给电路73也能够具备看门狗定时器。看门狗定时器以比预定时间短的周期，在计数器达到预定值之前使计数器复位，在经过预定时间且计数器达到预定值时，输出表示超时的状态信号。在这种情况下，正常状态确认部80在从看门狗定时器获取到表示超时的状态信号时，能够判断为无法确认到正常状态。

看门狗定时器例如能够设置于对图5所示的电力供给电路73的放电电路DS0及电力转换器INV0进行驱动控制的控制装置。另外，看门狗定时器也能够设定于对经由配电部72而输入的直流电力(直流电力Vdc1)进行监视的电源监视装置等。这样，看门狗定时器能够通过硬件实现。另外，看门狗定时器也能够通过软件实现。

另外，正常状态确认部80每经过预定时间就尝试与多个对基板作业机WM0进行通信，在无法与多个对基板作业机WM0中的至少一个对基板作业机WM0进行通信且从看门狗定时器获取到表示超时的状态信号时，也能够判断为无法确认到正常状态。

并且，供给控制部74可以是组合了第一形式及第二形式的形式。具体而言，供给控制部74具备电磁接触器75、励磁电路76、作业机侧开闭器77、电源侧开闭器78、正常状态确认部80。另外，励磁电路76串联连接有电磁线圈751、作业机侧开闭器77及电源侧开闭器78。在该形式中，具备使电力向电力供给电路73的供给停止的两个停止单元，因此，即便一个停止单元产生不良状况，也能够通过其他停止单元使电力向电力供给电路73的供给停止，与具备一个停止单元的形式相比，电源切断装置70的可靠性提高。

1-7.其他

如图5所示，经由配电部72对电力供给电路73供给直流电力，因此，电力供给电路73具备使电源装置71生成的直流电力平滑的平滑电容器C0。即便通过供给控制部74停止电力向电力供给电路73的供给，也存在在平滑电容器C0残留电荷的可能性。

此处，电力供给电路73具备放电电路DS0较佳。放电电路DS0在通过供给控制部74停止了直流电力的输出时，使残留于平滑电容器C0的电荷放电。放电电路DS0在通过供给控制部74停止了直流电力的输出时，能够使残留于平滑电容器C0的电荷放电即可，能够采取各种形式。

本实施方式的放电电路DS0具备开关元件TR0和电阻器R0。开关元件TR0及电阻器R0串联连接，并与平滑电容器C0并列连接。电力供给电路73的控制装置在通过供给控制部74停止了直流电力的输出时，能够在预定时间将开关元件TR0从断开状态控制为闭合状态，使残留于平滑电容器C0的电荷放电。

另外，放电电路DS0也能够具备检测在电阻器R0流动的电流的电流检测器。在这种情况下，电力供给电路73的控制装置也能够基于电流检测器的检测结果，进行以使在电阻器R0流动的电流成为恒定的方式对开关元件TR0进行开闭控制的恒流控制。

如已叙述的那样，作为将由电源装置71生成的电力分别供给于多个对基板作业机WM0的形式，考虑总线连接。在总线连接中，在共用的电源线并列连接有多个对基板作业机WM0各自的电力供给电路73。然而，在该形式中，需要预先配置电源线，难以使电源线伸缩。因此，在该形式中，例如，难以使对基板作业机WM0根据生产计划而增减。

因此，在本实施方式中，电源装置71及多个对基板作业机WM0以菊花链方式连接。由此，能够容易使对基板作业机WM0增减。例如，若增设对基板作业机WM0，则增设前的最后尾的对基板作业机WM0的电力供给电路73与增设的对基板作业机WM0的电力供给电路73电连接。另外，形成励磁电路76的图4及图6所示的连接部761在增设前的最后尾的对基板作业机WM0中电断开，在增设的对基板作业机WM0中电连接。需要说明的是，图4及图6中，为了方便图示，由白色的圆圈表示的连接位置向纸面右方向错开图示。另外，电断开的部位由虚线表示。

另外，如图9所示，本实施方式的基板生产线1设置为能够使对基板作业机WM0增减，上述对基板作业机WM0具备基座B0和以能够拉出的方式设置在基座B0上的作业模块M0。在作业模块M0设置有已叙述的基板搬运装置11、装配头30等。因此，电力供给电路73设置于基座B0。

需要说明的是，图9的实线所示的作业模块M0表示搭载于基座B0的搭载位置的状态。虚线所示的作业模块M0表示从搭载位置拉出的状态。例如，作业者在进行对基板作业机WM0的维护时，操作断路器，切断了对基板作业机WM0的驱动电力之后，能够拉出作业模块M0。若维护结束，则作业者将作业模块M0拉回至基座B0的搭载位置。若作业模块M0被拉回至基座B0的搭载位置，则作业者能够操作断路器而接入对基板作业机WM0的驱动电力。

电源装置71也能够生成交流电力。在这种情况下，配电部72将由电源装置71生成的交流电力从基板生产线1的一端侧的对基板作业机WM0依次分配至另一端侧的对基板作业机WM0。然而，在该形式中，多个对基板作业机WM0分别需要将输入的交流电力转换为直流电力的电力转换器。因此，本实施方式的电源装置71生成直流电力。另外，也能够在生成直流电力的电源装置71的输出侧设置开闭器，但与使交流电力断续的情况相比，开闭器大型化，存在高成本化的可能性。因此，在本实施方式中，电磁接触器75设置于电源装置71的输入侧。

另外，作为将由电源装置71生成的电力分别供给于多个对基板作业机WM0的形式，考虑星形连接。在该形式中，配电部72也能够将由电源装置71生成的电力分别分配到多个对基板作业机WM0。其中，在该形式中，电源切断装置70能够具备励磁电路76及电源侧开闭器78设置于具备电源装置71的作业机的第二形式的供给控制部74，但难以具备第一形式的供给控制部74。因此，在本实施方式中，电源装置71及多个对基板作业机WM0以菊花链方式连接。由此，供给控制部74的变更增加，如已叙述的那样，也能够通过多个停止单元而提高电源切断装置70的可靠性。

2.电源切断方法

针对电源切断装置70而已叙述的内容也可以说针对电源切断方法也相同。电源切断方法应用于供电系统60，上述供电系统60具备可动部51、驱动部53、电源装置71、配电部72、电力供给电路73，并具备供给控制工序。供给控制工序相当于供给控制部74进行的控制。电源切断方法也能够具备正常状态确认工序。正常状态确认工序相当于正常状态确认部80进行的控制。

3.实施方式的效果的一个例子

电源切断装置70具备供给控制部74。因此，电源切断装置70在对对基板作业机WM0进行驱动的驱动电力被切断时，能够使电力向电力供给电路73的供给停止。针对电源切断装置70而上述的内容可以说针对电源切断方法也相同。

附图标记说明

1：基板生产线、40R：行走路径、51：可动部、53：驱动部、

60：供电系统、70：电源切断装置、71：电源装置、

72：配电部、73：电力供给电路、74：供给控制部、

75：电磁接触器、751：电磁线圈、76：励磁电路、

77：作业机侧开闭器、78：电源侧开闭器、80：正常状态确认部、C0：平滑电容器、DS0：放电电路、90：基板、

B0：基座、M0：作业模块、WM0：对基板作业机。

Claims (11)

1.一种电源切断装置，具备：

可动部，能够在沿着基板生产线设置的行走路径上行走，所述基板生产线排列设置有对基板进行预定的对基板作业的多个对基板作业机；

驱动部，设置于所述可动部，并使用通过非接触供电从所述对基板作业机供给的供给电力来使所述可动部行走；

电源装置，生成电力；

配电部，将由所述电源装置生成的所述电力分别分配到多个所述对基板作业机；

电力供给电路，分别设置于多个所述对基板作业机，并使用经由所述配电部而分配的所述电力来生成向所述驱动部供给的所述供给电力；及

供给控制部，在多个所述对基板作业机中的至少一个所述对基板作业机中对所述对基板作业机进行驱动的驱动电力被切断时，使所述电力向所述电力供给电路的供给停止。

2.根据权利要求1所述的电源切断装置，其中，

所述电源装置及多个所述对基板作业机以菊花链方式连接，

所述配电部将由所述电源装置生成的所述电力从所述基板生产线的一端侧的所述对基板作业机依次分配至另一端侧的所述对基板作业机。

3.根据权利要求2所述的电源切断装置，其中，

所述供给控制部具备：

电磁接触器，设置于所述电源装置的输入侧，并能够在电磁线圈被励磁时将交流电力输入到所述电源装置；

励磁电路，对所述电磁线圈进行励磁；及

作业机侧开闭器，分别设置于多个所述对基板作业机，在多个所述对基板作业机中的至少一个所述对基板作业机的所述驱动电力被切断时，断开所述励磁电路，

所述励磁电路串联连接有所述电磁线圈及所述作业机侧开闭器。

4.根据权利要求3所述的电源切断装置，其中，

所述作业机侧开闭器是能够由作业者进行所述对基板作业机的所述驱动电力的接入或者切断的断路器。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的电源切断装置，其中，

所述供给控制部具备：

电磁接触器，设置于所述电源装置的输入侧，并能够在电磁线圈被励磁时将交流电力输入到所述电源装置；

励磁电路，对所述电磁线圈进行励磁；

电源侧开闭器，设置于具备所述电源装置的作业机，在多个所述对基板作业机中的至少一个所述对基板作业机的所述驱动电力被切断时，断开所述励磁电路；及

正常状态确认部，每经过预定时间就对多个所述对基板作业机来确认所述对基板作业机正常动作的正常状态，

所述励磁电路串联连接有所述电磁线圈及所述电源侧开闭器，

在对多个所述对基板作业机中的至少一个所述对基板作业机无法确认到所述正常状态时，所述正常状态确认部使所述电源侧开闭器成为断开状态。

6.根据权利要求5所述的电源切断装置，其中，

所述正常状态确认部每经过所述预定时间就尝试与多个所述对基板作业机进行通信，在无法与多个所述对基板作业机中的至少一个所述对基板作业机进行通信时，判断为无法确认到所述正常状态。

7.根据权利要求5或6所述的电源切断装置，其中，

所述电力供给电路具备看门狗定时器，所述看门狗定时器以比所述预定时间短的周期在计数器达到预定值之前使所述计数器复位，在经过所述预定时间且所述计数器达到所述预定值时，输出表示超时的状态信号，

在从所述看门狗定时器获取到所述状态信号时，所述正常状态确认部判断为无法确认到所述正常状态。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的电源切断装置，其中，

所述电源装置生成直流电力，

所述电力供给电路具备：

平滑电容器，使所述直流电力平滑；及

放电电路，在通过所述供给控制部停止了所述直流电力的输出时，使残留于所述平滑电容器的电荷放电。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的电源切断装置，其中，

所述基板生产线设置为所述对基板作业机能够增减，所述对基板作业机具备基座和作业模块，且所述作业模块以能够拉出的方式设置于所述基座上，

所述电力供给电路设置于所述基座。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的电源切断装置，其中，

所述电源装置生成直流电力。

11.一种电源切断方法，应用于供电系统，所述供电系统具备：

可动部，能够在沿着基板生产线设置的行走路径上行走，所述基板生产线排列设置有对基板进行预定的对基板作业的多个对基板作业机；

驱动部，设置于所述可动部，并使用通过非接触供电从所述对基板作业机供给的供给电力来使所述可动部行走；

电源装置，生成电力；

配电部，将由所述电源装置生成的所述电力分别分配到多个所述对基板作业机；及

电力供给电路，分别设置于多个所述对基板作业机，并使用经由所述配电部而分配的所述电力来生成向所述驱动部供给的所述供给电力，

所述电源切断方法具备如下的供给控制工序：在多个所述对基板作业机中的至少一个所述对基板作业机中对所述对基板作业机进行驱动的驱动电力被切断时，使所述电力向所述电力供给电路的供给停止。

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