CN114768511A - 一种用于电子级三氟甲烷生产的尾气吸收装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于电子级三氟甲烷生产的尾气吸收装置，包括底座和固定安装在底座上的处理塔，处理塔的内部转动连接有驱动轴，驱动轴上固定安装有分流机构，所述处理塔的内部顶端固定连接有网孔板，由所述底座、分流机构和网孔板在底座的内部由上至下依次形成处理室、雾化室和降温室，处理室内部设置有碱性溶液，雾化室内部设置有雾化机构，降温室内部设置有降温机构。本发明通过在处理室内部注入足量的碱性溶液，当三氟甲烷气体经进气管进入处理室内部后，使得生产后的三氟甲烷中带有的水汽和二氧化碳气体杂质，与碱性溶液发生反应，使得三氟甲烷中的二氧化碳以及水汽被吸收，对三氟甲烷形成初步的除杂提纯效果。

Description

一种用于电子级三氟甲烷生产的尾气吸收装置

技术领域

本发明涉及三氟甲烷生产设备技术领域，具体为一种用于电子级三氟甲烷生产的尾气吸收装置。

背景技术

三氟甲烷（CHF3，HFC-23）是三氯甲烷与HF催化反应制备二氟一氯甲烷（HCFC-22）过程中生成的副产物，而上述反应过程中不仅会生成三氟甲烷这一种副产品，还会或多或少地生成其他不同的副产物﹐如CO₂,CO、N₂、O₂,CHF₃,CH₄,CCIF₃等杂质气体，因而需要对其三氟甲烷进行纯化处理。而现有纯化技术中通常采用低温精馏来对工艺气体中的水分、二氧化碳以及其他的杂质气体进行除去，虽然采用低温精馏法对工艺气体的提纯度较高，但是往往需要在精馏塔内部设置多级精馏室，且多级精馏室为了除去不同的杂质气体，需要分别控制多个精馏室温度与压强，从而使得纯化效率较低，纯化速度慢。

为此，提出一种用于电子级三氟甲烷生产的尾气吸收装置。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于电子级三氟甲烷生产的尾气吸收装置，以解决上述背景技术中提出的需要在精馏塔内部设置多级精馏室，且多级精馏室为了除去不同的杂质气体，需要分别控制多个精馏室温度与压强，从而使得纯化效率较低，纯化速度慢的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于电子级三氟甲烷生产的尾气吸收装置，包括底座和固定安装在底座上的处理塔，所述处理塔的内部转动连接有驱动轴，所述驱动轴上固定安装有分流机构，所述处理塔的内部顶端固定连接有网孔板，由所述底座、分流机构和网孔板在底座的内部由上至下依次形成处理室、雾化室和降温室，所述处理室内部设置有碱性溶液，所述雾化室内部设置有雾化机构，所述降温室内部设置有降温机构；

所述雾化机构包括固定设于底座外侧的导流管，所述导流管顶部向上弯曲延伸至雾化室的内部，所述雾化机构的顶部转动连接有分流筒，所述分流筒的外侧等距均匀的固定连接有多个雾化管，所述雾化管底部固定设置有多个雾化喷头，所述导流管的底部设置有活塞组件并与活塞组件的输出端相连通，所述活塞组件的输入端连接有用于与处理室相连通的连接管，所述活塞组件内部活动连接有活塞柱，所述活塞柱底部一侧固定连接柱；

所述降温机构包括固定设于降温室内部的两个呈涡状线构型的换热盘管，且两个换热盘管之间设置有一定间距，所述处理塔的外侧对应降温室的位置处分别设置有第一集流筒和第二集流筒，两个所述换热盘管的输入端和输出端分别与第一集流筒和第二集流筒相连通，所述第二集流筒的底部连接有升流管，所述升流管的底端向下弯曲延伸至处理塔的底部；

所述驱动轴顶部延伸至雾化机构的底部并与雾化机构连接，所述驱动轴的底部安装有驱动机构和升流组件。

优选的，所述分流机构包括多个等距均匀固定连接在驱动轴上的分流板，由相邻的两个分流板和底座在底座的内部形成多个分流通道。

优选的，所述导流管和连接管与活塞组件的连接处均设置有单向阀。

优选的，所述驱动机构包括驱动电机，所述驱动电机输出端固定连接有往复丝杆，所述往复丝杆外侧活动套设有轴承座，所述轴承座通过滚珠螺母副与往复丝杆连接，所述轴承座一侧与连接柱固定连接，所述往复丝杆的顶部固定连接有第一锥齿轮。

优选的，所述驱动轴的底部贯穿底座并延伸至底座的底部，所述驱动轴的底部固定连接有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮与第一锥齿轮啮合连接。

优选的，所述升流组件包括转动连接在处理塔底部的传动轴，所述传动轴底部与第一锥齿轮固定连接，所述传动轴外侧等距均匀的固定连接有多个挤压板，所述处理塔的底部对应挤压板的位置处固定连接有两个受压板。

优选的，所述处理塔的底部靠近升流组件的位置处固定设置软管，所述软管一端与升流管相连接，所述软管围绕设置在多个挤压板上且软管的两侧分别与挤压板和受压板抵接，所述软管的另一端向上弯曲并贯穿处理塔延伸至处理室的内部。

优选的，所述处理塔的外侧固定连接有循环箱，所述循环箱一侧与处理室相通设置，所述循环箱的另一侧固定设置有换液管，所述第一集流筒的底部弯曲延伸至循环箱的上方并与循环箱相连通。

优选的，所述处理塔的顶部固定设置有出气管，所述处理塔上对应处理室的位置处固定设置有进气管。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、本发明中鉴于三氟甲烷生产过程的特点，会产生一些水汽和二氧化碳，通过在处理室内部注入足量的碱性溶液，进而当三氟甲烷气体经进气管进入处理室内部后，使得生产后的三氟甲烷中带有的水汽和二氧化碳气体杂质，与碱性溶液发生反应，使得的三氟甲烷中的二氧化碳以及水汽被吸收，对三氟甲烷形成初步的除杂提纯效果；

2、本发明中当驱动轴转动时，驱动轴同步的带动分流机构中的多个分流板进行转动，由于分流板的特殊构型，分流板在驱动轴的表面呈弯曲螺旋状分布，通过驱动轴和多个分流板的作用，对三氟甲烷进行螺旋上升输送，同时多个分流通道的设置，使得在处理室的内部的三氟甲烷均匀地进入雾化室的内部，使得三氟甲烷在雾化室内部分布得更加均匀，有利于后续二次对三氟甲烷进行提纯的工作；

3、本发明通过设计在驱动机构带动往复丝杆转动的同时，由于在往复丝杆的上设置有轴承座，使得当往复丝杆发生转动时，轴承座会在往复丝杆上发生往复的上下运动，即造成轴承座通过连接柱带动活塞柱往复的工作，通过活塞组件、活塞柱、连接柱、往复丝杆和轴承座的配合使用，将处理室内部的碱性溶液抽送至导流管的内部，即通过导流管将碱性溶液导入分流筒的内部，在本发明中，分流筒是与多个雾化管相通的，即导流管内部碱性溶液，通过分流筒均匀地分布至雾化管内部，再通过雾化管将碱性溶液均匀地分给多个雾化喷头，然后通过雾化喷头将碱性溶液进行雾化，通过雾化的碱性溶液对处于雾化室内部的三氟甲烷，进行二次充分反映，使得三氟甲烷的纯化反应可以充分反映，进一步提高了本发明中对三氟甲烷中的水汽和二氧化碳进行除杂的效果；

4、本发明中通过升流组件将处理室内部的碱性溶液导入升流管的内部，然后随着多个挤压板配合受压板往复的对软管形成挤压，进而驱动软管内部的碱性溶液向着升流管处移动，进而逐步的将软管内部碱性溶液挤压进升流管内部，使得碱性溶液沿着升流管上移进入降温室内部的两个换热盘管内部，由于碱性溶液通过升流管在处理塔的外界流动，进而通过常温或者外界冷却机构，可以对升流管内部的碱性溶液进行降温处理，进入雾化室内部的三氟甲烷经二次纯化后，通过网孔板进入降温室的内部，然后三氟甲烷进入降温室内部后，会依次穿过两个换热盘管，直至经处理塔顶部的出气管排除，三氟甲烷在经过两个换热盘管的时候，会对处于降温室内部的三氟甲烷进行热量交换，间接的通过换热盘管内部的碱性溶液对降温室内部的三氟甲烷进行降温处理，之后降温室内部的温度较低的三氟甲烷经出气管导入精馏塔内部，以便达到有利于后续除去CCIF₅杂质气体的目的，从而间接地提高了对三氟甲烷提纯的效率和提纯的质量；

5、本发明中通过活塞组件、活塞柱、连接柱、往复丝杆和轴承座的配合使用，将处理室内部的碱性溶液抽送至导流管的内部时，同时由于在驱动机构启动时，处理室内部的溶液也会有一部通过升流组件和软管的配合使用，将碱性溶液挤压进入升流管内部，从而当碱性溶液在导流管和升流管内部进行流动时，由于导流管和升流管都是设置在处理塔的外侧的，进而当碱性溶于在导流管和升流管内部发生流动时，即通过外界常温对导流管和升流管内部的碱性溶液进行降温处理，或者可根据实际的需用需求，在导流管上增设额外的降温机构，通过对导流管和升流管进行降温处理，一方面有助于后续通过分流筒、雾化管和雾化喷头对三氟甲烷进行二次提纯，间接的提高二次提纯的效果，另一方面可以处理室内部碱性溶液升温，造成三氟甲烷受热分解的情况；

6、本发明中两个换热盘管的另一端通过第一集流筒和回流管与循环箱相连接，而循环箱的一侧与处理室是相通设置的，从而由软管、升流组件、升流管、第二集流筒、第二集流筒、换热盘管、第一集流筒、回流管和循环箱，连通处理室形成一个密闭的循环回路，而由于在循环箱一侧设置有换液管，从而当需要对处理室内部的碱性溶液更换时，即可直接通过换液管将外界换液设备与循环箱连通，进而有利于对碱性溶液进行更换。

附图说明

图1为本发明的整体结构视图；

图2为本发明整体左视结构示意图；

图3为本发明的整体的剖视图；

图4为本发明的整体的仰视结构示意图；

图5为本发明的处理塔、驱动轴、分流机构、雾化机构和降温机构的连接结构爆炸图；

图6为本发明的驱动轴、雾化机构和驱动机构的连接结构示意图；

图7为本发明的降温机构和升流组件的连接结构示意图；

图8为本发明的图5中A出的放大图；

图9为本发明的升流组件和处理塔的俯视剖视图；

图10为本发明的图6中B处的放大图。

图中：底座；处理塔；21、网孔板；22、处理室；23、雾化室；24、降温室；25、进气管；26、出气管；27、循环箱；28、换液管；驱动轴；分流机构；41、分流板；42、分流通道；雾化机构；51、导流管；52、活塞组件；53、活塞柱；54、连接柱；55、连接管；56、分流筒；57、雾化管；58、雾化喷头；降温机构；61、换热盘管；62、第一集流筒；63、回流管；64、第二集流筒；65、升流管；66、软管；67、升流组件；671、传动轴；672、挤压板；673、受压板；驱动机构；71、驱动电机；72、往复丝杆；73、轴承座；74、第一锥齿轮；75、第二锥齿轮。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1至图10，本发明提供一种用于电子级三氟甲烷生产的尾气吸收装置的技术方案：

一种用于电子级三氟甲烷生产的尾气吸收装置，包括底座1和固定安装在底座1上的处理塔2，所述处理塔2的内部转动连接有驱动轴3，所述驱动轴3上固定安装有分流机构4，所述处理塔2的内部顶端固定连接有网孔板21，由所述底座1、分流机构4和网孔板21在底座1的内部由上至下依次形成处理室22、雾化室23和降温室24，所述处理室22内部设置有碱性溶液，所述雾化室23内部设置有雾化机构5，所述降温室24内部设置有降温机构6；

所述雾化机构5包括固定设于底座1外侧的导流管51，所述导流管51顶部向上弯曲延伸至雾化室23的内部，所述雾化机构5的顶部转动连接有分流筒56，所述分流筒56的外侧等距均匀的固定连接有多个雾化管57，所述雾化管57底部固定设置有多个雾化喷头58，所述导流管51的底部设置有活塞组件52并与活塞组件52的输出端相连通，所述活塞组件52的输入端连接有用于与处理室22相连通的连接管55，所述活塞组件52内部活动连接有活塞柱53，所述活塞柱53底部一侧固定连接柱54；

所述降温机构6包括固定设于降温室24内部的两个呈涡状线构型的换热盘管61，且两个换热盘管61之间设置有一定间距，所述处理塔2的外侧对应降温室24的位置处分别设置有第一集流筒62和第二集流筒64，两个所述换热盘管61的输入端和输出端分别与第一集流筒62和第二集流筒64相连通，所述第二集流筒64的底部连接有升流管65，所述升流管65的底端向下弯曲延伸至处理塔2的底部；

所述驱动轴3顶部延伸至雾化机构5的底部并与雾化机构5连接，所述驱动轴3的底部安装有驱动机构7和升流组件67；

所述处理塔2的顶部固定设置有出气管26，所述处理塔2上对应处理室22的位置处固定设置有进气管25。

本发明中在处理塔2整体通过底座1支撑在地面上，在实际的应用中，为了减少对三氟甲烷所用的精馏塔，其内部的多级精馏室，进而在对三氟甲烷进行提纯时，将本发明中的出气管26与精馏塔的进气口相连接，即形成将本装置预先设置在精馏塔的前一个处理步骤上，形成先通过本装置对三氟甲烷生产后的气体进行初步的提纯处理，然后再将三氟甲烷通入精馏塔内部，通过精馏塔进行高精度高纯度的提纯；

在实际的使用中，将生产后三氟甲烷的输气管与处理塔2一侧的进气管25相连接，即三氟甲烷通过进气管25进入处理塔2的内部，经过处理塔2对三氟甲烷进行处理的提纯处理后，经由出气管26导入精馏塔内部；

本发明中在处理塔2的内部转动连接有驱动轴3，且驱动轴3的底部贯穿处理塔2并延伸至处理塔2的底部，与驱动机构7相连接，即形成通过驱动机构7带动驱动轴3进行转动，由于进气管25是设置在处理室22的位置处的，在实际的安装和使用中，在进气管25和处理室22的连通处会设置电磁阀，在进行输送三氟甲烷时，电磁阀打开，当不需要输送三氟甲烷时，电磁阀关闭；

由于在处理室22的内部注入有碱性溶液，并且实际的操作中，碱性溶液的液面是高于进气管25设置的，进而当三氟甲烷气体经进气管25进入处理室22内部后，使得生产后的三氟甲烷中带有的水汽和二氧化碳气体杂质，与碱性溶液发生反应，形成生产后的三氟甲烷，中的二氧化碳以及水汽被吸收，对三氟甲烷形成初步的除杂提纯效果，由于三氟甲烷的物理性质是微溶于水的，此等的微溶于水的物理性质，在对工业化生产三氟甲烷进行提纯时，所带来的经济方面、提纯速率和提纯质量上，是可以对部分溶于碱性溶液内部的三氟甲烷忽略不计的。

作为本发明的一种实施例，如图5所示，所述分流机构4包括多个等距均匀固定连接在驱动轴3上的分流板41，由相邻的两个分流板41和底座1在底座1的内部形成多个分流通道42。

工作时，当三氟甲烷经过碱性溶液完成提纯后，三氟甲烷上移，离开碱性溶液，由于三氟甲烷的不断注入，进而使得不断的上移，直至移动分流机构4的底部，在对三氟甲烷进行提纯时，驱动机构7是处于启动状态的，即可通过驱动机构7带动驱动轴3在处理塔2的内部发生转动，当驱动轴3转动时，驱动轴3同步的带动分流机构4中的多个分流板41进行转动，由于分流板41的特殊构型，分流板41在驱动轴3的表面呈弯曲螺旋状分布，并且相邻的两个分流板41配合处理塔2，形成多个分流通道42；

随着三氟甲烷不断上移，三氟甲烷进入分流通道42的内部，通过驱动轴3和多个分流板41的作用，对三氟甲烷进行螺旋上升输送，同时多个分流通道42的设置，使得在处理室22的内部的三氟甲烷均匀地进入雾化室23的内部，使得三氟甲烷在雾化室23内部分布得更加均匀，有利于后续二次对三氟甲烷进行提纯的工作。

作为本发明的一种实施例，如图1－图6所示，所述驱动机构7包括驱动电机71，所述驱动电机71输出端固定连接有往复丝杆72，所述往复丝杆72外侧活动套设有轴承座73，所述轴承座73通过滚珠螺母副与往复丝杆72连接，所述轴承座73一侧与连接柱54固定连接，所述往复丝杆72的顶部固定连接有第一锥齿轮74，所述驱动轴3的底部贯穿底座1并延伸至底座1的底部，所述驱动轴3的底部固定连接有第二锥齿轮75，所述第二锥齿轮75与第一锥齿轮74啮合连接。

工作时，由于在雾化室23的内部设置有雾化机构5，进而当三氟甲烷通过分流机构4输送至雾化室23内部时，通过雾化机构5对其进行二次提纯，驱动机构7中固定驱动电机71，启动，从而会带动往复丝杆72进行转动，由于往复丝杆72顶部固定连接有第一锥齿轮74，而第一锥齿轮74是与驱动轴3底部的第二锥齿轮75啮合连接的，即形成通过驱动电机71、第一锥齿轮74和第二锥齿轮75带动驱动轴3进行转动；

在驱动机构7带动往复丝杆72转动的同时，由于在往复丝杆72的上设置有轴承座73，而轴承座73是与连接柱54固定连接的，同时连接柱54与活塞柱53固定连接，由于往复丝杆72和轴承座73的特殊连接方式，使得当往复丝杆72发生转动时，轴承座73会在往复丝杆72上发生往复的上下运动，即造成轴承座73通过连接柱54带动活塞柱53往复的工作。

作为本发明的一种实施例，如图6所示，所述导流管51和连接管55与活塞组件52的连接处均设置有单向阀。

工作时，在活塞组件52的一侧设置的连接管55是与处理室22内部相通的，进而活塞柱53往复的抽拉，并且配合在连接管55和活塞组件52的上设置的单向阀，造成处理室22内部的碱性溶液进入活塞组件52的内部，再通过活塞柱53向上的推力，使得活塞组件52将溶液输入进导流管51的内部；

通过活塞组件52、活塞柱53、连接柱54、往复丝杆72和轴承座73的配合使用，将处理室22内部的碱性溶液抽送至导流管51的内部，即通过导流管51将碱性溶液导入分流筒56的内部，在本发明中，分流筒56是与多个雾化管57相通的，即导流管51内部碱性溶液，通过分流筒56均匀地分布至雾化管57内部，再通过雾化管57将碱性溶液均匀地分给多个雾化喷头58，然后通过雾化喷头58将碱性溶液进行雾化，通过雾化的碱性溶液对处于雾化室23内部的三氟甲烷，进行二次充分反映，使得三氟甲烷的纯化反应可以充分反映，进一步提高了本发明中对三氟甲烷中的水汽和二氧化碳进行除杂的效果。

作为本发明的一种实施例，如图7、图8和图9所示，所述升流组件67包括转动连接在处理塔2底部的传动轴671，所述传动轴671底部与第一锥齿轮74固定连接，所述传动轴671外侧等距均匀的固定连接有多个挤压板672，所述处理塔2的底部对应挤压板672的位置处固定连接有两个受压板673。

工作时，由于在处理塔2的底部设置有升流组件67，而升流组件67中的传动轴671是与第一锥齿轮74固定连接的，进而形成当驱动机构7启动时，驱动电机71也会打的传动轴671进行转动，在传动轴671外侧固定设置有多个挤压板672，同时在与挤压板672对应的位置处设置有受压板673，此时受压板673是固定连接在处理塔2的底部的，此时挤压板672和受压板673之间设有一定间距，同时当传动轴671发生转动时，多个挤压板672会往复地与两个受压板673发生先相互靠近，然后相互远离的动作。

作为本发明的一种实施例，如图8和图9所示，所述处理塔2的底部靠近升流组件67的位置处固定设置软管66，所述软管66一端与升流管65相连接，所述软管66围绕设置在多个挤压板672上且软管66的两侧分别与挤压板672和受压板673抵接，所述软管66的另一端向上弯曲并贯穿处理塔2延伸至处理室22的内部。

工作时，由于在处理塔2的底部设置有软管66，本发明中将软管66围绕设置在多个挤压板672外侧，同时软管66两侧分别是与挤压板672抵接的，进而当挤压板672随着传动轴671进行转动时，软管66不会发生转动，由于软管66的一端是与升流管65相连接的，而软管66的底部向上弯曲设置并设有处理室22的内部且与处理室22相通设置的，即当处理室22内部有碱性溶液时，通过溶液自身的重力，会进入软管66的内部，由于多个挤压板672是间隔设置的，进而当挤压板672不与受压板673接触时，碱性溶液经自身重力进入软管66内部，由于多个挤压板672是往复的与受压板673发生接触的，进而形成多个挤压板672配合受压板673往复的对软管66形成挤压，进而驱动软管66内部的碱性溶液向着升流管65处移动，进而逐步的将软管66内部碱性溶液挤压进升流管65内部，使得碱性溶液沿着升流管65上移进入降温室24内部的两个换热盘管61内部。

作为本发明的一种实施例，如图7所示，所述处理塔2的外侧固定连接有循环箱27，所述循环箱27一侧与处理室22相通设置，所述循环箱27的另一侧固定设置有换液管28，所述第一集流筒62的底部连接回流管63且回流管63底部弯曲延伸至循环箱27的上方并与循环箱27相连通。

工作时，通过升流组件67将处理室22内部的碱性溶液导入升流管65的内部，然后随着多个挤压板672配合受压板673往复的对软管66形成挤压，进而驱动软管66内部的碱性溶液向着升流管65处移动，进而逐步的将软管66内部碱性溶液挤压进升流管65内部，使得碱性溶液沿着升流管65上移进入降温室24内部的两个换热盘管61内部；

进入雾化室23内部的三氟甲烷经二次纯化后，通过网孔板21进入降温室24的内部，然后三氟甲烷进入降温室24内部后，会依次穿过两个换热盘管61，直至经处理塔2顶部的出气管26排除，三氟甲烷在经过两个换热盘管61的时候，会对处于降温室24内部的三氟甲烷进行热量交换，间接的通过换热盘管61内部的碱性溶液对降温室24内部的三氟甲烷进行降温处理；

两个换热盘管61的另一端通过第一集流筒62和回流管63与循环箱27相连接，而循环箱27的一侧与处理室22是相通设置的，从而由软管66、升流组件67、升流管65、第二集流筒64、第二集流筒64、换热盘管61、第一集流筒62、回流管63和循环箱27，连通处理室22形成一个密闭的循环回路，而由于在循环箱27一侧设置有换液管28，从而当需要对处理室22内部的碱性溶液更换时，即可直接通过换液管28将外界换液设备与循环箱27连通，进而有利于对碱性溶液进行更换。

作为本发明的一种实施例，如图1－图10所示，当外界的三氟甲烷初次进入处理室22内部的碱性溶液中，与碱性溶液发生反应，由于反应必定会产生热量，由于三氟甲烷受热易分解的特殊性质，此时要避免处理室22内部的碱性溶液发生升温，进而需要对碱性溶液进行降温处理，而通过活塞组件52、活塞柱53、连接柱54、往复丝杆72和轴承座73的配合使用，将处理室22内部的碱性溶液抽送至导流管51的内部时，同时由于在驱动机构7启动时，处理室22内部的溶液也会有一部通过升流组件67和软管66的配合使用，将碱性溶液挤压进入升流管65内部，从而当碱性溶液在导流管51和升流管65内部进行流动时，由于导流管51和升流管65都是设置在处理塔2的外侧的，进而当碱性溶于在导流管51和升流管65内部发生流动时，即通过外界常温对导流管51和升流管65内部的碱性溶液进行降温处理，或者可根据实际的需用需求，在导流管51上增设额外的冷却机构，此冷却机构可采用公知技术；

通过对导流管51和升流管65进行降温处理，一方面有助于后续通过分流筒56、雾化管57和雾化喷头58对三氟甲烷进行二次提纯，间接的提高二次提纯的效果，另一方面可以处理室22内部碱性溶液升温，造成三氟甲烷受热分解的情况；

同时之后可以在升流管65的一侧设置冷却机构，通过冷却机构对升流管65内部流通的碱性溶液进行降温处理，之后使得温度较低的碱性溶液，沿着两个换热盘管61的管道反向在降温室24内部进行流动，此工作过程可对进入降温室24内部的三氟甲烷起到一定程度上的热量互换，进而形成冷却降温的作用；由于三氟甲烷在进入精馏塔中，需要设置一定的压力和―20℃以上的温度，可将CCIF₅液化，实现去除CHF₃中的CCIF₅杂质的目的，故需要对三氟甲烷进行降温处理，对进入降温室24内部的三氟甲烷进行降温，使得降温室24内部的三氟甲烷处零摄氏度至五摄氏度之间，之后降温室24内部的温度较低的三氟甲烷经出气管26导入精馏塔内部，以便达到有利于后续除去CCIF₅杂质气体的目的，从而提高了对三氟甲烷提纯的效率和提纯的质量。

工作原理：工作时，处理塔2整体通过底座1支撑在地面上，在实际的应用中，为了减少对三氟甲烷所用的精馏塔，其内部的多级精馏室，进而在对三氟甲烷进行提纯时，将本发明中的出气管26与精馏塔的进气口相连接，即形成将本装置预先设置在精馏塔的前一个处理步骤上，形成先通过本装置对三氟甲烷生产后的气体进行初步的提纯处理，然后再将三氟甲烷通入精馏塔内部，通过精馏塔进行高精度高纯度的提纯；

预先向处理室22中注入足量的碱性溶液，如NaOH、Na₂C0₃等，然后启动驱动机构7，驱动机构7中固定驱动电机71，启动，从而会带动往复丝杆72进行转动，由于往复丝杆72顶部固定连接有第一锥齿轮74，而第一锥齿轮74是与驱动轴3底部的第二锥齿轮75啮合连接的，即形成通过驱动电机71、第一锥齿轮74和第二锥齿轮75带动驱动轴3进行转动，将生产后三氟甲烷的输气管与处理塔2一侧的进气管25相连接，即三氟甲烷通过进气管25进入处理塔2的内部，经过处理塔2对三氟甲烷进行处理的提纯处理后，经由出气管26导入精馏塔内部；

由于在处理室22的内部注入有碱性溶液，并且实际的操作中，碱性溶液的液面是高于进气管25设置的，进而当三氟甲烷气体经进气管25进入处理室22内部后，使得生产后的三氟甲烷中带有的水汽和二氧化碳气体杂质，与碱性溶液发生反应，形成生产后的三氟甲烷，中的二氧化碳以及水汽被吸收，对三氟甲烷形成初步的除杂提纯效果；

当三氟甲烷经过碱性溶液完成提纯后，三氟甲烷上移，离开碱性溶液，由于三氟甲烷的不断注入，进而使得不断的上移，直至移动分流机构4的底部，在对三氟甲烷进行提纯时，驱动机构7是处于启动状态的，即可通过驱动机构7带动驱动轴3在处理塔2的内部发生转动，当驱动轴3转动时，驱动轴3同步的带动分流机构4中的多个分流板41进行转动，三氟甲烷进入分流通道42的内部，通过驱动轴3和多个分流板41的作用，对三氟甲烷进行螺旋上升输送，同时多个分流通道42的设置，使得在处理室22的内部的三氟甲烷均匀地进入雾化室23的内部，使得三氟甲烷在雾化室23内部分布得更加均匀；

在驱动机构7带动往复丝杆72转动的同时，由于在往复丝杆72的上设置有轴承座73，而轴承座73是与连接柱54固定连接的，同时连接柱54与活塞柱53固定连接，由于往复丝杆72和轴承座73的特殊连接方式，使得当往复丝杆72发生转动时，轴承座73会在往复丝杆72上发生往复的上下运动，即造成轴承座73通过连接柱54带动活塞柱53往复的工作，在活塞组件52的一侧设置的连接管55是与处理室22内部相通的，进而活塞柱53往复的抽拉，并且配合在连接管55和活塞组件52的上设置的单向阀，造成处理室22内部的碱性溶液进入活塞组件52的内部，再通过活塞柱53向上的推力，使得活塞组件52将溶液输入进导流管51的内部；

通过活塞组件52、活塞柱53、连接柱54、往复丝杆72和轴承座73的配合使用，将处理室22内部的碱性溶液抽送至导流管51的内部，即通过导流管51将碱性溶液导入分流筒56的内部，在本发明中，分流筒56是与多个雾化管57相通的，即导流管51内部碱性溶液，通过分流筒56均匀地分布至雾化管57内部，再通过雾化管57将碱性溶液均匀地分给多个雾化喷头58，然后通过雾化喷头58将碱性溶液进行雾化，通过雾化的碱性溶液对处于雾化室23内部的三氟甲烷，进行二次充分反映，使得三氟甲烷的纯化反应可以充分反映；

由于在处理塔2的底部设置有升流组件67，而升流组件67中的传动轴671是与第一锥齿轮74固定连接的，进而形成当驱动机构7启动时，驱动电机71也会打的传动轴671进行转动，在传动轴671外侧固定设置有多个挤压板672，同时在与挤压板672对应的位置处设置有受压板673，此时受压板673是固定连接在处理塔2的底部的，此时挤压板672和受压板673之间设有一定间距，同时当传动轴671发生转动时，多个挤压板672会往复地与两个受压板673发生先相互靠近，然后相互远离的动作，当挤压板672随着传动轴671进行转动时，软管66不会发生转动，由于软管66的一端是与升流管65相连接的，而软管66的底部向上弯曲设置并设有处理室22的内部且与处理室22相通设置的，即当处理室22内部有碱性溶液时，通过溶液自身的重力，会进入软管66的内部，由于多个挤压板672是间隔设置的，进而当挤压板672不与受压板673接触时，碱性溶液经自身重力进入软管66内部，由于多个挤压板672是往复的与受压板673发生接触的，进而形成多个挤压板672配合受压板673往复的对软管66形成挤压，进而驱动软管66内部的碱性溶液向着升流管65处移动，进而逐步的将软管66内部碱性溶液挤压进升流管65内部，使得碱性溶液沿着升流管65上移进入降温室24内部的两个换热盘管61内部；

通过升流组件67将处理室22内部的碱性溶液导入升流管65的内部，然后随着多个挤压板672配合受压板673往复的对软管66形成挤压，进而驱动软管66内部的碱性溶液向着升流管65处移动，进而逐步的将软管66内部碱性溶液挤压进升流管65内部，使得碱性溶液沿着升流管65上移进入降温室24内部的两个换热盘管61内部，通过网孔板21进入降温室24的内部，然后三氟甲烷进入降温室24内部后，会依次穿过两个换热盘管61，直至经处理塔2顶部的出气管26排除，三氟甲烷在经过两个换热盘管61的时候，会对处于降温室24内部的三氟甲烷进行热量交换，间接的通过换热盘管61内部的碱性溶液对降温室24内部的三氟甲烷进行降温处理；

当外界的三氟甲烷初次进入处理室22内部的碱性溶液中，与碱性溶液发生反应，由于反应必定会产生热量，由于三氟甲烷受热易分解的特殊性质，此时要避免处理室22内部的碱性溶液发生升温，进而需要对碱性溶液进行降温处理，而通过活塞组件52、活塞柱53、连接柱54、往复丝杆72和轴承座73的配合使用，将处理室22内部的碱性溶液抽送至导流管51的内部时，同时由于在驱动机构7启动时，处理室22内部的溶液也会有一部通过升流组件67和软管66的配合使用，将碱性溶液挤压进入升流管65内部，从而当碱性溶液在导流管51和升流管65内部进行流动时，由于导流管51和升流管65都是设置在处理塔2的外侧的，进而当碱性溶于在导流管51和升流管65内部发生流动时，即通过外界常温对导流管51和升流管65内部的碱性溶液进行降温处理，或者可根据实际的需用需求，在导流管51上额外的冷却机构，此冷却机构可采用公知技术；

通过对导流管51和升流管65进行降温处理，一方面有助于后续通过分流筒56、雾化管57和雾化喷头58对三氟甲烷进行二次提纯，间接的提高二次提纯的效果，另一方面可以处理室22内部碱性溶液升温，造成三氟甲烷受热分解的情况；

同时之后可以在升流管65的一侧设置冷却机构，通过冷却机构对升流管65内部流通的碱性溶液进行降温处理，之后使得温度较低的碱性溶液，沿着两个换热盘管61的管道反向在降温室24内部进行流动，此工作过程可对进入降温室24内部的三氟甲烷起到一定程度上的热量互换，进而形成冷却降温的作用；

由于三氟甲烷在进入精馏塔中，需要设置一定的压力和―20℃以上的温度，可将CCIF₅液化﹐实现去除CHF₃中的CCIF₅杂质的目的，故需要对三氟甲烷进行降温处理，对进入降温室24内部的三氟甲烷进行降温，使得降温室24内部的三氟甲烷处零摄氏度至五摄氏度之间，之后降温室24内部的温度较低的三氟甲烷经出气管26导入精馏塔内部，以便达到有利于后续除去CCIF₅杂质气体的目的，从而提高了对三氟甲烷提纯的效率和提纯的质量。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (9)

1.一种用于电子级三氟甲烷生产的尾气吸收装置，包括底座（1）和固定安装在底座（1）上的处理塔（2），其特征在于：所述处理塔（2）的内部转动连接有驱动轴（3），所述驱动轴（3）上固定安装有分流机构（4），所述处理塔（2）的内部顶端固定连接有网孔板（21），由所述底座（1）、分流机构（4）和网孔板（21）在底座（1）的内部由上至下依次形成处理室（22）、雾化室（23）和降温室（24），所述处理室（22）内部设置有碱性溶液，所述雾化室（23）内部设置有雾化机构（5），所述降温室（24）内部设置有降温机构（6）；所述雾化机构（5）包括固定设于底座（1）外侧的导流管（51），所述导流管（51）顶部向上弯曲延伸至雾化室（23）的内部，所述雾化机构（5）的顶部转动连接有分流筒（56），所述分流筒（56）的外侧等距均匀的固定连接有多个雾化管（57），所述雾化管（57）底部固定设置有多个雾化喷头（58），所述导流管（51）的底部设置有活塞组件（52）并与活塞组件（52）的输出端相连通，所述活塞组件（52）的输入端连接有用于与处理室（22）相连通的连接管（55），所述活塞组件（52）内部活动连接有活塞柱（53），所述活塞柱（53）底部一侧固定连接柱（54）；所述降温机构（6）包括固定设于降温室（24）内部的两个呈涡状线构型的换热盘管（61），且两个换热盘管（61）之间设置有一定间距，所述处理塔（2）的外侧对应降温室（24）的位置处分别设置有第一集流筒（62）和第二集流筒（64），两个所述换热盘管（61）的输入端和输出端分别与第一集流筒（62）和第二集流筒（64）相连通，所述第二集流筒（64）的底部连接有升流管（65），所述升流管（65）的底端向下弯曲延伸至处理塔（2）的底部；所述驱动轴（3）顶部延伸至雾化机构（5）的底部并与雾化机构（5）连接，所述驱动轴（3）的底部安装有驱动机构（7）和升流组件（67）。

2.根据权利要求1所述的一种用于电子级三氟甲烷生产的尾气吸收装置，其特征在于：所述分流机构（4）包括多个等距均匀固定连接在驱动轴（3）上的分流板（41），由相邻的两个分流板（41）和底座（1）在底座（1）的内部形成多个分流通道（42）。

3.根据权利要求1所述的一种用于电子级三氟甲烷生产的尾气吸收装置，其特征在于：所述导流管（51）和连接管（55）与活塞组件（52）的连接处均设置有单向阀。

4.根据权利要求1所述的一种用于电子级三氟甲烷生产的尾气吸收装置，其特征在于：所述驱动机构（7）包括驱动电机（71），所述驱动电机（71）输出端固定连接有往复丝杆（72），所述往复丝杆（72）外侧活动套设有轴承座（73），所述轴承座（73）通过滚珠螺母副与往复丝杆（72）连接，所述轴承座（73）一侧与连接柱（54）固定连接，所述往复丝杆（72）的顶部固定连接有第一锥齿轮（74）。

5.根据权利要求1所述的一种用于电子级三氟甲烷生产的尾气吸收装置，其特征在于：所述驱动轴（3）的底部贯穿底座（1）并延伸至底座（1）的底部，所述驱动轴（3）的底部固定连接有第二锥齿轮（75），所述第二锥齿轮（75）与第一锥齿轮（74）啮合连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于电子级三氟甲烷生产的尾气吸收装置，其特征在于：所述升流组件（67）包括转动连接在处理塔（2）底部的传动轴（671），所述传动轴（671）底部与第一锥齿轮（74）固定连接，所述传动轴（671）外侧等距均匀的固定连接有多个挤压板（672），所述处理塔（2）的底部对应挤压板（672）的位置处固定连接有两个受压板（673）。

7.根据权利要求1所述的一种用于电子级三氟甲烷生产的尾气吸收装置，其特征在于：所述处理塔（2）的底部靠近升流组件（67）的位置处固定设置软管（66），所述软管（66）一端与升流管（65）相连接，所述软管（66）围绕设置在多个挤压板（672）上且软管（66）的两侧分别与挤压板（672）和受压板（673）抵接，所述软管（66）的另一端向上弯曲并贯穿处理塔（2）延伸至处理室（22）的内部。

8.根据权利要求1所述的一种用于电子级三氟甲烷生产的尾气吸收装置，其特征在于：所述处理塔（2）的外侧固定连接有循环箱（27），所述循环箱（27）一侧与处理室（22）相通设置，所述循环箱（27）的另一侧固定设置有换液管（28），所述第一集流筒（62）的底部连接回流管（63）且回流管（63）底部弯曲延伸至循环箱（27）的上方并与循环箱（27）相连通。

9.根据权利要求1所述的一种用于电子级三氟甲烷生产的尾气吸收装置，其特征在于：所述处理塔（2）的顶部固定设置有出气管（26），所述处理塔（2）上对应处理室（22）的位置处固定设置有进气管（25）。

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