CN114924181A - 一种基于高速信号测试的测试方法及其装置 - Google Patents

Abstract

本发明提出了一种基于高速信号测试的测试方法及其装置，包括高速信号测试和直流信息测试，高速信号测试如下：下发关于高速信号测试的指令至预设第一测试模块和/或预设第二测试模块；基于指令生成携带有通道指令，并下发至第一切换控制单元以传输控制资源；在资源单元中，切换通道将控制资源传递至待测模块，进行高速信号测试。本发明的方案可同时进行高速信号测试和直流信息测试，测试成本低，资源有效复用率高，测试效率高，能够满足低端、终端和高端的高速信号测试需求。在高速信号测试的基础上，利用现有的硬件基础拓展出直流信息测试，同时实现高速信号测试和直流信息测试，充分利用测试机的资源。

Description

一种基于高速信号测试的测试方法及其装置

技术领域

本发明涉及半导体测试领域，特别涉及一种基于高速信号测试的测试方法及其装置。

背景技术

芯片制作完整过程包括芯片设计、晶片制作、封装制作、测试等几个环节，其中晶片制作过程尤为的复杂。

晶圆是制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。半导体工业对于晶圆表面缺陷检测的要求极高，要求高效准确，能够捕捉有效缺陷，实现实时检测。

每个芯片拥有极为庞大的晶粒数量，组织一次针测试模式是非常复杂的过程，这要求了在生产的时候尽量是同等芯片规格构造的型号的大批量的生产。

ATE(Automatic Test Equipment)是自动测试设备，它是一种由高性能计算机控制的测试仪器的集合体，是由测试仪和计算机组合而成的测试系统，计算机通过运行测试机程序的指令来控制测试硬件。半导体芯片ATE用于检测集成电路的功能和性能的完整性，是集成电路生产制造流程中确保集成电路品质的重要设备，其对集成电路测试通常需经过测试机程序设计、程序编译、向量加载、测试执行四个过程。

高速信号测试是芯片、晶圆及晶粒重要的测试项目。常规的测试机资源有限，无法满足一些高速信号测试的需求，而支持高端信号测试的测试机造价成本极高，资源有效复用率极低，难以进行大规模测试，不适合专门行业的测试使用。

发明内容

有鉴于此，本发明提出了一种基于高速信号测试的测试方法及其装置，具体方案如下：

一种基于高速信号测试的测试方法，包括高速信号测试，所述高速信号测试如下：

预设服务器下发关于高速信号测试的第一测试指令至预设第一测试模块和/或预设第二测试模块；

所述第一测试模块基于所述第一测试指令生成携带有第一控制资源和第一通道信息的第一通道指令，并将所述第一通道指令下发至预设第一切换控制单元；

所述第一切换控制单元根据所述第一通道信息切换相应的通道，以通过该通道将所述第一控制资源传输至预设资源单元中，所述资源单元中预设有关于所述高速信号测试的高速信号通道；

在所述资源单元中，切换至所述高速信号通道将所述第一控制资源传递至待测模块，进行第一高速信号测试；

所述第二测试模块基于所述第一测试指令生成携带有第二控制资源和第二通道信息的第二通道指令，并将所述第二通道指令下发至预设第二切换控制单元；

所述第二切换控制单元根据所述第二通道信息切换相应的通道，以通过该通道将所述第二控制资源传输至所述待测模块，进行第二高速信号测试。

在一个具体实施例中，还包括直流信息测试，所述直流信息测试如下：

所述服务器下发关于直流信息测试的第二测试指令至预设工控机；

所述工控机分发所述第二测试指令至一个或多个ATE设备；

ATE设备解析所述第二测试指令得到直流测试资源，并控制预设资源切换控制单元将所述直流测试资源传递至所述资源单元，所述资源单元中预设有关于所述直流信息测试的直流信息通道；

在所述资源单元中，切换至所述直流信息通道将所述直流测试资源传递至所述待测模块，进行直流信息测试。

在一个具体实施例中，检测所述待测模块在所述直流信息测试中的测试结果，得到直流信息测试数据；

将所述直流信息测试数据上传至ATE设备，ATE设备通过所述工控机将所述直流信息测试数据上传至所述服务器；

检测所述待测模块在所述第一高速信号测试、所述第二高速测试的测试结果，分别得到第一高速信号测试数据和第二高速信号测试数据；

将所述第一高速信号测试数据和所述第二高速信号测试数据通过所述第一测试模块上传至所述服务器；

所述服务器对所述第一高速信号测试数据、所述第二高速信号测试数据和所述直流信息测试结果进行信息整合，解析出待测模块是否存在故障及故障原因。

在一个具体实施例中，在高速信号测试的速率上，所述第一测试模块小于所述第二测试模块；

所述第一测试模块支持高速信号的远端布置；

所述第二测试模块支持高速信号的近端布置。

在一个具体实施例中，所述第一测试模块关于高速信号测试的速率不高于1.5Gbps，以实现远端中低端高速信号测试；

所述第二测试模块关于高速信号测试的速率在1.5Gbps以上，以实现近端中高端高速信号测试。

在一个具体实施例中，所述待测模块包括至少一个芯片、至少一个晶圆或至少一个晶粒；

所述高速信号测试可实现多个芯片、多个晶圆或多个晶粒的并行测试；

所述直流信息测试可实现多个芯片、多个晶圆或多个晶粒的并行测试。

在一个具体实施例中，所述第一测试模块、所述第一切换控制单元、所述资源单元和所述资源切换控制单元集成到板载资源模块，所述板载资源模块连接ATE设备中的业务板；

所述第二测试模块和所述第二切换控制单元集成到高速信号处理模块；

在并行测试的芯片数量、晶圆数量及晶粒数量上，所述板载资源模块与所述高速信号处理模块相同。

一种基于高速信号测试的测试装置，包括如下：

服务器，用于下发关于高速信号测试的第一测试指令至预设第一测试模块和/或预设第二测试模块；

第一测试模块，用于接收所述第一测试指令，基于所述第一测试指令生成携带有第一控制资源和第一通道信息的第一通道指令，并下发所述第一通道指令；

第一切换控制单元，用于根据所述第一通道信息切换相应的通道，以通过该通道将所述第一控制资源传输至预设资源单元中；

资源单元，预设有关于所述高速信号测试的高速信号通道，用于切换至所述高速信号通道将所述第一控制资源传递至待测模块，进行第一高速信号测试；

第二测试模块，用于基于所述第一测试指令生成携带有第二控制资源和第二通道信息的第二通道指令，并下发所述第二通道指令；

第二切换控制单元，用于根据所述第二通道信息切换相应的通道，以通过该通道将所述第二控制资源传输至所述待测模块，进行第二高速信号测试。

在一个具体实施例中，所述服务器还用于下发关于直流信息测试的第二测试指令；

所述测试装置还包括：

工控机，用于接收所述第二测试指令，并分发所述第二测试指令至一个或多个ATE设备；

ATE设备，用于解析所述第二测试指令得到直流测试资源，并控制所述直流测试资源的传输；

资源切换控制单元，连接ATE设备，用于受ATE设备的控制将所述直流测试资源传输至资源单元；

资源单元，预设有关于所述直流信息测试的直流信息通道，用于切换至所述直流信息通道将所述直流测试资源传递至所述待测模块，进行直流信息测试。

在一个具体实施例中，所述资源切换控制单元、所述资源单元、所述第一测试模块和所述第一切换控制单元集成到预设板载资源模块，所述板载资源模块连接ATE设备中的业务板；

所述第二测试模块和所述第二切换控制单元集成到高速信号处理模块上；

所述测试装置可对多个芯片、多个晶圆或多个晶粒并行测试；

在并行测试的芯片数量、晶圆数量及晶粒数量上，所述板载资源模块与所述高速信号处理模块相同。

有益效果：本发明提出了一种基于高速信号测试的测试方法及其装置，能够同时对多个晶圆、多个晶粒或多个芯片进行高速信号测试和直流信息测试，测试成本低，资源有效复用率高，测试效率高。在测试机的基础上搭载专用高速处理模块，即可实现不同速率的高速信号测试，能够满足低端、终端和高端的高速信号测试需求。在高速信号测试的基础上，利用现有的硬件基础拓展出直流信息测试，同时实现高速信号测试和直流信息测试，充分利用测试机的资源。

附图说明

图1为本发明实施例的高速信号测试的方法流程示意图；

图2为本发明实施例的直流信息测试的方法流程示意图；

图3为本发明实施例的测试结果反馈流程示意图；

图4为本发明实施例的测试装置模块示意图。

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

附图标记：1-服务器；2-板载资源模块；3-高速信号处理模块；4-工控机；5-ATE设备；6-待测模块；21-第一测试模块；22-第一切换控制单元；23-资源单元；24-资源切换控制单元；31-第一测试模块；32-第二切换控制单元。

具体实施方式

在下文中，将更全面地描述本发明公开的各种实施例。本发明公开可具有各种实施例，并且可在其中做出调整和改变。然而，应理解：不存在将本发明公开的各种实施例限于在此公开的特定实施例的意图，而是应将本发明公开理解为涵盖落入本发明公开的各种实施例的精神和范围内的所有调整、等同物和/或可选方案。

需要说明的是，关于晶圆的并行测试，现有技术由于测试设备的限制，基本无法实现进行多个晶圆的并行测试，而本申请的方案在理论上能够实现对多个晶圆进行并行的高速信号测试和并行的直流信号测试。

在本发明公开的各种实施例中使用的术语仅用于描述特定实施例的目的并且并非意在限制本发明公开的各种实施例。如在此所使用，单数形式意在也包括复数形式，除非上下文清楚地另有指示。除非另有限定，否则在这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本发明公开的各种实施例所属领域普通技术人员通常理解的含义相同的含义。所述术语(诸如在一般使用的词典中限定的术语)将被解释为具有与在相关技术领域中的语境含义相同的含义并且将不被解释为具有理想化的含义或过于正式的含义，除非在本发明公开的各种实施例中被清楚地限定。

实施例1

本发明实施例1公开了一种基于高速信号测试的测试方法，能够对芯片、晶圆及晶粒进行高速信号测试，且资源有效复用率高，造价成本低。测试方法流程框图说明书附图1所示，具体方案如下：

一种基于高速信号测试的测试方法，包括高速信号测试和直流信息测试。本实施例的测试方法，针对芯片、晶圆及晶粒，都可实现并行的高速信号测试和直流信息测试。晶圆、芯片及晶粒基于自身结构的差异性，测试的目的和项目并不相同。

以芯片和晶圆在高速信号测试中为例。

对芯片进行高速信号测试，主要验证待测芯片是否符合预设的生产规格。包括时序是否满足预定的设计、图像或信号质量是否满足预定的设计，还包括电源的测试、波形的测试、阻抗的测试等。在本实施例中，电源的测试是在资源单元中进行的。

而晶圆表面的缺陷类型很多，既有可能是加工过程中产生的，也有可能是基于材质本身的缺陷导致的。采用不同的缺陷检测方式，可会对缺陷进行不同类别的划分。在本实施例中，对晶圆进行高速信号测试，确保整片晶圆中的每一个晶粒都能满足器件的基本特征，通常包括电压、电流、时序和功能的验证，可以用来检测厂商制造的工艺水平。

关于对芯片、晶圆及晶粒进行直流信息测试，涉及电流、电压相关的参数测试。直流信息测试包括短路测试、开路测试、漏流测试、最大电流测试、输出驱动电流测试、阈值电压测试，可根据实际的测试需求，得到相应的测试结果。

在本实施例中，高速信号测试包括第一测试模块的高速信号测试和第二测试模块的高速信号测试。其中，第一测试模块和第二测试模块可同时进行高速信号测试，也可分别进行。

第一测试模块的高速信号测试如说明书附图1所示，具体如下：

101、预设服务器下发关于高速信号测试的第一测试指令至预设第一测试模块；

102、第一测试模块基于第一测试指令生成携带有第一控制资源和第一通道信息的第一通道指令，并将第一通道指令下发至预设第一切换控制单元；

103、第一切换控制单元根据第一通道信息切换相应的通道，以通过该通道将第一控制资源传输至预设资源单元中，资源单元中预设有关于高速信号测试的高速信号通道；

104、在资源单元中，切换至高速信号通道将第一控制资源传递至待测模块，进行第一高速信号测试。

第二测试模块的高速信号测试如说明书附图1所示，具体如下：

111、预设服务器下发关于高速信号测试的第一测试指令至预设第二测试模块；

112、第二测试模块基于第一测试指令生成携带有第二控制资源和第二通道信息的第二通道指令，并将第二通道指令下发至预设第二切换控制单元；

113、第二切换控制单元根据第二通道信息切换相应的通道，以通过该通道将第二控制资源传输至待测模块，进行第二高速信号测试。

其中，第一测试模块和第二测试模块能分别实现不同的高速信号测试。例如，可通过两个测试模块实现高速信号测试不同项目的检测。优选地，第一测试模块和第二测试模块能实现不同速率的高速信号测试。

其中，第一测试模块、第一切换控制单元、资源单元和资源切换控制单元集成到板载资源模块，板载资源模块连接ATE设备中的业务板。板载资源模块需要依附于ATE设备。第二测试模块和第二切换控制单元集成到高速信号处理模块。由于第一测试模块集成到板载资源模块，板载资源模块的位置基本固定，因此限制了第一测试模块的可移动性。加之第一测试模块与待测模块之间的路径较长，需要较长的线缆实现通信连接。而线缆的长度会影响信号到达待测模块的时间，信号时序难以精确控制，难以准确测得待测模块的阻抗特性，最终影响高速信号测试的测试结果。

而第二测试模块位于高速信号处理模块上，高速信号处理模块独立于其他模块，可任意设置其位置，第二测试模块具有很强的位置可变性。可根据高速信号测试的要求进行近端布置或远端布置，以满足中高端高速信号的测试需求。优选地，第一测试模块支持高速信号的远端布置；第二测试模块支持高速信号的近端布置，无需较长的线缆，减少因线缆导致的信号时序延时，能高精度实现高速信号测试。待测的芯片或晶圆都设有相关的产品编号，服务器可根据待测试的产品编号去选择第一测试模块还是第二测试模块去进行高速信号测试。

根据高速信号测试对速率的不同需求，可划分低端、中端和高端三个层级。其中，高端高速信号测试对速率的要求最高。第一测试模块结合第二测试模块，可实现高速信号测试的低端、中端和高端的测试需求。优选地，在高速信号测试的速率上，第一测试模块小于第二测试模块。即第一测试模块用于远端中低端高速信号测试，第二测试模块用于近端中高端高速信号测试。

鉴于第一测试模块与待测模块之间的路径较长，适合进行高速信号的远端布置，因此通过第一测试模块实现远端中低端高速信号测试的需求。基于第二测试模块的可移动性，可将第二测试模块进行高度信号的近端布置，以通过第二测试模块实现近端中高端高速信号测试的需求。

其中，近端中高端高速信号测试指的是高速信号测试模块(第二测试模块)布置在离待测模块相对较近的位置，测试的是更高速率的应用。远端中低端高速信号测试指的是高速信号测试模块(即第一测试模块)布置在离待测模块相对较远的位置，测试的是相对中低速率的应用。

进一步优选地，第一测试模块关于高速信号测试的速率不高于1.5Gbps，以实现远端中低端高速信号测试；第二测试模块关于高速信号测试的速率在1.5Gbps以上，以实现近端中高端高速信号测试。第一测试模块和第二测试模块结合，实现低端、中端和高端的高速信号测试。

在本实施例中，ATE设备即为测试机，现有技术普遍采用测试机进行高速信号测试。而能够对芯片或晶圆进行高速信号测试的测试机，尤其是能够进行高端高速信号测试的测试机，造价成本极高，资源有效复用率极低，测试效率不高，不适合大批量芯片或晶圆的测试使用。而常规测试机的资源精度有限，难以满足高速信号测试最基本的测试需求。而本实施例的方法只需要在测试机的基础上搭载专用高速处理模块，即可实现不同速率的高速信号测试，测试成本远低于现有可高端高速信号测试的测试机，能够满足低端、终端和高端的高速信号测试需求。

本实施例的测试方法还支持直流信息测试，直流信息测试如说明书附图2所示，具体如下：

121、服务器下发关于直流信息测试的第二测试指令至预设工控机；

122、工控机分发第二测试指令至一个或多个ATE设备；工控机可与一个或多个ATE设备建立通信连接，每个ATE设备都可进行待测模块的测试。

123、ATE设备解析第二测试指令得到直流测试资源，并控制预设资源切换控制单元将直流测试资源传递至资源单元，资源单元中预设有关于直流信息测试的直流信息通道；

124、在资源单元中，切换至直流信息通道将直流测试资源传递至待测模块，进行直流信息测试。

执行完直流信息测试和高速信号测试之后，需要将测试结果反馈至服务器，如说明书附图3所示，具体如下：

131、检测待测模块在直流信息测试中的测试结果，得到直流信息测试数据；

132、将直流信息测试数据上传至ATE设备，ATE设备通过工控机将直流信息测试数据上传至服务器；

133、检测待测模块在第一高速信号测试、第二高速测试中的测试结果，分别得到第一高速信号测试数据和第二高速信号测试数据；

134、将第一高速信号测试数据和第二高速信号测试数据通过第一测试模块上传至服务器；

135、服务器对第一高速信号测试数据、第二高速信号测试数据和直流信息测试结果进行信息整合，解析出待测模块是否存在故障及故障原因。优选地，进行信息整合后对待测模块进行分类，分类类别包括OS异常、电压异常、电流异常等，分类完毕后，即可获取各个类别下的异常芯片或晶圆。

如说明书附图4所示，在进行直流信息测试时，需要依次经过服务器、工控机、ATE设备、资源切换控制单元、资源单元、待测模块。本实施例的测试方法在高速信号测试的基础上，利用现有的硬件基础拓展出直流信息测试，同时实现高速信号测试和直流信息测试，充分利用测试机的资源。

在本实施例中，待测模块包括至少一个芯片、至少一个晶圆或至少一个晶粒；高速信号测试可实现多个芯片、多个晶圆或多个晶粒的并行测试；直流信息测试可实现多个芯片、多个晶圆或多个晶粒的并行测试。对多个芯片、多个晶圆或多个晶粒并行测试，适用于批量测试且资源有效复用率高，从整体上进一步缩减了测试成本。假设一个板载资源模块可最多控制N个芯片并行测试，则资源切换控制单元、资源单元、第一测试模块、第一切换控制单元支持最大的并测数也都为N。优选地，为与第一测试模块测试的芯片或晶圆数量相匹配。即在并行测试的芯片数量、晶圆数量及晶粒数量上，板载资源模块与高速信号处理模块相同。高速信号处理模块最多控制N个芯片并行测试，则第二测试模块、第二切换控制单元支持最大的并测数也都为N。

优选地，直流信息测试和第一测试模块的高速信号测试不能同时执行，而直流信息测试和第二测试模块的高速信号测试可同时执行。如说明书附图4所示，第一测试模块在执行高速信号测试时需要借助板载资源模块上的资源单元，而直流信息测试也需要通过资源单元。资源单元上预设有关于高速信号测试的通道和关于直流信息测试的通道，且这两个通道不能同时开启。当需要进行高速信号测试时，资源单元切换关于高速信号测试的通道传输控制资源，此时无法进行直流信息测试。同理，当进行直流信息测试时，资源单元切换至关于直流信息测试的通道传输控制资源，此时无法进行第一测试模块的高速信号测试，但可以进行第二测试模块的高速信号测试。因此，本实施例的方案能够保证直流信息测试和高速信号测试同时进行，大大提高了测试效率。

在一个具体实施例中，由于高速信号处理模块独立于测试机，还可扩展多个高速信号处理模块，以拓展测试工位。各个高速信号处理模块可用于实现不同的测试项目。

优选地，资源切换控制单元能够控制资源连接到资源单元。资源包括DPS(器件供电单元)、BPMU(板级精确测量单元)、CBIT(控制位)等。在资源的辅助下才可进行高速信号测试和直流信息测试等操作。

本实施例提供了一种基于高速信号测试的测试方法，能够同时进行高速信号测试和直流信息测试，测试成本低，资源有效复用率高，测试效率高。在测试机的基础上搭载专用高速处理模块，即可实现不同速率的高速信号测试，能够满足低端、终端和高端的高速信号测试需求。在高速信号测试的基础上，利用现有的硬件基础拓展出直流信息测试，同时实现高速信号测试和直流信息测试，充分利用测试机的资源。

实施例2

本发明实施例2公开了一种基于高速信号测试的测试装置，用于实现实施例1的一种基于高速信号测试的测试方法，测试装置的具体结构如说明书附图4所示，具体方案如下：

一种基于高速信号测试的测试装置，包括，

服务器1，用于下发关于高速信号测试的第一测试指令至预设第一测试模块21和/或预设第二测试模块31，下发关于直流信息测试的第二测试指令至工控机4；接收反馈的直流信息测试数据和高速信息测试数据，对第一高速信号测试数据、第二高速信号测试数据和直流信息测试结果进行信息整合，解析出待测模块6是否存在故障及故障原因。优选地，进行信息整合后对待测模块6进行分类，分类类别包括OS异常、电压异常、电流异常等，分类完毕后，即可获取各个类别下的异常芯片或晶圆。

第一测试模块21，预存有关于高速信号测试的控制资源，用于接收第一测试指令，基于第一测试指令生成携带有第一控制资源和第一通道信息的第一通道指令，并下发第一通道指令。

第一切换控制单元22，用于根据第一通道信息切换相应的通道，以通过该通道将第一控制资源传输至预设资源单元23中；此外，第一测试模块21与服务器1、第一切换控制单元22之间还会存在其他通信数据的传输。

资源单元23，预设有关于高速信号测试的高速信号通道，用于切换至高速信号通道将第一控制资源传递至待测模块6，进行关于第一测试模块21的高速信号测试；

第二测试模块31，预存有关于高速信号测试的控制资源，用于基于第一测试指令生成携带有第二控制资源和第二通道信息的第二通道指令，并下发第二通道指令；

第二切换控制单元32，用于根据第二通道信息切换相应的通道，以通过该通道将第二控制资源传输至待测模块6，进行关于第二测试模块31的高速信号测试。

工控机4，用于接收第二测试指令，并分发第二测试指令至一个或多个ATE设备5。在获取到待测模块6的直流信息测试数据后，还负责将直流信息测试数据上传至服务器1。工控机4能够实现服务器1与一个或多个ATE设备5的通信。

ATE设备5，用于解析第二测试指令得到直流测试资源，并控制直流测试资源的传输；还负责获取待测模块6的直流信息测试数据(待测模块6在经过直流信息测试后的测试结果)并上报至工控机4。

资源切换控制单元24，连接ATE设备5，用于受ATE设备5的控制将直流测试资源传输至资源单元23；

资源单元23，预设有关于直流信息测试的直流信息通道，用于切换至直流信息通道将直流测试资源传递至待测模块6，进行直流信息测试。

其中，资源切换控制单元24、资源单元23、第一测试模块21和第一切换控制单元22集成到预设板载资源模块2，板载资源模块2连接ATE设备5中的业务板；第二测试模块31和第二切换控制单元32集成到高速信号处理模块3上；测试装置可对多个芯片、多个晶圆或多个晶粒并行测试；在并行测试的芯片数量、晶圆数量及晶粒数量上，板载资源模块2与高速信号处理模块3相同。

本实施例公开了一种基于高速信号测试的测试装置，将实施例1的测试方法系统化，使其更具实用性。

本发明提出了一种基于高速信号测试的测试方法及其装置，能够同时进行高速信号测试和直流信息测试，测试成本低，资源有效复用率高，测试效率高。在测试机的基础上搭载专用高速处理模块，即可实现不同速率的高速信号测试，能够满足低端、终端和高端的高速信号测试需求。在高速信号测试的基础上，利用现有的硬件基础拓展出直流信息测试，同时实现高速信号测试和直流信息测试，充分利用测试机的资源。

本领域技术人员可以理解附图只是一个优选实施场景的示意图，附图中的模块或流程并不一定是实施本发明所必须的。本领域技术人员可以理解实施场景中的装置中的模块可以按照实施场景描述进行分布于实施场景的装置中，也可以进行相应变化位于不同于本实施场景的一个或多个装置中。上述实施场景的模块可以合并为一个模块，也可以进一步拆分成多个子模块。上述本发明序号仅仅为了描述，不代表实施场景的优劣。以上公开的仅为本发明的几个具体实施场景，但是，本发明并非局限于此，任何本领域的技术人员能思之的变化都应落入本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种基于高速信号测试的测试方法，其特征在于，包括高速信号测试，所述高速信号测试如下：

预设服务器下发关于高速信号测试的第一测试指令至预设第一测试模块和/或预设第二测试模块；

所述第一测试模块基于所述第一测试指令生成携带有第一控制资源和第一通道信息的第一通道指令，并将所述第一通道指令下发至预设第一切换控制单元；

所述第一切换控制单元根据所述第一通道信息切换相应的通道，以通过该通道将所述第一控制资源传输至预设资源单元中，所述资源单元中预设有关于所述高速信号测试的高速信号通道；

在所述资源单元中，切换至所述高速信号通道将所述第一控制资源传递至待测模块，进行第一高速信号测试；

所述第二测试模块基于所述第一测试指令生成携带有第二控制资源和第二通道信息的第二通道指令，并将所述第二通道指令下发至预设第二切换控制单元；

所述第二切换控制单元根据所述第二通道信息切换相应的通道，以通过该通道将所述第二控制资源传输至所述待测模块，进行第二高速信号测试。

2.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于，还包括直流信息测试，所述直流信息测试如下：

所述服务器下发关于直流信息测试的第二测试指令至预设工控机；

所述工控机分发所述第二测试指令至一个或多个ATE设备；

ATE设备解析所述第二测试指令得到直流测试资源，并控制预设资源切换控制单元将所述直流测试资源传递至所述资源单元，所述资源单元中预设有关于所述直流信息测试的直流信息通道；

在所述资源单元中，切换至所述直流信息通道将所述直流测试资源传递至所述待测模块，进行直流信息测试。

3.根据权利要求2所述的测试方法，其特征在于，检测所述待测模块在所述直流信息测试中的测试结果，得到直流信息测试数据；

将所述直流信息测试数据上传至ATE设备，ATE设备通过所述工控机将所述直流信息测试数据上传至所述服务器；

检测所述待测模块在所述第一高速信号测试、所述第二高速测试的测试结果，分别得到第一高速信号测试数据和第二高速信号测试数据；

将所述第一高速信号测试数据和所述第二高速信号测试数据通过所述第一测试模块上传至所述服务器；

所述服务器对所述第一高速信号测试数据、所述第二高速信号测试数据和所述直流信息测试结果进行信息整合，解析出待测模块是否存在故障及故障原因。

4.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于，在高速信号测试的速率上，所述第一测试模块小于所述第二测试模块；

所述第一测试模块支持高速信号的远端布置；

所述第二测试模块支持高速信号的近端布置。

5.根据权利要求4所述的测试方法，其特征在于，所述第一测试模块关于高速信号测试的速率不高于1.5Gbps，以实现远端中低端高速信号测试；

所述第二测试模块关于高速信号测试的速率在1.5Gbps以上，以实现近端中高端高速信号测试。

6.根据权利要求2所述的测试方法，其特征在于，所述待测模块包括至少一个芯片、至少一个晶圆或至少一个晶粒；

所述高速信号测试可实现多个芯片、多个晶圆或多个晶粒的并行测试；

所述直流信息测试可实现多个芯片、多个晶圆或多个晶粒的并行测试。

7.根据权利要求2所述的测试方法，其特征在于，所述第一测试模块、所述第一切换控制单元、所述资源单元和所述资源切换控制单元集成到板载资源模块，所述板载资源模块连接ATE设备中的业务板；

所述第二测试模块和所述第二切换控制单元集成到高速信号处理模块；

在并行测试的芯片数量、晶圆数量及晶粒数量上，所述板载资源模块与所述高速信号处理模块相同。

8.一种基于高速信号测试的测试装置，其特征在于，包括如下：

服务器，用于下发关于高速信号测试的第一测试指令至预设第一测试模块和/或预设第二测试模块；

第一测试模块，用于接收所述第一测试指令，基于所述第一测试指令生成携带有第一控制资源和第一通道信息的第一通道指令，并下发所述第一通道指令；

第一切换控制单元，用于根据所述第一通道信息切换相应的通道，以通过该通道将所述第一控制资源传输至预设资源单元中；

资源单元，预设有关于所述高速信号测试的高速信号通道，用于切换至所述高速信号通道将所述第一控制资源传递至待测模块，进行第一高速信号测试；

第二测试模块，用于基于所述第一测试指令生成携带有第二控制资源和第二通道信息的第二通道指令，并下发所述第二通道指令；

第二切换控制单元，用于根据所述第二通道信息切换相应的通道，以通过该通道将所述第二控制资源传输至所述待测模块，进行第二高速信号测试。

9.根据权利要求8所述的测试装置，其特征在于，所述服务器还用于下发关于直流信息测试的第二测试指令；

所述测试装置还包括：

工控机，用于接收所述第二测试指令，并分发所述第二测试指令至一个或多个ATE设备；

ATE设备，用于解析所述第二测试指令得到直流测试资源，并控制所述直流测试资源的传输；

资源切换控制单元，连接ATE设备，用于受ATE设备的控制将所述直流测试资源传输至资源单元；

资源单元，预设有关于所述直流信息测试的直流信息通道，用于切换至所述直流信息通道将所述直流测试资源传递至所述待测模块，进行直流信息测试。

10.根据权利要求9所述的测试装置，其特征在于，所述资源切换控制单元、所述资源单元、所述第一测试模块和所述第一切换控制单元集成到预设板载资源模块，所述板载资源模块连接ATE设备中的业务板；

所述第二测试模块和所述第二切换控制单元集成到高速信号处理模块上；

所述测试装置可对多个芯片、多个晶圆或多个晶粒并行测试；

在并行测试的芯片数量、晶圆数量及晶粒数量上，所述板载资源模块与所述高速信号处理模块相同。

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