CN114976605A - 薄膜传感器、薄膜传感器阵列及电子装置 - Google Patents
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Abstract
本公开提供一种薄膜传感器、薄膜传感器阵列及电子装置,属于通信技术领域,其可解决现有的薄膜传感器中的功能区和非功能区的结构的视觉差异较大,影响视觉效果的问题。本公开的薄膜传感器,具有功能区和围绕功能区的非功能区,薄膜传感器包括:介质基板,具有相对设置的第一表面和第二表面;第一导电层,位于介质基板的第一表面;第一导电层包括:设置于功能区的第一导电结构;第二导电层,位于介质基板的第二表面;第一遮光层,位于介质基板的第一表面;第一遮光层包括:至少设置于非功能区的第一遮光结构;第一遮光结构与第一导电结构的图案相同。
Description
技术领域
本公开属于通信技术领域,具体涉及一种薄膜传感器、薄膜传感器阵列及电子装置。
背景技术
随着物联网技术、通讯技术的发展,薄膜传感器,例如薄膜天线的需求日趋增加。为了实现与生活场景更好的集成,透明天线备受青睐。例如透明天线可以与建筑玻璃、轨道交通的玻璃或汽车玻璃等集成,不仅不影响正常视线,并且还可以辅助实现信息传递,实现万物互联,让生活更便捷。
然而,在透明天线的功能区中设置有导电结构,由于导电结构的遮挡作用,功能区与非功能区透光率并不相同,从而导致功能区与非功能区的视觉效果存在很明显的差异,严重影响用户的使用体验。
发明内容
本公开旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一,提供一种薄膜传感器、薄膜传感器阵列及电子装置。
第一方面,本公开实施例提供一种薄膜传感器,具有功能区和围绕所述功能区的非功能区,所述薄膜传感器包括:
介质基板,具有相对设置的第一表面和第二表面;
第一导电层,位于所述介质基板的所述第一表面;所述第一导电层包括:设置于所述功能区的第一导电结构;
第二导电层,位于所述介质基板的所述第二表面;
第一遮光层,位于所述介质基板的所述第一表面;所述第一遮光层包括:至少设置于所述非功能区的第一遮光结构;所述第一遮光结构与所述第一导电结构的图案相同。
可选地,所述第一导电层还包括:设置于所述非功能区的第一辅助导电结构;
所述第一辅助导电结构与所述第一导电结构之间断开设置,且所述第一辅助导电结构与所述第一导电结构的图案相同;
所述第一遮光结构覆盖所述第一导电结构和所述第一辅助导电结构。
可选地,所述第一辅助导电结构中至少部分位置设置有断点。
可选地,所述第二导电层包括:设置于所述功能区的第二导电结构;
所述第二导电结构与所述第一导电结构的图案相同。
可选地,所述薄膜传感器还包括:
第二遮光层,位于所述介质基板的所述第二表面;所述第二遮光层包括:至少设置于所述非功能区的第二遮光结构;所述第二遮光结构与所述第二导电结构的图案相同。
可选地,所述第二导电层还包括:设置于所述非功能区的第二辅助导电结构;
所述第二辅助导电结构与所述第二导电结构之间断开设置,且所述第二辅助导电结构与所述第二导电结构的图案相同;
所述第二遮光结构覆盖所述第二导电结构和所述第二辅助导电结构。
可选地,所述第一遮光层和所述第二遮光层在所述介质基板上的正投影完全重合,且所述第一导电层和所述第二导电层在所述介质基板上的正投影均落在所述第一遮光层在所述介质基板上的正投影内。
可选地,所述第二导电层包括:设置于所述功能区和所述非功能区的第二导电结构;
所述第二导电结构与所述第一导电结构的图案相同。
可选地,所述薄膜传感器还包括:
第一平坦化层,位于所述第一遮光层背离所述介质基板的一侧;
第一保护层,位于所述第一平坦化层背离所述介质基板的一侧;
第二平坦化层,位于所述第二导电层背离所述介质基板的一侧;
第二保护层,位于所述第二平坦化层背离所述介质基板的一侧。
第二方面,本公开实施例提供一种薄膜传感器阵列,包括阵列排布的多个如上述提供的薄膜传感器。
可选地,各个所述薄膜传感器中的所述第一导电层相连接;
各个所述薄膜传感器中的所述第二导电层相连接。
第三方面,本公开实施例提供一种电子装置,包括如上述提供的薄膜传感器阵列。
附图说明
图1为一种示例性的薄膜传感器的结构示意图;
图2为图1所示的薄膜传感器沿A-A方向上的截面结构示意图;
图3为本公开实施例提供的一种薄膜传感器的结构示意图;
图4为本公开实施例提供的另一种薄膜传感器的结构示意图;
图5为图3所示的薄膜传感器沿B-B方向上的一种截面结构示意图;
图6为图4所示的薄膜传感器沿C-C方向上的截面结构示意图;
图7为本公开实施例提供的薄膜传感器中第一辅助导电结构的结构示意图;
图8为图3所示的薄膜传感器沿B-B方向上的另一种截面结构示意图;
图9为图3所示的薄膜传感器沿B-B方向上的又一种截面结构示意图;
图10为本公开实施例提供的又一种薄膜传感器的结构示意图。
具体实施方式
为使本领域技术人员更好地理解本公开的技术方案,下面结合附图和具体实施方式对本公开作进一步详细描述。
除非另外定义,本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性,而只是用来区分不同的组成部分。同样,“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制,而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同,而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接,而是可以包括电性的连接,不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系,当被描述对象的绝对位置改变后,则该相对位置关系也可能相应地改变。
图1为一种示例性的薄膜传感器的结构示意图,如图1所述,该薄膜传感器具有功能区和围绕功能区的非功能区。图2为图1所示的薄膜传感器沿A-A方向上的截面结构示意图,如图1和图2所示,该薄膜传感器包括:介质基板100,介质基板100具有相对设置的第一表面和第二表面,即上表面和下表面;第一导电层101和第二导电层102分别位于介质基板100的第一表面和第二表面。以薄膜传感器为透明天线为例,其中,第一导电层101可以为辐射层,第二导电层102可以为接地层,为了保证第一导电层101和第二导电层102具有良好的光线透过率,一般,第一导电层101和第二导电层102进行图案化处理,例如,第一导电层101可以采用金属材料制成的网格线构成,第二导电层102也可以采用金属材料制成的网格线构成。可以理解的是,第一导电层101和第二导电层102还可以采用其他图案的结构构成,例如,菱形、三角形等图案的块状电极,在此不再一一列举。由图1可以看出,在介质基板100的两个表面上并非整面均设置有第一导电层101和第二导电层102,即网格线,由于第一导电层101和第二导电层102对于光线的遮挡作用,使得功能区与非功能区透光率并不相同,从而导致功能区与非功能区的视觉效果存在很明显的差异,严重影响用户的使用体验。
为了至少解决上述的技术问题之一,本公开实施例提供了一种薄膜传感器、薄膜传感器阵列及电子装置,可以理解的是,本公开实施例提供的薄膜传感器可以为透明天线,还可以为其他类型的薄膜传感器,在此不再一一列举。下面将以透明天线为例,并结合附图及具体实施方式,对本公开实施例提供的薄膜传感器、薄膜传感器阵列及电子装置进行进一步详细说明。
第一方面,本公开实施例提供了一种薄膜传感器,图3为本公开实施例提供的一种薄膜传感器的结构示意图,图4为本公开实施例提供的另一种薄膜传感器的结构示意图,如图3和图4所示,该薄膜传感器具有功能区和围绕功能区的非功能区。图5为图3所示的薄膜传感器沿B-B方向上的截面结构示意图,图6为图4所示的薄膜传感器沿C-C方向上的截面结构示意图,如图3、图4、图5和图6所示,该薄膜传感器包括:介质基板100,具有相对设置的第一表面和第二表面;第一导电层101,位于介质基板100的第一表面;第一导电层101包括:设置于功能区的第一导电结构1011;第二导电层102,位于介质基板100的第二表面;第一遮光层103,位于介质基板100的第一表面;第一遮光层103包括:至少设置于非功能区的第一遮光结构1030;第一遮光结构1030与第一导电结构1011的图案相同。
在一些实施例中,介质基板100位于第一导电层101和第二导电层102之间,可以为低损耗介电材料,起到支撑第一导电层101和第二导电层102的作用。介质基板100可以柔性基板,也可以为刚性基板,与其他物体共型时,为了实现良好的弯折性能,介质基板100优选采用柔性基板,其材料可以包括聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯或聚乙烯等透明柔性材料。
第一导电层101和第二导电层102的材料可以为铝、铜或钼等金属材料,在保证具有良好的导电性能的同时,还具有良好的弯折性能,这样可以随着柔性基板的弯折而弯折,从而实现与其他物体更好的共型。可以理解的是,第一导电层101和第二导电层102的材料还可以为其他透明的非金属导电材料,例如氧化铟锡(ITO)等,在此不再一一列举。一般情况下,第一导电层101和第二导电层102需要进行图案化处理,并且第一导电层101的图案和第二导电层102的图案相同。例如,第一导电层101可以采用金属材料制成的网格线构成,第二导电层102也可以采用金属材料制成的网格线构成,这样,光线可透过第一导电层101和第二导电层102中的网格线之间的空隙,以保证第一导电层101和第二导电层102具有良好的光线透过率。在此需要说明的是,在本公开之后的描述中不同结构的图案相同也可以采用上述方式进行设置,将不再进行详述。
第一遮光层103的材料可以为光刻胶等遮光材料,其厚度一般在1微米至2微米。可以通过构图工艺,使得第一遮光层103形成与第一导电结构1011的图案相同的第一遮光结构1030。在本公开实施例中,第一遮光层103可以仅设置于非功能区,其与第一导电层101之间可以不连接,因此,第一遮光层103的材料还可以为铝、铜或钼等金属材料。当然,第一遮光材料103的材料还可以为其他非透明材料,在此不再一一列举。在实际应用过程中,第一遮光层103同第一导电层101和第二导电层102一样,也需要进行图案化处理,并且第一遮光层103的图案与第一导电层101的图案相同,例如,第一遮光层103也可以采用网格线构成,这样,光线可以从网格线之间的空隙透过,以保证薄膜传感器整体的光线透过率。
本公开实施例提供的薄膜传感器,第一导电层101与第二导电层102相对设置,二者可以将电信号转换为电磁信号,或者将电磁信号转换为电信号,以实现信号的辐射与接收功能。在介质基板100的第一表面上,第一导电层101形成有第一导电结构1011,第一遮光层103形成有第一遮光结构1030。在第一遮光层103可以仅设置在非功能区时(如图4和图6所示),朝着介质基板100的第一表面观察,用户可以看到第一导电结构1011和第一遮光结构1030。由于第一遮光结构1030与第一导电结构1011的图案相同,这样可以使得功能区与非功能区中的光线透过率更加均匀,从而使得功能区与非功能区的结构在视觉效果上不存在明显的差异,进而可以改善用户的视觉体验。在第一遮光层103设置在非功能区和功能区时(如图3和图5所示),第一遮光层103可以将第一导电层101覆盖,朝着介质基板100的第一表面观察,用户可以仅看到第一遮光结构1030。这样可以使得功能区与非功能区中的光线透过率更加均匀,从而使得功能区与非功能区的结构在视觉效果上不存在明显的差异,进而可以改善用户的视觉体验。并且,本公开实施例提供的薄膜传感器的结构简单,可以节约制备成本。
在一些实施例中,如图3和图5所示,第一导电层101还包括:设置于非功能区的第一辅助导电结构1012(图3中未示出);第一辅助导电结构1012与第一导电结构1011之间断开设置,且第一辅助导电结构1012与第一导电结构1011的图案相同;第一遮光结构1030覆盖第一导电结构1011和第一辅助导电结构1012。
在此需要说明的是,图3和图5中的薄膜传感器中的第一遮光层103设置于功能区和非功能区,第一遮光层103由第一遮光结构1030构成,第一遮光结构1030覆盖第一导电结构1011,由于功能区中设置有第一导电结构1011,非功能区中未设置第一导电结构1011,两个区域的分界处存在高度差,使得第一遮光层103在两个区域的分界处也存在高度差。在第一导电层101的厚度为1微米以下时,该高度差造成的视觉差异并不明显,然而,在第一导电层101的厚度为1微米以上时,该高度差造成的视觉差异相对较为明显,影响视觉效果。图3和图5中的薄膜传感器中的非功能区设置有第一辅助导电结构1012,由于该第一辅助导电结构1012与第一导电结构1011的图案相同,可以使得功能区与非功能区中的膜层的厚度相同,避免在功能区与非功能区的交界处产生高度差,从而可以避免第一遮光层103在功能区和非功能区的交界处产生高度差,造成视觉差异,从而可以改善用户的视觉体验。在本公开实施例中,第一辅助导电结构1012可以设置于非功能区,其与第一导电结构1011之间可以不连接,因此,第一导电层101中的第一辅助导电结构1012处的材料可以为铝、铜或钼等金属材料或者其他不具有导电性能的材料,在此不再一一列举。
图7为本公开实施例提供的薄膜传感器中第一辅助导电结构1012的结构示意图,如图7所示,第一辅助导电结构1012中至少部分位置设置有断点。
在一些实施例中,如图7所示,第一辅助导电结构1012也可以由网格线构成,其材料可以为金属也可以为不具有导电性能的其他材料。第一辅助结构中的断点可以设置在不同的网格线的交叉位置处,也可以设置在其他位置,每条网格线上断点的数量可以根据实际需要进行设置。可以理解的是,第一辅助导电结构1012中断点的位置除了如图7中所示的6种位置外,还可以为其他的位置,在此不再一一列举。第一辅助导电结构1012中设置断点,可以保证第一辅助导电结构1012断开,使得非功能区中的第一导电层101不能通电导通,避免对功能区中的第一导电结构1011中信号的干扰。
在一些实施例中,如图3、图4、图5和图6所示,第二导电层102包括:设置于功能区的第二导电结构1021;第二导电结构1021与第一导电结构1011的图案相同。
需要说明的是,第二导电层102可以包括设置于功能区的第二导电结构1021,该第二导电结构1021与第一导电结构1011的图案相同,朝着介质基板100的第一表面观察,第一导电结构1011可以将第二导电结构1021进行遮挡,用户可以看到第一导电结构1011和第一遮光结构1030,或者仅可以看到第一遮光结构1030。由于第一遮光结构1030与第一导电结构1011的图案相同,这样可以使得功能区与非功能区中的光线透过率更加均匀,从而使得功能区与非功能区的结构在视觉效果上不存在明显的差异,进而可以改善用户的视觉体验。
在一些实施例中,如图3、图4、图5和图6所示,薄膜传感器还包括:第二遮光层104,位于介质基板100的第二表面;第二遮光层104包括:至少设置于非功能区的第二遮光结构1040;第二遮光结构1040与第二导电结构1021的图案相同。
在介质基板100的第二表面上,第二导电层102形成有第一导电结构1011,第二遮光层104形成有第二遮光结构1040。在第二遮光层104可以仅设置在非功能区时(如图4和图6所示),朝着介质基板100的第二表面观察,用户可以看到第二导电结构1021和第二遮光结构1040。由于第二遮光结构1040及第二导电结构1021均与第一导电结构1011的图案相同,这样可以使得功能区与非功能区中的光线透过率更加均匀,从而使得功能区与非功能区的结构在视觉效果上不存在明显的差异,进而可以改善用户的视觉体验。在第二遮光层104设置在非功能区和功能区时(如图3和图5所示),第二遮光层104可以将第二导电层102覆盖,朝着介质基板100的第二表面观察,用户可以仅看到第二遮光结构1040。这样可以使得功能区与非功能区中的光线透过率更加均匀,从而使得功能区与非功能区的结构在视觉效果上不存在明显的差异,进而可以改善用户的视觉体验。
在一些实施例中,如图3和图5所示,第二导电层102还包括:设置于非功能区的第二辅助导电结构1022(图3中未示出);第二辅助导电结构1022与第二导电结构1021之间断开设置,且第二辅助导电结构1022与第二导电结构1021的图案相同;第二遮光结构1040覆盖第二导电结构1021和第二辅助导电结构1022。
在此需要说明的是,图3和图5中的薄膜传感器中的第二遮光层104设置于功能区和非功能区,第二遮光层104由第二遮光结构1040构成,第二遮光结构1040覆盖第二导电结构1021,由于功能区中设置有第二导电结构1021,非功能区中未设置第二导电结构1021,两个区域的分界处存在高度差,使得第二遮光层104在两个区域的分界处也存在高度差。在第二导电层102的厚度为1微米以下时,该高度差造成的视觉差异并不明显,然而,在第二导电层102的厚度为1微米以上时,该高度差造成的视觉差异相对较为明显,影响视觉效果。图3和图5中的薄膜传感器中的非功能区设置有第二辅助导电结构1022,由于该第二辅助导电结构1022与第二导电结构1021的图案相同,可以使得功能区与非功能区中的膜层的厚度相同,避免在功能区与非功能区的交界处产生高度差,从而可以避免第二遮光层104在功能区和非功能区的交界处产生高度差,造成视觉差异,从而可以改善用户的视觉体验。在本公开实施例中,第二辅助导电结构1022可以设置于非功能区,其与第二导电结构1021之间可以不连接,因此,第二导电层102中的第二辅助导电结构1022处的材料可以为铝、铜或钼等金属材料或者其他不具有导电性能的材料,在此不再一一列举。
在一些实施例中,如图8和图9所示,第一遮光层103和第二遮光层104在介质基板100上的正投影完全重合,且第一导电层101和第二导电层102在介质基板100上的正投影均落在第一遮光层103在介质基板上的正投影内。
在此需要说明的是,第一遮光层103和第二遮光层104在介质基板100上的正投影完全重合,这样无论是朝着介质基板100的第一表面观察,还是朝着介质基板100的第二表面观察,仅可以观察到第一遮光层103和第二遮光层104中的一者,即仅可以观察到第一遮光结构1030,或第二遮光结构1040,由于第一遮光层103以及第二遮光层104在功能区和非功能区中的结构是相同的,这样可以使得薄膜传感器中的功能区与非功能区中的光线透过率更加均匀,因此,功能区和非功能区中的视觉效果均存在明显的差异,从而可以改善用户的视觉体验。在实际应用中,第一导电层101和第二导电层102在介质基板100上的正投影均落在第一遮光层103在介质基板上的正投影内,以对第一导电结构1011和第二导电结构1021进行完全遮挡。当第一导电结构1011与第二导电结构1021的宽度不同时,第一遮光结构1030的宽度应该大于第一导电结构1011与第二导电结构1021中宽度较宽的一者,以实现对二者的完全遮挡。当第一导电结构1011与第二导电结构1021不是正对设置,存在一定的错位时,第一遮光结构1030的宽度应该大于第一导电结构1011与第二导电结构1021所在区域的宽度,以是实现对二者的完全遮挡。优选地,一般第一遮光结构1030单侧宽度要比第一导电结构1011的宽度大于0.5微米至3微米,以实现第一遮光层103对第一导电层101的完全覆盖,避免使得部分第一导电层101露出,影响视觉效果。第二遮光结构1040与第二导电结构1021也需要如上述设置,在此不再详述。
图10为本公开实施例提供的又一种薄膜传感器的结构示意图,如图10所示,该薄膜传感器中的第二导电层102包括:设置于功能区和非功能区的第二导电结构1021;第二导电结构1021与第一导电结构1011的图案相同。
在本公开实施例中,第二导电层102的第二导电结构1021可以设置于功能区和非功能区,即将介质基板100的第二表面全部覆盖,这样在功能区和非功能区的结构在视觉效果上不存在差异,可以不需要设置第二遮光层104来对第二导电结构1021进行遮挡,进而不必设置第二辅助导电结构1022,从而可以使得结构简单,减少工艺步骤,进而节约制备成本。
在一些实施例中,该薄膜传感器还包括:第一平坦化层,位于第一遮光层103背离介质基板100的一侧;第一保护层,位于第一平坦化层背离介质基板100的一侧;第二平坦化层,位于第二导电层102背离介质基板100的一侧;第二保护层,位于第二平坦化层背离介质基板100的一侧。
在此需要说明的是,第一平坦化层可以采用树脂等有机材料制成,可以对第一遮光层103进行平坦化处理,以对第一遮光层103进行保护。第二平坦化层也可以采用树脂等有机材料制成,可以为第二导电层102进行平坦化处理,以对第二导电层102进行保护。可以理解的是,第二导电层102背离介质基板100的一侧还可以设置有第二遮光层104,此时,第二平坦化层可以为对第二遮光层104进行平坦化处理,以对第二遮光层104进行保护。第一保护层可以采用硬质材料制成,可以对第一平坦化层进行保护。第二保护层也可以采用硬质材料制成,可以对第二平坦化层进行保护。
第二方面,本公开实施例提供了一种薄膜传感器阵列,该薄膜传感器阵列包括阵列排布的多个如上述提供的薄膜传感器,其中,各个薄膜传感器中的第一导电层相连接,各个薄膜传感器中的第二导电层相连接,这样可以扩大第一导电层和第二导电层的面积,以提高信号的传输性能。该薄膜传感器阵列实现原理及其具有的技术效果可参考上述对薄膜传感器的实现原理及技术效果的论述,在此不再赘述。
第三方面,本公开实施例还提供了一种电子装置,该电子装置可以为手机、平板电脑、电子手表、运动手环、笔记本电脑等具有薄膜传感器的电子设备。该电子装置还可以为集成有薄膜传感器的汽车玻璃、轨道交通玻璃及建筑物玻璃等。该电子装置的实现原理及其具有的技术效果可参考上述对薄膜传感器的实现原理及技术效果的论述,在此不再赘述。
可以理解的是,以上实施方式仅仅是为了说明本公开的原理而采用的示例性实施方式,然而本公开并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言,在不脱离本公开的精神和实质的情况下,可以做出各种变型和改进,这些变型和改进也视为本公开的保护范围。
Claims (12)
1.一种薄膜传感器,具有功能区和围绕所述功能区的非功能区,其特征在于,所述薄膜传感器包括:
介质基板,具有相对设置的第一表面和第二表面;
第一导电层,位于所述介质基板的所述第一表面;所述第一导电层包括:设置于所述功能区的第一导电结构;
第二导电层,位于所述介质基板的所述第二表面;
第一遮光层,位于所述介质基板的所述第一表面;所述第一遮光层包括:至少设置于所述非功能区的第一遮光结构;所述第一遮光结构与所述第一导电结构的图案相同。
2.根据权利要求1所述的薄膜传感器,其特征在于,所述第一导电层还包括:设置于所述非功能区的第一辅助导电结构;
所述第一辅助导电结构与所述第一导电结构之间断开设置,且所述第一辅助导电结构与所述第一导电结构的图案相同;
所述第一遮光结构覆盖所述第一导电结构和所述第一辅助导电结构。
3.根据权利要求2所述的薄膜传感器,其特征在于,所述第一辅助导电结构中至少部分位置设置有断点。
4.根据权利要求1所述的薄膜传感器,其特征在于,所述第二导电层包括:设置于所述功能区的第二导电结构;
所述第二导电结构与所述第一导电结构的图案相同。
5.根据权利要求4所述的薄膜传感器,其特征在于,所述薄膜传感器还包括:
第二遮光层,位于所述介质基板的所述第二表面;所述第二遮光层包括:至少设置于所述非功能区的第二遮光结构;所述第二遮光结构与所述第二导电结构的图案相同。
6.根据权利要求5所述的薄膜传感器,其特征在于,所述第二导电层还包括:设置于所述非功能区的第二辅助导电结构;
所述第二辅助导电结构与所述第二导电结构之间断开设置,且所述第二辅助导电结构与所述第二导电结构的图案相同;
所述第二遮光结构覆盖所述第二导电结构和所述第二辅助导电结构。
7.根据权利要求5所述的薄膜传感器,其特征在于,所述第一遮光层和所述第二遮光层在所述介质基板上的正投影完全重合,且所述第一导电层和所述第二导电层在所述介质基板上的正投影均落在所述第一遮光层在所述介质基板上的正投影内。
8.根据权利要求1所述的薄膜传感器,其特征在于,所述第二导电层包括:设置于所述功能区和所述非功能区的第二导电结构;
所述第二导电结构与所述第一导电结构的图案相同。
9.根据权利要求1-8任一项所述的薄膜传感器,其特征在于,所述薄膜传感器还包括:
第一平坦化层,位于所述第一遮光层背离所述介质基板的一侧;
第一保护层,位于所述第一平坦化层背离所述介质基板的一侧;
第二平坦化层,位于所述第二导电层背离所述介质基板的一侧;
第二保护层,位于所述第二平坦化层背离所述介质基板的一侧。
10.一种薄膜传感器阵列,其特征在于,包括阵列排布的多个如权利要求1-9任一项所述的薄膜传感器。
11.根据权利要求10所述的薄膜传感器阵列,其特征在于,各个所述薄膜传感器中的所述第一导电层相连接;
各个所述薄膜传感器中的所述第二导电层相连接。
12.一种电子装置,其特征在于,包括如权利要求10或11所述的薄膜传感器阵列。
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