CN1147899C - 等离子体显示面板及其制造方法 - Google Patents

等离子体显示面板及其制造方法

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Abstract

本发明作为PDP的制造方法，备有在前面板玻璃面上形成平行于纵向并列设置的多对显示电极的显示电极形成步骤；以及使形成了多对显示电极的前面板玻璃面与后面板玻璃面对齐，并粘接起来的板粘接步骤，在显示电极形成步骤中，将显示电极材料覆盖在前面板玻璃面上，用激光部分地加工该显示电极材料，形成上述多对显示电极，由于将激光加工方法引入多对显示电极的制作工序中，所以与以往相比，能使花费在制作工序上的手续和时间特别合理。另外，如果在激光加工程序中使用备有多个激光头的激光加工机100，则一边形成多对显示电极22、23(或透明电极部221、231或金属电极部222、232中的至少一者)，一边同时或逐次地进行退火处理、电阻值补正处理、形状修补处理等修改，能实施更迅速且合理的等离子体显示面板的制造方法。另外本发明作为一种PDP是这样构成的，即，使透明电极部和金属电极部导电性地接触构成一对显示电极，使沿纵向平行并列地设置了多对上述一对显示电极的前面板玻璃面与后面板玻璃面对齐并粘接起来构成PDP，在该PDP中在前面板玻璃面上设有对准标记，用来使利用激光加工形成的透明电极部和金属电极部的位置对齐。因此能制造一种使前面板玻璃一侧和后面板玻璃一侧、或者使透明电极部和金属电极部精确地组合起来，能充分地发挥所设计的本来的性能的PDP。

Description

等离子体显示面板及其制造方法
技术领域
本发明涉及用于显示装置等的等离子体显示面板及其制造方法。
技术背景
近年来，对以大视野等为代表的高品位、大画面的显示装置的期待日益增大，正在研究开发称为CRT、液晶显示器(以下称为LCD)、等离子体显示面板(Plasma Display Panel，以下称为PDP)的各种显示装置。这样的显示装置分别具有以下特征。
CRT在分辨率、图像质量方面优异，迄今被广泛地用于电视等中。可是，存在如果增大画面，则其纵深尺寸和重量随之增大的课题，如何解决该问题成为焦点。因此，被认为难以制作超过40英寸的大画面的CRT。
另一方面，与CRT相比，LCD具有消耗功率小、尺寸小、重量轻的优异性能，现在作为计算机的监视器正得以普及。可是，采用具有代表性的TFT(Thin Film Transistor：薄膜晶体管)方式等的LCD，由于其结构非常精细，所以制造时必须经过复杂的多道工序。因此，制造的成品率与画面尺寸的增大成比例地下降。因此现在难以制作超过20英寸大小的LCD。
与此相反，PDP与上述的CRT和LCD不同，有利于实现较轻的重量、较大的面积，而且采用自行发光进行画面显示的驱动方式。因此在谋求下一代显示装置的现在，正在特别积极地进行着使PDP大面积化用的开发研究，已经达到了能开发超过50英寸的产品。
PDP是这样构成的，即，使呈带状并列设置了多对显示电极和多个隔壁的玻璃板与另一个玻璃板相对，在隔壁之间涂敷RGB各色荧光体，并气密性地粘接起来，利用被封闭在隔壁和两个玻璃板之间的放电空间的放电气体发生的紫外线(UV)而放电，发出荧光。这样的PDP由于驱动方式的不同而分为DC(直流)型和AC(交流)型。其中AC型被认为适合于大画面，它作为一般的PDP已普及开来。
可是，近年来的全规格的大视野电视的像素变得很细小，像素数为1920(横)×1080(纵)，42英寸级的像素间距为0.16mm×0.48mm，每一单元的面积为0.077mm2。它相对于同样为42英寸级的NTSC规格的电视机，精细到7～8倍，扫描线数多达近3倍。由于以上的理由，制作大视野电视机用的PDP时，比制作NTSC规格的电视机更要求高精度的加工技术。
基于这样的背景，例如有必要将多对显示电极的间隙设定为比NTSC规格的电视机等更小的值。
可是，这里存在以下所示的PDP制造上的的问题。即一般采用特开平9-35628号公报中公开的方法制作多对显示电极。具体地说，它是这样一种方法：利用溅射法等在成为前面板的玻璃板上依次形成由ITO或SnO2等构成的透明电极膜、以及由Cr-Cu-Cr构成的金属导电膜，此后利用光刻法，将上述各导电膜加工成一定的电极形状。该光刻法由于反复进行光致抗蚀剂的涂敷、图形的形成、刻蚀这样的工序，所以工序多，有花费较多的操作时间的倾向。另外，在工序重复的过程中，容易发生由刻蚀液引起的所不希望的侵蚀作用、以及图形刻蚀时掩模的偏移等，在全部工序中难以确保一定以上的精度。特别是在制作上述的大视野电视机的细小的多对显示电极时，这样的问题有成为障碍的倾向。
在等离子体显示面板的制造方法中，迅速且高精度地制作多对显示电极的技术问题与以往相比，现在改善的余地多起来了。
发明的公开
本发明就是鉴于上述的问题而完成的，其目的在于提供一种将激光加工方法应用于多对显示电极等的制作工序等中，合理地缩短花费在该制作工序中的时间，能制作成品率高的PDP的PDP制作方法、以及利用该制作方法制作的PDP。
采用下述方法能实现上述目的，即一种面放电型AC等离子体显示面板的制造方法，该方法备有在第一板的主面上形成平行于纵向并列设置的多对显示电极的显示电极形成步骤；以及使形成了多对显示电极的第一板的主面与平行地并列设置了多个地址电极的第二板的主面对齐，且使多对显示电极和多个地址电极交叉地将第一板的主面和第二板的主面粘接起来的板粘接步骤，其特征在于：
在显示电极形成步骤中，将显示电极材料覆盖在第一板的主面上，通过使第一激光和第二激光并行地照射在显示电极材料上，部分地加工显示电极材料，形成多对显示电极；
在上述显示电极形成步骤中，将显示电极材料覆盖在第一板的主面上，通过使第一光点形状的激光和与该第一光点形状不同的第二光点形状的激光照射显示电极材料，形成多对显示电极。
另外，在上述显示电极形成步骤中，也可以将透明电极部材料覆盖在第一板的主面上，用激光加工该透明电极部材料，形成透明电极部和对准标记后，利用该对准标记使透明电极部对准，将金属电极部材料覆盖在第一板的主面上规定的位置上，形成金属电极部，形成上述多对显示电极。
如果这样用激光制作多对显示电极，则由于只在激光切割工序及清洗·干燥等工序中采用激光加工方法，所以与以往采用的光刻蚀法等方法相比，能用几分之一的工序迅速地形成多对显示电极。因此，不会产生有害于环境的废液等，采用激光加工方法能期待能改善环境问题的效果。另外，这样的激光加工方法除了制作多对显示电极以外，还能应用于对准标记的制作等。
另外，作为一种面放电型AC等离子体显示面板的制作方法，该方法备有在第一板的主面上形成平行于纵向并列设置的多对成对的显示电极的显示电极形成步骤；以及使形成了显示电极的第一板的主面与互相平行并列地设置了多个地址电极和多个隔壁的第二板的主面对齐并粘接起来的板粘接步骤，其特征在于：
在上述显示电极形成步骤中，在第一板的主面上形成透明电极部，将金属电极部材料覆盖在包括该已形成的透明电极部的第一板的全部表面上后，使第一激光照射在该金属电极部材料上，形成金属电极部，通过照射上述第二激光加热烧固金属电极部，调整该金属电极部的电阻值。
在上述显示电极形成步骤中，还可以通过照射第一强度的激光和不同于第一强度的第二强度的激光，对覆盖在第一板的主面上的显示电极材料部分地进行蒸发加工，形成多对显示电极。
这样，通过使用第一强度(或第一光点形状)的激光和第二强度(或第二光点形状)的激光，形成多对显示电极，能形成部分地间隙不同的多对显示电极，或进行多对显示电极的电阻值的补正和细部形状的修补(修改)，除了具有上述效果以外，还能合理地实施激光加工方法。
另外，本发明作为一种面放电型AC等离子体显示面板，它是使平行于纵向并列地设置了多对成对的显示电极的第一板的主面与第二板的主面对齐并粘接起来构成的面放电型AC等离子体显示面板，其特征在于：
备有在第一板的主面和第二板的主面两者中的至少一者上通过激光加工形成的使面板位置重合用的对准标记。另外，作为一种面放电型AC等离子体显示面板，它是使平行于纵向并列地设置了多对使透明电极部和金属电极部导电性地接触的成对的显示电极的第一板的主面与第二板的主面对齐并粘接起来构成的面放电型AC等离子体显示面板，其特征在于：
备有在第一板的主面上通过激光加工形成的使透明电极部和金属电极部位置重合用的对准标记。本发明的一种面放电型AC等离子体显示面板，它是使平行于纵向并列地设置了多对备有透明电极部的显示电极的第一板的主面与第二板的主面对齐构成的面放电型AC等离子体显示面板，其特征在于：通过激光加工将以一对显示电极的间隙相对的各透明电极部的宽度方向端部朝向第二板的剖面形状形成为圆形。
本发明的一种面放电型AC等离子体显示面板，它是使平行于纵向并列地设置了多对备有透明电极部的显示电极的第一板的主面与第二板的主面对齐的面放电型AC等离子体显示面板，其特征在于：通过激光加工将各透明电极部的宽度方向两端部的朝向第二板的剖面形状形成为圆形。
这样，由于在第一板的主面上设置面板位置重合用、或透明电极部和金属电极部的位置重合用的对准标记，所以能使第一板主面和第二板主面、或透明电极部和金属电极部精度良好地组合起来，能制作能充分地发挥所设计的本来的性能的等离子体显示面板。
附图的简单说明
图1是实施形态1的交流面放电型PDP的部分剖面斜视图。
图2是表示实施形态1的多对显示电极的形状图形的平面图。
图3是表示实施形态1的一对显示电极的制造工序的前面板玻璃21的部分剖面图。
图3(a)是表示将透明导电膜50覆盖在前面板玻璃21上的形态的图。
图3(b)是表示为了设置引出电极部形成区域210而将前面板玻璃21沿x方向两端部的透明导电膜50除去后的形态的图。
图3(c)是表示用激光加工方法形成了透明电极部221、231的形态的图。
图3(d)是表示覆盖了金属导电膜60的形态的图。
图3(e)是表示通过刻蚀(湿法加工的光刻法)形成了金属电极部222、232的形态的图。
图4是表示龙门式激光加工机100的各部分的外观图。
图4(a)是龙门式激光加工机100的整体外观斜视图。
图4(b)是激光发射器102的放大正视图。
图4(c)是表示各开口1031、1041的形状的正视图。
图5是表示有关实施形态1的透明电极部221、231等的制作的激光加工方法的图。
图5(a)是表示用第一激光和第二激光进行的透明电极部221、231的形成过程的前面板玻璃21的部分斜视图。
图5(b)是表示一对透明电极部221、231的间隙的形成过程的前面板玻璃21的部分斜视图。
图6是表示有关实施形态1的激光加工机100激光加工方法的激光器机件的设定内容的图。
图6(a)是用激光加工方法完成的透明电极部221、231等的完成图。
图6(b)是表示有关激光加工方法的一系列激光器机件的工作的图。
图7是表示实施形态2的多对显示电极的制造工序前面板玻璃21的部分剖面图。
图7(a)是表示将金属导电膜60覆盖在前面板玻璃21上的形态的图。
图7(b)是表示利用激光加工方法将不要的金属导电膜60除去后的形态的图。
图7(c)是表示利用激光加工方法对金属电极部222、232进行了退火处理的形态的图。
图8是表示实施形态2的金属电极部232的激光加工方法的形态的图。
图8(a)是表示退火处理前的金属电极部232的形态的前面板玻璃21的部分剖面图。
图8(b)是表示退火处理后的金属电极部232的形态的前面板玻璃21的部分剖面图。
图9是表示实施形态的变形例1的激光加工方法(透明电极部221、231的制作及其电阻值的调整处理)的形态的前面板玻璃21的正视图。
图10是表示实施形态的变形例2的激光加工方法(透明电极部221、231的制作及其细部的修补处理)的形态的前面板玻璃21的正视图。
图11是表示实施形态的变形例3的激光加工方法(在将掩模300装在前面板玻璃21上的状态下透明电极部221、231的制作及其电阻值的调整处理)的形态的前面板玻璃21的正视图。
图12是表示实施形态的变形例1的透明电极部221、231的端部80a～82a、80b～82b的形状的前面板玻璃21的剖面图。
图12(a)是表示端部80a、80b的剖面形状的前面板玻璃21的部分剖面图。
图12(b)是表示端部81a、81b的剖面形状的前面板玻璃21的部分剖面图。
图12(c)是表示端部82a、82b的剖面形状的前面板玻璃21的部分剖面图。
图13是表示端部82a、82b的制造工序的前面板玻璃21的部分剖面图。
图13(a)是表示覆盖了光致抗蚀剂70的形态的前面板玻璃21的部分剖面图。
图13(b)是表示使光致抗蚀剂70曝光，进行了碱性溶液处理的形态的前面板玻璃21的部分剖面图。
图13(c)是表示所形成的端部82a、82b的剖面形状的前面板玻璃21的部分剖面图。
实施发明用的最佳形态
<实施形态1>
图1是实施形态1的交流面放电型PDP的部分剖面斜视图。图中，z方向相当于PDP的厚度方向，xy平面相当于平行于PDP面的平面。如该图所示，该PDP的结构大致分为前面板20和后面板26两个单元。另外，首先使该图与以后说明的全部附图(图1至图10)中的xyz各方向一致。
成为前面板20的基板的前面板玻璃21由碱石灰玻璃材料构成。而且，在与前面板玻璃21的与后面板26相对的面上配置多对显示电极22、23(由X电极22和Y电极23构成一对显示电极)，它们沿x方向延伸，在y方向上以一定的间隔交替地配置。这里，在各实施形态中都一样，在地址放电时X电极22作为扫描电极工作。后面将给出多对显示电极22、23的全体图。
在配置了这样的多对显示电极22、23的前面板玻璃21的面上，覆盖由氧化铅系列玻璃构成的电介质层24。因此，多对显示电极22、23呈被设置在电介质层24中的状态。再在电介质层24的表面上覆盖由氧化镁(MgO)构成的保护层25。
成为后面板26的基板的后面板玻璃27的制作方法也与前面板玻璃21相同，在与前面板20相对的一侧的面上并列地设置多条地址电极28，它们沿y方向延伸，在z方向上夹着一定的间隔、与上述前面板20上的多对显示电极22、23形成栅格状的配置图形。在配置了地址电极28的后面板玻璃27的面上，包裹着地址电极28形成由与电介质层24同样的材料构成的电介质膜29，再在电介质膜29的面上与相邻的两个地址电极28的间隔一致地沿着y方向形成具有一定高度和厚度的多个隔壁30。在隔壁30的侧面和电介质膜29的表面上涂敷符合于RGB各色的荧光体层31、32、33中的某一种。
前面板20和后面板26用封装玻璃互相粘贴。然后，将包含稀有气体的放电气体密封在由多个隔壁30隔开的各个空间中，各个空间成为沿y方向长的带状放电空间38。在该放电空间38中，每一处包含一对显示电极22、23和一条地址电极28交叉的位置的区域成为画面显示用的单元(将在后面说明)。以x方向为行方向、以y方向为列方向呈矩阵状排列地形成该各单元，所以在本PDP中，通过使各单元适时地闪烁，能进行矩阵显示。
图2是从z方向向下看本PDP的显示电极图形时的平面图。这里为了避免图的复杂化，图中省略了隔壁30。在该图中，用虚线区分的区域分别相当于单元11、12、13、14。
如该图所示，本PDP的多对显示电极22、23分别由透明电极部221、231、以及金属电极部222、232构成，上述金属电极部222、232配置在一对显示电极22、23中最远的透明电极部221、231的部分上，以便与该透明电极部221、231导电性地接触。透明电极部221、231具有在一对显示电极22、23的间隙3 6中每个单元间距(相邻的多个地址电极28的间距)凸部220、230相对地一个一个配置的形状。
该多对显示电极22、23的各部分尺寸如下。即，相对的凸部220、230的间隙35为80微米，一对显示电极22、23的最大间隙36为520微米，凸部220、230呈x方向长度150微米×y方向长度220微米的长方形。另外，除了凸部220、230以外，透明电极部221、231的宽度为150微米，相邻的两对显示电极22、23的间隙37为260微米。这里作为本实施形态1的特征，上述透明电极部221、231是采用后面所述的激光加工方法制作的。
另外，金属电极部222、232的宽度为50微米。
另外，上述单元间距为360微米。
另外在图中，为了容易把握具有凸部220、230的各显示电极22、23的形状特征，使凸部220、230比实际大，而使一对显示电极22、23的最大间隙36窄。
之所以将透明电极部221、231设定成这样的图形形状，如以下所述，是为了一边抑制面放电开始时的电压，一边进行放电规模好的面放电。
即，如果采用具有以上结构的本PDP，则驱动时通过适当地向各电极22、23、28供电，能进行两种放电。
一种是控制单元11、……的点亮的通/断的地址放电，通过向作为扫描电极的X电极22和地址电极28供电，进行放电。
另一种是直接供给PDP的画面显示的维持放电(面放电)，通过将脉冲电压加在一对显示电极22、23上，进行放电。
具体地说，如果向多对显示电极22、23供电，施加脉冲，便开始面放电。这时在凸部220、230的间隙35中开始面放电，但由于该凸部220、230的间隙35约为80微米，与一对显示电极22、23的最大间隙36(约520微米)相比，前者取得较窄，所以能将开始放电的电压抑制得较低。
因此，如果开始面放电，则放电的规模逐渐扩大，亮度提高，而且由于能抑制放电电压，所以作为PDP能获得良好的发光效率。
具体地说，在面放电时加在多对显示电极22、23上的电压为185V的情况下，实际加在多对显示电极22、23上的电压的离散在现有型的PDP的情况下为±5V，与此不同，由本实施形态1制作的PDP由于透明电极部221、231采用激光加工方法，所以与以往相比，能精密地制作，所以能将上述电压离散抑制在2V左右。这样，本PDP能呈现比现有的PDP离散小的优异的显示性能。
这里，本发明的主要特征在于PDP的制造方法。以下说明本实施形态1的PDP的制造方法。
(PDP的制作方法)
i.前面板20的制作
在由厚度约为2.6mm的碱石灰玻璃构成的前面板玻璃21的表面上形成显示电极22、23。这里，利用激光加工方法形成多对显示电极22、23是本发明的主要特征。参照图3(a)～(e)所示的前面板玻璃21的部分剖面图、图4(a)～(c)所示的激光加工机100的结构图、图5(a)、(b)所示的激光加工方法图、图6(a)、(b)所示的透明电极部221、231的完成图、以及表示关于激光加工方法的激光器机件的工作的图等，说明该多对显示电极22、23的形成过程。
实施形态1的多对显示电极22、23由上述的透明电极部221、231和金属电极部222、232构成。因此，首先用CVD(Chemical VaporDeposition：化学汽相淀积法)法，将作为透明电极部221、231的材料的SnO2-Sb2O3系列透明导电膜材料(按照Sn和Sb的原子比为98∶2的比例，将氧化锌SnO2和氧化锑Sb2O3混合而成的材料)覆盖在前面板玻璃21的全部表面上，形成厚度约为0.2微米的透明导电膜50。这里，CVD法如下进行：使上述透明导电膜材料呈气体状，使其流过被加热到约550℃高温的前面板玻璃21的表面，制成透明导电膜50。图3(a)是表示形成了该透明导电膜50的形态的图。
其次，在所形成的透明导电膜50中，在相当于前面板玻璃21的纵向(x方向)两端部的部分上确保形成引出电极部(图中未示出，为了连接各显示电极22、23和驱动电路(图中未示出)，将金属电极部222、232延长构成的直线状的电极部)的形成区域210(参照图3(b)及图6)，接着对透明电极膜进行图形刻蚀，形成透明电极部221、231等(参照图(c))。另外，引出电极部形成区域210示于图6。
使用图4(a)的斜视图所示的激光加工机100实施这些工序。该激光加工机100是通称为龙门式的形式，是备有单轴工作台103(沿x方向往复自由移动)、单轴激光发射器102(沿y方向往复自由移动)的众所周知的激光加工机100。激光发射器102与沿y方向横跨工作台103架设的激光发射器导轨101连接，能在该激光发射器导轨101上沿y方向被制导地往复移动。激光发射器102及工作台103由图中未示出的步进电动机进行精确地驱动，使激光发射器102及工作台103相对于放置在工作台103上的被加工物沿xy方向移动，能进行精密级的二维激光加工。
具体地说，如图4(b)所示，激光发射器102是用紧固夹具1021及紧固螺栓1022，将第一激光头1030、第二激光头1040固定在激光发射器本体1020上构成的。第一激光头1030(第二激光头1040)发射波长为1.06微米的YAG激光，内部装有使激光汇聚的光学系统单元，该光学系统单元连接在从激光振荡器(图中未示出)延长的石英玻璃制的光缆1032(1042)的终端。而且图4(c)所示的开口1031(1041)和物镜单元1050(1060)安装在第一及第二激光头1030(1040)的前端，第一及第二激光头1030(1040)连接成使多个激光点重合，断续地发射脉冲激光，能进行一定形状的激光加工。
这里，开口1031(通过与物镜单元1050(1060)的组合，在放置在工作台103上的前面板玻璃21的表面上形成组合形状的激光点，该组合形状呈y方向520微米×x方向210微米的长方形与y方向80微米×x方向150微米的长方形组合的形状)制作成与相对的凸部220、230的间隙35和一对显示电极22、23的最大间隙36的和的尺寸一致，开口1041(通过与物镜单元1050(1060)的组合，有在放置在工作台103上的前面板玻璃21的表面上形成y方向260微米×x方向360微米的长方形的激光点的狭缝)制作成与相邻的两对显示电极的间隙37的尺寸一致。其中设置开口1031的凸部1031a，是为了形成透明电极部221、231的凸部220、230。如果从第一激光头1030(第二激光头1040)输出第一激光(第二激光)，则通过这些开口1031(1041)和物镜单元1050(1060)，各种形状的激光点照射在放置于工作台103上的前面板玻璃21上。另外，通过调整第一激光头1030(第二激光头1040)相对于激光发射器102的位置，也能适当地调节放置在工作台103上的前面板玻璃21的表面上的激光点的尺寸。
一边注意方向(使前面板玻璃21的xy方向与激光加工机100的xy方向一致)将前面板玻璃21置于具有这样的结构的龙门式激光加工机100的工作台103上，一边利用众所周知的真空夹盘法等，将前面板玻璃21水平地固定在工作台103上。
其次，进行激光的输出功率设定。激光设定为第一激光头1030及第二激光头1040都具有100nsec/pulse的脉冲激光输出功率，强度为1.5mJ/pulse。
继激光的输出功率设定之后，根据激光加工机100的规定的设定输入菜单，按照图6(a)所示的形状图形规格，设定激光加工程序。这里，对覆盖在前面板玻璃21的全部表面上的透明导电膜50进行激光加工，形成透明电极部221、231、透明导电膜50的残留部、以及十字型对准标记成为一系列激光加工程序的内容。激光加工程序设定后，如果输入工作开始指示，激光加工程序便自动地开始。
如图3(b)所示，激光加工程序首先从在前面板玻璃21的左右(x方向两端部)确保引出电极部形成区域开始。这时单独使用来自第二激光头1040的第二激光进行。
即，调节工作台103和激光发射器102的相对位置，使前面板玻璃21的四个角中的一个角(在图6(a)中前面板玻璃21的左下角)位于第二激光发射器1040的正下方。然后将工作台103固定后，使激光发射器102沿y方向一边移动，一边输出激光，对前面板玻璃21的透明导电膜50部分地进行激光加工。因此，在前面板玻璃21上形成沿y方向透明导电膜50蒸发汽化而成的宽360微米的槽。
如果该激光加工完成了一个行程(沿前面板玻璃21的y方向的一个行程)，使工作台103沿x方向进行微小移动，使第二激光的激光点的y方向宽度为360微米，从这里使激光发射器102沿y方向移动，再开始与上述相同的激光加工。使这样的往复运动的激光加工程序大约进行56个行程×2次(前面板玻璃21的x方向两端部分)。在前面板玻璃21纵向(x方向)两端部形成引出电极形成区域210。以上相当于图3(b)中的激光加工程序。
其次，通过激光加工，在前面板玻璃21的表面上形成透明导电膜残留部211、对准标记212等。图6(b)是模式地表示这时的激光加工程序的图。如该图所示，调节工作台103和激光发射器102的相对位置，使前面板玻璃21的四个角中的一个角(在图6(b)中前面板玻璃21的左下角)位于第二激光发射器1040的正下方。然后使工作台103沿xy方向微微移动，用激光将透明导电膜50的一定位置加工成十字型，形成反转标记状的对准标记212(例如将开口1041的激光点组合起来的y方向长980微米(4个激光点的y方向长度)×x方向长1080微米(3个激光点的x方向长度)的形状标记)。在下述情况下使用对准标记212：在透明电极部221、231上位置一致地形成金属电极部222、232时，以及将前面板玻璃21和后面板玻璃27位置一致地粘贴起来时。另外，所谓形成前面板玻璃21的“一定位置”是指下述位置而言：如图6(a)所示，距离前面板玻璃21的y方向两端部5mm、在沿前面板玻璃21的纵向的直线上等距离的3个位置。
形成了各对准标记212后，移动工作台103，使前面板玻璃21的x方向端部(在图6(b)中为x方向右侧端部)位于第二激光头1040的正下方。然后使激光发射器102沿y方向移动5mm，使第二激光一边照射透明导电膜50，一边折回x方向。在该激光加工的一个行程(沿前面板玻璃21的x方向的一个行程，参照图6(b))中，使宽约260微米的带状透明导电膜50蒸发汽化，形成x方向宽约10mm的透明导电膜残留部211。
形成了透明导电膜残留部211后，使前面板玻璃21移动到x方向端部(在图6(b)中为x方向左侧端部)。然后只使激光发射器102沿x方向相对于工作台103移动1080微米(将一对显示电极22、23的最大间隙520微米+相邻的两对显示电极22、23的间隙260微米+凸部220、230除去后的各显示电极22、23的两条宽度150微米×2＝1080微米，详细情况参照图2)，使第一激光头1030(第二激光头1040)处于工作准备状态。然后使第一激光和第二激光沿y方向并行地照射透明导电膜50，一边照射一边使工作台103沿x方向移动，在前面板玻璃21上并行地形成一对显示电极22、23的间隙36、以及相邻的两对显示电极22、23的间隙37。通过激光加工，形成一对显示电极22、23的透明电极部221、231。
这里，图5(a)是表示通过激光加工形成的一对显示电极22、23的形态的前面板玻璃21的部分斜视图。这样的激光加工例如用图5(b)中的第一激光进行的加工工序所示，发出断续的脉冲激光。一边连接该脉冲激光的激光点，一边形成透明电极部221、231。
另外，这时如果使相邻的激光点沿x方向多少重叠地进行激光扫描，则能可靠地形成各电极间隙35～37。但是在此情况下，将上述激光点的重叠部分考虑进去，需要在将开口1031、1041的形状沿x方向设定得长一些等方面下功夫。
另外，使激光发射器102沿y方向移动时，不一定必须使前面板玻璃21的x方向端部位于第一激光头1030(第二激光头1040)的正下方，也可以使激光发射器102在所形成的各透明电极部221、231的x方向端部正上方附近移动。
另外，激光发射器不限于一个，例如也可以使用多个激光发射器，将各激光头设置在各个激光发射器上。
在形成这样的透明电极部221、231的激光加工程序中，按照图6(b)中的激光加工程序的流程，通过沿x方向的一个行程的激光加工，形成一对显示电极22、23的透明电极部221、231，反复进行使激光发射器102沿y方向微小地移动约1080微米的程序。利用由沿着该x方向的激光加工和激光发射器102沿着y方向的移动的组合构成的一系列曲折移动的激光加工程序，在前面板玻璃21上形成多对(例如在42英寸XGA面板上合计768对)显示电极22、23的透明电极部221、231。
如果形成了全部成对的显示电极22、23的透明电极部221、231(图3(c))，暂时停止驱动第一激光头1030。然后与上述的动作一样，只驱动第二激光头1040，形成透明导电膜残留部211。如果形成了透明导电膜残留部211，其次进行与上述同样的动作，形成多个对准标记212。于是，每一个前面板玻璃21的激光加工程序全部结束。
这样，迄今作为多对显示电极22、23的制作方法进行的湿法加工的光刻法的工序约为11道工序，与此不同，本实施形态1的激光加工程序只用激光加工和被激光加工物的清洗、干燥约3道工序即可，而且工程进行的时间只需要大约短短的10分钟左右即可。因此PDP的制造工序的成品率得到改善，还有利于降低成本。
另外如果采用激光加工程序，则与其他制作方法相比，能制作精度良好的透明电极部221、231。例如在使透明电极部221、231的形状沿x方向延伸宽度约50微米的带状的情况下，采用光刻法时产生±5.0微米左右的尺寸误差，与此不同，在本实施形态1中，能抑制在±3.0微米左右的尺寸误差。
进行了以上的激光加工程序后，将前面板玻璃21从工作台103上卸下来，接着采用溅射法，在形成了透明电极部221、231等的前面板玻璃21的全部表面上形成由Cr-Cu-Cr层叠膜构成的厚度约0.1微米的金属导电膜60(图3(d))。
其次，采用湿法加工的光刻法，在所形成的金属导电膜60上形成金属电极部222、232及引出电极部(图中未示出)(图3e)。一般经过以下的(a)～(k)工序进行湿法加工。
金属导电膜60的清洗(a)→在金属导电膜60上涂敷光致抗蚀剂(b)→干燥(c)→按照金属电极部222、232的形状进行掩模曝光(d)→显像(e)→冲洗(f)→清洗及干燥(g)→使金属电极膜上残留的抗蚀剂硬化(h)→刻蚀(i)→剥离光致抗蚀剂(j)→清洗·干燥(k)。
另外，在工序(d)中，进行掩模处理时利用对准标记212，将掩模重合在金属导电膜60上。因此，能进行准确的曝光。
另外这里在构成一对显示电极22、23的透明电极部221、231的外侧端部上，形成宽约50微米带状的金属电极部222、232。
其次，从多对显示电极22、23上，在前面板玻璃21的全部表面上覆盖厚度约20～30微米的铅系列玻璃膏剂，烧成后形成电介质层24。
其次，采用蒸镀法或CVD(化学蒸镀法)等，在电介质层24的表面上形成厚度约为1微米的由氧化镁(MgO)构成的保护层25。
至此，制成了前面板20。
ii.后面板26的制作
采用印刷法，将以银为主要成分的导电体材料，以一定的间隔呈带状地涂敷在厚度约为2mm的由碱石灰玻璃构成的后面板玻璃27的表面上，形成厚度约为5微米多个地址电极28。这里，将相邻的两个地址电极28的间隔设定为360微米。
接着在形成了地址电极28的后面板玻璃27的全部表面上涂敷厚度约为20～30微米的铅系列玻璃膏剂，烧成后形成电介质膜29。
其次，用与电介质膜29相同的铅系列玻璃材料，在电介质膜29上且在每相邻的两个地址电极28之间形成高度约为100微米的隔壁30。例如采用筛网印刷法，反复印刷含有上述玻璃材料的膏剂，然后进行烧成，能形成该隔壁30。
如果形成了隔壁30，则将含有红色(R)荧光体、绿色(G)荧光体、蓝色(B)荧光体中的某一种的荧光墨涂敷在隔壁30的壁面、以及在隔壁之间露出的电介质膜29的表面上，将其干燥·烧成后，分别形成荧光体层31、32、33。
这里，举出一般在PDP中使用的荧光体材料的例如下。
红色荧光体：(YxGd1-x)BO3；Eu3+
绿色荧光体：Zn2SiO4；Mn
蓝色荧光体：BaMgAl10O17；Eu3+(或BaMgAl14O23；Eu3+)
以上，完成了后面板26。
另外，虽然采用了由碱石灰玻璃构成的前面板玻璃21及后面板玻璃27，但这只是作为材料举出的一例，也可以采用其他材料(例如高应变点玻璃)。另外电介质层24及保护层25也不限定于上述材料，也可以改用适宜的材料。多对显示电极22、23一样，例如为了制成具有良好的透明性的透明电极部221、231，可以选择材料。在可能的范围内，在各实施形态中可以同样地进行这样的各种材料的选择。
iii.PDP的制成
用对准标记212将制作的前面板20和后面板26对准，用封装用玻璃粘接起来。然后，在高真空(8×10-7Torr)中使放电空间38的内部脱气，以规定的压力(这里为2000Torr)，将由Ne-Xe(5％)的组成构成的放电气体封入其中，制成PDP。关于放电气体，除了上述的以外，也可以使用He-Xe系列或He-Ne-Xe系列等。
这样，在本实施形态1的PDP的制造方法中，制作透明电极部221、231时，使两个不同的激光点的激光并行地一边发光，一边进行激光加工，所以其特征在于具有能迅速地制作透明电极部221、231的效果。因此，如果采用实施形态1，则能期待能非常有效地制造PDP的效果。
另外，在本实施形态1中，与以往相比采用光刻法的工序少，所以能减少与排气或废液等的发生所伴随的问题，对环境保护问题也非常有效。
另外，在本实施形态1中，给出了利用激光加工方法，在透明电极部221、231以外，在部分不使透明导电膜50蒸发汽化的例(即设置透明导电膜残留部211)。这样，由于在制作的多对显示电极22、23等(在本实施形态中为透明导电膜50)上直接残留了不需要积极地进行蒸发汽化的透明导电膜50的区域，所以能节省过多的激光加工程序，一系列激光加工程序能被简化及高速化，具有能改善成品率的效果。
另外，在上述“iii.PDP的制成”工序中，也可以在后面板26一侧形成对准标记，如果与对准标记相对地对准，则能期待实施更精密的对准。
另外，本发明的PDP的制作方法的主要特征在于在各实施形态中形成的多对显示电极22、23的制作方法，除此以外的地方大体相同。因此关于以后的各实施形态中的PDP的制作方法主要说明多对显示电极22、23的制造方法，另外省略与上述实施形态重复的说明。
<实施形态2>
在本实施形态2中，给出在将银材料用于多对显示电极22、23的金属电极部222、232中的情况下，将激光加工方法应用于金属电极部222、232的形成及金属电极部222、232的退火处理的例。
除了Cr-Cu-Cr材料以外，银材料(具体地说，银和玻璃粉末的混合材料)被广泛地用于金属电极部222、232中，但由于银材料所具有的性质的原因，如果将银材料覆盖在透明导电膜50(透明电极部221、231)上，则变成有凹凸的变形形状。此后，在前面板玻璃21的全部表面上形成电介质层24时，气泡进入金属电极部222、232和电介质层24之间，引起绝缘破坏、PDP不正常驱动的原因。
因此，用上述银材料制作金属电极部222、232时，最好对透明导电膜50(或透明电极部221、231)上暂时覆盖的金属导电膜60(或金属电极部222、232)加热，使金属导电膜60(或金属电极部222、232)中含有的玻璃成分熔融，使金属导电膜60(或金属电极部222、232)的形状圆滑整齐(即进行退火处理)。
本实施形态2针对该问题，在用第一激光头1030的第一激光形成了金属电极部222、232之后，用第二激光头1040的第二激光对金属电极部222、232进行退火处理。其具体的工序如下。
图7(a)～(e)是表示本实施形态2中的多对显示电极22、23的制造工序的前面板玻璃21的部分剖面图。另外，所形成的多对显示电极22、23的形状与实施形态1相同。
首先，采用印刷法等在前面板玻璃21的表面上形成一定形状的透明电极部221、231。这里，在形成透明电极部221、231的材料中，需要选择其蒸发汽化温度比银材料的高的材料，即选择对由上述银材料构成的金属导电膜60进行激光加工时，透明电极部221、231不蒸发汽化的材料。作为这样的透明电极部221、231的材料，具体地可以举出SnO2等。
其次，采用印刷法等在形成了透明电极部221、231的前面板玻璃21上涂敷银材料，将其烧成后形成金属导电膜60(厚度约为0.1微米)。图7(a)表示这时在前面板玻璃21的全部表面上形成金属导电膜60的例，但也可以由此限定区域(例如只在透明电极部221、231上覆盖银材料)，形成金属导电膜60。
接着使用激光加工机100，设定激光加工程序。这里，将来自第一激光头1030的第一激光用于金属电极部222、232的形成。安装在第一激光头1030上的开口(图中未示出)通过与物镜单元1050组合，例如可以这样设定：在置于工作台103上的前面板玻璃21上形成这样的激光点，即该激光点沿y方向的宽度为与一对显示电极22、23的间隙36大致相同的520微米，沿x方向的宽度为360微米左右。另外，调节第一激光的强度，将其强度设定为不会对位于金属导电膜60下面的透明电极部221、231产生不良影响的程度(即不会使透明电极部221、231蒸发汽化的程度)的强度，而且能充分地进行金属导电膜60的激光加工的强度。
其次进行第二激光强度的设定。这里，由于第二激光用于金属电极部222、232的退火处理，所以将其设定为能熔融金属电极部222、232中包含的玻璃成分、而且不会被透明电极部221、231吸收的强度(具体地说为紫外线附近的可见光波长)。
另外，调节激光发射器102的第一激光头1030(第二激光头1040)的固定位置，设定激光点相对于前面板玻璃21上的金属导电膜60的位置及尺寸。
另外，这里虽然设定激光加工机100，以便并行地驱动第一激光头1030(第二激光头1040)，但不限定于该激光加工程序，例如也可以在第一激光头1030的激光加工程序全部结束后，再逐渐开始第二激光头1040的激光加工程序。
如果第一激光头1030(第二激光头1040)的位置调整和各激光强度的设定结束，便开始激光加工程序，以便使金属电极部222、232和图中未示出的引出电极部以外的金属导电膜60蒸发汽化。因此，如图7(b)所示，形成宽度约为50微米的金属电极部222、232。
可是这里，在该时刻，如图8(a)中的前面板玻璃21的剖面图所示，金属电极部222、232的形状呈凹凸多的变形形状。这是由于银材料的性质所致，如上所述，照这样下去，在形成电介质层24时，会进入许多气泡，成为PDP的性能下降的原因。
因此作为本实施形态2的特征在于：用来自第二激光头1040的第二激光对用第一激光暂时形成的图8(a)所示状态的金属电极部222、232进行退火处理(图7(c))。因此，金属电极部222、232中的玻璃成分熔融，如图8(a)所示，金属电极部222、232的表面得以改善而变得圆滑。
如果采用这样的本实施形态，则能利用激光加工方法，迅速地制作金属电极部222、232。另外由于并行地进行金属电极部222、232的形成和退火处理，所以即使在将银材料这样的容易产生凹凸的材料用于金属导电膜60的情况下，也具有能使成品率高地制造优良品质的PDP的效果。
具体地说，在42英寸的XGA面板的PDP中，以往在电介质层24中能确认出24个左右、直径为10微米左右的气泡，但在本实施形态的PDP中，能减少到1个左右。因此，PDP的绝缘破坏的耐压程度也能从以往的800V左右提高到2kV左右。
另外，作为通过第一激光头1030产生的第一激光的照射、只使金属导电膜60蒸发汽化的目的，例如也可以使激光强度与可见光的波长一致。
另外，作为本实施形态2的变形例，在用激光加工方法形成金属电极部222、232之前，也可以预先用与上述金属电极部222、232有关的激光加工方法不同的激光加工方法形成透明电极部221、231。在此情况下，与实施形态1一样，形成成为加工透明导电膜50的对准标记212，如果利用该对准标记，则能在准确的位置形成金属电极部222、232，能进行退火处理。这时有必要进行适当的掩蔽，以便金属导电膜60不致覆盖在上述对准标记212上。
另外在本实施形态2中，采用激光加工方法形成金属电极部222、232时，也可以并行地进行该透明电极部221、231的退火处理。即，也可以一边用第一激光对透明电极部221、231进行图形刻蚀，一边在透明电极部221、231(或透明导电膜50)的退火处理时使用第二激光。在此情况下，由于例如透明电极部221、231(或透明导电膜50)中的SnO2晶粒直径生长约4倍，所以能获得提高与金属电极部222、232(或金属导电膜60)的附着性的效果。
具体地说，通过该退火处理，透明电极部221、231的制作中与耐压不良有关的成品率从以往的约80％提高到约96％左右。
另外，这时由于透明电极部221、231所具有的透明性等原因，第二激光的强度最好比金属电极部222、232的退火处理高大约30％的强度。
<其他实施形态的变形例>
其次，说明几个除了上述的两个实施形态以外的本发明的应用例。
(变形例1)
图9是表示根据本变形例的PDP的制造方法制作的透明电极部221、231等的形态的前面板玻璃21的正视图。如该图所示，在本变形例1中，其特征在于：用激光加工方法形成了透明电极部221、231后，调节其线路电阻值，根据该线路电阻值，对任意的透明电极部221、231进行变化处理，补正其线路电阻值。
具体地说，用第一激光加工覆盖在前面板玻璃21的表面上的透明导电膜50，形成透明电极部221、231(另外使在图9中形成的透明电极部221、231的形状呈直线状，以便容易理解)。这里，虽然只用第一激光形成一对显示电极22、23的间隙36、以及相邻的两对显示电极22、23的间隙37，但形成相邻的两对显示电极22、23的间隙37时，使第一激光沿x方向连续扫描数个行程来形成。
然后，使探测器301a、301b接触以形成的透明电极部221、231沿x方向的两端部，利用连接在该探测器301a、301b上的众所周知的线路电阻测定器(图中未示出)，测定透明电极部221、231的线路电阻值。探测器301a、301b固定在激光发射器导轨101一侧，线路电阻测定器预先与激光加工机100的控制部(例如PC(个人计算机)型输入终端机)连接。另外将比较用的标准值预先存储在输入终端机(图中未示出)的存储部中，在该输入终端机中，将由线路电阻测定器获得的透明电极部221、231的线路电阻值逐次与上述标准值进行比较。然后，补正通过该比较算出的任意的透明电极部221、231的线路电阻值的偏差，所以根据上述偏差的程度，对输入终端机设定适当的第二激光的强度，使第二激光照射作为对象的透明电极部221、231。因此能改变处理透明电极部221、231，能补正线路电阻值，能制造驱动时呈均匀显示特性的PDP。
即在本变形例1中，并行地进行用第一激光进行的各透明电极部221、231的形成；对该形成的各透明电极部221、231的线路电阻的测定；以及根据由该电阻测定获得的测定值，用第二激光进行各透明电极部221、231的电阻值的补正。
如果采用该变形例1，具体地说，例如以往形成后的各透明电极部221、231的线路电阻值的平均值约为1.0kΩ，其离散度σ约为17％，但通过该线路电阻值的补正，线路电阻值的平均值能改善为约0.5kΩ，其离散度σ改善为约7％。
(变形例2)
图10是表示根据本变形例2的PDP的制造方法制作的透明电极部221、231等的形态的前面板玻璃21的正视图。在上述的变形例1中给出了一边形成透明电极部221、231，一边调整所形成的透明电极部221、231的线路电阻值的例，但在本变形例2中，其特征在于：用CCD摄像机调整所形成的透明电极部221、231的细部形状，修补(修改)有问题的地方。
具体地说，如图10中的前面板玻璃21的正视图所示，形成了透明电极部221、231后，用固定在激光发射器导轨101一侧的CCD摄像机70，对透明电极部221、231进行摄像，将获得的透明电极部221、231的图像取入连接在激光加工机100的控制部上的PC型输入终端机中，进行众所周知的PM(模式匹配)处理。然后，用第二激光照射通过PM处理检测到的透明电极部221、231的形状有问题的地方(例如不好的微细的凹凸部分等)进行补正。
如果采用这样的变形例2，则能减少花费在PDP的制造工序上的时间及工序数，而且能制作抑制了形状上的离散的具有品质均匀的透明电极部221、231的PDP。
(变形例3)
图11是表示根据本变形例3的PDP的制造方法制作的透明电极部221、231等的形态的前面板玻璃21的正视图。本变形例3基本上与变形例1相同，用激光加工方法形成了透明电极部221、231后，调节其线路电阻值，根据该线路电阻值，对任意的透明电极部221、231进行变化处理，补正线路电阻值，但其特征在于：在该一系列工序中，将掩模300部分地覆盖在前面板玻璃21的表面上。
即，本变形例3是在利用溅射法等将透明导电膜60覆盖在前面板玻璃21上的情况下，在知道即使将该透明导电膜60覆盖在前面板玻璃21上后也要除去的前面板玻璃21上的区域上，在实施上述溅射法之前预先设置掩模300，合理地减少透明导电膜50的覆盖面积。因此，能期待简化激光加工程序、缩短花费在上述加工上的时间、改善成品率的效果。
另外透明导电膜残留部250是为了形成对准标记212而形成透明导电膜50的部分，在不需要形成该对准标记212的情况下，在透明导电膜残留部250的部分也设置掩模300。
这样的掩模300的规格也可以用于实施形态1及2、变形例1及2等中。
另外，作为其他的变形例，也可以通过照射第一激光，形成透明电极部221、231或金属电极部222、232，使第二激光照射上述形成的透明电极部221、231或金属电极部222、232，用众所周知的激光显微镜捕捉反射的第二激光，检查透明电极部221、231或金属电极部222、232。
<关于用激光加工方法形成的透明电极部的剖面形状>
作为一例，图12(a)是表示根据上述变形例1的PDP的制造方法制作的各透明电极部221、231等的形态的前面板玻璃21的面板剖面方向(z方向)剖面图。
即在图12(a)中，透明电极部221、231在其宽度方向的端部80a、80b处呈向上鼓起的形状。更详细地说，上述端部80a、80b被加工成锐的角度的角部，呈圆滑的形状。已知如果在透明电极材料中使用ITO，则能形成这样的形状。
另外，这里所谓“圆滑的形状”，并非指真正的球形，而是指与锐角(90°以下的角度)不同、包括具有钝角(超过90°的角度)形状的概念的形状。
其次，图12(b)所示的形状在端部81a、81b处，在图中z方向上部(作为PDP，后面板26一侧)呈向上鼓起的非锐的角度的角部的圆滑的形状。已知如果在透明电极材料中使用SnO2，则能形成这样的形状。
另外，图12(c)所示的形状是端部82a、82b从前面板玻璃21的xy平面开始朝向图中z方向上部(作为PDP，后面板26一侧)垂直竖起，在其上部呈向上鼓起的非锐的角度的角部的圆滑的形状。这样的图12(c)中的端部82a、82b的形状是对上述图12(a)(b)中的形状再加工获得的。将在后面说明加工成这些形状的方法。
这样，由于在透明电极部221、231上形成12(a)～(c)中的任意一种端部80a～82a、80b～82b，所以能获得下述效果。
即，一般说来，面放电用的电场在面向多对显示电极22、23的形状中容易集中在呈角状的部分，面放电时在该多对显示电极22、23的角状部分附近电场部分地增大，容易发生异常放电。
与此相反，如上所述，在透明电极部221、231上设置端部80a～82a、80b～82b等，面向放电空间38的各显示电极22、23的形状不呈角状，所以在角状部分能抑制在放电空间38中发生的电场在中心部分过剩。因此，能防止异常放电的发生，以及防止在电介质层24中发生绝缘破坏。
另外，由于端部80a～82a、80b～82b比透明电极部221、231的宽度方向中央部分高而向上鼓起(即，覆盖端部80a～82a、80b～82b的电介质层24的厚度变薄)，所以能降低面放电开始时或维持放电时的电压。
具体地说，在透明电极部221、231的平均厚度为0.1～0.13微米左右的情况下，假设端部80a～82a、80b～82b的上述圆形部分的半径为0.05～0.1微米，可知端部80a～82a、80b～82b的效果是明显的。
如上所述，例如采用激光加工方法加工覆盖在前面板玻璃21上的透明导电膜50，能形成具有端部80a、81a、80b、81b等的透明电极部221、231。就是说被激光照射的区域的透明导电膜50被高温加热而蒸发汽化，但进行蒸发汽化的周边的透明导电膜50利用上述高温而熔融，由于表面张力的作用而呈圆形向上鼓起。因此通过适当地调节激光的强度(具体地说，设定为比使透明导电膜50蒸发汽化的强度大一些的强度)，该激光加工程序的实施成为可能。
这里，图12(c)中的端部82a、82b可以用图13所示的方法形成。在图13中，作为一例示出了以图12(a)中形成的端部80a、80b为基础，形成端部82a、82b的方法。
具体地说，将光致抗蚀剂70覆盖在利用激光加工方法形成了具有端部80a、80b的透明电极部221、231的前面板玻璃21上(图13(a))。
接着将具有一定图形(这里是将一对显示电极的间隙和相邻的两对显示电极的间隙以外的部分掩蔽起来的图形)的掩模80放置在上述前面板玻璃21上，曝光后，用碱性溶液处理未掩蔽的部分的光致抗蚀剂70(图13(b))。
其次，将用碱性溶液处理过的光致抗蚀剂70以外的部分洗掉，将全部光致抗蚀剂70从前面板玻璃21上除去(图13(c))。
因此，能形成图12(c)所示的有端部82a、82b的透明电极部221、231。图12(c)中的端部82a、82b由于其边缘部分加工成陡峭状，所以在形成特别精密形状的透明电极部221、231等情况下(单元尺寸小的情况下)有效。
另外，利用将强度不同的第一激光和第二激光(例如使第二激光的强度比第一激光弱一些)组合起来的激光加工方法，也可以制作上述各端部80a～82a、80b～82b以外的端部。其中也可以例如基本上用第一激光制作各透明电极部221、231，然后使第二激光部分地照射各透明电极部221、231。
另外，不需要在全部透明电极部221、231的两端设置端部80a～82a、80b～82b等，至少在一对显示电极22、23的间隙中只设置端部80a～82a即可。
<其他事项>
在实施形态中虽然给出了使用YAG激光(波长1.06微米)的例，但除此以外也可以使用受激准分子激光、气体激光等各种激光。另外激光的波长也不限定于1.06微米，也可以适当地为0.53微米、0.25微米等其他波长。
另外，在实施形态1中，在说明利用激光加工方法形成透明电极部221、231时，作为透明导电膜50的制作方法，虽然给出了使用CVD法等的例，但除此以外也可以适当地使用溅射法或印刷法等。这些方法在形成金属电极部222、232时也一样。
另外，作为透明导电膜50的材料，除了SnO2-SbO3系列透明导电材料以外，也可以使用SnO2-F系列、InGaZnO4系列、Cd2SnO4系列、In2O3-SnO3系列、GaInO3系列、ZnO-GeO系列、以及其他一般已知的透明导电材料中的任意一种。
另外，作为金属导电膜60的材料，虽然给出了使用银材料或Cr-Cu-Cr材料等的例，但也可以使用除此以外的金属导电材料。但可以认为实施形态2主要是在将银材料用于金属电极部222、232中的情况下效果好。
另外，在各实施形态及变形例中，虽然一对显示电极22、23是由透明电极部221、231和金属电极部222、232构成的，但也可以利用溅射法等将金属导电膜60直接覆盖在前面板玻璃21的全部表面上，对其施以激光加工方法，形成金属电极部222、232，用该金属电极部222、232构成一对显示电极(即没有透明电极部221、231的一对显示电极)。
另外在实施形态1中，虽然给出了在前面板玻璃21上覆盖了透明导电膜50后，形成透明电极部221、231，接着形成金属电极部222、232的例，但也可以将透明导电膜50和金属导电膜60依次覆盖在前面板玻璃21上，利用光刻法等形成金属电极部222、232后，用激光加工方法形成透明电极部221、231。
另外，虽然在各实施形态中给出了形成具有凸部的多对显示电极22、23的例，在实施形态的变形例中给出了形成线状多对显示电极22、23的例，但也可以这样形成上述凸部，例如使多个椭圆状的激光点的长轴方向的光点部分一边发生若干重叠，一边进行脉冲激光扫描，对透明电极部221、231进行激光加工，也能形成上述凸部。另外，显示电极的形状不限定于备有凸部的形状，也可以适当地改变成适合于单元尺寸等的性质。这样在改变多对显示电极22、23的形状的情况下，具体地说也可以改变激光头的开口的形状。
这里，在通过变更实施形态中使用的开口1031、1041的形状，来改变激光点的形状的情况下，如果设定开口来获得长方形的激光点，则可以考虑沿xy方向连接多个激光点，能进行幅度较宽的激光加工。
另外，虽然给出了在透明导电膜50的激光加工程序中，在前面板玻璃21的纵向上下形成十字型的反转型对准标记212的例，但对准标记的形状和形成位置当然不限定于实施形态中说明的内容，可以进行适当的变更。另外对准标记也可以用于前面板玻璃21和后面板玻璃的对准，透明电极部221、231和金属电极部222、232的对准。
另外，虽然给出了将透明导电膜50覆盖在前面板玻璃21的全部表面上，利用激光加工方法在它上面形成多对透明电极部221、231等的例，但也可以对例如引出电极部形成区域等不需要覆盖透明导电膜50的区域预先施以掩蔽，然后采用CVD法或溅射法等各种方法形成透明导电膜50。
另外，虽然主要说明了利用激光加工方法形成透明电极部221、231、利用光刻法形成金属电极部222、232的例、以及利用印刷法形成透明电极部221、231、利用激光加工方法形成金属电极部222、232的例，但本发明不限定于这些制作方法，也可以利用激光加工方法形成透明电极部221、231和金属电极部222、232两者中的至少一者。但在只用金属材料形成多对显示电极22、23的情况下，需要实施激光加工程序。
另外在实施形态中，虽然给出了激光发射器102中备有第一激光头1030、第二激光头1040，利用各激光头1030、1040同时或逐次地实施激光加工程序的例，但也可以在可能的范围内适当地改变激光加工程序的顺序(一对显示电极的间隙的制作、以及相邻的两对显示电极的间隙的制作等)。
另外在实施形态中，虽然给出了关于激光加工程序的各种数值(激光点的尺寸和沿xy方向的移动距离)等的具体例，但本发明当然不受这些限制，也可以适应于所制造的PDP的尺寸等进行适当的变更。
另外，在激光加工程序中，相邻的激光点也可以多少有些重叠。因此，一个行程的激光加工能不间断地进行。但是在此情况下，需要考虑激光点重叠部分的尺寸，设定开口或激光点的形状。
另外，在各实施形态中虽然给出了使来自两个激光头1030、1040的两束激光并行地进行激光加工程序的例，但发出各激光的激光头既可以是一个，也可以是三个以上。在只使用一个激光头的情况下，适时地使用多个开口即可。另外在使用多个激光头的情况下，如实施形态所示，最好设定能发出激光点的形状、激光点的尺寸、激光强度等各种条件下性质不同的多种激光，能更迅速地进行多对显示电极22、23的形成、线路电阻值的补正和细部形状的修补等各种多对显示电极22、23的修改。
工业上利用的可能性
如果采用本发明的等离子体显示面板的制造方法，则能将以往制作多对显示电极22、23时采用的光刻法等的制造工序中的几个工序换成激光加工程序。激光加工程序例如与光刻法等相比，能用特别少的工序和短的时间进行。因此在等离子体显示面板的制造工序中，能提高产品的成品率，对降低产品的成本能做出良好的贡献。
另外激光加工程序与光刻法等的程序相比，废气和废液等的发生非常少。因此，比以往能抑制使用过的光致抗蚀剂和刻蚀等的废液的发生，能有效地减少环境污染。
另外本发明的PDP由于在前面板玻璃面上备有面板位置对齐用或透明电极部和金属电极部的位置对齐用的对准标记，所以能使前面板玻璃一侧和后面板玻璃一侧、或透明电极部和金属电极部精确地组合起来，能充分地发挥所设计的本来的性能。

Claims (5)

1.一种面放电型AC等离子体显示面板的制造方法，该方法备有在第一板的主面上形成平行于纵向并列设置的多对显示电极的显示电极形成步骤；以及使形成了多对显示电极的第一板的主面与平行地并列设置了多个地址电极的第二板的主面对齐，且使多对显示电极和多个地址电极交叉地将第一板的主面和第二板的主面粘接起来的板粘接步骤，其特征在于：
在显示电极形成步骤中，将显示电极材料覆盖在第一板的主面上，通过使第一激光和第二激光并行地照射在显示电极材料上，部分地加工显示电极材料，形成多对显示电极；
在上述显示电极形成步骤中，将显示电极材料覆盖在第一板的主面上，通过使第一光点形状的激光和与该第一光点形状不同的第二光点形状的激光照射显示电极材料，形成多对显示电极。
2.根据权利要求1所述的面放电型AC等离子体显示面板的制造方法，其特征在于：在上述显示电极形成步骤中，将显示电极材料覆盖在第一板的主面上，在一对显示电极和一条地址电极交叉的各个区域上，使一对显示电极的形状图形单位的区域尺寸一致地形成多对显示电极。
3.根据权利要求1所述的面放电型AC等离子体显示面板的制造方法，其特征在于：在上述显示电极形成步骤中，照射显示电极材料的第一光点形状的激光和第二光点形状的激光呈尺寸互不相同、且以激光的扫描方向的正交方向为宽度方向的长方形。
4.根据权利要求1所述的面放电型AC等离子体显示面板的制造方法，其特征在于：在上述显示电极形成步骤中，用照射显示电极材料的第一光点形状的激光形成一对显示电极的间隙，用照射显示电极材料的第二光点形状的激光形成相邻的两对显示电极的间隙。
5.一种面放电型AC等离子体显示面板的制作方法，该方法备有在第一板的主面上形成平行于纵向并列设置的多对成对的显示电极的显示电极形成步骤；以及使形成了显示电极的第一板的主面与互相平行并列地设置了多个地址电极和多个隔壁的第二板的主面对齐并粘接起来的板粘接步骤，其特征在于：
在上述显示电极形成步骤中，在第一板的主面上形成透明电极部，将金属电极部材料覆盖在包括该已形成的透明电极部的第一板的全部表面上后，使第一激光照射在该金属电极部材料上，形成金属电极部，通过照射上述第二激光加热烧固金属电极部，调整该金属电极部的电阻值。
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