CN114930989A - 压膜机 - Google Patents

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Abstract

本发明的实施例的压膜机包括：基板供应部，其供应形成有金属图案的基板；覆盖层供应部，其供应附接有多个覆盖层的薄膜；加热辊部，其以使所述多个覆盖层分别覆盖所述金属图案的方式接合所述基板和所述薄膜；基板张力调节部及薄膜张力调节部，其调节被移送至所述加热辊部的所述基板和所述薄膜的张力；接合状态影像拍摄部，其在所述加热辊部接合所述基板和所述薄膜之后测量所述多个覆盖层之间的间距；以及调整部，其以使由所述接合状态影像拍摄部测量的所述多个覆盖层之间的间距维持预先设定的容许间距的方式调整所述基板张力调节部或所述薄膜张力调节部。

Description

压膜机
技术领域
本发明涉及一种压膜机(laminator)，更详细地，涉及一种用于制造柔性印刷电路板(flexible printed circuit board，FPCB)的压膜机。
背景技术
通常，柔性印刷电路板(flexible printed circuit board，FPCB)包括具有柔性的绝缘基板和通过在绝缘基板的一面或两面上进行诸如铜箔(Cu Foil)的金属膜的图案化而形成的金属电路图案。这样的柔性印刷电路板不但可以弯曲，而且还可以形成三维布线，因而可以有效地利用空间，从而可以实现小型化和轻量化。因此，柔性印刷电路板广泛用于使用厚度较薄的电子器件的多样的产品中。
此外，为了保护印刷在绝缘基板上的金属电路图案，柔性印刷电路板还包括由诸如聚酰亚胺(polyimide film)的材料制成的覆盖层(coverlay)，该覆盖层是以覆盖金属电路图案的方式使用压膜机接合到绝缘基板上的。
如此，用于将覆盖层接合到形成有金属电路图案的绝缘基板的压膜机可以大体地被区分为利用加热辊(heating roll)的方式和利用热压(hot press)的方式。
利用加热辊的方式与利用热压的方式相比具有接合工艺所需的时间相对短的优点。利用热压的方法要将基板和覆盖层薄膜切割成规定的大小后使其对齐，然后进行加热压缩，因此相对而言接合工艺所需的时间变长，并且存在用于实现其的整体装置也变得复杂的问题。相反，在利用加热辊的方法中，由于在连续移动基板和覆盖层薄膜的同时由加热辊接合基板和覆盖层，因而相对而言可以减少接合工艺所需的时间。
然而，利用加热辊(heating roll)的方式虽然可以容易地应用于不要求基板与薄膜之间的精密对齐的柔性扁平电缆(Flexible Flat Cable，FFC)的制造，但不容易应用于在基板和薄膜接合时要求精密的对齐的柔性印刷电路板的制造中。这是因为，由于覆盖层要选择性地覆盖印刷在基板上的金属电路图案，因此要求朝向加热辊连续移动的基板和覆盖层薄膜精密对齐。但是，在卷对卷工艺(Roll-to-roll processing，R2R)中存在着难以精密地维持要彼此接合的两种基材的对齐状态的问题。
发明内容
技术问题
本发明的实施例提供一种压膜机，其不但通过采用卷对卷方式(Roll-to-rollprocessing，R2R)进行接合来提高生产性，而且还通过控制张力来提高精度。
技术方案
根据本发明的实施例，压膜机包括：基板供应部，其供应在每个规定的单位区域形成有金属图案的基板；覆盖层供应部，其供应附接有被冲裁为预定的大小的多个覆盖层的薄膜；加热辊部，其以使所述多个覆盖层分别覆盖所述金属图案的方式接合所述基板和所述薄膜；基板张力调节部，其调节被移送至所述加热辊部的所述基板的张力；薄膜张力调节部，其调节被移送至所述加热辊部的所述薄膜的张力；接合状态影像拍摄部，其在所述加热辊部接合所述基板和所述薄膜之后测量所述多个覆盖层之间的间距；以及调整部，其以使由所述接合状态影像拍摄部测量的所述多个覆盖层之间的间距维持预先设定的容许间距的方式调整所述基板张力调节部调节的所述基板的张力和所述薄膜张力调节部调节的所述薄膜的张力中的一个以上的张力。
所述基板张力调节部和所述薄膜张力调节部分别可以包括：一对张力调节用固定辊；一对张力调节用可变辊；以及张力调节用缸，其移动所述一对张力调节用可变辊的位置以调节所述一对张力调节用固定辊与所述一对张力调节用可变辊之间的距离。另外，所述张力调节用缸可以通过气压或液压来动作。
所述调整部可以调整被供应至所述张力调节用缸的气压或液压。
此外，所述金属图案可以分别形成在所述基板的两个面。另外，所述覆盖层供应部可以包括：第一覆盖层供应部，其供应要接合到所述基板的一面的薄膜；以及第二覆盖层供应部，其供应要接合到所述基板的另一面的薄膜。
所述薄膜张力调节部可以包括：第一薄膜张力调节部，其调节所述第一覆盖层供应部供应的薄膜的张力；以及第二薄膜张力调节部，其调节所述第二覆盖层供应部供应的薄膜的张力。
所述基板供应部可以包括：基板卷绕机，其卷绕有所述基板；以及基板进给器，其将卷绕在所述基板卷绕机上的所述基板移送至所述加热辊部。另外，所述覆盖层供应部可以包括：薄膜卷绕机，其卷绕有所述薄膜；以及薄膜进给器，其将卷绕在所述薄膜卷绕机的所述薄膜移送至所述加热辊部。
所述加热辊部可以包括：一对第一加热辊，其分别与所述基板的两个面对向；以及一对第二加热辊，其分别与所述基板的两个面对向，并且相较于所述一对第一加热辊位于后方以对所述一对第一加热辊进行一次加热的所述基板和所述薄膜进行二次加热。
另外，所述接合状态影像拍摄部可以包括：第一接合状态影像拍摄部，其测量所述一对第一加热辊接合的所述基板和所述薄膜中所述多个覆盖层之间的间距；以及第二接合状态影像拍摄部，其测量所述一对第二加热辊接合的所述基板和所述薄膜中所述多个覆盖层之间的间距。
此外，所述加热辊部可以包括：一对加热辊，其分别与所述基板的两个面对向；以及位置可变支撑装置，其移动所述一对加热辊中的某一个位置以调节所述一对加热辊之间的间距。
所述位置可变支撑装置可以包括：滚珠丝杠轴；支撑体，其螺纹结合于所述滚珠丝杠轴，并支撑所述一对加热辊中的某一个；以及伺服马达，其旋转所述滚珠丝杠轴以移动所述支撑体的位置。
此外，所述位置可变支撑装置还可以包括负荷传感器，该负荷传感器测量施加于所述支撑体的荷重。另外，所述伺服马达可以以使由所述负荷传感器测量的荷重维持在预先设定的荷重范围内的方式移动所述支撑体的位置。
此外，所述位置可变支撑装置还可以包括空气平衡器，该空气平衡器维持所述支撑体的水平。
上述压膜机还可以包括：基板边缘位置控制器，其设于所述基板张力调节部与所述加热辊部之间以调节被移送至所述加热辊部的所述基板的端线位置；以及薄膜边缘位置控制器，其设于所述薄膜张力调节部与所述加热辊部之间以调节被移送至所述加热辊部的所述薄膜的端线位置。
此外，上述压膜机还可以包括：边缘影像拍摄部，其分别拍摄经过了所述基板边缘位置控制器的所述基板的端线和经过了所述薄膜边缘位置控制器的所述薄膜的端线。
另外，当所述边缘影像拍摄部拍摄的所述基板的端线位置或所述薄膜的端线位置脱离预先设定的容许位置时，所述基板边缘位置控制器或所述薄膜边缘位置控制器可以调整所述基板的端线位置或所述薄膜的端线位置。
上述压膜机还可以包括：薄膜去除部，其在所述加热辊部以使所述多个覆盖层分别覆盖形成在所述基板的所述金属图案的方式接合所述基板和所述薄膜之后在所述多个覆盖层分别接合到所述基板的状态下从所述基板去除所述薄膜。
此外，上述压膜机还可以包括：薄膜去除影像拍摄部，其用于在所述薄膜去除部去除接合到所述基板的所述薄膜之后确认形成在所述基板上的所述金属图案和覆盖所述金属图案的所述覆盖层是否有不良。
发明的效果
根据本发明的实施例，压膜机不但通过采用卷对卷方式(Roll-to-rollprocessing，R2R)进行接合来提高生产性，而且还能够通过控制张力来提高精度。
附图说明
图1是循序示出本发明的一实施例的压膜机执行的接合工艺的概念图。
图2是本发明的一实施例的压膜机的正视图。
图3是用于调节在图2的压膜机中使用的一对加热辊的间距的位置可变支撑装置的剖视图。
图4是示出在图2的压膜机中使用的薄膜张力调节部的正视图。
图5是示出通过图2的压膜机接合到基板的覆盖层的平面图。
图6是示出在图2的压膜机中使用的基板边缘位置控制器和边缘影像拍摄部的立体图。
具体实施方式
下面参考附图对本发明的实施例进行详细说明，以便本发明所属领域的普通技术人员能够容易地实施。本发明可以以多种不同的方式实施，并不限于这里描述的实施例。
应指出的是，附图是示意性的，并未按实际比例图示。为了附中的清晰和方便起见，图中所示部分的相对尺寸和比例在其大小上被夸张或缩小而图示，并且任意的尺寸仅是示例性的，而非限定性的。另外，对于出现在两个以上的图中的相同的结构物、要素或零件，使用相同的附图标记以体现相似的特征。
本发明的实施例具体地示出本发明的理想的实施例。结果，预想得到对图解的多样的变形。因此，本实施例不限于图示区域的特定形态，例如也包括制造引起的形态的变形。
下面参照图1至图6对本发明的一实施例的压膜机101进行描述。本发明的一实施例的压膜机101可以用于制造柔性印刷电路板(flexible printed circuit board，FPCB)。此时，柔性印刷电路板可以包括由绝缘材料制成的基板10、通过在基板10的一面或两面进行金属膜的图案化而形成的金属图案11、以及接合于基板10而覆盖金属图案11的覆盖层21(coverlay)。例如，基板10和覆盖层21可以由聚酰亚胺(polyimide)制成，金属膜可以是铜箔(Cu Foil)。即，金属图案11可以由铜(Cu)形成。
如图1和图2所示，本发明的一实施例的压膜机101包括基板供应部210、覆盖层供应部220、230、加热辊部500、基板张力调节部310、薄膜张力调节部320、330、接合状态影像拍摄部700、以及调整部770。
此外，本发明的一实施例的压膜机101还可以包括基板边缘位置控制器410、薄膜边缘位置控制器420、430、边缘影像拍摄部740、薄膜去除部800、以及薄膜去除影像拍摄部780。
基板供应部210供应在每个规定的单位区域形成有金属图案11的基板10。具体地，基板供应部210可以包括卷绕形成有金属图案11的基板10的基板卷绕机215(winder)、以及将卷绕在基板卷绕机215上的基板10移送至待后述的加热辊部500的基板进给器211(feeder)。
另外，金属图案11可以形成在基板10的一面，或者可以在基板10的两面都形成有金属图案11。以下，在本说明书中，如图1所示，以在基板10的两个面都形成有金属图案11的情况为例进行说明。
覆盖层供应部220、230供应附接有被冲裁为预定的大小的多个覆盖层21的薄膜20。具体地，覆盖层供应部220、230可以包括卷绕附接有多个覆盖层21的薄膜20的薄膜卷绕机225、235、以及将卷绕在薄膜卷绕机225、235上的薄膜移送至待后述的加热辊部500的薄膜进给器221、231。
此外，覆盖层供应部220、230可以包括供应要接合到基板10的一面的薄膜的第一覆盖层供应部220、以及供应要接合到基板10的另一面的薄膜的第二覆盖层供应部230。
加热辊部500以使附接于薄膜20的多个覆盖层21分别覆盖形成在基板10上的金属图案11的方式接合基板10和薄膜20。
具体地，加热辊部500可以包括分别与基板10的两个面对向的一对加热辊511、512、521、522、以及移动一对加热辊511、512、521、522中的某一个的位置以调节一对加热辊511、512、521、522之间的间距的位置可变支撑装置550。
在一对加热辊511、512、521、522的内部设置有感应线圈，通过交流电流过感应线圈时产生的磁力线感应的涡电流流过辊表面，使得辊自身发热。此外，在辊的表面设置有具有高性能传热特性的热管，从而可以将辊表面的温度偏差维持在0.5度以内。这样制成的加热辊511、512、521、522具有优秀的热效率和半永久的寿命，并且温度分布均匀，因此可以均匀地接合基板10和薄膜20。
如图3所示，位置可变支撑装置550可以包括滚珠丝杠轴551、螺纹结合于滚珠丝杠轴551并支撑一对加热辊511、512、521、522中的某一个的支撑体555、以及旋转滚珠丝杠轴551以移动支撑体555的位置的伺服马达553。
此外，位置可变支撑装置550还可以包括测量施加于支撑加热辊511、512、521、522的支撑体555的荷重的负荷传感器557。另外，伺服马达553可以以使由负荷传感器557测量的荷重维持在预先设定的荷重范围内的方式移动支撑体555的位置。
此外，位置可变支撑装置550还可以包括维持支撑体555的水平的空气平衡器558。
如此，在本发明的一实施例中，可以通过负荷传感器557和空气平衡器558均匀地维持一对加热辊511、512、521、522压缩基板10和薄膜20的力。
此外，加热辊部500可以包括一对第一加热辊510和一对第二加热辊520，其中，一对第一加热辊510分别与基板10的两个面对向，一对第二加热辊520分别与基板10的两个面对向，并且相较于一对第一加热辊510位于后方，以最终对一对第一加热辊510进行一次加热的基板10和薄膜20进行加热。
为了接合基板10和薄膜20，加热辊511、512、521、522要维持相当高的温度，当使基板10和薄膜20一次通过高温的加热辊511、512、521、522时，热可能无法充分传递至基板10和薄膜20的内部而发生接合不良。
因此，加热辊部500使用一对第一加热辊510和一对第二加热辊520，用第一加热辊510以比接合所需的温度相对低的温度对基板10和薄膜20进行一次加热后，用第二加热辊520以接合所需的温度对基板10和薄膜20进行最终加热以向基板10和薄膜20的内部渐渐传递热，从而可以牢固地接合基板10和薄膜20。
基板张力调节部310调节基板供应部210供应至加热辊部500的基板10的张力，薄膜张力调节部320、330调节覆盖层供应部220、230供应至加热辊部500的薄膜20的张力。另外，薄膜张力调节部320、330可以包括调节第一覆盖层供应部220供应的薄膜20的张力的第一薄膜张力调节部320、以及调节第二覆盖层供应部230供应的薄膜20的张力的第二薄膜张力调节部330。
此外，对于基板张力调节部310、第一薄膜张力调节部320以及第二薄膜张力调节部330，除了调节张力的对象不同，基本的结构是相同的。以下，在本说明书中，参照图4以第一薄膜张力调节部320为代表例对详细结构进行说明。即，基板张力调节部310和第二薄膜张力调节部330的详细结构与第一薄膜张力调节部320相同。
第一薄膜张力调节部320包括一对张力调节用固定辊325、一对张力调节用可变辊323、以及移动一对张力调节用可变辊323的位置以调节一对张力调节用固定辊325与一对张力调节用可变辊323之间的距离的张力调节用缸321。这里，张力调节用缸321通过气压或液压来动作。
当张力调节用缸321伸缩而调节一对张力调节用固定辊325与一对张力调节用可变辊323之间的距离时，调节施加于经过一对张力调节用固定辊325和一对张力调节用可变辊323的薄膜20的张力。例如，当一对张力调节用固定辊325与一对张力调节用可变辊323之间的距离变远时，施加于薄膜20的张力增大；当一对张力调节用固定辊325与一对张力调节用可变辊323之间的距离变近时，施加于薄膜20的张力减小。
接合状态影像拍摄部700在加热辊部500接合基板10和薄膜20之后测量多个覆盖层21之间的间距。图5示出接合到基板10的覆盖层21。此时，两个接合状态影像拍摄部711、712可以分别拍摄接合到基板10的一面的覆盖层21和接合到基板10的另一面的覆盖层21。
此外，接合状态影像拍摄部700可以包括测量一对第一加热辊510接合的基板10和薄膜20中多个覆盖层21之间的间距的第一接合状态影像拍摄部710、以及测量一对第二加热辊520接合的基板10和薄膜20中多个覆盖层21之间的间距的第二接合状态影像拍摄部720。
例如，如前所述，接合状态影像拍摄部700可以设置共四个(711、712、721、722)。但是，本发明的一实施例不限于此，可以根据金属图案11是形成在基板10的两个面上还是形成在基板10的一面上、以及在加热辊部500中使用的加热辊511、512、521、522的数量来调节接合状态影像拍摄部700的数量。
调整部770以使由接合状态影像拍摄部700测量的多个覆盖层21之间的间距维持预先设定的容许间距的方式调整基板张力调节部310调节的基板10的张力和薄膜张力调节部320、330调节的薄膜20的张力中的一个以上的张力。此时，调整部770可以调整被供应至基板张力调节部310或薄膜张力调节部320、330的张力调节用缸321的气压或液压以调节施加于基板10或薄膜20的张力。例如，调整部770可以是调节被供应至张力调节用缸321的气压的调压器(regulator)。
具体地，当由接合状态影像拍摄部700测量的多个覆盖层21之间的间距比预先设定的容许间距窄时，调整部770可以增加施加于薄膜20的张力以增加多个覆盖层21之间的间距。相反，当由接合状态影像拍摄部700测量的多个覆盖层21之间的间距比预先设定的容许间距宽时，可以减小施加于薄膜20的张力以缩小多个覆盖层21之间的间距。
此外，当由于由接合状态影像拍摄部700测量的多个覆盖层21之间的间距在宽度方向的两端部出现差异而被测量得彼此不同时，也可判断为设备出现异常。
基板边缘位置控制器410(Edge Position Controller，EPC)设于基板张力调节部310与加热辊部500之间以调节被移送至加热辊部500的基板10的端线位置。
薄膜边缘位置控制器420、430设于薄膜张力调节部320、330与加热辊部500之间以调节被移送至加热辊部500的薄膜20的端线位置。另外，薄膜边缘位置控制器420、430可以包括设于第一薄膜张力调节部320与加热辊部500之间的第一薄膜边缘位置控制器420、以及设于第二薄膜张力调节部330与加热辊部500之间的第二薄膜边缘位置控制器430。
边缘影像拍摄部740分别拍摄经过了基板边缘位置控制器410的基板10的端线和经过了薄膜边缘位置控制器420、430的薄膜20的端线。另外，边缘影像拍摄部740也可以根据拍摄的对象而被区分为基板边缘影像拍摄部741、第一薄膜边缘影像拍摄部742、第二薄膜边缘影像拍摄部743。
图6是放大而示出基板边缘位置控制器410和基板边缘影像拍摄部741的立体图。此外，薄膜边缘位置控制器420、430和薄膜边缘影像拍摄部742、743也可以与图6相同地设置。基板边缘位置控制器410以从一般的卷绕机发展的形式准确地对齐要卷绕的基板的端线(Edge Position)来卷绕，从而可以提高后续工艺的准确度。
当边缘影像拍摄部740拍摄的基板10的端线位置或薄膜20的端线位置脱离预先设定的容许位置时，基板边缘位置控制器410或薄膜边缘位置控制器420、430调整基板10的端线位置或薄膜20的端线位置。
薄膜去除部800在加热辊部500以使多个覆盖层21分别覆盖形成在基板10上的金属图案11的方式接合基板10和薄膜20之后在多个覆盖层21分别接合到基板10的状态下从基板10去除薄膜20。
薄膜去除影像拍摄部780可以在薄膜去除部800去除接合到基板10的薄膜20之后最终确认形成在基板10上的金属图案11和覆盖金属图案11的覆盖层21是否存在不良。
通过这样的配置，本发明的一实施例的压膜机101不但通过采用卷对卷方式(Roll-to-roll processing，R2R)进行接合来提高生产性，而且还能够通过控制张力来提高精度。
此外，加热辊部500包括一对第一加热辊510和一对第二加热辊520，从而可以有效地接合基板10和薄膜20，并抑制接合不良的发生。
此外，支撑加热辊部500的位置可变支撑装置550可以调节一对加热辊511、512之间的间距以均匀地压缩基板10和薄膜20。
此外，除了接合状态影像拍摄部700外，还可以由边缘影像拍摄部740和薄膜去除影像拍摄部780感测接合工艺上的不良的发生。
虽然上文中参照附图对本发明的实施例进行了说明，但本发明所属领域的技术人员将可以理解，在不改变本发明的技术思想或必备特征的情况下，本发明可以以其他具体方式实施。
因此，以上阐述的实施例在所有方面都应理解为是示例性的，而非限定性的，本发明的范围由后述的权利要求书体现，从权利要求书的含义和范围以及其等同概念导出的所有变更或变形的形态均应被解释为落入本发明的范围内。
工业上的可利用性
本发明的实施例的压膜机可以用于不但通过采用卷对卷方式(Roll-to-rollprocessing，R2R)进行接合来提高生产性，而且还通过控制张力来提高精度。
附图标记
10：基板，11：金属图案，20：薄膜，21：覆盖层，101：压膜机，210：基板供应部，211：基板进给器，215：基板卷绕机，220、230：覆盖层供应部，221、231：薄膜进给器，225、235：薄膜卷绕机，310：基板张力调节部，320、330：薄膜张力调节部，321：张力调节用缸，323：张力调节用可变辊，325：张力调节用固定辊，410：基板边缘位置控制器，420、430：薄膜边缘位置控制器，500：加热辊部，510：第一加热辊，520：第二加热辊，550：位置可变支撑装置，551：滚珠丝杠轴，553：伺服马达，555：支撑体，557：负荷传感器，558：空气平衡器，700：接合状态影像拍摄部，710：第一接合状态影像拍摄部，720：第二接合状态影像拍摄部，740：边缘影像拍摄部，770：调整部，780：薄膜去除影像拍摄部，800：薄膜去除部。

Claims (17)

1.一种压膜机，其特征在于，包括：
基板供应部，其供应在每个规定的单位区域形成有金属图案的基板；
覆盖层供应部，其供应附接有被冲裁为预定的大小的多个覆盖层的薄膜；
加热辊部，其以使所述多个覆盖层分别覆盖所述金属图案的方式接合所述基板和所述薄膜；
基板张力调节部，其调节被移送至所述加热辊部的所述基板的张力；
薄膜张力调节部，其调节被移送至所述加热辊部的所述薄膜的张力；
接合状态影像拍摄部，其在所述加热辊部接合所述基板和所述薄膜之后测量所述多个覆盖层之间的间距；以及
调整部，其以使由所述接合状态影像拍摄部测量的所述多个覆盖层之间的间距维持预先设定的容许间距的方式调整所述基板张力调节部调节的所述基板的张力和所述薄膜张力调节部调节的所述薄膜的张力中的一个以上的张力。
2.根据权利要求1所述的压膜机，其特征在于，
所述基板张力调节部和所述薄膜张力调节部分别包括：
一对张力调节用固定辊；
一对张力调节用可变辊；以及
张力调节用缸，其移动所述一对张力调节用可变辊的位置以调节所述一对张力调节用固定辊与所述一对张力调节用可变辊之间的距离。
3.根据权利要求2所述的压膜机，其特征在于，
所述张力调节用缸通过气压或液压来动作，
所述调整部调整被供应至所述张力调节用缸的气压或液压。
4.根据权利要求1所述的压膜机，其特征在于，
所述金属图案分别形成在所述基板的两个面，
所述覆盖层供应部包括：
第一覆盖层供应部，其供应要接合到所述基板的一面的薄膜；以及
第二覆盖层供应部，其供应要接合到所述基板的另一面的薄膜。
5.根据权利要求4所述的压膜机，其特征在于，
所述薄膜张力调节部包括：
第一薄膜张力调节部，其调节所述第一覆盖层供应部供应的薄膜的张力；以及
第二薄膜张力调节部，其调节所述第二覆盖层供应部供应的薄膜的张力。
6.根据权利要求1所述的压膜机，其特征在于，
所述基板供应部包括：
基板卷绕机，其卷绕有所述基板；以及
基板进给器，其将卷绕在所述基板卷绕机上的所述基板移送至所述加热辊部，
所述覆盖层供应部包括：
薄膜卷绕机，其卷绕有所述薄膜；以及
薄膜进给器，其将卷绕在所述薄膜卷绕机的所述薄膜移送至所述加热辊部。
7.根据权利要求1所述的压膜机，其特征在于，
所述加热辊部包括：
一对第一加热辊，其分别与所述基板的两个面对向；以及
一对第二加热辊，其分别与所述基板的两个面对向，并且相较于所述一对第一加热辊位于后方以对所述一对第一加热辊进行一次加热的所述基板和所述薄膜进行二次加热。
8.根据权利要求7所述的压膜机，其特征在于，
所述接合状态影像拍摄部包括：
第一接合状态影像拍摄部，其测量所述一对第一加热辊接合的所述基板和所述薄膜中所述多个覆盖层之间的间距；以及
第二接合状态影像拍摄部，其测量所述一对第二加热辊接合的所述基板和所述薄膜中所述多个覆盖层之间的间距。
9.根据权利要求1所述的压膜机，其特征在于，
所述加热辊部包括：
一对加热辊，其分别与所述基板的两个面对向；以及
位置可变支撑装置，其移动所述一对加热辊中的某一个位置以调节所述一对加热辊之间的间距。
10.根据权利要求9所述的压膜机，其特征在于，
所述位置可变支撑装置包括：
滚珠丝杠轴；
支撑体，其螺纹结合于所述滚珠丝杠轴，并支撑所述一对加热辊中的某一个；以及
伺服马达，其旋转所述滚珠丝杠轴以移动所述支撑体的位置。
11.根据权利要求10所述的压膜机，其特征在于，
所述位置可变支撑装置还包括负荷传感器，该负荷传感器测量施加于所述支撑体的荷重，
所述伺服马达以使由所述负荷传感器测量的荷重维持在预先设定的荷重范围内的方式移动所述支撑体的位置。
12.根据权利要求10所述的压膜机，其特征在于，
所述位置可变支撑装置还包括空气平衡器，该空气平衡器维持所述支撑体的水平。
13.根据权利要求1所述的压膜机，其特征在于，还包括：
基板边缘位置控制器，其设于所述基板张力调节部与所述加热辊部之间以调节被移送至所述加热辊部的所述基板的端线位置；以及
薄膜边缘位置控制器，其设于所述薄膜张力调节部与所述加热辊部之间以调节被移送至所述加热辊部的所述薄膜的端线位置。
14.根据权利要求13所述的压膜机，其特征在于，还包括：
边缘影像拍摄部，其分别拍摄经过了所述基板边缘位置控制器的所述基板的端线和经过了所述薄膜边缘位置控制器的所述薄膜的端线。
15.根据权利要求14所述的压膜机，其特征在于，
当所述边缘影像拍摄部拍摄的所述基板的端线位置或所述薄膜的端线位置脱离预先设定的容许位置时，所述基板边缘位置控制器或所述薄膜边缘位置控制器调整所述基板的端线位置或所述薄膜的端线位置。
16.根据权利要求1所述的压膜机，其特征在于，还包括：
薄膜去除部，其在所述加热辊部以使所述多个覆盖层分别覆盖形成在所述基板的所述金属图案的方式接合所述基板和所述薄膜之后在所述多个覆盖层分别接合到所述基板的状态下从所述基板去除所述薄膜。
17.根据权利要求16所述的压膜机，其特征在于，还包括：
薄膜去除影像拍摄部，其用于在所述薄膜去除部去除接合到所述基板的所述薄膜之后确认形成在所述基板上的所述金属图案和覆盖所述金属图案的所述覆盖层是否有不良。
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