CN114952612A - 抛光研磨液过滤设备和抛光研磨液循环过滤系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种抛光研磨液过滤设备，包括机座，以及设于机座的废液收集装置、过滤装置、储液装置、供液装置和添粉装置，其中：废液收集装置经过滤装置连通储液装置；供液装置连通储液装置，供液装置用于向抛光研磨设备供液；添粉装置对应储液装置设置，用于向储液装置中加粉剂。本发明抛光研磨液过滤设备通过废液收集装置、过滤装置、储液装置、供液装置和添粉装置互相配合，实现了抛光研磨液的自动化循环过滤使用，工作效率高。

Description

抛光研磨液过滤设备和抛光研磨液循环过滤系统

技术领域

本发明涉及抛光研磨液处理设备领域，特别涉及一种抛光研磨液过滤设备和抛光研磨液循环过滤系统。

背景技术

过滤是指在外力作用下悬浮液中的液体透过介质，固体颗粒及其他物质被过滤介质截留，从而使固体及其他物质与液体分离的操作，过滤设备是指在自动化生产中用来进行过滤操作的机械设备。

在现有的抛光、研磨之类的抛光研磨设备的生产过程中，常常需要使用抛光液、研磨液作为加工的辅助，以抛光液举例，抛光液在抛光研磨设备中使用后，形成含有杂质的废液流入特定的容器中收集，含有杂质的废液通常由人工回收、人工搬运并进行过滤过滤，还可在通过人工对过滤后的抛光液浓度进行检测，根据检测的浓度，人工向抛光剂中添加抛光研磨粉增加抛光剂浓度，之后再由人工搬运并投入外部抛光研磨设备中使用，抛光液在回收使用的过程中需要大量人力参与，人工作业工作效率较低，导致生产效率低下。

发明内容

本发明的主要目的在于提出一种抛光研磨液过滤设备，旨在解决现有技术中过滤设备与工作设备的抛光剂在回收使用的过程中需要大量人力参与，人工作业工作效率较低，导致生产效率低下的技术问题。

为实现上述目的，本发明提出一种抛光研磨液过滤设备，包括机座，以及设于所述机座的废液收集装置、过滤装置、储液装置、供液装置和添粉装置，其中：

所述废液收集装置经所述过滤装置连通所述储液装置；

所述供液装置连通所述储液装置，所述供液装置用于向抛光研磨设备供液；

所述添粉装置对应所述储液装置设置，用于向所述储液装置中加粉剂。

在一些实施例中，所述过滤装置包括过滤容器和设于所述过滤容器内的至少一过滤层，所述过滤容器的顶侧设有进水口，所述过滤容器的底侧设有出水口，各个过滤层间隔分布在所述进水口与出水口之间，所述过滤容器的侧壁对应每一过滤层均开设有出料口，每一所述出料口邻近其对应的过滤层的顶面设置。

在一些实施例中，本发明抛光研磨液过滤设备还包括振动装置，所述振动装置连接所述过滤容器，所述振动装置用于驱动过滤容器振动，所述过滤容器底部通过若干弹性件与所述机座连接；和/或，

所述出料口于所述过滤容器周向上的一侧设有朝其另一侧倾斜设置的杂质挡板。

在一些实施例中，所述储液装置包括第一储液容器、检测组件和第一搅拌组件，所述检测组件和所述第一搅拌组件设于所述第一储液容器上，所述检测组件用于检测第一储液容器内的液体信息，所述第一搅拌组件用于搅拌所述第一储液容器内的液体。

在一些实施例中，所述检测组件包括浓度检测传感器、温度检测传感器、第一液位检测传感器。

在一些实施例中，所述添粉装置包括储粉容器、输送管路和设于所述输送管路上的驱动件，所述输送管路的一端连接所述储粉容器的出口，另一端为用于给所述储液装置添加粉剂的出粉端。

在一些实施例中，所述储液装置还包括设于所述添粉装置一侧的第二储液容器，以及设于所述第二储液容器上的第二搅拌组件，所述第二储液容器经所述管路连通所述第一储液容器，所述第二储液容器还设有第二液位检测传感器和用于连接外部水源的进水管。

在一些实施例中，所述废液收集装置包括集水组件和第三储液容器，所述集水组件连通所述第三储液容器，用于将抛光研磨设备排出的抛光研磨废液收集到所述第三储液容器中，所述第三储液容器经所述过滤装置连接所述储液装置，所述第三储液容器上设有第三搅拌组件和第三液位检测传感器。

在一些实施例中，本发明抛光研磨液过滤设备还包括清洗装置，所述清洗装置包括清洗液过滤机构、阻流阀和导流阀，所述阻流阀和所述导流阀设于所述集水组件上，所述抛光研磨设备排出的废液经所述阻流阀流入所述第三储液容器，所述导流阀位于所述抛光研磨设备与所述阻流阀之间，连通所述集水组件和所述清洗液过滤机构。

本发明进一步提出一种抛光研磨液循环过滤系统，包括若干抛光研磨设备和前述记载的抛光研磨液过滤设备，所述抛光液研磨过滤设备通过所述供液装置连接每一所述抛光研磨设备。

本发明方案通过废液收集装置回收抛光研磨设备中的抛光液废液，通过供液装置将废液输送到过滤装置中进行过滤，过滤后的抛光液进入储液装置中，由添粉装置向储液装置中的过滤后的抛光液添加抛光粉，以使储液装置中的抛光液的含抛光粉浓度提升，混合了抛光粉的抛光液由供液装置输送至抛光研磨设备中供加工该设备使用。本发明方案中无需人力参与完成作业，因此效率高。

附图说明

图1为本发明一实施例的抛光研磨液循环过滤系统的示意图；

图2为本发明一实施例的抛光研磨液过滤设备的结构示意图；

图3为本发明一实施例的抛光研磨液过滤设备的结构示意图；

图4为本发明一实施例的机座的结构示意图；

图5为本发明一实施例的过滤装置的结构示意图；

图6为本发明一实施例的过滤装置的内部结构示意图；

图7为本发明一实施例的储液装置的结构示意图；

图8为本发明一实施例的添粉装置的结构示意图；

图9为本发明一实施例的第二储液容器、第二搅拌组件和进水管的结构示意图；

图10为本发明一实施例的废液收集装置和清洗液暂存装置的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明，本发明实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

还需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件上时，它可以直接在另一个元件上或者可能同时存在居中元件。当一个元件被称为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接另一个元件或者可能同时存在居中元件。

另外，在本发明中涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。

参照图1至图4，在一些实施例中，本发明提出一种抛光研磨液过滤设备，包括机座1，以及设于机座1的废液收集装置2、过滤装置3、储液装置4、供液装置5和添粉装置6，其中：

废液收集装置2经过滤装置3连通储液装置4；

供液装置5连通储液装置4，供液装置5用于向抛光研磨设备100供液；

添粉装置6对应储液装置4设置，用于向储液装置4中加粉剂。

下面将以抛光设备和抛光液为例举例说明，本实施例中，本发明抛光研磨液过滤设备的工作原理：废液收集装置2收集抛光研磨设备100中使用过的抛光液，供液装置5将废液收集装置2中的使用后的抛光液输送至过滤装置3内，由过滤装置3对使用后的抛光液进行过滤，使用后的抛光液经过滤后的其中的固体杂物和抛光液分离。过滤后的抛光液流入储液装置4中，储液装置4中抛光液可由通过供液装置5输送至抛光研磨设备100中，供抛光研磨设备100使用。

在抛光液的不断的使用和回收、过滤的过程中，抛光液中的抛光粉不断在消耗，因此需要添粉装置6补充抛光粉至抛光液中，以维持储液装置4中的抛光液的浓度，从而保证送入抛光研磨设备100中的抛光液可以正常发挥作用。添粉装置6的工作原理为：当储液装置4中的过滤后的抛光液的含抛光粉浓度过低时，由添粉装置6向储液装置4中的抛光液输送抛光粉，储液装置4对过滤后的抛光液和抛光粉进行混合，然后通过供液装置5将抛光液输出至抛光研磨设备100使用。通过上述装置的互相配合实现抛光液的回收、过滤、补充抛光粉和向抛光研磨设备100供给的各项流程的自动化，全程无需人力参与，效率高。

具体的，供液装置5可由若干个水泵和若干条管道组成，不同的管道可同时连接水泵或其它装置，在一些实施例中，各装置之间的抛光液转移可通过供液装置5完成。

参照图2、图5和图6，在一些实施例中，本发明实施例所提出的过滤装置3包括过滤容器31和设于过滤容器31内的至少一过滤层32，过滤容器31的顶侧设有进水口311，过滤容器31的底侧设有出水口312，各个过滤层32间隔分布在进水口311与出水口312之间，过滤容器31的侧壁对应每一过滤层32均开设有出料口313，每一出料口313邻近其对应的过滤层32的顶面设置。

本实施例中，过滤装置3的工作原理为：废液收集装置2中收集的来自抛光研磨设备100的使用后的抛光液废液，废液收集装置2中所收集的废液可通过供液装置5进行转移，废液经过滤装置3的进水口311进入过滤容器31中，进入过滤容器31中的废液被过滤层32过滤，废液中的液体向出水口312流动，杂质被过滤层32截留，被过滤后的抛光液由出水口312流出后流向储液装置4。

当设置有多层过滤层32时，设置的各过滤层32的过滤等级可以不同，用于分级过滤废液中的固体，实现精密过滤，本领域技术人员可根据实际情况进行设计。

在一些实施例中，过滤层32可以是带过滤孔的过滤网，也可以通过本领域技术人员根据实际情况进行设计和选择，过滤网的规格最高可选为目过滤网纱，进一步实现精密过滤。

参照图5和图6，在一些实施例中，本发明实施例所提出的抛光研磨液过滤设备还包括振动装置33，振动装置33连接过滤容器31，振动装置33用于驱动过滤容器31振动，过滤容器31底部通过若干弹性件34与机座1连接；和/或，

出料口313于过滤容器31周向上的一侧设有朝其另一侧倾斜设置的杂质挡板314。

本实施例中，本发明抛光研磨液过滤设备通过振动装置33驱动过滤容器31发生振动，在过滤待过滤的抛光液时，被过滤层32上截留的固体杂物随过滤容器31振动而振动，被振动的固体杂物由出料口313排出，出料口313连接有固体杂物收集装置进行收集。振动装置33的设置实现了过滤层32上固体杂物的清洁，使过滤层32不会因过滤的固体杂物堆积而堵塞，振动装置32代替了人工清洁杂物。

在一些实施例中，弹性件34为弹簧，其设置的目的是为过滤容器31的振动提供缓冲和限位，缓冲即使振动的过滤容器31不会因直接连接机座1而使机座1发生振动。备选的，振动装置33也可以设在机座1上，其输出端连接到过滤容器31上，驱动过滤容器31发生振动，并通过弹性件34的设置为过滤容器31的振动提供缓冲。

在一些实施例中，过滤容器31外侧设置有阀门35，阀门35一端连接出料口313，另一端连接固体杂物收集的装置，阀门35可自动控制连通或断开出料口313与固体杂物收集的装置之间的连接，以此实现定时清理固体杂物。

振动装置33为振动电机，振动电机可以驱动过滤容器31产生绕过滤容器31中心转动的振动。过滤容器31中设置的杂质挡板314用于将固体引导至出料口313排出。

具体的，振动电机和杂质挡板314的工作原理为：振动电机驱动过滤容器31产生绕过滤容器31中心转动的振动，以顺时针为转动方向举例说明，当过滤容器31产生顺时针的振动时，过滤层32上的固体杂物也随顺时针的方向振动而运动，当杂质接触到杂质挡板314时，杂质挡板314阻挡杂物，使杂物不能继续沿顺时针方向运动，则向出料口313处移动，最终从出料口313排出至过滤容器31外。

在一些实施例中，可在杂质挡板314上安装有软质刮板，软质刮板的下侧抵接过滤层32，避免因杂质挡板314在过滤容器31的振动过程中不断与过滤层32碰撞发生损伤，软质刮板可选用橡胶。

参照图7，在一些实施例中，本发明实施例所提出的储液装置4包括第一储液容器41、检测组件42和第一搅拌组件43，检测组件42和第一搅拌组件43设于第一储液容器41上，检测组件42用于检测第一储液容器41内的液体信息，第一搅拌组件43用于搅拌第一储液容器41内的液体。

本实施例中，储液装置4的工作原理为：过滤装置3中过滤后的抛光液进入第一储液容器41中，抛光液可在第一储液容器41中蓄积，检测组件42检测第一储液容器41中的抛光液的浓度、温度、存量和PH值各种信息，第一搅拌组件43搅拌第一储液容器41中的抛光液，使抛光液中的抛光粉不会沉积在第一储液容器41的底部。

在一些实施例中，第一储液容器41的内壁可以做为铁氟龙镀层或是镜面处理，使抛光液不会附着在第一储液容器41的内壁而产生结晶。

在一些实施例中，在第一储液容器41底部设置永磁铁，可以吸附抛光液中的铁屑，避免因铁屑混入抛光液中后被输送至抛光研磨设备100中对加工造成影响。

在一些实施例中，第一搅拌组件43由搅拌电机和搅拌轴组成，搅拌电机驱动搅拌轴旋转，对第一储液容器41内的液体进行搅拌。

参照图2和图7，在一些实施例中，本发明前述实施例所提出的检测组件42包括浓度检测传感器421、温度检测传感器422、第一液位检测传感器423。

本实施例中，检测组件42的工作原理为：浓度检测传感器421检测第一储液容器41内的抛光液的抛光粉的含量，当检测含量不足以供抛光研磨设备100使用时，添粉装置6可向第一储液容器41中添加带抛光粉的抛光液，使第一储液容器41中的抛光液含抛光粉的浓度符合抛光研磨设备100使用的标准，第一液位检测传感器423检测第一储液容器41中的抛光液存量，检测抛光液存量的目的在于，在加工过程中过滤液存在消耗，当过滤装置3中流出的经过滤的过滤液被消耗至不足以供给抛光研磨设备100使用时，添粉装置6向第一储液容器41中添加抛光粉，温度检测传感器422用于供生产人员监控抛光液的温度，抛光液的温度对加工有一定影响，当在第一储液容器41中的抛光液的温度超过设定阈值时，温度检测传感器422发出警报。

参照图3和图8，在一些实施例中，本发明前述实施例所提出的添粉装置6包括储粉容器61、输送管路62和设于输送管路62上的驱动件63，输送管路62的一端连接储粉容器61的出口，另一端为用于给储液装置4添加粉剂的出粉端。

本实施例中，添粉装置6的工作原理为：储粉容器61内储存有抛光粉，当浓度检测传感器421检测到第一储液容器41中抛光液浓度较低需要向第一储液容器41中添加抛光粉时，储粉容器61中的抛光粉被驱动件63输送至第一储液容器41内与抛光液混合，再由第一搅拌组件43搅拌使混合充分，以此增加第一储液容器41中的抛光液浓度。储粉装置6也可以定时向第一储液容器41中添加抛光粉，无需检测抛光液浓度，本领域技术人员可根据实际情况进行设计。

在一些实施例中，储粉容器61上可拆卸连接有封盖，在需要对储粉容器61内补充抛光粉时打开封盖，此外的时间封盖为常闭状态。

在一些实施例中，储粉容器61下方连接有振粉器64，振粉器64用于使储粉容器61发生振动，使粘附在储粉容器61内壁上的抛光粉受振动掉落到储粉容器61的底部，避免抛光粉在储粉容器61的内壁上粘附堆积。

在一些实施例中，驱动件63可以是绞龙动力电机，绞龙为螺旋输送机，通常用于抛光粉之类的颗粒和粉状物的运输。

参照图9，在一些实施例中，本发明前述实施例所提出的抛光研磨液过滤设备储液装置4还包括设于添粉装置6一侧的第二储液容器44，以及设于第二储液容器44上的第二搅拌组件45，第二储液容器44经管路连通第一储液容器41，第二储液容器44还设有第二液位检测传感器441和用于连接外部水源的进水管442。

本实施例中，因在第一储液容器41内制备抛光液时，在未制备混合好之前无法向抛光研磨设备100中供给抛光液，可通过设置第二储液容器44和第二搅拌组件45的设置，在第一储液容器41外制备抛光液，只需将制备好的抛光液输送到第一储液容器41中供其使用即可，省去了第一储液容器41中混合抛光粉和抛光液的步骤。

具体地，第二储液容器44中用于接收蓄积进水管442连接外部水源输送的液体，添粉装置6可向第二储液容器44中的液体添加抛光粉，液体与抛光粉混合后形成抛光液，第二搅拌组件45对混合液进行搅拌处理，进一步混合，抛光液由供液装置5输送到储液装置4中，与储液装置4中的过滤后的抛光液进行混合，然后由供液装置5输送到抛光研磨设备中使用。

第二液位检测传感器441用于检测第二储液容器44内的液量多少，配合添粉装置6实现定浓度比的混合的操作，即第二液位检测传感器441检测到一定液位，添粉装置6定量输送抛光粉，使第二储液容器44中的浓度比得以控制。

在一些实施例中，第二搅拌组件45包括搅拌电机和设于搅拌电机输出端的搅拌轴组成，搅拌轴伸入第二储液容器44内。

参照图1和图10，在一些实施例中，本发明前述实施例所提出的废液收集装置2包括集水组件21和第三储液容器22，集水组件21连通第三储液容器22，用于将抛光研磨设备100排出的抛光液废液收集到第三储液容器22中，第三储液容器22经过滤装置3连接储液装置4，第三储液容器22上设有第三搅拌组件221和第三液位检测传感器222。

本实施例中，废液收集装置2的工作原理为：集水组件21连接抛光研磨设备100，收集抛光研磨设备100使用后的抛光液，并将这些抛光液汇集到第三储液容器22中储存，再由供液装置5将第三储液容器22中的抛光液转移到过滤装置3中进行过滤操作。

第三液位检测传感器222用于检测第三储液容器22中的液体容量，当液体过多时，可通过电路系统控制对应的供液装置5功率增大，以加快抛光液转移到过滤装置3中的速度。

在一些实施例中，集水组件21为集水槽，可根据实际情况的设计所需更换为管道之类的材料。

在一些实施例中，第三储液容器22在过滤装置3和集水组件21中起到蓄积和中转的作用，在一定情况下可以将集水组件21和过滤装置3直接连接，但这样的设置方式会使的两者之间抛光液运输通路增长，供液装置5的功率也必须对应增大，使得抛光液运输成本增加

在一些实施例中，在第三储液容器22下方设置有永磁铁，用于吸附铁屑。

参照图10，在一些实施例中，本发明实施例所提出的抛光研磨液过滤设备还包括清洗装置7，清洗装置7包括清洗液过滤机构71、阻流阀72和导流阀73，阻流阀72和导流阀73设于集水组件21上，抛光研磨设备100排出的废液经阻流阀72流入第三储液容器22，导流阀73位于抛光研磨设备100与阻流阀72之间，连通集水组件21和清洗液过滤机构71。

本实施例中，清洗装置7的工作原理为：当本发明抛光研磨液过滤设备在抛光研磨设备100停机后，再开机前需要对集水组件21进行清洗，以保证集水组件21中不存在其他余液残留，在对集水组件21进行清洗时，设置在集水组件21上的阻流阀72的阀口关闭，导流阀73的阀口打开，以使水流不能通过阻流阀72向第三储液容器22流动，只能通过导流阀73流入包括清洗液过滤机构71中进行过滤。清洗过程完成后，阻流阀72的阀口打开，导流阀73的阀口关闭。

在一些实施例中，清洗液过滤机构71开设有容腔711，清洗液过滤机构71可设置有过滤板712，清洗液经过滤板过滤后的流入容腔，容腔内蓄积的清洗液可通过水泵清洗装置7输送至第三储液容器22中使用，或输送至抛光研磨设备100中使用。

本发明进一步提出一种抛光研磨液循环过滤系统，参照图1和图10，包括若干抛光研磨设备100和前述实施例记载的抛光研磨液过滤设备，抛光液研磨过滤设备通过供液装置55连接每一抛光研磨设备100。

本实施例中，抛光研磨液过滤设备可同时供给多个抛光研磨设备100，并通过废液收集装置2和供液装置5实现对多个抛光研磨设备100的抛光液供给循环。每个抛光研磨设备100中流出的抛光液经废液通过过集水组件21，流入第三储液容器22中蓄积，并通过过滤装置3过滤后流入储液装置4中、添粉装置6向储液装置4中的抛光液中添加抛光粉并混合，混合后的抛光液由供液装置5输送至各抛光研磨设备100中使用，实现了抛光液在多个抛光研磨设备100中的循环过滤使用。

以上所述的仅为本发明的部分或优选实施例，无论是文字还是附图都不能因此限制本发明保护的范围，凡是在与本发明一个整体的构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明保护的范围内。

Claims (10)

1.一种抛光研磨液过滤设备，其特征在于，包括机座，以及设于所述机座的废液收集装置、过滤装置、储液装置、供液装置和添粉装置，其中：

所述废液收集装置经所述过滤装置连通所述储液装置；

所述供液装置连通所述储液装置，所述供液装置用于向抛光研磨设备供液；

所述添粉装置对应所述储液装置设置，用于向所述储液装置中加粉剂。

2.根据权利要求1所述的抛光研磨液过滤设备，其特征在于，所述过滤装置包括过滤容器和设于所述过滤容器内的至少一过滤层，所述过滤容器的顶侧设有进水口，所述过滤容器的底侧设有出水口，各个过滤层间隔分布在所述进水口与出水口之间，所述过滤容器的侧壁对应每一过滤层均开设有出料口，每一所述出料口邻近其对应的过滤层的顶面设置。

3.根据权利要求2所述的抛光研磨液过滤设备，其特征在于，还包括振动装置，所述振动装置连接所述过滤容器，所述振动装置用于驱动过滤容器振动，所述过滤容器底部通过若干弹性件与所述机座连接；和/或，

所述出料口于所述过滤容器周向上的一侧设有朝其另一侧倾斜设置的杂质挡板。

4.根据权利要求1所述的抛光研磨液过滤设备，其特征在于，所述储液装置包括第一储液容器、检测组件和第一搅拌组件，所述检测组件和所述第一搅拌组件设于所述第一储液容器上，所述检测组件用于检测第一储液容器内的液体信息，所述第一搅拌组件用于搅拌所述第一储液容器内的液体。

5.根据权利要求4所述的抛光研磨液过滤设备，其特征在于，所述检测组件包括浓度检测传感器、温度检测传感器、第一液位检测传感器。

6.根据权利要求4所述的抛光研磨液过滤设备，其特征在于，所述添粉装置包括储粉容器、输送管路和设于所述输送管路上的驱动件，所述输送管路的一端连接所述储粉容器的出口，另一端为用于给所述储液装置添加粉剂的出粉端。

7.根据权利要求6所述的抛光研磨液过滤设备，其特征在于，所述储液装置还包括设于所述添粉装置一侧的第二储液容器，以及设于所述第二储液容器上的第二搅拌组件，所述第二储液容器经所述管路连通所述第一储液容器，所述第二储液容器还设有第二液位检测传感器和用于连接外部水源的进水管。

8.根据权利要求1所述的抛光研磨液过滤设备，其特征在于，所述废液收集装置包括集水组件和第三储液容器，所述集水组件连通所述第三储液容器，用于将抛光研磨设备排出的抛光研磨废液收集到所述第三储液容器中，所述第三储液容器经所述过滤装置连接所述储液装置，所述第三储液容器上设有第三搅拌组件和第三液位检测传感器。

9.根据权利要求8所述的抛光研磨液过滤设备，其特征在于，还包括清洗装置，所述清洗装置包括清洗液过滤机构、阻流阀和导流阀，所述阻流阀和所述导流阀设于所述集水组件上，所述抛光研磨设备排出的废液经所述阻流阀流入所述第三储液容器，所述导流阀位于所述抛光研磨设备与所述阻流阀之间，连通所述集水组件和所述清洗液过滤机构。

10.一种抛光研磨液循环过滤系统，其特征在于，包括若干抛光研磨设备和权利要求1-9任一项所述抛光研磨液过滤设备，所述抛光液研磨过滤设备通过所述供液装置连接每一所述抛光研磨设备。

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