CN114876777A - 泵 - Google Patents

Abstract

泵(1A)具备外壳(10)、限定泵室(21)的第1振动体(30)、第2振动体(40)及周壁部(50)、以及驱动体(60)。外壳(10)具有与第1振动体(30)对置的第1壁部和与第2振动体(40)对置的第2壁部。第1壁部包括：朝向第1振动体(30)侧开口并且与第1振动体(30)的包含中央部的部分对置的第1凹部(11a)；和与第1凹部(11a)相邻的第1周围部(11b)。由第1振动体(30)与第1壁部限定的第1室(80)包括由第1凹部(11a)和第1振动体(30)限定的第1宽大部(81)、和由第1周围部(11b)和第1振动体(30)限定的第1狭窄部(82)。第1狭窄部(82)形成为与第1振动体(30)的至少局部重叠。

Description

泵

本申请是申请号为2018 8 0081 902.9(国际申请号PCT/JP2018/044598)、申请日为2018年12月04日、发明名称为“泵”的申请的分案申请

技术领域

本发明涉及利用板状的振动体的屈曲振动的正排量泵，特别是涉及利用压电元件作为对振动体进行驱动的驱动体的压电泵。

背景技术

以往，公知有作为正排量泵一种的压电泵。压电泵是通过由粘贴有压电元件的振动板限定泵室的至少局部而成的，通过向该压电元件施加规定频率的交流电压而使振动板以共振频率驱动，由此使泵室产生压力变动而能够进行流体的吸入和排出。

作为公开了压电泵的一构成例的文献，例如存在国际公开第2015/125608号说明书(专利文献1)。在该公报所公开的压电泵中，采用了如下结构：由对置配置的一对振动板限定泵室，在该一对振动板中一者粘贴有压电元件。

在上述公报所公开的压电泵中，在一对振动板中的未粘贴有压电元件那个振动板的中央部，设置有增设有止逆阀的一个孔部，在一对振动板中的粘贴有压电元件那个的振动板的周缘部附近，设置有以圆环状呈点列地配置的未增设有止逆阀的多个孔部。

在该结构的压电泵中，利用压电元件使一对振动板朝向相反方向位移地屈曲振动，由此在泵室产生压力变动，伴随着该泵室的压力变动，位于该泵室的外部的流体被从在粘贴有压电元件的振动板设置的多个孔部吸入，之后从在未粘贴有压电元件的振动板设置的一个孔部排出该流体，由此发挥泵功能。

此外，对于在未粘贴有压电元件的振动板设置的一个孔部处增设的止逆阀而言，其决定在压电泵中产生的流体的流动方向，随着泵室的压力变动而从动地进行开闭动作。

专利文献1：国际公开第2015/125608号说明书

一般地，压电泵大多情况下，通过使如上述那样包含振动板、压电元件的驱动部设置于外壳的内部而构成。这是为了保护驱动部不受外部影响，并且是为了容易将压电泵与外部的配管、机器等连接。

在具备这样的外壳而成的压电泵中，与振动板对置地配置外壳的壁部，因此，在其动作时，在形成于该振动板与外壳的壁部之间的空间(即，泵室外的空间)中，也相当程度地产生压力变动。产生于该泵室外的空间处的压力变动会对振动板朝向妨碍该振动板的由振动引起的位移的方向作用力，结果是泵室的压缩比降低，导致作为压电泵的性能的降低(即，流量的降低、吸入压力以及排出压力的降低等)。

为了防止这种情况的发生，增大该泵室外的空间(即，使外壳的壁部与振动板之间的距离变长)是有效的，但在不找任何窍门就增大上述空间的情况下，不仅会导致压电泵整体大型化，有时也会在该空间中产生压力的共振，存在无法有效地实现压电泵的性能的提高的担忧。

发明内容

因此，本发明是鉴于上述的问题而提出的，其目的在于在利用板状的振动体的屈曲振动的正排量泵中，不使装置大型化且与以往相比实现泵性能的提高。

本发明所涉及的泵具备第1振动体、第2振动体、周壁部、泵室、驱动体、以及外壳。上述第1振动体和上述第2振动体均为板状，上述第2振动体与上述第1振动体对置。上述周壁部将上述第1振动体的周缘部与上述第2振动体的周缘部连接。上述泵室位于上述第1振动体与上述第2振动体之间，由上述第1振动体、上述第2振动体以及上述周壁部限定。上述驱动体通过使上述第1振动体和上述第2振动体屈曲振动，而使上述泵室产生压力变动。上述外壳收容由上述第1振动体、上述第2振动体、上述周壁部以及上述驱动体构成的驱动部。上述外壳具有：从上述第1振动体观察时位于与上述第2振动体所在这一侧相反一侧的第1壁部；和从上述第2振动体观察时位于与上述第1振动体所在这一侧相反一侧的第2壁部。上述驱动部配置成将上述外壳的内部的空间划分为由上述第1振动体与上述第1壁部限定的第1室、和由上述第2振动体与上述第2壁部限定的第2室。在上述外壳上，设置有将上述第1室与上述外壳的外部的空间连通的第1连通部；和将上述第2室和上述外壳的外部的空间连通的第2连通部。在上述第1振动体上设置有将上述泵室与上述第1室连通的第1孔部，在上述第2振动体上设置有将上述泵室与上述第2室连通的第2孔部。上述第1壁部包括：第1凹部，朝向上述第1振动体侧开口并且与上述第1振动体的包括中央部的部分对置；和第1周围部，在与同上述第1振动体的中央部和上述第2振动体的中央部正交的轴线正交的方向上，和上述第1凹部相邻。上述第1室包括由上述第1凹部和上述第1振动体的与该第1凹部对置的部分限定的第1宽大部、和由上述第1周围部和上述第1振动体的与该第1周围部对置的部分限定的第1狭窄部。上述第1狭窄部在与上述轴线的延伸方向平行的方向上与上述第1振动体的至少局部重叠。

在上述本发明所涉及的泵中，优选为上述第1振动体为圆盘状，另外优选为上述第1宽大部由圆柱状的空间构成。

在上述本发明所涉及的泵中，优选为在将上述第1振动体的直径设为Ra1，将上述第1宽大部的直径设为Rb1的情况下，满足0.4≤Rb1/Ra1＜1.0的条件。

在上述本发明所涉及的泵中，优选为上述第1宽大部配置为其中心轴线与上述轴线对齐。

在上述本发明所涉及的泵中，优选为上述第1孔部设置有多个，在该情况下，优选为在沿着上述轴线的延伸方向观察的情况下，上述多个第1孔部呈点列状配置于以该轴线为中心的圆周上的位置。

在上述本发明所涉及的泵中，也可以构成为上述多个第1孔部配置为与上述第1周围部对置。

在上述本发明所涉及的泵中，优选为，在与上述轴线的延伸方向平行的方向上，上述第1连通部配置于不与上述第1振动体重叠的位置。

在上述本发明所涉及的泵中，也可以构成为上述第2壁部包括：朝向上述第2振动体侧开口并且与上述第2振动体的包括中央部的部分对置的第2凹部；和在与上述轴线正交的方向上同上述第2凹部相邻的第2周围部。在该情况下，优选为上述第2室包括：由上述第2凹部和上述第2振动体的与该第2凹部对置的部分限定的第2宽大部；和由上述第2周围部和上述第2振动体的与该第2周围部对置的部分限定的第2狭窄部，另外在该情况下，优选为，在与上述轴线的延伸方向平行的方向上，上述第2狭窄部与上述第2振动体的至少局部重叠。

在上述本发明所涉及的泵中，优选为上述第2振动体为圆盘状，另外优选为上述第2宽大部由圆柱状的空间构成。

在上述本发明所涉及的泵中，优选为在将上述第2振动体的直径设为Ra2，将上述第2宽大部的直径设为Rb2的情况下，满足0.4≤Rb2/Ra2＜1.0的条件。

在上述本发明所涉及的泵中，优选为上述第2宽大部配置为其中心轴线与上述轴线对齐。

在上述本发明所涉及的泵中，可以构成为上述第2孔部设置有一个或者多个，在该情况下，优选为上述一个或者多个第2孔部配置于上述第2振动体的中央部或者其附近。

在上述本发明所涉及的泵中，可以构成为具有节流孔，在与上述轴线的延伸方向平行的方向上，该节流孔设置于不与上述第2振动体重叠的位置，并且构成将上述第2宽大部与上述第2连通部连通的流路的至少局部，在该情况下，也可以是，上述第2宽大部构成为仅经由上述节流孔而与上述第2连通部连通。

在上述本发明所涉及的泵中，优选为，在与上述轴线的延伸方向平行的方向上，上述第2连通部配置于不与上述第2振动体重叠的位置。

在上述本发明所涉及的泵中，优选为上述驱动体以使上述轴线为中心在上述第1振动体和上述第2振动体的双方产生驻波地，使上述第1振动体和上述第2振动体屈曲振动。

在上述本发明所涉及的泵中，优选为上述第1连通部作为从上述外壳的外部的空间向上述第1室吸入流体的吸入部发挥功能，另外优选为上述第2连通部作为从上述第2室向上述外壳的外部的空间排出流体的排出部发挥功能。

在上述本发明所涉及的泵中，优选为上述驱动体包括粘贴于上述第1振动体和上述第2振动体中一者的大致平板状的压电元件。

根据本发明，在利用板状的振动体的屈曲振动的正排量泵中，能够不使装置大型化，其与以往相比实现泵性能的提高。

附图说明

图1是实施方式1所涉及的压电鼓风机的示意性的剖视图。

图2是从斜上方观察图1所示的压电鼓风机所看到的分解立体图。

图3是从斜下方观察图1所示的压电鼓风机所看到的分解立体图。

图4是表示图1所示的压电鼓风机的结构和动作时产生的气流的大致的方向的示意图。

图5是随时间变化示出图1所示的压电鼓风机的驱动部的动作状态和此时产生的气流的方向的示意图。

图6是表示在图1所示的压电鼓风机的泵室、上侧宽大部以及下侧宽大部产生的压力变动的示意图。

图7是表示第1变形例所涉及的压电鼓风机的结构和第1验证试验的结果的图。

图8是表示第2变形例所涉及的压电鼓风机的结构和第2验证试验的结果的图。

图9是第3变形例所涉及的压电鼓风机的上侧壳体的仰视图。

图10是第4变形例所涉及的压电鼓风机的上侧壳体的仰视图。

图11是第5变形例所涉及的压电鼓风机的上侧壳体的仰视图。

图12是第6变形例所涉及的压电鼓风机的上侧壳体的仰视图。

图13是第7变形例所涉及的压电鼓风机的上侧壳体的仰视图。

图14是表示实施方式2所涉及的压电鼓风机的结构和动作时产生的气流的大致的方向的示意图。

图15是表示实施方式3所涉及的压电鼓风机的结构的示意图和该压电鼓风机所具备的上侧壳体的仰视图。

图16是表示参考方式1所涉及的压电鼓风机的结构的示意图和该压电鼓风机所具备的上侧壳体的仰视图。

图17是参考方式2所涉及的压电鼓风机的上侧壳体的仰视图。

图18是参考方式3所涉及的压电鼓风机的上侧壳体的仰视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细的说明。以下所示的实施方式例示出将本发明应用于作为吸入并排出气体的泵的压电鼓风机的情况。此外，在以下所示的实施方式中，针对相同或者共有的部分，在图中标注相同的附图标记，不再重复其说明。

(实施方式1)

图1是本发明的实施方式1所涉及的压电鼓风机的示意性的剖视图。另外，图2是从斜上方观察图1所示的压电鼓风机所看到的分解立体图，图3是从斜下方观察图1所示的压电鼓风机所看到的分解立体图。首先，参照上述的图1～图3，对本实施方式所涉及的压电鼓风机1A的结构进行说明。

如图1～图3所示，本实施方式所涉及的压电鼓风机1A主要具备外壳10和驱动部20。在外壳10的内部，设置有作为偏平的圆柱状的空间的收容空间13，驱动部20配置于该收容空间13。

外壳10具有树脂制或者金属制等的圆盘状的上侧壳体11、和树脂制或者金属制的偏平的有底圆筒状的下侧壳体12。外壳10将上述的上侧壳体11和下侧壳体12组合，并例如通过粘合剂等接合，从而在内部具有上述的收容空间13。

在下侧壳体12的外周部的对置的位置，分别设置有朝向外侧突出的作为第1连通部的上侧喷嘴部14和作为第2连通部作的下侧喷嘴部15(这里，上侧喷嘴部14和下侧喷嘴部15不是在压电鼓风机1A的高度方向(即厚度方向)上上下配置的部件，但为了方便起见而这样称呼它们)。压电鼓风机1A的外部的空间与上述的收容空间13经由上述的上侧喷嘴部14和下侧喷嘴部15而各自连通。

驱动部20主要具有：作为板状的第1振动体的上侧振动体30；作为板状的第2振动体的下侧振动体40；作为周壁部的隔离件50；以及作为驱动体的压电元件60。驱动部20是在这些部件相互层叠的状态下一体形成从而构成的，在配置于上述外壳10的收容空间13的状态下由该外壳10保持。

这里，外壳10的收容空间13被驱动部20划分为上侧壳体11侧的空间(即，没有经由后述的泵室21就与上侧喷嘴部14连通的空间)、和下侧壳体12侧的空间(即，没有经由后述的泵室21就与下侧喷嘴部15连通的空间)。

上侧振动体30由上侧振动板31构成。上侧振动板31例如通过由不锈钢等构成的金属制的薄板构成，其外形在俯视时为圆形状。在上侧振动板31的除中央部和周缘部以外的中间部，以圆环状呈点列地设置有多个孔部31a。该多个孔部31a分别相当于设置于上侧振动体30的作为第1孔部的上侧孔部35。

下侧振动体40由下侧振动板41、辅助振动板42、止逆阀43以及阀芯保持部件44的层叠体构成。下侧振动体40与上侧振动体30对置，更详细而言，从上侧振动体30观察时，下侧振动体40配置于下侧壳体12所在的一侧。下侧振动板41、辅助振动板42、止逆阀43以及阀芯保持部件44从接近上侧振动体30的一侧起依次层叠配置。

下侧振动板41例如通过由不锈钢等构成的金属制的薄板构成，其外形在俯视时为圆形状。在下侧振动板41的中央部及其附近设置有多个孔部41a。

辅助振动板42通过比下侧振动板41更薄的由例如不锈钢等构成的金属制的薄板构成，外形在俯视时，辅助振动板42为圆形状。辅助振动板42是用于形成用于配置止逆阀43的空间的部件，在辅助振动板42的位于下侧壳体12侧的主面的周缘部，设置有用于形成该空间的环状形状的突出部。辅助振动板42的周缘部例如通过导电性粘合剂等而与下侧振动板41的周缘部接合。在辅助振动板42的中央部及其附近，设置有与设置于下侧振动板41的多个孔部41a连通的多个孔部42a。

止逆阀43由例如聚酰亚胺树脂等树脂制的薄板构成，在俯视时，其外形为圆形状。止逆阀43配置于由上述的辅助振动板42形成的空间(即，由辅助振动板42的环状形状的突出部包围的空间)。在止逆阀43的中央部及其附近，没有与设置于辅助振动板42的多个孔部42a直接面对但与上述多个孔部42a接近地，设置有多个孔部43a。

阀芯保持部件44通过由例如不锈钢等构成的金属制的薄板构成，在俯视时，其外形为圆形状。阀芯保持部件44安装于辅助振动板42，以覆盖配置于辅助振动板42的上述空间中的止逆阀43。更详细而言，阀芯保持部件44的周缘部通过例如导电性粘合剂等而与辅助振动板42的上述的环状形状的突出部接合。在阀芯保持部件44的中央部及其附近，设置有与设置于止逆阀43的多个孔部43a连通的多个孔部44a。

这里，止逆阀43游嵌于辅助振动板42与阀芯保持部件44之间的空间。由此，止逆阀43被辅助振动板42和阀芯保持部件44保持为能够移动，以能够对设置于辅助振动板42的多个孔部42a进行开闭。更详细而言，止逆阀43在接近辅助振动板42并与其紧贴的状态下，将多个孔部42a封闭，在远离辅助振动板42的状态下，将多个孔部42a敞开。

此外，设置于上述的下侧振动板41的多个孔部41a、设置于辅助振动板42的多个孔部42a、设置于止逆阀43的多个孔部43a以及设置于阀芯保持部件44的多个孔部44a分别相当于设置于下侧振动体40的作为第2孔部的下侧孔部45。

隔离件50位于上侧振动体30与下侧振动体40之间，被上述的上侧振动体30和下侧振动体40夹住。隔离件50通过由例如不锈钢等构成的金属制的部件构成，其外形为圆环板状。

隔离件50将上侧振动体30的周缘部与下侧振动体40的周缘部连接。由此，上侧振动体30和下侧振动体40被隔离件50隔开规定的距离地配置。此外，隔离件50与上侧振动体30通过例如导电性粘合剂等接合，隔离件50与下侧振动体40通过例如导电性粘合剂等接合。

位于上侧振动体30与下侧振动体40之间的空间，作为泵室21发挥功能。该泵室21由上侧振动体30、下侧振动体40以及隔离件50限定，由偏平的圆柱状的空间构成。这里，隔离件50相当于限定泵室21并且将上侧振动体30和下侧振动体40连接的周壁部。

压电元件60经由例如导电性粘合剂而粘贴于上侧振动体30。更详细而言，压电元件60粘贴于上侧振动体30的与位于面对泵室21这侧相反一侧的主面侧(即，上侧壳体11侧)。压电元件60通过由例如锆钛酸铅(PZT)等压电材料构成的薄板构成，其外形在俯视时为圆形状。

压电元件60是因被施加交流电压而屈曲振动的部件，由该压电元件60产生的屈曲振动向上侧振动体30和下侧振动体40传递，从而上侧振动体30和下侧振动体40也屈曲振动。即，压电元件60相当于使上侧振动体30和下侧振动体40屈曲振动的驱动体，通过被施加规定频率的交流电压而使上侧振动体30和下侧振动体40分别以共振频率振动，由此在上侧振动体30和下侧振动体40双方上产生驻波。

此外，阀芯保持部件44的周缘部通过例如粘合剂等而与下侧壳体12接合。由此，由上侧振动体30、下侧振动体40、隔离件50以及压电元件60等构成的驱动部20被保持在外壳10的内部。

参照图2和图3，驱动部20还具有用于从外部向压电元件60施加电压的作为供电线的一对外部连接端子。一对外部连接端子由如下部件构成：由与上述的上侧振动体30、下侧振动体40以及隔离件50不同的部件构成的第1端子70；和设置于下侧振动体40所包含的阀芯保持部件44的第2端子44b。

对于第1端子70而言，其一端例如通过锡焊等与压电元件60的靠上侧壳体11侧的主面接合，其另一端被引出而向外壳10的外部暴露。另一方面，第2端子44b由从阀芯保持部件44的外端的规定位置起朝向外侧延伸配置的舌片状的部位构成，其前端被引出而向外壳10的外部暴露。

这里，设置有第2端子44b的阀芯保持部件44，经由将压电元件60和上侧振动板31接合的导电粘合剂等、上侧振动板31、隔离件50、下侧振动板41、辅助振动板42以及将它们相互接合的导电性粘合剂等、以及将阀芯保持部件44和辅助振动板42接合的导电粘合剂等，而与压电元件60的靠下侧壳体12侧的主面导通，由此上述的第2端子44b作为一对外部连接端子中一者发挥功能。

此外，第1端子70的上述另一端和第2端子44b的上述前端均在设置于下侧壳体12外周部的规定位置处的端子台17上引出而向外壳10的外部暴露。

由于具有以上的结构，从而在本实施方式所涉及的压电鼓风机1A中，泵室21位于上侧喷嘴部14与下侧喷嘴部15之间，外壳10的收容空间13中的比设置有泵室21的位置靠上侧喷嘴部14侧的空间和泵室21之间，处于通过设置于上侧振动体30的多个上侧孔部35而始终连通的状态，并且，对于外壳10的收容空间13中的比设置有泵室21的位置靠下侧喷嘴部15侧的空间和泵室21而言，在设置于下侧振动体40的多个下侧孔部45未被止逆阀43封闭的状态下，处于通过该多个下侧孔部45连通的状态。

参照图1，在本实施方式所涉及的压电鼓风机1A中，压电元件60使上侧振动体30和下侧振动体40屈曲振动，从而以与上侧振动体30的中央部和下侧振动体40的中央部正交的轴线100为中心，在上侧振动体30和下侧振动体40双方上产生驻波。更详细而言，压电元件60使上侧振动体30和下侧振动体40屈曲振动，从而在上侧振动体30的中央部和下侧振动体40的中央部分别形成振动的波腹。

此时，压电元件60直接驱动粘贴有该压电元件60的上侧振动体30，并经由作为周壁部的隔离件50而间接驱动未粘贴有该压电元件60的下侧振动体40。此时，通过适当地设计上侧振动体30的形状和下侧振动体40的形状(特别是这些振动板的厚度)，从而上侧振动体30与下侧振动体40分别朝向相反方向位移。

通过朝向该相反方向的上侧振动体30和下侧振动体40的振动，泵室21反复膨胀和收缩。由此，在泵室21的内部产生共振，伴随于此在泵室21产生较大的压力变动。其结果是，在时间上使泵室21交替地产生正压和负压，通过该压力变动来实现压送气体的泵功能。

这里，如图1～图3所示，在本实施方式所涉及的压电鼓风机1A中，对外壳10的规定收容空间13的壁面赋予规定的凹凸形状。在压电鼓风机1A的动作时，该凹凸形状抑制在作为该收容空间13的局部即未配置驱动部20的空间(即泵室21外的空间)中产生较大的压力变动，在后面对其详细内容进行叙述。

图4是表示图1所示的压电鼓风机的驱动部的结构和动作时产生的气流的大致的方向的示意图，图5是随时间变化地示出图1所示的压电鼓风机的驱动部的动作状态和此时产生的气流的方向的示意图。接下来，参照上述图4和图5，对本实施方式所涉及的压电鼓风机1A的动作状态进行详细的说明。此外，在图4和图5中，为了容易理解或者为了方便作图，大幅简化和适应性示出压电鼓风机1A的形状。

参照图4，在本实施方式所涉及的压电鼓风机1A中，如上述那样，在设置于上侧振动体30的多个上侧孔部35每个都没有增设有止逆阀，另一方面，在设置于下侧振动体40的多个下侧孔部45(在图4和图5中，将其作为一个孔图示)各自增设有止逆阀43(在图4中未图示，参照图1等)。

分别设置于多个下侧孔部45的止逆阀43构成为允许从泵室21朝向外壳10的收容空间13中的下侧喷嘴部15侧的空间的气体的流通，相反不允许朝向其相反方向的气体的流通。因此，通过该止逆阀43的作用，决定在压电鼓风机1A的动作时产生的气流的方向，该气流的大致的方向是图4中由箭头表示的方向。

这里，着眼于在驱动部20的附近产生的气流，如图5的(A)所示，在上侧振动体30和下侧振动体40朝相互远离的方向位移的状态下，泵室21膨胀，伴随于此，在泵室21产生负压。随着该负压的产生，经由设置于上侧振动体30的多个上侧孔部35，向泵室21吸入气体。此外，此时在设置于下侧振动体40的多个下侧孔部45处增设的止逆阀43(在图5中，对此适应性地进行图示)，随着在泵室21产生负压而将多个下侧孔部45封闭。

之后，如图5的(B)所示，在上侧振动体30和下侧振动体40向相互靠近的方向位移的状态下，泵室21收缩，伴随于此在泵室21产生正压。随着该正压的产生，在设置于下侧振动体40的多个下侧孔部45增设的止逆阀43将多个下侧孔部45敞开，由此，经由该多个下侧孔部45，从泵室21排出气体。

通过使上侧振动体30通过下侧振动体40振动，交替重复该图5的(A)所示的状态和图5的(B)所示的状态，由此，在压电鼓风机1A中产生图4中表示的气流的朝向。因此，设置于外壳10的上侧喷嘴部14作为从外部吸入气体的吸入喷嘴发挥功能，并且设置于外壳10的下侧喷嘴部15作为向外部排出气体的排出喷嘴发挥功能，由此通过压电鼓风机1A来压送气体。

参照图4，从上侧喷嘴部14吸入的气体经由位于上侧壳体11与上侧振动体30之间的空间，到达设置于上侧振动体30的多个上侧孔部35。因此，位于上侧壳体11与上侧振动体30之间的空间构成将上侧喷嘴部14与泵室21连结的流路，该空间相当于作为第1室的上侧气室80。即，上侧壳体11中的从上侧振动体30观察时配置于与下侧振动体40所在这侧相反一侧的部分，相当于限定第1室的第1壁部。

另一方面，从设置于下侧振动体40的多个下侧孔部45排出的气体经由位于下侧壳体12与下侧振动体40之间的空间，到达下侧喷嘴部15。因此，位于下侧壳体12与下侧振动体40之间的空间构成将泵室21与下侧喷嘴部15连结的流路，该空间相当于作为第2室的下侧气室90。即，下侧壳体12中的从下侧振动体40观察时配置于与上侧振动体30所在这侧相反一侧的部分，相当于限定第2室的第2壁部。

这里，如上述那样，在本实施方式所涉及的压电鼓风机1A中，对外壳10的限定收容空间13的壁面赋予规定的凹凸形状。具体而言，对上侧壳体11的限定上述上侧气室80的部分赋予规定的凹凸形状，并且对下侧壳体12的限定上述的下侧气室90的部分赋予规定的凹凸形状。

更详细而言，如图1～图4所示，在上侧壳体11的第1壁部，设置有朝向上侧振动体30侧开口并且与上侧振动体30的包含中央部的部分对置的作为第1凹部的上侧凹部11a，在与该上侧凹部11a邻接的部分(即，在与轴线100(参照图1)正交的方向上与上侧凹部11a相邻的部分)的第1壁部，配置有朝向上侧振动体30侧突出的环状形状的作为第1周围部的上侧周围部11b。上侧周围部11b在与轴线100的延伸方向平行的方向上与上侧振动体30的包括周缘部的外周区域重叠。

由此，上侧气室80包括：由上侧凹部11a和上侧振动体30的与该上侧凹部11a对置的部分限定的作为第1宽大部的上侧宽大部81；和由上侧周围部11b和上侧振动体30的与该上侧周围部11b对置的部分限定的作为第1狭窄部的上侧狭窄部82，该上侧狭窄部82在与轴线100的延伸方向平行的方向上与上侧振动体30的局部重叠。此外，在本实施方式中，在与上侧狭窄部82面对的部分(即与上侧周围部11b对置的部分)的上侧振动体30配置有上述多个上侧孔部35。

因此，从上侧喷嘴部14吸入的气体在与轴线100正交的方向上经由位于驱动部20四周的空间流入上侧狭窄部82，流入至上侧狭窄部82的气体的大部分朝向与该上侧狭窄部82面对地设置的多个上侧孔部35流入。

此外，参照图3，设置于上侧壳体11的上侧周围部11b处的槽状的部位是用于将第1端子70朝向端子台17引出的端子插通部11b1。

另一方面，在下侧壳体12的第2壁部上，设置有朝向下侧振动体40侧开口并且与下侧振动体40的包含中央部的部分对置的作为第2凹部的下侧凹部12a，在与该下侧凹部12a邻接的部分(即，在与轴线100正交的方向上与下侧凹部12a相邻的部分)的第2壁部，配置有朝向下侧振动体40侧突出的环状形状的作为第2周围部的下侧周围部12b。下侧周围部12b在与轴线100的延伸方向平行的方向上与下侧振动体40的包含周缘部的外周区域重叠。

由此，下侧气室90包括：由下侧凹部12a和下侧振动体40的与该下侧凹部12a对置的部分限定的作为第2宽大部的下侧宽大部91；和由下侧周围部12b和下侧振动体40的与该下侧周围部12b对置的部分限定的作为第2狭窄部的下侧狭窄部92，该下侧狭窄部92在与轴线100的延伸方向平行的方向上与下侧振动体40的局部重叠。此外，在本实施方式中，在与下侧宽大部91面对的部分的下侧振动体40上配置有上述多个下侧孔部45。

这里，在下侧壳体12的下侧周围部12b的规定位置，设置有沿径向延伸的槽部12c，在下侧周围部12b的与该槽部12c的外端面对的部分，设置有将该槽部12c与下侧喷嘴部15连通的截面积足够小的流路部16。由此，下侧宽大部91与下侧喷嘴部15经由该槽部12c和流路部16而连通。

因此，从多个下侧孔部45排出的气体经由下侧宽大部91而流入槽部12c，流入至槽部12c的气体经由流路部16而流入下侧喷嘴部15。

通过如此地构成，从而在本实施方式所涉及的压电鼓风机1A中，不会使装置大型化，就能够比以往实现泵性能的提高。以下，对通过形成为本实施方式所涉及的压电鼓风机1A，不使装置大型化，就实现泵性能的提高的理由进行详细的说明。

图6是表示在图1所示的压电鼓风机的泵室、上侧宽大部以及下侧宽大部产生的压力变动的示意图。这里，图6的(A)大幅地简化而示意地图示出本实施方式所涉及的压电鼓风机1A的结构，图6的(B)示意地表示上述的图5的(A)所示的状态(以下，将其称为第1状态)中的泵室21、上侧宽大部81以及下侧宽大部91各自的压力分布，图6的(C)示意地表示上述的图5的(B)所示的状态(以下，将其称为第2状态)下的泵室21、上侧宽大部81以及下侧宽大部91各自的压力分布。

由图6的(B)和图6的(C)可知，在本实施方式所涉及的压电鼓风机1A中，在泵室21产生共振的上述的条件下，驱动上侧振动体30和下侧振动体40，从而在泵室21的中央部产生泵室21的内部的压力变动的波腹，在泵室21的外缘部产生泵室21的内部的压力变动的波节。

此时，在上侧宽大部81，产生以该上侧宽大部81的中央部为波腹、以该上侧宽大部的外缘部为波节的压力变动，并且在下侧宽大部91，产生以该下侧宽大部91的中央部为波腹、以该下侧宽大部的外缘部为波节的压力变动。然而，对于上述上侧宽大部81和下侧宽大部91中的压力变动而言，与泵室21的压力变动相比，其压力振幅大幅变小，即便在该上侧宽大部81和下侧宽大部91处的压力振幅最大的第1状态和第2状态下，图示的程度也是事实上能够忽略的程度。

这完全是因为在包括上侧宽大部81和上侧狭窄部82的上侧气室80中没有产生共振，并且在包括下侧宽大部91和下侧狭窄部92的下侧气室90中没有产生共振。即，这是因为，通过采用上述结构，限定上侧宽大部81的上侧凹部11a的侧面作为在上侧气室80产生的压力传递的反射端发挥功能，并且限定下侧宽大部91的下侧凹部12a的侧面作为在上侧气室80产生的压力传递的反射端发挥功能，由此在上侧气室80和下侧气室90中消除了产生共振的条件。

因此，能够显著地抑制在与上侧振动体30面对的上侧气室80产生的压力变动妨碍上侧振动体30的位移地发挥作用这种情况，并且能够显著地抑制在与下侧振动体40面对的下侧气室90产生的压力变动妨碍下侧振动体40的位移地发挥作用这种情况。

因此，通过形成为本实施方式所涉及的压电鼓风机1A，结果是能够不使装置大型化就提高泵性能(即，流量的增加、吸入压力和排出压力的增加等)的提高。

此外，根据使用以下所示的第1变形例和第2变形例所涉及的压电鼓风机而进行的后述的第1验证试验和第2验证试验的结果，也能够理解通过采用该结构而实现流量的增大。

这里，在本实施方式所涉及的压电鼓风机1A中，以圆盘状构成上侧振动体30，并且由圆柱状的空间构成上侧宽大部81。在如此地构成的情况下，提高压电鼓风机1A内的气流的轴对称性，因此不易在气流上产生湍流，能够实现高效的气体的流通，结果是能够实现流量的增大。然而，不必如此地构成，上侧振动体30和上侧宽大部81的形状均是任意的。此外，尽管这里省略其详细的说明，但可以说对于下侧振动体40和下侧宽大部91也是相同的。

另外，在本实施方式所涉及的压电鼓风机1A中，优选适当地设定上侧宽大部81的配设位置，以使得圆柱状的空间构成的上侧宽大部81的中心轴线和与上侧振动体30的中央部正交的上述的轴线100对齐。即便在如此地构成的情况下，也提高压电鼓风机1A内的气流的轴对称性，因此结果是能够实现流量的增大。此外，尽管这里省略其详细的说明，但可以说对于下侧宽大部91也是相同的。

另外，在本实施方式所涉及的压电鼓风机1A中，设置于上侧振动体30的多个上侧孔部35以点列状配置于以轴线100为中心的圆周上的位置。即便在如此地构成的情况下，也提高压电鼓风机1A内的气流的轴对称性，因此，结果是能够实现流量的增大。然而，设置于上侧振动体30的上侧孔部35的数量没有特别的限制，另外其配设位置也没有特别的限制。

另外，在本实施方式所涉及的压电鼓风机1A中，上侧喷嘴部14和下侧喷嘴部15均配置成在与轴线100的延伸方向平行的方向上不与驱动部20重叠。通过如此地构成，能够减薄装置，结果是能够同时实现泵性能的提高和装置的小型化。

另外，在本实施方式所涉及的压电鼓风机1A中，构成为在与轴线100的延伸方向平行的方向上上侧狭窄部82与上侧振动体30的局部(即，上侧振动体30的外周区域)重叠，并且构成为与上侧狭窄部82面对地设置有多个上侧孔部35，从而上侧喷嘴部14与泵室21经由该上侧狭窄部82连通，并且上侧喷嘴部14与上侧宽大部81经由该上侧狭窄部82连通。因此，上侧狭窄部82作为用于使泵室21厄上侧宽大部81不易受到压电鼓风机1A外部的影响的一种节流孔发挥功能，因此，驱动部20稳定地执行动作，即使在这一点上也能够实现泵性能的提高。

另外，在本实施方式所涉及的压电鼓风机1A中，构成为下侧宽大部91与下侧喷嘴部15经由截面积充分小的流路部16连通。因此，流路部16作为用于使泵室21和下侧宽大部91不易受到来自压电鼓风机1A外部的影响的一种节流孔发挥功能，因此驱动部20稳定地执行动作，在这一点上也能够实现泵性能的提高。

并且，在本实施方式所涉及的压电鼓风机1A中，在将上侧振动体30的直径设为Ra1，将上侧宽大部81的直径设为Rb1的情况下，优选为满足0.4≤Rb1/Ra1＜1.0这个条件，另外，在将下侧振动体40的直径设为Ra2，将下侧宽大部91的直径设为Rb2的情况下，满足0.4≤Rb2/Ra2＜1.0这个条件。通过满足上述条件的其中一者或者双方，从而可靠地实现泵性能的提高。

此外，上述的本实施方式所涉及的压电鼓风机1A各部分的尺寸没有特别的限制，但若示出其一个例子，则为以下那样。

外壳10的直径例如为28[mm]，其厚度例如为5[mm]。收容空间13的直径例如为24.5[mm]，其高度(即，从上侧凹部11a的底面到下侧凹部12a的底面为止的距离)例如为3.91[mm]。上侧喷嘴部14和下侧喷嘴部15的直径分别例如为约3[mm]。

上侧振动体30的直径例如为17[mm]，其中限定泵室21这部分的直径例如为13.2[mm]。上侧振动体30的厚度例如为0.4[mm]。设置于上侧振动体30的多个上侧孔部35以圆环状呈点列地配置于距上侧振动体30的中央部离开例如5.93[mm]的位置，各自的开口径分别例如为0.46[mm]。

下侧振动体40的直径例如为24[mm]，其厚度例如为0.62[mm]。下侧振动板41的直径例如为17[mm]，其中限定泵室21这部分的直径例如为13.2[mm]。下侧振动板41的厚度例如为0.4[mm]。设置于下侧振动体40的多个下侧孔部45的开口径分别例如为0.4[mm]。

隔离件50的外径例如为17[mm]，其内径例如为13.2[mm]。隔离件50的厚度例如为0.15[mm]。泵室21的内径例如为13.2[mm]，其高度例如为0.2[mm]。

上侧宽大部81的直径例如为11[mm]。上侧宽大部81的高度例如为21.39[mm]，其中上侧凹部11a的深度例如为1[mm]。上侧狭窄部82的高度例如为0.39[mm]。

下侧宽大部91的直径例如为11[mm]。下侧宽大部91的高度例如为1.3[mm]，其中下侧凹部12a的深度例如为1.15[mm]。下侧狭窄部92的高度例如为0.15[mm]。

压电元件60的直径例如为10.8[mm]，其厚度例如为0.1[mm]。流路部16的直径例如为1[mm]。

(第1变形例)

图7是表示第1变形例所涉及的压电鼓风机的结构和第1验证试验的结果的图。以下，参照该图7，对使用本变形例所涉及的压电鼓风机1A1的结构和该压电鼓风机1A1执行的第1验证试验进行说明。

如图7的(A)所示，对于本变形例所涉及的压电鼓风机1A1而言，仅在下侧气室90的形状上其结构与上述的实施方式1所涉及的压电鼓风机1A不同。具体而言，在本变形例所涉及的压电鼓风机1A1中，构成为下侧凹部12a的直径比泵室21的直径大，从而主要由该下侧凹部12a限定的下侧宽大部91’构成为与下侧振动体40实质相同的大小。换言之，本变形例所涉及的压电鼓风机1A1实质上不具备实施方式1所涉及的压电鼓风机1A所具备的下侧狭窄部92。

在如此地构成的情况下，基本上无法使下侧振动体40的位移不被在与下侧振动体40面对的下侧气室90产生的压力变动妨碍。然而，另一方面，能够使上侧振动体30的位移不被在与上侧振动体30面对的上侧气室80产生的压力变动妨碍，与之相应地能够实现流量的增大。

这里，在第1验证试验中，在实际试制本变形例所涉及的压电鼓风机1A1，各种变更设置于上侧壳体11的上侧凹部11a的直径，而使上侧宽大部81比上侧振动体30之直径比率各种变化的情况下，确认出了流量如何变化。此外，对于流量的变化而言，通过背压为-10kPa的情况下的动作时的中间流量比来进行比较，作为其基准，将上述直径比率为1.0的情况作为100％。

如图7的(B)所示，在第1验证试验中，得到如下结果：在上侧宽大部81比上侧振动体30之直径比率为约0.76的情况下，中间流量比增加至约132％，在上侧宽大部81比上侧振动体30之直径比率为约0.64的情况下，中间流量比增加至约138％。

因此，在形成为本变形例所涉及的压电鼓风机1A1的情况下，也能够在相当程度上得到在上述的实施方式1中说明的效果。

(第2变形例)

图8是表示第2变形例所涉及的压电鼓风机的结构和第2验证试验的结果的图。以下，参照该图8，对使用了本变形例所涉及的压电鼓风机1A2的结构和该压电鼓风机1A2执行的第2验证试验进行说明。

如图8的(A)所示，对于本变形例所涉及的压电鼓风机1A2而言，仅在上侧气室80的形状上其结构与上述的实施方式1所涉及的压电鼓风机1A不同。具体而言，在本变形例所涉及的压电鼓风机1A2中，构成为，上侧凹部11a的直径比泵室21的直径大，从而主要由该上侧凹部11a限定的上侧宽大部81’构成得比上侧振动体30大。换言之，本变形例所涉及的压电鼓风机1A2实质上不具备实施方式1所涉及的压电鼓风机1A所具备的上侧狭窄部82。

这里，在本变形例所涉及的压电鼓风机1A2中，上侧振动体30和下侧振动体40分别相当于第2振动体和第1振动体，上侧孔部35和下侧孔部45分别相当于第2孔部和第1孔部。另外，上侧气室80和下侧气室90分别相当于第2室和第1室，上侧壳体11的壁部的局部和下侧壳体12的壁部的局部分别相当于第2壁部和第1壁部。

并且，在本变形例所涉及的压电鼓风机1A2中，上侧凹部11a和下侧凹部12a分别相当于第2凹部和第1凹部，上侧周围部11b和下侧周围部12b分别相当于第2周围部和第1周围部。另外，上侧喷嘴部14和下侧喷嘴部15分别相当于第2喷嘴部和第1喷嘴部。

在如此地构成的情况下，基本上无法使上侧振动体30的位移不被在与上侧振动体30面对的上侧气室80产生的压力变动妨碍。然而，另一方面，能够使得下侧振动体40的位移不被在与下侧振动体40面对的下侧气室90产生的压力变动妨碍，与之相应地能够实现流量的增大。

这里，在第2验证试验中，在实际上试制本变形例所涉及的压电鼓风机1A2，各种变更设置于下侧壳体12的下侧凹部12a的直径，从而使下侧宽大部91比下侧振动体40之直径比率各种变化的情况下，确认出流量如何变化。此外，对于流量的变化而言，通过背压为-10kPa的情况下的动作时的中间流量比进行比较，作为其基准，将上述直径比率为1.0的情况作为100％。

如图8的(B)所示，在第2验证试验中，得到如下结果：在下侧宽大部91比下侧振动体40之直径比率为约0.88的情况下，中间流量比增加至约116％，在下侧宽大部91与下侧振动体40之直径比率为约0.76的情况下，中间流量比增加至约114％，在下侧宽大部91与下侧振动体40之直径比率为约0.64的情况下，中间流量比增加至约118％，在下侧宽大部91与下侧振动体40之直径比率为约0.53的情况下，中间流量比增加至约112％，在下侧宽大部91与下侧振动体40之直径比率为约0.42的情况下，中间流量比增加至约102％。

因此，在形成为本变形例所涉及的压电鼓风机1A2的情况下，也能够相当程度地得到在上述的实施方式1中说明的效果。

(第3变形例)

图9是第3变形例所涉及的压电鼓风机的上侧壳体的仰视图。以下，参照该图9对本变形例所涉及的压电鼓风机1A3进行说明。

本变形例所涉及的压电鼓风机1A3具备上侧壳体11而成，该上侧壳体11具有与上述的实施方式1所涉及的压电鼓风机1A所具备的上侧壳体不同的凹凸形状，由此其结构仅在上侧气室80的形状上与上述的实施方式1所涉及的压电鼓风机1A不同。

具体而言，如图9所示，本变形例所涉及的压电鼓风机1A3的上侧壳体11，在位于上侧振动体30侧的主面上，具有俯视呈圆形状的上侧凹部11a、和设置为包围该上侧凹部11a的突出形状的上侧周围部11b。在上侧周围部11b处，设置有以轴线100为中心呈放射状延伸的多个槽部11c，对于该多个槽部11c而言，都是其延伸方向的一端与上侧凹部11a相连。此外，在图9中，为了便于理解，对上侧周围部11b打了斜线。

这里，对于形成有槽部11c的部分以外的上侧周围部11b而言，其局部在与轴线100的延伸方向平行的方向上与上侧振动体30的包括周缘部的外周区域重叠。由此，由该部分的上侧周围部11b限定的上侧狭窄部82也在与轴线100的延伸方向平行的方向上与上侧振动体30的包括周缘部的外周区域重叠。

在如此地构成的情况下，限定上侧宽大部81的上侧凹部11a的侧面作为在上侧气室80产生的压力传递的反射端发挥功能，由此在上侧气室80中消除产生共振的条件。因此，能够抑制在与上侧振动体30面对的上侧气室80产生的压力变动妨碍上侧振动体30的位移地产生作用，结果是能够不使装置大型化地实现泵性能的提高。

此外，该结构的凹凸形状可以除了上述的上侧壳体11之外还被施加给下侧壳体12，另外也可以代替上述的上侧壳体11地被仅施加给下侧壳体12。

(第4变形例)

图10是第4变形例所涉及的压电鼓风机的上侧壳体的仰视图。以下，参照该图10对本变形例所涉及的压电鼓风机1A4进行说明。

本变形例所涉及的压电鼓风机1A4具备上侧壳体11而成，该上侧壳体11具有与上述实施方式1所涉及的压电鼓风机1A所具备的上侧壳体不同的凹凸形状，由此其结构仅在上侧气室80的形状上与上述的实施方式1所涉及的压电鼓风机1A不同。

具体而言，如图10所示，本变形例所涉及的压电鼓风机1A4的上侧壳体11，在位于上侧振动体30侧的主面上，具有俯视呈圆形状的上侧凹部11a、和设置为包围该上侧凹部11a的突出形状的上侧周围部11b。这里，在上侧周围部11b，设置有以轴线100为中心呈放射状延伸的多个梳齿状的槽部11c，对于该多个槽部11c而言，都是其延伸方向的一端与上侧凹部11a相连，并且，都是其另一端被上侧周围部11b封闭。此外，在图10中，为了便于理解，对上侧周围部11b打了斜线。

这里，对于形成有槽部11c的部分以外的上侧周围部11b而言，其局部在与轴线100的延伸方向平行的方向上与上侧振动体30的包括周缘部的外周区域重叠。由此，由该部分的上侧周围部11b限定的上侧狭窄部82也在与轴线100的延伸方向平行的方向上与上侧振动体30的包括周缘部的外周区域重叠。

在如此地构成的情况下，限定上侧宽大部81的上侧凹部11a的侧面也作为在上侧气室80产生的压力传递的反射端发挥功能，由此在上侧气室80中消除产生共振的条件。因此，能够抑制在与上侧振动体30面对的上侧气室80中产生的压力变动妨碍上侧振动体30的位移地发挥作用这种情况，结果是能够不使装置大型化地实现泵性能的提高。

此外，该结构的凹凸形状可以除了上述的上侧壳体11之外还被施加给下侧壳体12，另外也可以代替上述的上侧壳体11地仅被施加给下侧壳体12。

(第5变形例)

图11是第5变形例所涉及的压电鼓风机的上侧壳体的仰视图。以下，参照该图11对本变形例所涉及的压电鼓风机1A5进行说明。

本变形例所涉及的压电鼓风机1A5具备上侧壳体11而成，该上侧壳体11具有与上述实施方式1所涉及的压电鼓风机1A所具备的上侧壳体11不同的凹凸形状，由此其结构仅在上侧气室80的形状上与上述的实施方式1所涉及的压电鼓风机1A不同。

具体而言，如图11所示，本变形例所涉及的压电鼓风机1A5的上侧壳体11，在位于上侧振动体30侧的主面上，具有俯视呈圆形状的上侧凹部11a、设置为包围该上侧凹部11a的突出形状的上侧周围部11b、以及设置于上侧凹部11a内部的突起部11d。此外，在图11中，为了便于理解，对上侧周围部11b和突起部11d打了斜线。

这里，对于上侧周围部11b而言，其局部在与轴线100的延伸方向平行的方向上与上侧振动体30的包括周缘部的外周区域重叠。由此，由该部分的上侧周围部11b限定的上侧狭窄部82也在与轴线100的延伸方向平行的方向上与上侧振动体30的包括周缘部的外周区域重叠。

在如此地构成的情况下，不仅是限定上侧宽大部81的上侧凹部11a的侧面作为在上侧气室80产生的压力传递的反射端发挥功能，设置在上侧凹部11a内的突起部11d的侧面也作为在上侧气室80产生的压力传递的反射端发挥功能，由此在上侧气室80中消除产生共振的条件。因此，能够抑制在与上侧振动体30面对的上侧气室80产生的压力变动妨碍上侧振动体30的位移地发挥作用这种情况，结果是能够不使装置大型化地实现泵性能的提高。

此外，该结构的凹凸形状可以除了被赋予给上述上侧壳体11之外，还被赋予给下侧壳体12，另外也可以代替上述的上侧壳体11仅被赋予给下侧壳体12。

(第6变形例)

图12是第6变形例所涉及的压电鼓风机的上侧壳体的仰视图。以下，参照该图12对本变形例所涉及的压电鼓风机1A6进行说明。

本变形例所涉及的压电鼓风机1A6具备上侧壳体11而成，且该上侧壳体11具有与上述实施方式1所涉及的压电鼓风机1A所具备的上侧壳体不同的凹凸形状，由此其结构仅在上侧气室80的形状上与上述的实施方式1所涉及的压电鼓风机1A不同。

具体而言，如图12所示，本变形例所涉及的压电鼓风机1A6的上侧壳体11，在位于上侧振动体30侧的主面上，具有俯视呈圆形状的上侧凹部11a、设置为包围该上侧凹部11a的突出形状的上侧周围部11b、以及设置于上侧凹部11a的内部的分隔部11e。该分隔部11e设置为在上侧周围部11b的内周面的限定位置地进行架桥，从而分隔上侧凹部11a的内部的空间。此外，在图12中，为了便于理解，对上侧周围部11b和分隔部11e打了斜线。

这里，对于上侧周围部11b而言，其局部在与轴线100的延伸方向平行的方向上与上侧振动体30的包括周缘部的外周区域重叠。由此，由该部分的上侧周围部11b限定的上侧狭窄部82也在与轴线100的延伸方向平行的方向上与上侧振动体30的包括周缘部的外周区域重叠。

在如此地构成的情况下，不仅是限定上侧宽大部81的上侧凹部11a的侧面作为在上侧气室80产生的压力传递的反射端发挥功能，设置在上侧凹部11a内的分隔部11e的侧面也作为在上侧气室80产生的压力传递的反射端发挥功能，由此在上侧气室80中消除产生共振的条件。因此，能够抑制在与上侧振动体30面对的上侧气室80产生的压力变动妨碍上侧振动体30的位移地产生作用，结果是能够不使装置大型化地实现泵性能的提高。

此外，该结构的凹凸形状可以除了被赋予给上述的上侧壳体11之外，还被赋予给下侧壳体12，另外也可以代替上述的上侧壳体11仅被赋予给下侧壳体12。

(第7变形例)

图13是第7变形例所涉及的压电鼓风机的上侧壳体的仰视图。以下，参照该图13对本变形例所涉及的压电鼓风机1A7进行说明。

本变形例所涉及的压电鼓风机1A7具备上侧壳体11而成，且该上侧壳体11具有与上述的实施方式1所涉及的压电鼓风机1A所具备的上侧壳体不同的凹凸形状，由此，其结构仅在上侧气室80的形状上与上述的实施方式1所涉及的压电鼓风机1A不同。

具体而言，如图13所示，本变形例所涉及的压电鼓风机1A7的上侧壳体11，在位于上侧振动体30侧的主面上，具有俯视呈矩形状的上侧凹部11a、和设置为包围该上侧凹部11a的突出形状的上侧周围部11b。此外，在图13中，为了便于理解，对上侧周围部11b打了斜线。

这里，对于上侧周围部11b而言，其局部在与轴线100的延伸方向平行的方向上与上侧振动体30的包括周缘部的外周区域重叠。由此，由该部分的上侧周围部11b限定的上侧狭窄部82也在与轴线100的延伸方向平行的方向上与上侧振动体30的包括周缘部的外周区域重叠。

在如此地构成的情况下，限定上侧宽大部81的上侧凹部11a的侧面作为在上侧气室80产生的压力传递的反射端发挥功能，由此在上侧气室80中消除产生共振的条件。并且，上侧凹部11a在俯视时呈非圆形状，因此上侧气室80的轴对称性(所谓的连续对称性)降低，由此也容易消除产生共振的条件。因此，能够抑制在与上侧振动体30面对的上侧气室80产生的压力变动妨碍上侧振动体30的位移地发挥作用这种情况，结果是能够不使装置大型化地实现泵性能的提高。

此外，该结构的凹凸形状可以除了被赋予给上述上侧壳体11之外，还被赋予给下侧壳体12，另外也可以代替赋予给上述的上侧壳体11而仅被赋予给下侧壳体12。另外，凹部的形状不限定于上述的矩形状，也可以变更为矩形状以外的多边形状、椭圆形状等。

(实施方式2)

图14是表示本发明的实施方式2所涉及的压电鼓风机的结构和动作时产生的气流的大致的方向的示意图。以下，参照该图14对本实施方式所涉及的压电鼓风机1B进行说明。

如图14所示，与上述的实施方式1所涉及的压电鼓风机1A相同地，本实施方式所涉及的压电鼓风机1B主要具备外壳10和驱动部20，其结构仅在外壳10的形状上与上述的实施方式1所涉及的压电鼓风机1A不同。

具体而言，压电鼓风机1B的外壳10具有上侧壳体11和下侧壳体12，在上侧壳体11上，从其中央部朝向外侧突出地设置有作为第1连通部的上侧喷嘴部14，在下侧壳体12上，从其中央部朝向外侧突出设置有作为第2连通部的下侧喷嘴部15。

由此，上侧喷嘴部14和下侧喷嘴部15均配置为在与轴线100(在图14中未图示)的延伸方向平行的方向上与驱动部20重叠，上侧喷嘴部14与主要由设置于上侧壳体11的上侧凹部11a限定的上侧宽大部81连通，下侧喷嘴部15与主要由设置于下侧壳体12的下侧凹部12a限定的下侧宽大部91连通。

在如此地构成的情况下，限定上侧宽大部81的上侧凹部11a的侧面也作为在上侧气室80产生的压力传递的反射端发挥功能，并且限定下侧宽大部91的下侧凹部12a的侧面也作为在下侧气室90产生的压力传递的反射端发挥功能，由此在上侧气室80和下侧气室90双方消除产生共振的条件。

因此，在采用上述结构的情况下，与上述的实施方式1所涉及的压电鼓风机1A相比，虽然不会充分实现装置的轻薄化，但结果是能够实现泵性能的提高。

此外，在采用该结构的情况下，上侧狭窄部82构成为在与轴线100的延伸方向平行的方向上与上侧振动体30的局部(即，上侧振动体30的外周区域)重叠，并且构成为与上侧狭窄部82面对地设置有多个上侧孔部35，从而上侧喷嘴部14与泵室21经由该上侧狭窄部82连通。因此，上侧狭窄部82作为用于使泵室21不易受到来自压电鼓风机1A外部的影响的一种节流孔发挥功能，因此驱动部20稳定地执行动作，即使在这一点上也能够实现泵性能的提高。

(实施方式3)

图15是表示本发明的实施方式3所涉及的压电鼓风机的结构的示意图和该压电鼓风机所具备的上侧壳体的仰视图。以下，参照该图15对本实施方式所涉及的压电鼓风机1C进行说明。

如图15的(A)所示，与上述的实施方式1所涉及的压电鼓风机1A相同地，本实施方式所涉及的压电鼓风机1C主要具备外壳10和驱动部20，其结构仅在外壳10的形状上与上述的实施方式1所涉及的压电鼓风机1A不同。

具体而言，如图15的(A)和图15的(B)所示，在本实施方式所涉及的压电鼓风机1C中，俯视圆形状的上侧凹部11a设置为与上侧振动体30的包含中央部的部分对置，但上侧凹部11a偏心地配设，以使得该上侧凹部11a的中心轴线和与上侧振动体30的中央部、下侧振动体40的中央部正交的轴线100对不齐。由此，主要由上侧凹部11a限定的上侧宽大部81也偏心地配置。此外，在图15的(B)中，为了便于理解，对上侧周围部11b打了斜线。

这里，对于上侧周围部11b而言，其局部在与轴线100的延伸方向平行的方向上与上侧振动体30的包括周缘部的外周区域的局部重叠。由此，由该部分的上侧周围部11b限定的上侧狭窄部82也在与轴线100的延伸方向平行的方向上与上侧振动体30的包括周缘部的外周区域的局部重叠。

另外，如图15的(A)所示，在本实施方式所涉及的压电鼓风机1C中，俯视呈圆形状的下侧凹部12a设置为与下侧振动体40的包含中央部的部分对置，但下侧凹部12a偏心地配设，以使得该下侧凹部12a的中心轴线和与上侧振动体30的中央部、下侧振动体40的中央部正交的轴线100对不齐。由此，主要由下侧凹部12a限定的下侧宽大部91也偏心地配置。

这里，对于下侧周围部12b而言，其局部在与轴线100的延伸方向平行的方向上与下侧振动体40的包含周缘部的外周区域的局部重叠。由此，由该部分的下侧周围部12b限定的下侧狭窄部92也在与轴线100的延伸方向平行的方向上与下侧振动体40的包含周缘部的外周区域的局部重叠。

在如此地构成的情况下，限定上侧宽大部81的上侧凹部11a的侧面也作为在上侧气室80产生的压力传递的反射端发挥功能，并且限定下侧宽大部91的下侧凹部12a的侧面也作为在下侧气室90产生的压力传递的反射端发挥功能，由此在上侧气室80和下侧气室90双方消除产生共振的条件。

因此，在采用上述结构的情况下，结果是也能够不使装置大型化地实现泵性能的提高。

(参考方式1)

图16是表示参考方式1所涉及的压电鼓风机的结构的示意图和该压电鼓风机所具备的上侧壳体的仰视图。以下，参照该图16对本参考方式所涉及的压电鼓风机1D进行说明。

如图16的(A)所示，与上述的实施方式1所涉及的压电鼓风机1A相同地，本参考方式所涉及的压电鼓风机1D主要具备外壳10和驱动部20，其结构仅在外壳10的形状上与上述的实施方式1所涉及的压电鼓风机1A不同。

具体而言，如图16的(A)和图16的(B)所示，在本参考方式所涉及的压电鼓风机1D中，上侧壳体11具有：俯视呈圆形状的上侧凹部11a；设置为包围该上侧凹部11a的突出形状的上侧周围部11b；以及设置于上侧凹部11a的内部的突起部11d。此外，在图16的(B)中，为了便于理解，对上侧周围部11b和突起部11d打了斜线。

这里，上侧周围部11b在与轴线100的延伸方向平行的方向上不与上侧振动体30重叠，因此，本参考方式所涉及的压电鼓风机1D实质不具备实施方式1所涉及的压电鼓风机1A所具备的上侧狭窄部82，仅具备直径比上侧振动体30大的上侧宽大部81’。

另外，如图16的(A)所示，在本参考方式所涉及的压电鼓风机1D中，下侧壳体12具有：俯视呈圆形状的下侧凹部12a；设置为包围该下侧凹部12a的突出形状的下侧周围部12b；以及设置于下侧凹部12a的内部的突起部12d。

这里，下侧周围部12b在与轴线100的延伸方向平行的方向上不与上侧振动体30重叠，因此，本参考方式所涉及的压电鼓风机1D实质上不具备实施方式1所涉及的压电鼓风机1A所具备的下侧狭窄部92，仅具备直径比下侧振动体40大的下侧宽大部91’。

然而，即便在采用了该结构的情况下，设置在上侧凹部11a内的突起部11d的侧面也作为在上侧气室80产生的压力传递的反射端发挥功能，并且设置在下侧凹部12a内的突起部12d的侧面也作为在下侧气室90产生的压力传递的反射端发挥功能，由此在上侧气室80和下侧气室90中消除产生共振的条件。

因此，通过采用该结构，能够相当程度地抑制在上侧气室80和下侧气室90产生的压力变动妨碍上侧振动体30和下侧振动体40的位移地产生作用，结果是能够不使装置大型化就实现泵性能的提高。

(参考方式2)

图17是参考方式2所涉及的压电鼓风机的上侧壳体的仰视图。以下，参照该图17对本参考方式所涉及的压电鼓风机1E进行说明。

本参考方式所涉及的压电鼓风机1E具备上侧壳体11而成，该上侧壳体11具有与上述的参考方式1所涉及的压电鼓风机1D所具备的上侧壳体不同的凹凸形状，由此其结构仅在上侧气室的形状上与上述的参考方式1所涉及的压电鼓风机1D不同。

具体而言，如图17所示，本参考方式所涉及的压电鼓风机1E的上侧壳体11，在位于上侧振动体30侧的主面上，具有俯视呈圆形状的上侧凹部11a、设置为包围该上侧凹部11a的突出形状的上侧周围部11b、以及设置于上侧凹部11a的内部的分隔部11e。该分隔部11e设置为在上侧周围部11b的内周面的限定位置处进行架桥，从而分隔上侧凹部11a的内部的空间。此外，在图17中，为了便于理解，对上侧周围部11b和分隔部11e打了斜线。

这里，上侧周围部11b在与轴线100的延伸方向平行的方向上不与上侧振动体30重叠，因此，本参考方式所涉及的压电鼓风机1E实质上不具备实施方式1所涉及的压电鼓风机1A所具备的上侧狭窄部82，仅具备直径比上侧振动体30大的上侧宽大部。

然而，即便在采用了该结构的情况下，设置在上侧凹部11a内的分隔部11e的侧面也作为在上侧气室产生的压力传递的反射端发挥功能，由此在上侧气室消除产生共振的条件。

因此，通过采用该结构，能够相当程度地抑制在上侧气室产生的压力变动妨碍上侧振动体30的位移地发挥作用这种情况，结果是能够不使装置大型化地实现泵性能的提高。

此外，该结构的凹凸形状可以除了被赋予上述的上侧壳体11之外，还被赋予给下侧壳体12，另外也可以代替被赋予上述的上侧壳体11，而仅被赋予给下侧壳体12。

(参考方式3)

图18是参考方式3所涉及的压电鼓风机的上侧壳体的仰视图。以下，参照该图18对本参考方式所涉及的压电鼓风机1F进行说明。

本参考方式所涉及的压电鼓风机1F具备上侧壳体11而成，该上侧壳体11具有与上述的参考方式1所涉及的压电鼓风机1D所具备的上侧壳体不同的凹凸形状，由此其结构仅在上侧气室的形状上与上述的参考方式1所涉及的压电鼓风机1D不同。

具体而言，如图18所示，本参考方式所涉及的压电鼓风机1F的上侧壳体11，在位于上侧振动体30侧的主面上，具有俯视呈矩形状的上侧凹部11a、和设置为包围该上侧凹部11a的突出形状的上侧周围部11b。此外，在图18中，为了便于理解，对上侧周围部11b打了斜线。

这里，上侧周围部11b在与轴线100的延伸方向平行的方向上不与上侧振动体30重叠，因此，本参考方式所涉及的压电鼓风机1F实质上不具备实施方式1所涉及的压电鼓风机1A所具备的上侧狭窄部82，仅具备直径比上侧振动体30大的上侧宽大部。

然而，即便在采用了该结构的情况下，上侧凹部11a也在俯视时呈非圆形状，因此上侧气室的轴对称性(所谓的连续对称性)降低，由此消除产生共振的条件。

因此，通过采用该结构，能够相当程度地抑制在上侧气室产生的压力变动妨碍上侧振动体30的位移地产生作用，结果是能够不使装置大型化地实现泵性能的提高。

此外，该结构的凹凸形状可以除了上述的上侧壳体11之外还被施加给下侧壳体12，另外也可以代替上述的上侧壳体11地仅被施加给下侧壳体12。

(其他)

在上述的本发明的实施方式1～3及其变形例中，例示出设置于第1振动体的第1孔部均以圆环状呈点列地配置的情况来进行了说明，但它们不必以圆环状呈点列地配置，能够适当地变更其布局。另外，同样地，对于设置于第2振动体的第2孔部，也能够适当地变更其布局。

另外，在上述的本发明的实施方式1～3及其变形例中，例示出在设置于第2振动体的第2孔部增设有止逆阀的结构来进行了说明，但止逆阀可以代替于此地增设于在第1振动体设置的第1孔部，另外也可以在第1孔部和第2孔部双方设置有止逆阀。并且，也能够适当地变更由止逆阀允许和限制的气体的流通方向。

另外，在上述的本发明的实施方式1～3及其变形例中，例示出第1宽大部和第2宽大部均由圆柱状或者棱柱状的空间构成的情况来进行了说明，但也可以使其例如由圆锥状或者棱锥状的空间等构成。

另外，在上述的本发明的实施方式1～3及其变形例中示出的特征结构能够在不脱离本发明的主旨的范围内适当地加以组合。

并且，在上述的本发明的实施方式1～3及其变形例中，例示出将本发明应用于吸入并排出气体的压电鼓风机的情况来进行了说明，但也能够将本发明应用于吸入并排出液体的泵、作为驱动体而利用压电元件以外的元件的泵(但是，当然限于利用振动体的屈曲振动的正排量泵)。

这里，在上述的本发明的实施方式1～3及其变形例中示出的压电鼓风机特别适合作为组装于用于医疗用途的各种机器的送风机而加以使用，作为该机器，例如举出鼻涕抽吸器、挤奶器、负压伤口治疗装置等。

这样，本次公开的上述实施方式和变形例在全部方面均为例示，并非限制性的内容。本发明的技术范围由权利要求书划分，另外包含与权利要求书的记载同等含义和范围内的全部的变更。

附图标记的说明

1A～1F、1A1～1A7...压电鼓风机；10...壳体；11...上侧壳体；11a...上侧凹部；11b...上侧周围部；11b1...端子插通部；11c...槽部；11d...突起部；11e...分隔部；12...下侧壳体；12a...下侧凹部；12b...下侧周围部；12c...槽部；12d...突起部；13...收容空间；14...上侧喷嘴部；15...下侧喷嘴部；16...流路部；17...端子台；20...驱动部；21...泵室；30...上侧振动体；31...上侧振动板；31a...孔部；35...上侧孔部；40...下侧振动体；41...下侧振动板；41a...孔部；42...辅助振动板；42a...孔部；43...止逆阀；43a...孔部；44...阀芯保持部件；44a...孔部；44b...第2端子；45...下侧孔部；50...隔离件；60...压电元件；70...第1端子；80...上侧气室；81、81’...上侧宽大部；82...上侧狭窄部；90...下侧气室；91、91’...下侧宽大部；92...下侧狭窄部；100...轴线。

Claims (15)

1.一种泵，其中，具备：

板状的第1振动体；

板状的第2振动体，与所述第1振动体对置；

周壁部，将所述第1振动体的周缘部和所述第2振动体的周缘部连接；

泵室，位于所述第1振动体与所述第2振动体之间，由所述第1振动体、所述第2振动体以及所述周壁部限定；

驱动体，通过使所述第1振动体和所述第2振动体屈曲振动，而使所述泵室产生压力变动；以及

外壳，收容由所述第1振动体、所述第2振动体、所述周壁部以及所述驱动体构成的驱动部，

所述外壳具有：在从所述第1振动体观察时位于与所述第2振动体所在这一侧相反一侧的第1壁部；和在从所述第2振动体观察时位于与所述第1振动体所在这一侧相反一侧的第2壁部，

所述驱动部配置为，将所述外壳的内部的空间划分成由所述第1振动体与所述第1壁部限定的第1室、和由所述第2振动体与所述第2壁部限定的第2室，

在所述外壳上，设置有使所述第1室与所述外壳的外部的空间连通的第1连通部、和使所述第2室与所述外壳的外部的空间连通的第2连通部，

在所述第1振动体上设置有使所述泵室与所述第1室连通的第1孔部，

在所述第2振动体上设置有使所述泵室与所述第2室连通的第2孔部，

所述第1壁部包括：朝向所述第1振动体侧开口并且与所述第1振动体的包括中央部的部分对置的第1凹部；和在与正交于所述第1振动体的中央部及所述第2振动体的中央部的轴线正交的方向上同所述第1凹部相邻的第1周围部，

所述第1室包括：由所述第1凹部和所述第1振动体的与该第1凹部对置的部分限定的第1宽大部；及由所述第1周围部和所述第1振动体与该第1周围部对置的部分限定的第1狭窄部，

所述第1狭窄部在与所述轴线的延伸方向平行的方向上和所述第1振动体的至少局部重叠，

所述第1孔部设置有多个，

在沿着所述轴线的延伸方向观察的情况下，所述多个第1孔部呈点列状配置于以该轴线为中心的圆周上的位置，

所述多个第1孔部配置为与所述第1周围部对置，

所述第1周围部向所述第1振动体的方向突出，

在沿着所述轴线的延伸方向观察的情况下，在与所述第1周围部对置的位置具有所述第1连通部。

2.根据权利要求1所述的泵，其中，

所述第1振动体为圆盘状，

所述第1宽大部由圆柱状的空间构成。

3.根据权利要求2所述的泵，其中，

在将所述第1振动体的直径设为Ra1，将所述第1宽大部的直径设为Rb1的情况下，满足0.4≤Rb1/Ra1＜1.0这个条件。

4.根据权利要求2或3所述的泵，其中，

所述第1宽大部配置为其中心轴线与所述轴线对齐。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的泵，其中，

所述第1连通部在与所述轴线的延伸方向平行的方向上配置于不与所述第1振动体重叠的位置。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的泵，其中，

所述第2壁部包括：朝向所述第2振动体侧开口并且与所述第2振动体的包括中央部的部分对置的第2凹部；和在与所述轴线正交的方向上和所述第2凹部相邻的第2周围部，

所述第2室包括：由所述第2凹部和所述第2振动体的与该第2凹部对置的部分限定的第2宽大部；及由所述第2周围部和所述第2振动体的与该第2周围部对置的部分限定的第2狭窄部，

所述第2狭窄部在与所述轴线的延伸方向平行的方向上与所述第2振动体的至少局部重叠。

7.根据权利要求6所述的泵，其中，

所述第2振动体为圆盘状，

所述第2宽大部由圆柱状的空间构成。

8.根据权利要求7所述的泵，其中，

在将所述第2振动体的直径设为Ra2，将所述第2宽大部的直径设为Rb2的情况下，满足0.4≤Rb2/Ra2＜1.0这个条件。

9.根据权利要求7或8所述的泵，其中，

所述第2宽大部配置为其中心轴线与所述轴线对齐。

10.根据权利要求6～9中任一项所述的泵，其中，

所述第2孔部设置有一个或者多个，

所述一个或者多个第2孔部配置于所述第2振动体的中央部或者其附近。

11.根据权利要求6～10中任一项所述的泵，其中，

具有节流孔，在与所述轴线的延伸方向平行的方向上，该节流孔设置于不与所述第2振动体重叠的位置，并且构成将所述第2宽大部与所述第2连通部连通的流路的至少局部，

所述第2宽大部构成为仅经由所述节流孔与所述第2连通部就连通。

12.根据权利要求7～11中任一项所述的泵，其中，

在与所述轴线的延伸方向平行的方向上，所述第2连通部配置于不与所述第2振动体重叠的位置。

13.根据权利要求1～12中任一项所述的泵，其中，

所述驱动体使所述第1振动体和所述第2振动体屈曲振动，从而以所述轴线为中心在所述第1振动体和所述第2振动体的双方产生驻波。

14.根据权利要求1～13中任一项所述的泵，其中，

所述第1连通部作为从所述外壳的外部的空间向所述第1室吸入流体的吸入部发挥功能，

所述第2连通部作为从所述第2室向所述外壳的外部的空间排出流体的排出部发挥功能。

15.根据权利要求1～14中任一项所述的泵，其中，

所述驱动体包括粘贴于所述第1振动体和所述第2振动体中任一者的大致平板状的压电元件。

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