CN114829777A - 传感器组件 - Google Patents

Abstract

一种用在包括至少一个移动部件(18)和至少一个静止部件(16)的设备中的传感器组件(12)，该组件包括探针(32)和用于将传感器安装到设备的静止部件(16)的装置(58)。探针(32)包括不完整电路的一部分，不完整电路的一部分在完成时产生信号。在使用中，当探针(32)被设备的移动部件接合时，产生信号。还提供了包括传感器的真空泵或压缩机泵以及用于防止设备故障的方法。

Description

传感器组件

技术领域

本发明涉及一种传感器组件，用于具有静止部件和移动部件的设备，例如真空泵。本发明还涉及一种包括这种传感器组件的真空泵，以及一种用于防止例如真空泵的设备故障的方法。

背景技术

包括移动部件和静止部件的设备应用于各种技术领域中。例如，真空泵用于许多工业应用中，包括半导体器件的制造，其中优选良好和清洁的环境以最小化半导体晶片生产过程中的污染。

例如罗茨真空泵之类的干式真空泵通常用于抽空其中进行半导体晶片制造的腔室。罗茨真空泵通过安装在定子内部的一对相互啮合的叶状转子抽吸空气来工作。干式真空泵尤其优选用于制造高性能产品，例如半导体器件，因为它们在定子与（多个）转子之间不包含密封流体。这是所希望的，因为密封流体会汽化并迁移到处理腔室中，从而导致被处理的半导体的污染。

相反，泵的效率取决于将定子与（多个）转子或任何相互啮合的转子构件之间的空隙维持在特定的公差内。目前，这依赖于在泵的整个操作循环中，包括在升高的温度下维持适当空隙的良好的设计和制造技术。如果没有维持合适的空隙，那么旋转机构就会卡住，这可能会对泵造成昂贵且潜在不可修复的损坏，并可能导致长时间不工作。

在一些泵中，传感器用于测量定子与（多个）转子之间的空隙。现有技术是使用传感器连续测量和输出与定子与（多个）转子之间的空隙相关的数据。

FR-A-2812041公开了一种罗茨真空泵类型的干式真空泵，其中接近传感器安装在定子上，以检测转子的轴向热膨胀。由传感器产生的信号用于控制定子冷却单元，以便将转子的轴向游隙维持在大于最小容许值的值。这是通过确定传感器的输出信号是否高于预定阈值，于是启动附加的冷却回路来实现的。

WO-A-2017/025722公开了一种干式真空泵，其中传感器安装在定子上，以检测转子表面上的一点与定子内表面之间的绝对距离。在使用中，传感器连续测量转子与定子的空隙，并将数据输出到处理电路。

这些传感器系统在使用时各自连续收集和输出关于定子和（多个）转子相对位置的数据。由于输出数据的高容量和复杂性，它们的处理和分析需要特定的技术知识和专业技能，而泵的操作者可能不具备这些知识和技能。此外，由于其复杂性，这种类型的传感器购买和操作都很昂贵。因此，泵在没有任何这种传感器的情况下运行是很常见的，这就冒着器件发生灾难性故障的风险。

因此，需要一种适用于具有移动部件的各种设备，并且特别是真空泵，例如罗茨真空泵的传感器，其具有降低的复杂性和数据输出量，优选地具有降低的成本。

真空泵通常必须连续运行数天。因此，持续监测来自传感器的输出数据是不希望的，并且可能是不可行的。因此，还需要一种传感器，如果被触发，该传感器将停止泵的操作以防止故障。

本发明解决了现有技术的这些和其他问题。

发明内容

根据本发明，提供了一种用在设备中的传感器组件，该设备包括至少一个移动部件和至少一个静止部件。

传感器组件包括探针，该探针包括不完整电路的一部分。探针被配置成当被至少一个移动部件接合时形成完整的电路。

传感器组件还包括用于将传感器组件安装到设备的静止部件的装置。该组件被配置成当电路完成时产生信号。

该设备可以包括具有相对运动的两个或更多个构件的机械器件。例如，该设备可以包括真空泵，例如干式真空泵。在实施例中，该设备包括罗茨真空泵。在替代实施例中，该设备包括压缩机泵。

在使用中，如果探针没有被设备的至少一个移动部件接合，则电路保持不完整，使得电路没有信号输出。在本公开的上下文中，术语“不完整”采用其在本领域中的通常含义，并且因此，指的是其中电路存在断路使得在电路中没有电流流动的状态。

当传感器组件在使用中时，该电路适于仅在安装了它的设备的构件接合探针时输出信号，并且其适于在其它情况下不输出信号。有利的是，与现有技术的传感器相比，数据输出量较低，因为只有当设备的移动部件与静止部件进行接触时才产生信号。

组件可以安装到静止部件，使得探针从静止部件向移动部件延伸预定距离，使得该组件可以用于监测静止部件与移动部件之间的空隙是否已经减小到低于可接受的空隙，可接受的空隙等于或对应于预定距离。换句话说，两个构件之间的距离已经减小到允许的空隙距离以下。该空隙距离通常由使用者选择，并取决于安装该器件的设备以及相关联的安全因素。

在实施例中，传感器组件被配置成当产生信号时启动设备的关闭过程。例如，该组件可以包括切断开关，该切断开关被配置成当信号被输出时，它可以启动切断开关，停止设备的操作。切断开关可以停止向设备供电，使得不再供电，直到开关被停用。

在实施例中，切断开关可以发起供应给设备的电力的逐渐减少。例如，关闭过程可以是脉冲式关闭或斜坡式关闭过程之一。例如，这有利于使移动部件的旋转速度(即功率)逐步减小，以防止设备的移动部件与静止部件之间的空隙进一步减小。附加地或替代地，该组件可以包括当信号被输出以指示需要行动时向使用者产生“警告”，例如音频或视觉警报的装置，例如使得使用者可以手动启动切断开关。

有利的是，关闭过程确保安装了该组件的设备的操作将停止，从而避免了潜在的损坏，例如没有被设计成接触的部件被卡住。该特征使得设备能够在没有直接监督和/或维护中断较少的情况下运行，降低了由于部件卡住而导致的故障风险。这是有益的，因为一些设备，例如罗茨真空泵，可能需要连续运行几天，在重复的过程循环之间只有短暂的停歇。

探针可以具有细长的三维形状，并且可以例如基本上由圆柱体限定，尽管其他合适的探针形式对于本领域技术人员来说是显而易见的。通常，横截面长度，例如圆柱体的半径，可以在大约1.5 mm与大约5 mm之间，优选地在大约2 mm与大约4 mm之间， 例如大约2.5毫米。探针的长度范围可以从大约40毫米到大约100毫米，更优选地从大约60毫米到大约80毫米，例如大约65毫米到大约70毫米，例如大约67毫米。

探针的第一端可以具有倒圆形状，例如使得它大体上采取半球的形式，其半径等于圆柱体的半径。探针的第一端可以被配置为由设备的构件接合，并且第二相对端可以包括用于将探针电联接到电路的装置。

该组件还可以包括套管。套管可以被配置成包覆探针的第一部分，使得在使用中，探针的第二部分从套管伸出。套管可以包括用于将传感器安装到设备的静止部件的装置。

该组件还可以包括用于调整探针相对于套管的位置的装置。例如，在实施例中，探针可以包括外螺纹，外螺纹适于与用于调整探针相对于套管的位置的装置操作性地接合。用于调整探针相对于套管的位置的装置可以包括拇指轮，其中拇指轮包括中心导管，在所述中心导管内具有内螺纹，内螺纹适于与探针的外螺纹接合。替代地，用于调整探针相对于套管的位置的装置可以包括凸轮机构或杠杆机构，以调整探针的位置。

当组件包括拇指轮时，其可以被配置为使得当拇指轮在第一方向上旋转时，拇指轮的内螺纹与探针的外螺纹之间的相互作用导致探针相对于套管移动，使得探针从套管伸出的部分增加。此外，当拇指轮相对于传感器在与第一方向相反的第二方向旋转时，探针相对于套管在相反方向移动，使得探针从套管伸出的部分减少。有利的是，这使得探针相对于套管的位置能够被调整，并且因此探针在设备内的位置可以被调整，同时传感器被安装到设备上。

传感器可包括适于在设备使用期间在安装有传感器的设备内维持密封真空或替代地正内压的装置。优选地，在这种情况下，探针的位置仍然可以被调整。典型地，提供用于在设备内维持密封真空或密封正压的装置包括O形环密封件，O形环密封件位于套管内探针的一部分周围。对本领域技术人员来说，密封传感器组件的其它合适的装置是显而易见的，它们的形式通常取决于探针的形状。

用于将传感器安装到设备上的装置可以包括位于探针上的外螺纹，该外螺纹被配置为与设备的相对应的内螺纹接合。优选地，外螺纹的纵向轴线基本上与探针的纵向轴线相同，使得探针的位置调整基本上沿着此纵向轴线进行。优选地，外螺纹可以集成为探针的一部分，并且通常由与套管相同的材料制成。

套管优选地包括能够承受在例如真空泵的设备的操作期间通常遇到的温度例如从大约0℃到大约250℃，以及更优选地从大约20℃到大约150℃的绝缘材料。优选地，套管包括聚合材料，其更优选地是选自包括聚醚醚酮(PEEK)、聚醚砜(PES)或聚四氟乙烯(PTFE)的组的高温聚合物。其他适用的套管材料包括层压塑料材料，例如可从Tufnol CompositesLtd .(英国伯明翰)以商标名TUFNOL购得的那些。最优选地，套管包括聚醚醚酮(PEEK)。

在实施例中，探针由单个电极形成。在这样的实施例中，不完整的电路可以被布置成使得在使用中，当探针被设备的移动部件接合时，通过所述部件完成电路，并且输出信号，设备的移动部件更优选地是设备的导电构件。这样，该电路可以被认为是所谓的“无电压（volts free）”电路，因为由设备使用者向该电路施加电源，当该电路完成时，可以从该电路获得有用的输出。例如，传感器电极和设备可以连接到变速驱动器上的一对端子，变速驱动器在形成电路时断开电源。因此，用来完成电路的构件可以被认为是“无电压”构件，即，在它被电极接触之前没有电流流过它。

更详细地说，电流从将探针联接到电路的装置，沿着探针中的电极，通过与探针端部接合的移动构件，并返回通过设备，以完成通电路，并且从而启动电路所附连的切断开关。电路的完成可能只是瞬间的，这取决于电路完成后切断开关停止设备操作的速度。

在替代实施例中，探针包括至少两个电极，其中一个电极是正电极，而一个电极是负电极。该至少两个电极可以由电绝缘体分开。每个电极的一部分可以从电绝缘体暴露。在实施例中，第一电极由沿着探针轴线延伸的导电线形成，并且第二电极由围绕第一电极并与第一电极大体上同心的导电管形成。替代地，电极可以各自包括导电线，两个电极沿着探针的长度彼此平行延伸。

适合用作绝缘体的材料为如上所描述用于套管的材料。

优选地，从绝缘体暴露的每个电极的部分包含在，即位于其上的，从套管伸出的探针的部分中。

在使用中，当两个或更多个电极同时被优选导电的设备的移动部件接合时，电路完成，并且信号被输出。这是通过电流从第一电极流经设备的移动部件到达第二电极来实现的。如上文所描述，关于探针由单个电极形成的实施例，电路的完成可能仅仅是瞬间的，这取决于电路完成与切断开关启动之间经过的时间，切断开关的启动使设备的操作停止，并且因此也使设备构件的运动停止。

典型地，每个电极从绝缘体暴露的部分的至少一部分，并且优选全部，被牺牲性涂层覆盖。在使用中，当设备的移动构件接触牺牲性涂层时，电极中的每个电极上的牺牲性涂层的至少部分被移除，使得电路完成。这种布置是特别有利的，因为它防止了当设备的移动导电构件没有接合电极时电路的“错误”完成。电路的这种“错误”完成的一个示例是当探针上的冷凝物积聚桥接这些电极中的两个电极之间的间隙并完成电路时。

典型地，牺牲性涂层包括一层电绝缘涂料或漆，例如高温涂料。优选地，牺牲性涂层适于在被设备的移动构件接合时被移除，而不会对移动构件或探针造成任何损坏。应当理解，这种涂层可以应用于本文描述的实施例中的任何实施例。

典型地，在本公开的这个方面，套管可以包括金属材料，该金属材料可以类似于用来制造设备部件的材料。例如，它可以包括铁或钢，并且优选包括不锈钢。

在另一方面，本发明提供了一种真空泵，其包括如前所描述的传感器。更优选地，真空泵是具有罗茨、螺杆、爪或涡旋机构的干式真空泵，并且更优选地是真空罗茨增压器。

典型地，泵包括至少一个定子和至少一个转子。优选地，定子包括至少一个内部腔室，至少一个转子旋转地安装在该至少一个内部腔室中。

典型地，传感器可以通过位于定子中的导管安装到泵上，使得探针的一部分伸入设备的上述内部腔室中。如果传感器包括用于调整探针相对于套管的位置的装置，则这种装置被定位在定子的外部上，以允许调整的容易性。

在另一方面，本公开提供了一种用于防止具有至少一个移动部件和至少一个静止部件的设备故障的方法。该方法包括将如先前所描述的传感器安装到设备上。因此，传感器通常安装在离设备的移动部件一定距离处，该距离通常由设备的使用者设定，使得如果探针被设备的移动部件构件接合，则产生信号，该信号优选地影响切断开关以停止设备的操作。

有利的是，传感器可以在设备制造期间装配，或者可以装配到现有设备上。传感器改装到现有设备的能力是有益的，因为这降低了与重新设计或调适现有设备相关联的成本。

优选地，上述方法中使用的设备是压缩机泵或真空泵，更优选的是包括罗茨、螺杆、爪或涡旋机构的干式真空泵，并且最优选真空罗茨增压器。

因此，本发明还涉及使用如先前所描述的传感器来防止包括至少一个移动部件和至少一个静止部件的设备的故障，该设备优选为真空泵，更优选为干式真空泵，并且最优选为真空罗茨泵。如果设备的两个构件如此接近以至于有碰撞的危险，那么传感器通过产生信号来防止设备的故障。有利的是，该信号可以启动切断开关，从而停止设备的操作。有利的是，传感器的使用降低了设备故障的风险，而不需要连续测量和输出与设备构件的相对位置相关的数据。

因此，本公开提供了一种简单且极其有效的传感器器件，用于防止包括移动部件的各种设备中的故障。该器件可用于真空泵，特别是干式真空泵，以及尤其是真空罗茨增压器。它提供了一种监测这种设备以避免灾难性损坏的高效的成本有效的方式，与本领域提出的解决方案相比，这种方式包括降低了复杂性并减少了数据输出。

附图说明

现在将参照附图描述本公开的优选特征，其中:

图1是并入了根据本发明实施例的传感器组件的真空泵的剖视图；

图2是根据本发明实施例的传感器组件的一部分的详细视图；

图3是根据本发明实施例的示例探针的详细视图；

图4是根据本发明另一实施例的替代示例探针的详细视图；以及

图5是示出根据本发明实施例的示例方法的流程图。

具体实施方式

图1示出了根据本发明实施例的并入传感器组件12的真空泵10的示意图。图示实施例中的泵10是罗茨型真空泵，也称为罗茨增压器。应当理解，本发明可以应用于具有相对于彼此移动的部件的任何其他类型的真空泵。更广泛地说，本发明可以应用于其他类型的泵或移动设备，例如压缩机。

泵10包括至少一个移动部件和一个静止部件。在图示的示例中，泵包括转子14形式的两个移动部件(有时称为叶轮)，它们被安装成在包围两个转子14的泵10的静止定子16内旋转。每个转子14包括多个相互啮合的叶片18，在使用中，在它们旋转周期的至少一部分中，叶片18非常接近定子16的弓形内表面20。叶片18被设计成与定子16的弓形表面20形成有效的密封，以将截留在相邻叶片18之间的空气从泵10的入口端口22驱动到出口端口24。

在使用中，转子14以彼此相反的方向旋转，并且彼此不触及或不触及定子内表面20。这样，在转子14与定子16之间存在间隙或空隙26。在许多应用中，当泵10是冷的时，空隙26理想地在0.1与0.5 mm之间。转子14与定子16之间的空隙26的尺寸对于泵10的功能很重要，并且必须保持在预定尺寸以上，以确保泵10的安全和有效操作。如上文所描述，操作效果可能导致空隙26减小到此预定尺寸以下。

泵10还包括安装在定子16上的传感器组件12。传感器组件12被配置成使得当转子14与定子16之间的空隙26减小到预定尺寸以下时，传感器组件12产生信号。传感器组件12包括传感器电路28和处理器30，传感器电路28被配置成产生信号，处理器30被配置成接收信号并产生输出。在实施例中，处理器30被配置成产生触发关闭过程以停止泵10操作的输出。在实施例中，关闭过程包括与用于控制泵10操作的控制器(未示出)通信，以执行受控的关闭过程，例如WO 2004/038222中描述的脉冲式关闭过程或本领域已知的斜坡式关闭过程。替代地，输出可能触发切断开关以立即关闭泵10。

传感器组件包括探针32，该探针32位于内孔34中，该内孔34从定子16的外表面36到其弓形内表面20径向延伸穿过定子16的侧壁。探针32的一部分38延伸超过弓形内表面20进入泵10的内腔40，使得当空隙26低于预定值时，探针32的端表面42接触或接合转子14。在实施例中，预定值代表泵10的操作可能受到损害的空隙尺寸，例如，超过该尺寸，卡住的风险是不可接受的。

在正常使用期间，当转子14与定子16之间存在可接受尺寸的空隙26时，探针32和传感器电路28一起形成不完整电路的一部分，使得电路不产生信号。然而，当空隙26减小到预定值时，即空隙太小时，探针32被转子14接合。探针32与转子14的接合使得由探针32和传感器电路28形成的电路完成，并且传感器组件12产生信号。

图2示出了根据一个实施例的传感器组件12的一部分的放大版本。在图示的示例中，传感器组件12包括如上所描述的探针32。组件12还包括套管50，其中套管50基本上包围或包覆探针32的至少一部分。在探针32的第一端52处，探针32的一部分54从套管50伸出，并被配置成在使用中与设备的移动部件例如上面关于图1所描述的泵10的转子14接合。在探针32的第二相对端56，探针32被配置成连接到如上所描述的传感器电路，以形成不完整的电路。

套管50包括用于将传感器组件安装到例如上述泵定子16的设备上的装置58。在图示的实施例中，装置58包括套管50上的外螺纹，该外螺纹被配置成接合该设备的内螺纹，例如图1的泵10的内孔34。套管50还包括用于调整探针32相对于套管50的位置的装置60，在该示例中，用于调整探针32相对于套管50的位置的装置包括拇指轮60。拇指轮60被配置成使得拇指轮的手动操纵导致探针相对于套管50在一个或两个方向上轴向移动，以允许探针32从套管50伸出的部分54根据需要被调整，例如在空隙的预定尺寸/值需要被调整或调节的情况下。在替代实施例中，套管50和/或探针32可以包括用于相对于安装它的设备一起调整套管50和探针32的装置(未示出)，使得可以根据需要调整或调节预定值。

如图2所示，该组件还包括O形环密封件60，该O形环密封件60在套管50内围绕探针延伸，并在探针32与套管50之间形成密封，以减少或防止气体沿着探针32泄漏，例如朝向泵10的内腔40泄漏。

在图2所示的示例中，探针32由单个电极形成，使得在使用中，如果被安装了传感器组件的设备的导电移动构件接合，探针32所连接的电路通过传感器组件和设备而完成，并且信号由电路输出。

参考图3，示出了替代的探针132。在该示例中，探针132包括沿着探针132的纵向长度166延伸的两个电极162、164。第一电极162包括大体上在探针132的整个长度上居中延伸的导线。第二电极164包括包围第一电极162并与第一电极162基本同心的导电管。探针132还包括电绝缘体168，电绝缘体168位于第一电极162与第二电极164之间，以沿着探针132的长度166将电极162、164彼此电绝缘。在一个实施例中，绝缘体168包括粘合剂，例如环氧树脂，其也可以用于将两个电极162、164相对于彼此固定。

在探针132的第一端170，电极162、164从绝缘体168暴露，以在每个电极162、164之间限定环形间隙174，该环形间隙174被配置成在上述传感器组件12的电路中形成物理断路。在探针132的第二相对端172，导电电极162、164被配置为经由本领域已知的连接件175联接到如上所描述的电路。在使用中，如果电极162、164的暴露端之间的间隙174被安装了传感器组件的设备的导电构件桥接，则电路是完整的，并且输出信号。

图3中所示的探针132可以并入到如上面关于图2所描述的套管中。在这样的实施例中，套管优选地由电绝缘材料形成，以防止通过组件和泵的周围结构传导。探针132还包括位于第一端170的牺牲性层176。牺牲性层176在从探针132的绝缘体168暴露的电极的部分上延伸。牺牲性层176被配置以在被移动构件接合时至少部分被移除。例如，当用在图1的布置中时，当被泵10的旋转转子14接合时，牺牲性层176可以从探针132的端部170被剪切掉，形成传感器组件12的一部分的探针132安装在泵10的旋转转子14上。牺牲性层176的移除暴露了电极162、164的端部，允许转子14桥接电极162、164之间的间隙174，并且从而完成电路。

图4示出了在本发明的组件中使用的另一种替代探针232。探针包括两个电极262、264，每个电极包括沿着探针232的长度266延伸的导线。两个电极262、264大体上彼此平行，并且平行于但偏离于探针232的中心轴线。

探针232还包括电绝缘体268，电绝缘体268包围第一电极262和第二电极264，以类似于图3的实施例的绝缘体的方式，沿着探针232的长度266将电极162、164彼此电隔离。绝缘体268可以由与上面关于图3的绝缘体168所描述的相同的材料形成。

返回参考图4，在探针232的第一端270，电极262、264从绝缘体168暴露，以在两个电极262、264之间限定间隙274，该间隙274被配置成在上述传感器组件12的电路中形成物理断路。在探针232的第二相对端272，导电电极262、264被配置为经由本领域已知的连接件275联接到如上所描述的电路。在使用中，如果电极262、264的暴露端之间的间隙274被安装了传感器组件的设备的导电构件桥接，则电路是完整的，并且输出信号。

图4的探针232还包括位于第一端270的牺牲性层276。牺牲性层276在从探针132的绝缘体268暴露的电极的部分上延伸，以与关于图3的探针132描述的方式大致相同的方式。这样，牺牲性层276被配置成当被移动构件接合时至少部分被移除。例如，当用在图1的布置中时，当被泵10的旋转转子14接合时，牺牲性层276可以从探针232的端部270上剪切掉，形成传感器组件12的一部分的探针232安装在泵10的旋转转子14上。牺牲性层276的移除暴露了电极262、264的端部，允许转子14桥接电极262、264之间的间隙274，并且从而完成电路。

图4所示的探针232也可以并入到套管中。然而，套管可能不需要由电绝缘材料形成，因为电极262、264两者都包含在电绝缘体168内。因此，套管材料可以从更广泛的材料中选择。

图5是示出根据本发明的另一实施例的用于防止包括至少一个移动部件和至少一个静止部件的设备故障的示例方法的流程图。该方法包括首先在步骤301将传感器组件安装到设备的静止部件。在示例性方法中使用的传感器组件可以具有上述实施例中任何实施例的特征，使得当传感器检测到存在最小空隙时，其可操作以产生信号。传感器可以安装成使得传感器可以检测移动部件与静止部件之间何时存在最小空隙。安装步骤可以在设备的初始制造过程中进行，或者可以在初始制造后，在现有的泵上进行“改装”。

该方法还包括当传感器产生信号时关闭设备操作的步骤302。如上文所描述，该信号表示静止部件与移动部件之间的最小空隙。当相关联控制系统产生信号时，可以自动执行关闭操作，或者该信号可以警示设备的操作者以手动执行关闭。

Claims (16)

1.一种用在包括至少一个移动部件和至少一个静止部件的设备中的传感器组件，所述传感器组件包括:

探针，所述探针包括不完整电路的一部分，并且被配置成当被所述至少一个移动部件接合时形成完整电路；以及

用于将所述传感器组件安装到所述设备的静止部件的装置，其中所述组件被配置为当所述电路完成时产生信号。

2.根据权利要求1所述的传感器组件，其中，所述组件被配置成当产生所述信号时启动所述设备的关闭过程。

3.根据权利要求2所述的传感器组件，其中，所述关闭过程是脉冲式关闭或斜坡式关闭过程之一。

4.根据权利要求1或权利要求2所述的传感器组件，还包括套管，所述套管被配置为包覆所述探针的第一部分，使得在使用中，所述探针的第二部分从所述套管伸出，并且其中所述套管包括用于将所述传感器安装到所述设备的所述静止部件的装置。

5.根据权利要求4所述的传感器组件，其中，所述组件还包括用于调整所述探针相对于所述套管的位置的装置。

6.根据权利要求5所述的传感器组件，其中，用于调整所述探针相对于所述套管的所述位置的装置包括作用在所述探针上的凸轮机构或杠杆机构，或者适于与用于调整所述探针相对于所述套管的位置的装置操作性地接合的外螺纹。

7.根据权利要求4至6中任一项所述的传感器组件，其中，所述探针包括至少两个电极，其中，一个电极是正电极，并且一个电极是负电极，其中，所述至少两个电极由电绝缘体隔开，并且其中，每个电极的一部分从所述电绝缘体暴露。

8.根据权利要求7所述的传感器组件，其中，每个电极从所述绝缘体暴露的部分包含在所述探针从所述套管伸出的部分中。

9.根据权利要求7或权利要求8所述的传感器组件，其中，所述电极中的每一个的暴露部分的至少一部分被牺牲性涂层覆盖，使得在使用中，当所述设备的移动部件接触所述牺牲性涂层时，从每个电极移除所述涂层的至少一部分，从而完成电路。

10.根据权利要求9所述的传感器组件，其中，所述牺牲性涂层包括电绝缘涂料或漆。

11.根据前述权利要求中任一项所述的传感器组件，其中，所述设备是真空泵，并且其中，所述至少一个移动部件包括转子，并且所述至少一个静止部件包括定子。

12.一种真空泵，包括:

根据权利要求1至11中任一项所述的传感器组件；以及

至少一个转子和至少一个定子，其中所述定子包括至少一个内部腔室，所述至少一个转子能旋转地安装在所述至少一个内部腔室中，并且所述传感器通过位于所述定子中的导管安装到所述定子，使得所述探针的一部分伸入所述内部腔室中。

13.一种用于防止包括至少一个移动部件和至少一个静止部件的设备的故障的方法，所述方法包括:

将根据权利要求1至11中任一项所限定的传感器组件安装到所述设备的静止部件上；以及

当所述传感器产生信号时，关闭所述设备的操作。

14.根据权利要求13所述的方法，其中，所述设备的关闭是在产生所述信号时自动执行的。

15.根据权利要求13或权利要求14所述的方法，其中，在所述设备的制造过程中装配所述传感器。

16.根据权利要求13或权利要求14所述的方法，其中，所述传感器装配在现有设备上。

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