CN114736505A - 一种发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒及晶圆包装盒 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒及晶圆包装盒，涉及材料技术领域；所述发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒由复合珠粒通过物理发泡得到；所述复合珠粒由芯层，以及包覆于所述芯层外侧的表皮层组成。本发明提供的聚苯醚聚丙烯复合珠粒，具有表皮层包覆芯层的复合结构，通过芯层与表皮层相配合，使得该发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒兼具刚性与缓冲性能，并具有永久抗静电性能，从而使得该聚苯醚聚丙烯复合珠粒可同时满足晶圆包装盒各结构的性能需求，有助于实现晶圆包装盒的一体化设计，使得包装所需要的耗材较少，且包装步骤简单，有利于实现自动化包装方案。

Description

一种发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒及晶圆包装盒

技术领域

本发明涉及材料技术领域，尤其涉及一种发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒及晶圆包装盒。

背景技术

全透明晶圆包装盒(FOSB)用于承载晶圆，并将晶圆运输至下游的晶圆厂/芯片厂；晶圆包装盒需要能够保护、运送、并储存晶圆，并防止晶圆碰撞、摩擦；在对晶圆运输传载及储存时，需要提供安全防护，气密度佳，能预防微粒物质的产生。

由于晶圆运输所需要的环境条件较为苛刻，现有的材料难以同时实现上述功能，因此，FOSB盒体现有的包装方案均较为复杂，一般需要在FOSB盒体外部套一个防静电透明袋，再采用一对具有一定结构设计的顶、底结构来作为FOSB的缓冲吸能包装，最后在外层套一个纸箱进行封装；由于各个结构部分需要采用不同的材质，难以实现晶圆包装盒的一体化设计。

基于此，随着半导体行业的不断壮大，亟需提供一种适用于晶圆包装盒的材料，来实现FOSB包装一体化。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：为了解决现有技术中难以实现晶圆包装盒一体化设计的问题，本发明提供一种发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒及晶圆包装盒，基于该聚苯醚聚丙烯复合珠粒优异的综合性能，使得该聚苯醚聚丙烯复合珠粒用作晶圆包装盒的材质时，可以实现FOSB包装一体化，解决了现有技术中难以实现晶圆包装盒一体化设计的问题。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒，所述发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒由复合珠粒通过物理发泡得到；所述复合珠粒由芯层，以及包覆于所述芯层外侧的表皮层组成；

其中，按照重量份数计，所述芯层包括如下组分：

所述表皮层为聚丙烯。

可选地，所述成核助剂选自滑石粉与硼酸锌中的至少一种。

可选地，所述阻燃剂为磷酸酯类液体无卤阻燃剂。

可选地，所述增韧剂为热塑性弹性体类增韧剂。

可选地，所述润滑剂为芥酸酰胺。

可选地，所述抗静电剂为非离子型抗静电剂。

可选地，所述芯层还包括色母。

可选地，所述聚丙烯的熔点范围为140℃-150℃。

可选地，所述表皮层的厚度为12-19μm。

本发明的另一目的在于提供一种晶圆包装盒，采用如上所述的发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒通过蒸汽模塑成型制备；所述晶圆包装盒包括上盖与底托；所述上盖与所述底托可拆卸连接；所述上盖以及所述底托内均设置有限位结构。

本发明的有益效果是：本发明提供的聚苯醚聚丙烯复合珠粒，具有表皮层包覆芯层的复合结构，通过芯层与表皮层相配合，使得该发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒兼具刚性与缓冲性能，并具有永久抗静电性能，从而使得该聚苯醚聚丙烯复合珠粒可同时满足晶圆包装盒各结构的性能需求，有助于实现晶圆包装盒的一体化设计，使得包装所需要的耗材较少，且包装步骤简单，有利于实现自动化包装方案。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明中晶圆包装盒的结构简图；

图2是本发明中上盖的结构简图一；

图3是本发明中上盖的结构简图二；

图4是本发明中底托的结构简图一；

图5是本发明中底托的结构简图二。

图中：1-上盖；11-第一限位结构；2-底托；21-第二限位结构；22-手提结构；3-锁扣。

具体实施方式

现在对本发明作进一步详细的说明。下面描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制，基于本发明的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

现有的晶圆包装盒包装方案设计较为严谨，但此类包装方式所需要的耗材极多(包括防静电透明袋、缓冲吸能包装、纸箱、胶带等)，且包装步骤极为繁琐，较难实现自动化包装方案。

为解决现有技术中难以实现晶圆包装盒一体化设计的问题，本发明提供一种发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒，该发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒由复合珠粒通过物理发泡得到；该复合珠粒包括芯层，以及包覆于芯层外侧的表皮层；其中，按照重量份数计，芯层包括如下组分：

表皮层为聚丙烯。

本发明中的芯层为聚苯醚与聚苯乙烯的共混材料，用于赋予材料刚性，并保证材料尺寸的稳定性；表皮层的材质为聚丙烯，将其设置于复合珠粒的外侧，以赋予材料优异的减震缓冲性能以及抗静电性能。

本发明中的发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒的制备过程如下：首先以芯层以及表皮层的组分为原料，通过共挤复合造粒来制备表皮层包覆芯层的复合珠粒；再将该复合珠粒注入发泡釜中，通入二氧化碳进行升温升压，然后泄压发泡，得到发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒。

具体的，本发明中共挤复合造粒的工艺为：

芯层加工螺杆温度：40/165/265/270/275/275/275/275/270/270/270/270，熔体压力：2.1-2.3；

表皮层加工螺杆温度：160/165/185/220/225/225/225/225/220/220/220/220，熔体压力：2.0-2.2；

复合珠粒的重量为1.0-2.2mg。

发泡过程中，升温升压至温度为160-165℃，压力为0.5-0.55MPa。

该发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒可通过蒸汽模塑成型工艺来制备晶圆包装盒，以使得制备的晶圆包装盒具有优异的综合性能，从而能够满足晶圆包装的多种性能需求，进而实现晶圆包装盒的一体化设计。

本发明提供的聚苯醚聚丙烯复合珠粒，具有表皮层包覆芯层的复合结构，通过芯层与表皮层相配合，使得该发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒兼具刚性与缓冲性能，并具有永久抗静电性能，从而使得该聚苯醚聚丙烯复合珠粒可同时满足晶圆包装盒各结构的性能需求，有助于实现晶圆包装盒的一体化设计，使得包装所需要的耗材较少，且包装步骤简单，有利于实现自动化包装方案。

本申请优选芯层与表皮层的熔融指数均为4-7g/10min，以便于提高表皮层与芯层的相容性。

为使得发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒的性能满足晶圆包装盒的需求，本申请优选成核助剂选自滑石粉与硼酸锌中的至少一种；阻燃剂为磷酸酯类液体无卤阻燃剂，并优选阻燃剂为BDP；由于聚苯醚自身熔体黏度较大，加工较困难，因此，基于聚苯乙烯刚性较强，且与聚苯醚具有较好的相容性的特点，本申请采用聚苯乙烯来对聚苯醚进行改性，以使与聚苯醚复合后，不会过多的损失聚苯醚的机械性能；但是，由于聚苯乙烯的加入，使得聚苯醚原有的离火自熄阻燃功能发生衰减，所以需要添加阻燃剂来对阻燃性能进行提高；为避免卤素阻燃剂在燃烧时产生大量烟雾，以及释放有毒、腐蚀性气体，本发明优选阻燃剂为无卤阻燃剂，并进一步优选阻燃剂为磷酸酯类液体无卤阻燃剂，一方面通过选用液体阻燃剂有利于阻燃剂在体系中均匀分散，另一方面磷酸酯类阻燃剂除了阻燃效果外，还具有一定的增塑作用，因此，本发明通过选用磷酸酯类液体无卤阻燃剂在提升材料阻燃性能的基础上，还便于对材料进行改性加工。

本发明优选增韧剂为热塑性弹性体类增韧剂，并优选增韧剂为SEBS；热塑性弹性体是一类常温下显示橡胶弹性，高温下又能塑化成型的高分子材料；热塑性弹性体高分子链的结构特点是它们同时串成或接枝某些化学组成不同的树脂段(硬段)和橡胶段(弹性软段)，其中硬段形成物理“交联点”，软段则是自由旋转能力较大的高弹性链段。硬段在常温下起着约束大分子成分和补强作用，且具有可逆性，即在高温下约束力丧失，呈塑性，温度降至常温时，“交联”又恢复，其类似硫化橡胶交联点的作用，同时还产生补强作用；因此，选用此类增韧剂，一方面嵌段共聚物中分子链不同区域的结构与体系内组分相近，可起到一定的改善相容性作用；另一方面，体系内聚苯乙烯与聚苯醚均为高刚性材质，韧性较差，而采用热塑性弹性体，既能提高材料刚性，又能确保不损失机械性能，从而提高力学综合性能。

本发明优选润滑剂为芥酸酰胺；芥酸酰胺可以使聚丙烯分子链之间的动、静摩擦系数降低50％以下；而本发明中皮层为聚丙烯，芯层为PPO/PS复合材料，通过加入芥酸酰胺能够减少皮层与芯层在加工过程中的摩擦系数，改善可加工性能。

本发明优选抗静电剂为非离子型抗静电剂。非离子型抗静电剂分子本身不带电荷，而且极性很小；通常非离子型抗静电剂具有一个较长的亲油基，与树脂有良好的相容性；同时非离子型抗静电剂毒性低,具有良好的加工性和热稳定性，本发明通过选用非离子型抗静电剂，在提高材料抗静电性能的基础上，还有助于提高材料的力学性能。

本申请中的芯层还可包括色母，色母的具体颜色以及添加量可根据需求而定。

为使得表皮层能够很好的对芯层进行包覆，本申请优选聚丙烯的熔点范围为140℃-150℃，以使表皮层具有较低的熔点，易熔结，从而可以牢固的对芯层进行包覆。

本申请进一步优选表皮层的厚度为12-19μm；表皮层与芯层的质量比范围根据芯层的具体厚度而定。

本发明的另一目的在于提供一种晶圆包装盒，该晶圆包装盒采用如上所述的发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒通过蒸汽模塑成型制备；参见图1所示，该晶圆包装盒包括上盖1与底托2；上盖1与底托2可拆卸连接；上盖1以及底托2内均设置有限位结构。

其中上盖1以及底托2的具体结构以及尺寸均可根据晶圆的需求而定；本发明优选底托2的高度为晶圆包装盒整体高度的1/4-1/2；本发明提供的晶圆包装盒可通过如下方法制备：将本发明制备的发泡聚苯醚聚苯烯复合珠粒通过管道输送至成型模具的模腔中，进行蒸汽模塑成型；将成型后的制件进行烘干、定型，即可得到晶圆包装盒。

需要指出的是，为便于成型，制备过程中，可分别对上盖1以及底托2进行成型，再将上盖1与底托2进行组装即可。

本发明提供的晶圆包装盒，通过采用发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒，使得该晶圆包装盒采用一种材质即可满足需求，从而有助于实现晶圆包装盒的一体化设计，同时有助于减少包装所需要的耗材，简化包装步骤，易于实现自动化包装方案。

上盖1以及底托2内均设置有限位结构，以便于通过限位结构来对晶圆进行限位；具体的，参见图2、图3所示，上盖1内设置有若干第一限位结构11来对FOSB包装进行限位；参见图4、图5所示，底托2内设置有第二限位结构21，以确保FOSB在箱体内不会出现偏移或晃动；第一限位结构11以及第二限位结构21均可以为凸起结构等常见的限位形式，本发明不对第一限位结构11以及第二限位结构21的形式进行限定。

为保证晶圆包装盒的防尘性能，本发明优选上盖1与底托2通过锁扣3相连，该锁扣3可以为任意适于对上盖1与底托2进行连接结构形式；本发明优选该锁扣3的数量为四个，且锁扣3处可设置打开次数检测、温度检测、湿度检测、GPS监测、标签集成等功能，在此不做限定；为便于操作，本发明优选在底托2的左右两侧设置有手提结构22；箱体表面还可设置产品标识、产地标识、标签标识等。

本发明优选晶圆包装盒箱体(包括四周与顶底面)的壁厚控制在10-30mm，材料倍率选用8-30P(密度为30-110g/L)，箱体具备防静电、V-0级阻燃等功能。

本发明提供的晶圆包装盒，通过锁扣3将上盖1与底托2相连，使得该晶圆包装盒可取消纸质外包装、封装胶带等耗材的使用，践行可持续发展理念，同时，极大地简化了包装步骤，便于自动化包装工艺的实现。

该晶圆包装盒通过以发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒为材质，使得该晶圆包装盒具有优异的缓冲性能，较传统的缓冲材料，如纸、EPS、珍珠棉等包裹方案，减震缓冲性能更佳；具有高刚性与尺寸稳定性，可确保限位包装后的FOSB在受外力作用后不会发生严重变形；由于该晶圆包装盒兼具刚性与缓冲保护性，使得该晶圆包装盒回收使用次数≥200次，回收使用次数大大增加；发泡聚苯醚聚丙烯发泡珠粒为食品级环保材质，无毒无味，无有机物析出，且具有永久抗静电性能，防尘性能极其优异，适用于生产环境较为严苛的洁净车间；可设置独特的电子标签集成，极大地减少对传统标签的过度使用；该材质不吸水、耐酸碱、韧性好，耐候性佳，非人为破坏情况下持久耐用；由于材质中含有聚苯醚，其熔融温度与软化温度均高于现有的EPP、EPS或珍珠棉等材质，使得该晶圆包装盒具有高耐温性。

此外，一方面回收使用次数的增加，另一方面，传统包装需要多种材质进行组合使用以达到包装效果，本发明通过采用单一材质进行包装设计，便于供应链管控，降低供应链管控成本；同时，该包装方案整体尺寸较传统方案更小，可增加集装箱装柜量，降低物流成本；基于该晶圆包装盒的生产方法，该晶圆包装盒具有定制性强的优点，可根据实际使用工况与包装要求，进行包装方案的调整，蒸汽模塑成型，以便于匹配不同产线的设计，便于实现自动化包装。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面对本发明的具体实施例做详细的说明。

实施例1

本实施例提供一种晶圆包装盒，该晶圆包装盒由发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒通过蒸汽模塑成型制备；发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒由复合珠粒通过物理发泡得到；其中复合珠粒由芯层与表皮层组成；通过共挤出复合造粒工艺制备复合珠粒，其中芯层加工螺杆温度：40/165/265/270/275/275/275/275/270/270/270/270，熔体压力：2.1-2.3；皮层加工螺杆温度：160/165/185/220/225/225/225/225/220/220/220/220，熔体压力：2.2-2.5。

按照重量份数计，芯层包括如下组分：

皮层为聚丙烯，熔点为149℃，熔融指数为4-6g/10min。

制备的复合珠粒表皮层厚度12μm，芯层直径1.5mm，重量为2.2mg。

将上述复合珠粒注入发泡釜内，通入二氧化碳进行加压，升温升压，温度升至165℃，压力升至0.55MPa，然后泄压发泡，得到发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒。

将发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒通过真空管道输送至成型模具的模腔中，在高温水蒸汽的作用下，珠粒膨胀且表皮熔结，然后通过模具表面的流动介质冷却定型、出模，进行蒸汽模塑成型，得到如图1-图5所示的晶圆包装盒。

对该晶圆包装盒进行性能测试，数据详见表1所示。

实施例2

本实施例与实施例1不同的是：

按照重量份数计，芯层包括如下组分：

对制备的晶圆包装盒进行性能测试，数据详见表1所示。

实施例3

本实施例提供一种晶圆包装盒，该晶圆包装盒由发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒通过蒸汽模塑成型制备；发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒由复合珠粒通过物理发泡得到；其中复合珠粒由芯层与表皮层组成；通过共挤出复合造粒工艺制备复合珠粒，其中芯层加工螺杆温度：40/165/265/270/275/275/275/275/270/270/270/270，熔体压力：2.1-2.3；皮层加工螺杆温度：160/165/185/220/225/225/225/225/220/220/220/220，熔体压力：2.0-2.2。

按照重量份数计，芯层包括如下组分：

皮层为聚丙烯，熔点为145℃，熔融指数为5-7g/10min。

制备的复合珠粒表皮层厚度13μm，芯层直径1.3mm，重量为1.2mg。

将上述复合珠粒注入发泡釜内，通入二氧化碳进行加压，升温升压，温度升至163℃，压力升至0.51MPa，然后泄压发泡，得到发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒。

将发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒通过真空管道输送至成型模具的模腔中，在高温水蒸汽的作用下，珠粒膨胀且表皮熔结，然后通过模具表面的流动介质冷却定型、出模，进行蒸汽模塑成型，得到如图1-图5所示的晶圆包装盒。

对该晶圆包装盒进行性能测试，数据详见表1所示。

对比例1

本对比例提供一种晶圆包装盒，该晶圆包装盒由发泡聚丙烯珠粒(EPP)通过蒸汽模塑成型制备；发泡聚丙烯珠粒由聚丙烯珠粒通过物理发泡得到；聚丙烯珠粒通过挤出造粒工艺制备，挤出工艺中加工螺杆温度：160/165/185/220/225/225/225/225/220/220/220/220，熔体压力：2.2-2.5。

聚丙烯的熔点为149℃，熔融指数为4-6g/10min。

制备的聚丙烯微粒重量为2.2mg。

将上述聚丙烯微粒注入发泡釜内，通入二氧化碳进行加压，升温升压，温度升至165℃，压力升至0.55MPa，然后泄压发泡，得到发泡聚丙烯珠粒。

将发泡聚丙烯珠粒通过真空管道输送至成型模具的模腔中，在高温水蒸汽的作用下，珠粒膨胀且表皮熔结，然后通过模具表面的流动介质冷却定型、出模，进行蒸汽模塑成型，得到晶圆包装盒。

对该晶圆包装盒进行性能测试，数据详见表1所示。

对比例2

本对比例中阻燃剂为聚磷酸铵，其余与实施例2相同。

对得到的晶圆包装盒进行性能测试，数据详见表1所示。

对比例3

本对比例中增韧剂为丙烯酸酯橡胶，其余与实施例2相同。

对得到的晶圆包装盒进行性能测试，数据详见表1所示。

对比例4

本对比例与实施例2不同的是：

按照重量份数计，芯层包括如下组分：

对得到的晶圆包装盒进行性能测试，数据详见表1所示。

性能测试：

具体测试方法如下：

材料密度：通过电子天平称重m，设计图纸测量计算体积v，计算可得出材料密度ρ＝m/v。

50％压缩强度：通过万能拉力测试机，根据《GBT1041-92-塑料压缩性能试验方法》，将100*100*50mm尺寸的泡沫样块进行压缩测试，取形变50％状态下的压缩强度，累计测试五组样块，取平均值。

满载后形变：以30kg砝码为测试压块(尺寸800*800*30mm)，放置在800*800*30mm尺寸的泡沫样块中间位置，放置24h后，测试形变尺寸。

邵氏硬度：根据《GB/T 2411-2008塑料和硬橡胶使用硬度计测定压痕硬度》，采用邵A硬度计进行测试，测试十个点，取平均值计算。

电阻率：在25±2℃、45-60Rh％条件下，将测试样块放置24h后，通过电阻率测试仪进行测试，测试十个点取平均值。

表1

性能对比	对比例1	对比例2	对比例3	对比例4	实施例1	实施例2	实施例3
								材料密度	60	25	25	25	25	25	25
50％压缩强度/kPa	533	1001	956	789	899	1020	793
								断裂伸长率/％	35	26	22	29	31	26	33
满载后形变/mm	≤1.10	≤0.02	≤0.02	≤0.08	≤0.02	≤0.02	≤0.03
								邵式硬度	85A	95A	95A	93A	95A	97A	94A
电阻率/Ω	10<sup>10-11</sup>	10<sup>9-11</sup>	10<sup>9-11</sup>	10<sup>9-11</sup>	10<sup>9-11</sup>	10<sup>9-11</sup>	10<sup>9-11</sup>
								氧指数/％	25	30	32	29	32	35	33

通过上述数据可知，通过本发明提供的发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒制备的晶圆包装盒，重量更轻；压缩强度更大，从而证明本发明提供的晶圆包装盒受外力作用后承压能力更强；满载后形变更小，从而能够避免长期满载包装后出现变形，导致无法很好的对晶圆进行限位；邵氏硬度更大，从而证明本发明提供的晶圆包装盒具有更好的耐刺穿性能；电阻率更稳定，从而能够避免灰尘进入，具有更好的防尘效果。

通过分别将对比例2以及对比例3的测试数据与实施例2相比可知，对体系中阻燃剂与增韧剂的更换，均会导致材料力学性能变差；具体的，聚磷酸铵固体阻燃剂在加工过程中无法发挥增塑剂作用，对体系的加工均匀性有一定影响，最直观的反映即为压缩强度与断裂伸长率有较多影响，从而由于阻燃剂的分散不均，阻燃性能也有略微下降；丙烯酸酯作为增韧剂时，由于无法起到相容剂的作用，对混炼均匀性的影响更大，对机械性能的损失更多，同样阻燃剂分散不均也会对阻燃性能有一定影响；将对比例4与实施例2的数据相比可知，在其他条件不变的情况下，将聚苯乙烯更换为聚丙烯后，材料的邵氏硬度以及压缩强度均明显降低，同时，满载后形变过大，导致包装的保护性能会有所损失，使得制备的晶圆包装盒难以同时满足晶圆包装盒各结构的性能需求，不能实现一体化设计；从而证明，通过本发明芯层中各组分的协同作用，使得制备的晶圆包装盒具有优异的综合性能，可同时满足晶圆包装盒各结构的性能需求，有助于实现晶圆包装盒的一体化设计。

以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (10)

1.一种发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒，其特征在于，所述发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒由复合珠粒通过物理发泡得到；所述复合珠粒由芯层，以及包覆于所述芯层外侧的表皮层组成；

其中，按照重量份数计，所述芯层包括如下组分：

所述表皮层为聚丙烯。

2.如权利要求1所述的发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒，其特征在于，所述成核助剂选自滑石粉与硼酸锌中的至少一种。

3.如权利要求1所述的发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒，其特征在于，所述阻燃剂为磷酸酯类液体无卤阻燃剂。

4.如权利要求1所述的发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒，其特征在于，所述增韧剂为热塑性弹性体类增韧剂。

5.如权利要求1所述的发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒，其特征在于，所述润滑剂为芥酸酰胺。

6.如权利要求1所述的发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒，其特征在于，所述抗静电剂为非离子型抗静电剂。

7.如权利要求1所述的发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒，其特征在于，所述芯层还包括色母。

8.如权利要求1-7任一项所述的发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒，其特征在于，所述聚丙烯的熔点范围为140℃-150℃。

9.如权利要求7所述的发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒，其特征在于，所述表皮层的厚度为12-19μm。

10.一种晶圆包装盒，其特征在于，采用如权利要求1-9任一项所述的发泡聚苯醚聚丙烯复合珠粒通过蒸汽模塑成型制备；所述晶圆包装盒包括上盖(1)与底托(2)；所述上盖(1)与所述底托(2)可拆卸连接；所述上盖(1)以及所述底托(2)内均设置有限位结构。

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