CN211886758U - 一种三氟甲烷的纯化装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种三氟甲烷的纯化装置，属于三氟甲烷纯化领域，包括装置本体，装置本体包括排液管、进液管、反应罐、储液罐、进气管以及排气管，反应罐与排液管、进液管、进气管以及排气管连通连接；进液管以及排液管与储液罐连通，进液管位于反应罐的上方，进液管的一部分伸入反应罐，且配置有雾化喷头，进气管位于反应罐的底部，且进气管伸入反应罐的一部分配置有蘑菇喷气装置；三氟甲烷从进气管通过蘑菇喷气装置排出形成若干个气泡，在反应罐的反应液体中反应后离开反应液体，由于进液管的雾化喷头的设置，使得离开液体的三氟甲烷在雾化的反应液体中进行二次充分反应，随即从排气管中排出收集即可，使得三氟甲烷的纯化反应可以充分反应。
Description
技术领域
本实用新型涉八氟环丁烷制备领域，尤其涉及一种三氟甲烷的纯化装置。
背景技术
在现今社会，超大规模集成电路、平板显示器、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业蓬勃发展，而被广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散、清洗等工艺的电子气体是上述工业不可缺少的原料。随着电子消费品的升级换代，产品制造尺寸越来越大，产品合格率和缺陷控制越来越严格，整个电子工业对电子气体气体纯度的要求也越来越高。
高纯度三氟甲烷也是重要的电子材料电子材料刻蚀和清洗剂。但用作电子刻蚀剂和清洗剂对三氟甲烷纯度要求很高，需要加大提纯、回收技术的研发力度。氮化镓(GaN)是一种广泛应用于制造蓝光、紫光和白光二极管、紫外线监测器和高功率微波晶体管的材料。
鉴于三氟甲烷生产过程的特点，会产生一些酸性气体如氟化氢、氯化氢等，可用清水、碱性或者还原性溶液吸收去除，现有纯化技术中，采用分子筛吸附工艺气体中的水份及二氧化碳，由于吸附过程中分子筛对工艺气体也有吸附作用，并且过程中伴随着大量的热量，因此，纯化效率较低，工艺气体损失较多。
目前纯化装置中效率低不能同时吸收二氧化碳和水分，所以设计一款能同时吸收三氟甲烷中的二氧化碳以及水分，且使得纯化的反应充分，且可以使得纯化效率提高的纯化装置是关键。
实用新型内容
为了克服现有技术的缺陷，本实用新型所要解决的技术问题在于提出一种三氟甲烷的纯化装置。
为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
本实用新型提供的一种三氟甲烷的纯化装置，包括装置本体，所述装置本体包括排液管、进液管、反应罐、储液罐、进气管以及排气管，所述反应罐与所述排液管、所述进液管、所述进气管以及所述排气管连通连接；所述进液管以及所述排液管与所述储液罐连通，且所述储液罐内储存反应液体；所述反应罐的三分之一至二分之一的空间内装有反应液体；所述进液管位于所述反应罐的上方，所述进液管的一部分伸入所述反应罐，且配置有雾化喷头，所述雾化喷头位于所述反应罐的内部上方；所述进气管位于所述反应罐的底部，且所述进气管伸入所述反应罐的一部分配置有蘑菇喷气装置；三氟甲烷从所述进气管通过所述蘑菇喷气装置排出形成若干个气泡，在所述反应罐的反应液体中反应后离开反应液体，由于所述进液管的所述雾化喷头的设置，使得离开液体的三氟甲烷在雾化的反应液体中进行二次充分反应，随即从所述排气管中排出收集即可，使得三氟甲烷的纯化反应可以充分反应。
本实用新型优选地技术方案在于，所述蘑菇喷气装置上开设有若干个通气通孔，使得进入所述反应罐的三氟甲烷形成气泡，防止所述反应罐内压力过大，且可以防止三氟甲烷反应不充分。
本实用新型优选地技术方案在于，所述反应液体为碱性溶液，使得二氧化碳以及水分都能被吸收。
本实用新型优选地技术方案在于，所述进液管上有若干个分管伸入所述反应罐内，且每个所述分管上都配置有所述雾化喷头，多个所述雾化喷头的设置，使得从所述反应液体排出的三氟甲烷能再次反应，达到纯化的效果。
本实用新型优选地技术方案在于，所述蘑菇喷气装置完全淹没在所述反应罐的所述反应液体内，防止与所述反应液体的第一次反应不充分。
本实用新型优选地技术方案在于，所述排气管的上配置有亲水过滤网，防止多余的水分与三氟甲烷一同排出被收集。
本实用新型的有益效果为：
本实用新型提供的一种三氟甲烷的纯化装置，三氟甲烷从所述进气管通过所述蘑菇喷气装置排出形成若干个气泡，在所述反应罐的反应液体中反应后离开反应液体，由于所述进液管的所述雾化喷头的设置，使得离开液体的三氟甲烷在雾化的反应液体中进行二次充分反应，随即从所述排气管中排出收集即可，使得三氟甲烷的纯化反应可以充分反应。
附图说明
图1是本实用新型具体实施方式中提供的三氟甲烷的纯化装置的整体示意图；
图2是本实用新型具体实施方式中提供的三氟甲烷的纯化装置的部分剖面示意图；
图中：
1、排液管；2、进液管；3、反应罐；4、储液罐；5、进气管；6、排气管；7、反应液体；8、雾化喷头；9、蘑菇喷气装置；91、通气通孔；21、分管。
具体实施方式
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
如图1以及图2所示，本实用新型提供的一种三氟甲烷的纯化装置，包括装置本体，装置本体包括排液管1、进液管2、反应罐3、储液罐4、进气管5以及排气管6，反应罐3与排液管1、进液管2、进气管5以及排气管6连通连接；进液管2以及排液管1与储液罐4连通，且储液罐4内储存反应液体7；反应罐3的三分之一至二分之一的空间内装有反应液体7；进液管2位于反应罐3的上方，进液管2的一部分伸入反应罐3，且配置有雾化喷头8，雾化喷头8位于反应罐3的内部上方；进气管5位于反应罐3的底部，且进气管5伸入反应罐3的一部分配置有蘑菇喷气装置9；三氟甲烷从进气管5通过蘑菇喷气装置9排出形成若干个气泡，在反应罐3的反应液体7中反应后离开反应液体7，由于进液管2的雾化喷头8的设置，使得离开液体的三氟甲烷在雾化的反应液体7中进行二次充分反应，随即从排气管6中排出收集即可，使得三氟甲烷的纯化反应可以充分反应。
优选地，蘑菇喷气装置9上开设有若干个通气通孔91，使得进入反应罐3的三氟甲烷形成气泡，防止反应罐3内压力过大，且可以防止三氟甲烷反应不充分。
优选地，反应液体7为碱性溶液，使得二氧化碳以及水分都能被吸收。
优选地，进液管2上有若干个分管21伸入反应罐3内，且每个分管21上都配置有雾化喷头8，多个雾化喷头8的设置，使得从反应液体7排出的三氟甲烷能再次反应，达到纯化的效果。
优选地，蘑菇喷气装置9完全淹没在反应罐3的反应液体7内，防止与反应液体7的第一次反应不充分。
优选地，排气管6的上配置有亲水过滤网，防止多余的水分与三氟甲烷一同排出被收集。
使用本装置时，将三氟甲烷从进气管5通过蘑菇喷气装置9进入到反应罐3中，由于蘑菇喷气装置9上设置有若干个通气通孔91，所以使得通气进入的三氟甲烷形成若干个气泡，由于蘑菇喷气装置9浸没在反应液体7中，所以形成气泡的三氟甲烷在反应液体7中进行了第一次纯化反应，然后三氟甲烷从反应罐3的反应液体7中反应后离开反应液体7，由于进液管2的雾化喷头8的设置，使得大量的反应液体7喷射而出，从而在反应罐3剩下空间里的三氟甲烷在雾化的反应液体7中进行二次充分反应，随即从排气管6中排出收集反应充分的三氟甲烷，由于排气管6处设置有亲水过滤网，使得残留的水分不会随着三氟甲烷一起被收集，使得三氟甲烷的纯化效率高且充分。
本实用新型是通过优选实施例进行描述的，本领域技术人员知悉，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，可以对这些特征和实施例进行各种改变或等效替换。本实用新型不受此处所公开的具体实施例的限制，其他落入本申请的权利要求内的实施例都属于本实用新型保护的范围。
Claims (6)
1.一种三氟甲烷的纯化装置，包括装置本体，其特征在于：
所述装置本体包括排液管(1)、进液管(2)、反应罐(3)、储液罐(4)、进气管(5)以及排气管(6)，所述反应罐(3)与所述排液管(1)、所述进液管(2)、所述进气管(5)以及所述排气管(6)连通连接；
所述进液管(2)以及所述排液管(1)与所述储液罐(4)连通，且所述储液罐(4)内储存反应液体(7)；
所述反应罐(3)的三分之一至二分之一的空间内装有反应液体(7)；
所述进液管(2)位于所述反应罐(3)的上方，所述进液管(2)的一部分伸入所述反应罐(3)，且配置有雾化喷头(8)，所述雾化喷头(8)位于所述反应罐(3)的内部上方；
所述进气管(5)位于所述反应罐(3)的底部，且所述进气管(5)伸入所述反应罐(3)的一部分配置有蘑菇喷气装置(9)；
三氟甲烷从所述进气管(5)通过所述蘑菇喷气装置(9)排出形成若干个气泡，在所述反应罐(3)的反应液体(7)中反应后离开反应液体(7)，由于所述进液管(2)的所述雾化喷头(8)的设置，使得离开液体的三氟甲烷在雾化的反应液体(7)中进行二次充分反应，随即从所述排气管(6)中排出收集即可。
2.根据权利要求1所述的三氟甲烷的纯化装置，其特征在于：
所述蘑菇喷气装置(9)上开设有若干个通气通孔(91)。
3.根据权利要求1所述的三氟甲烷的纯化装置，其特征在于：
所述反应液体(7)可为碱性溶液。
4.根据权利要求1所述的三氟甲烷的纯化装置，其特征在于：
所述进液管(2)上有若干个分管(21)伸入所述反应罐(3)内，且每个所述分管(21)上都配置有所述雾化喷头(8)。
5.根据权利要求1所述的三氟甲烷的纯化装置，其特征在于：
所述蘑菇喷气装置(9)完全淹没在所述反应罐(3)的所述反应液体(7)内。
6.根据权利要求1所述的三氟甲烷的纯化装置，其特征在于：
所述排气管(6)的上配置有亲水过滤网。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202020378384.1U CN211886758U (zh) | 2020-03-23 | 2020-03-23 | 一种三氟甲烷的纯化装置 |
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| CN202020378384.1U CN211886758U (zh) | 2020-03-23 | 2020-03-23 | 一种三氟甲烷的纯化装置 |
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| CN202020378384.1U Active CN211886758U (zh) | 2020-03-23 | 2020-03-23 | 一种三氟甲烷的纯化装置 |
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| CN (1) | CN211886758U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112920012A (zh) * | 2021-01-29 | 2021-06-08 | 福建德尔科技有限公司 | 一种电子级chf3的新型制备方法 |
| CN113663635A (zh) * | 2021-09-10 | 2021-11-19 | 中国石油大学(华东) | 一种强化碳化反应传质速率的气液传质设备 |
| WO2023206915A1 (zh) * | 2022-04-30 | 2023-11-02 | 福建德尔科技股份有限公司 | 一种用于电子级三氟甲烷生产的尾气吸收装置 |
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- 2020-03-23 CN CN202020378384.1U patent/CN211886758U/zh active Active
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| WO2023206915A1 (zh) * | 2022-04-30 | 2023-11-02 | 福建德尔科技股份有限公司 | 一种用于电子级三氟甲烷生产的尾气吸收装置 |
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