CN114639622A - 一种水车 - Google Patents

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方瑞鸿
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Abstract

本发明提供一种水车，包括：车架、升降机构、顶部为开口的清洗盒以及顶部为开口的承托盒；其中，所述清洗盒放置在所述车架上，所述清洗盒用于容纳清洗液；所述承托盒通过所述升降机构与所述车架连接，所述承托盒用于放置待清洗物；本发明提供的水车能够有效的避免操作人员与清洗液直接接触导致清洗液受到污染，从而保障了待清洗物的产品良率。

Description

一种水车
技术领域
本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种水车。
背景技术
在晶圆集成电路制造过程中，当晶圆进行最终抛光后且在投入预清洗之前，需要在运输装置中等待下片，由于在传送过程中人为的处理，难免会触碰水车中的清洗液，从而将各种颗粒、脏污带入水车中，再加上抛光时使用的浆料，同样容易导致水车中清洗液的污染。同时抛光后残留的浆料会对硅片表面产生蚀刻，从而产生不必要的颗粒污染。而水车的蓄水量较大，又因为成本原因，清洗液的更换周期较长。因此液体污染后，对晶圆表面的颗粒影响较大。在现有技术中，水车无法有效的避免液体污染问题，抛光后的抛光液结晶和作业过程中的污染在水车中堆积，进而在晶圆表面产生颗粒。
因此，如何提供一种水车，以克服现有技术中存在的上述缺陷，日益成为本领域技术人员亟待解决的技术问题之一。
发明内容
本发明的目的在于提供一种水车，以解决现有技术存在的抛光后的抛光液结晶和作业过程中的污染在水车中堆积，进而在晶圆表面产生颗粒影响产品良率的问题。
为了达到上述目的，本发明提供了一种水车，包括：车架、升降机构、顶部为开口的清洗盒以及顶部为开口的承托盒；
其中，所述清洗盒放置在所述车架上，所述清洗盒用于容纳清洗液；
所述承托盒通过所述升降机构与所述车架连接，所述承托盒用于放置待清洗物。
可选的，所述承托盒设有数个进出液孔。
可选的，所述升降机构被配置为：带动所述承托盒下降以使得所述清洗液通过所述进出液孔进入所述承托盒直至所述清洗液淹没所述待清洗物，以及带动所述承托盒上升直至所述承托盒内的所述待清洗物露出所述清洗液面。
可选的，所述承托盒的底部还设有一清洁孔和与所述清洁孔可拆卸连接的可拆卸底板。
可选的，所述可拆卸底板上设有数个所述进出液孔。
可选的，所述承托盒还设有警戒水位标识。
可选的，所述承托盒下降至最低点时，所述承托盒的底部与所述清洗盒的底部之间具有预设距离。
可选的，还包括电池箱，所述电池箱用于为所述升降机构提供电能。
可选的，所述车架包括第一结构架、第二结构架和一单边开门，其中，所述第一结构架位于所述第二结构架上方，所述清洗盒放置在所述第一结构架上；所述单边开门设置在所述第二结构架的一侧，所述电池箱放置在所述第二结构架上。
可选的，还包括设置在所述车架上的升降开关，所述升降开关与所述升降机构连接，所述升降开关用于启停所述升降机构。
与现有技术相比，本发明提供的一种水车具有以下有益效果：
本发明提供的一种水车，包括：车架、升降机构、顶部为开口的清洗盒以及顶部为开口的承托盒；其中，所述清洗盒放置在所述车架上，所述清洗盒用于容纳清洗液；所述承托盒通过所述升降机构与所述车架连接，所述承托盒用于放置待清洗物。本发明提供的水车通过设置用于容纳清洗液的所述清洗盒和用于放置待清洗物的承托盒，同时将所述承托盒与所述升降机构连接，当所述待清洗物为抛光后的晶圆时，利用所述升降机构带动所述承托盒上升，并将所述晶圆放入所述承托盒内，随着承托盒的下降，所述清洗盒内的清洗液进入所述承托盒内，使得所述晶圆沉浸在所述清洗液中，避免了所述晶圆受到空气中的污染。而当清洗完成后，再次利用所述升降机构带动所述承托盒上升，所述承托盒内的清洗液重新流入所述清洗盒内，所述承托盒内的液位下降，所述晶圆露出液面并取出。所述晶圆在抛光后的整个清洗过程中避免了操作人员与清洗液直接接触而导致清洗液受到污染的问题。从而改善了所述清洗液的洁净度，并因此减少了因所述清洗液污染而在所述晶圆上产生颗粒污染的风险。
此外，由于所述承托盒的底部还设有一清洁孔和与所述清洁孔可拆卸连接的可拆卸底板。因此本发明提供的水车在需要更换清洗液时，操作人员可以移除所述可拆卸底板，并通过所述清洁孔伸入所述清洗盒内从而对所述清洗盒进行清洁，在所述清洗盒清洁完成后再装入新的清洗液，由此保障了所述新的清洗液的洁净度。
附图说明
图1为本发明一实施例提供的水车的结构示意图；
图2为本发明一实施例提供的承托盒100的底部局部示意图；
其中，附图标识如下：
100-承托盒，101-警戒水位标识，102-进出液孔，103-可拆卸底板，104-清洁孔，200-升降开关，300-清洗盒，400-车架，401-第一结构架，402-第二结构架，403-单边开门，404-静音刹车轮，500-升降机构。
具体实施方式
下面将结合示意图对本发明的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本发明的优点和特征将更清楚。需要说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。应当了解，说明书附图并不一定按比例的显示本发明的具体结构，并且在说明书附图中用于说明本发明某些原理的图示性特征也会采取略微简化的画法。本文所公开的本发明的具体设计特征包括例如具体尺寸、方向、位置和外形将部分地由具体所要应用和使用的环境来确定。以及，在以下说明的实施方式中，有时在不同的附图之间共同使用同一附图标记来表示相同部分或具有相同功能的部分，而省略其重复说明。在本说明书中，使用相似的标号和字母表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
在适当情况下，如此使用的这些术语可替换。类似的，如果本文所述的方法包括一系列任务，且本文所呈现的这些任务的顺序并非必须是可执行这些任务的唯一顺序，且一些所述的任务可被省略和/或一些本文未描述的其他任务可被添加到该方法。
实施例一
本实施例提供了一种水车，参见附图1和附图2，其中，图1为本发明一实施例提供的水车的结构示意图；图2为本发明一实施例提供的承托盒100的底部局部示意图，结合图1-图2可以明显看出，所述水车包括：车架400、升降机构500、顶部为开口的清洗盒300以及顶部为开口的承托盒100；其中，所述清洗盒300放置在所述车架400上，所述清洗盒300用于容纳清洗液；所述承托盒100通过所述升降机构500与所述车架400连接，所述承托盒100用于放置待清洗物。
如此设置，本发明提供的水车通过设置用于容纳清洗液的所述清洗盒300和用于放置待清洗物的承托盒100，同时将所述承托盒100与所述升降机构500连接，当所述待清洗物为抛光后的晶圆时，利用所述升降机构500带动所述承托盒100上升，并将所述晶圆放入所述承托盒100内，随着承托盒100的下降，所述清洗盒300内的清洗液进入所述承托盒100内，使得所述晶圆沉浸在所述清洗液中，避免了所述晶圆受到空气中的污染。而当清洗完成后，再次利用所述升降机构500带动所述承托盒100上升，所述承托盒100内的清洗液重新流入所述清洗盒300内，所述承托盒100内的液位下降，所述晶圆露出液面并取出。所述晶圆在抛光后的整个清洗过程中避免了操作人员与清洗液直接接触而导致清洗液受到污染的问题。从而改善了所述清洗液的洁净度，并因此减少了因所述清洗液污染而在所述晶圆上产生颗粒污染。
优选的，所述承托盒100设有数个进出液孔102。由此，当所述承托盒下降进入所述清洗盒内时，所述清洗盒300内的清洗液能够通过所述进出液孔102进入所述承托盒100内。
优选的，所述升降机构500被配置为：带动所述承托盒100下降以使得所述清洗液通过所述进出液孔102进入所述承托盒100直至所述清洗液淹没所述待清洗物，以及带动所述承托盒100上升直至所述承托盒100内的所述待清洗物露出所述清洗液面。由此，操作人员可以通过控制所述升降机构500从而控制所述承托盒的升降。
请继续参见图2，所述承托盒100的底部还设有一清洁孔104和与所述清洁孔可拆卸连接的可拆卸底板103。在其中一种优选实施方式中，所述可拆卸底板103的长宽比为14:8。由此，在需要更换清洗液时，操作人员可以移除所述可拆卸底板103，通过所述清洁孔104伸入所述清洗盒300内对所述清洗盒300进行清洁，在所述清洗盒300清洁完成后再装入新的清洗液，从而保障了所述新的清洗液的洁净度。
优选的，所述可拆卸底板103上设有数个所述进出液孔102。由此，避免了因所述可拆卸底板103的存在而影响所述清洗液进出所述承托盒100的流量的问题。
优选的，所述承托盒100还设有警戒水位标识101。在其中一种优选实施方式中，所述警戒水位标识101与所述承托盒100顶部的距离为5cm～11cm。如此设置，保障了所述清洗液进入所述承托盒100后，所述清洗液的液面低于所述警戒水位标识101，从而避免了放入所述晶圆后，所述清洗液从所述承托盒100的开口处溢出。
优选的，所述承托盒100下降至最低点时，所述承托盒100的底部与所述清洗盒300的底部之间具有预设距离。在其中一种优选实施方式中，所述预设距离为2cm～8cm。由于颗粒下沉，所述清洗盒300底部的所述颗粒较多，如此设置，保障了所述晶圆跟随所述承托盒100下降后，所述晶圆与所述清洗盒300底部的颗粒不直接接触，从而保障了所述晶圆的产品良率。
优选的，所述承托盒100与所述清洗盒300的材料包括：pp材料。由此，避免了使用金属材料可能带来的金属污染。
优选的，还包括电池箱(图中未标识)，所述电池箱用于为所述升降机构500提供电能。由此，保障了所述升降机构500具有足够的电能进行升降工作。在其中一种优选实施方式中，所述电池箱为36V电源，能够保障所述升降机构500在10s内将所述承托盒100提升至最高点。
优选的，所述车架400包括第一结构架401、第二结构架402和一单边开门403，其中，所述第一结构架401位于所述第二结构架402上方，所述清洗盒300放置在所述第一结构架401；所述单边开门403设置在所述第二结构架402的一侧，所述电池箱放置在所述第二结构架402。如此设置，方便操作人员通过所述单边开门403对所述电池箱进行更换。
优选的，所述车架400底部还设有静音刹车轮404。由此，方便所述水车的移动，同时所述静音刹车轮404的选择也避免了所述水车在移动过程中产生噪音污染。
优选的，还包括设置在所述车架400上的升降开关200，所述升降开关200与所述升降机构500连接，所述升降开关200用于启停所述升降机构500。如此设置，方便操作人员通过控制所述升降开关200从而控制所述升降机构500。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征液平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征液平高度小于第二特征。
综上，本发明提供的水车包括：车架400、升降机构500、顶部为开口的清洗盒300以及顶部为开口的承托盒100；其中，所述清洗盒300放置在所述车架400上，所述清洗盒300用于容纳清洗液；所述承托盒100通过所述升降机构500与所述车架400连接，所述承托盒100用于放置待清洗物。本发明提供的水车通过设置用于容纳清洗液的所述清洗盒300和用于放置所述待清洗物的承托盒100，同时将所述承托盒100与所述升降机构500连接，当待清洗物为抛光后的晶圆时，利用所述升降机构500带动所述承托盒100上升，并将所述晶圆放入所述承托盒100内，随着承托盒100的下降，所述清洗盒300内的清洗液进入所述承托盒100内，使得所述晶圆沉浸在所述清洗液中，避免了所述晶圆受到空气中的污染。而当清洗完成后，再次利用所述升降机构500带动所述承托盒100上升，所述承托盒100内的清洗液重新流入所述清洗盒300内，所述承托盒100内的液位下降，所述晶圆露出液面并取出。所述晶圆在抛光后的整个清洗过程中避免了操作人员与清洗液直接接触而导致清洗液受到污染的问题。从而改善了所述清洗液的洁净度，并因此减少了因所述清洗液污染而在所述晶圆上产生颗粒污染的风险。
此外，由于所述承托盒100的底部还设有一清洁孔104和与所述清洁孔104可拆卸连接的可拆卸底板103。因此本发明提供的水车在需要更换清洗液时，操作人员可以移除所述可拆卸底板103，并通过所述清洁孔104伸入所述清洗盒300内从而对所述清洗盒300进行清洁，在所述清洗盒300清洁完成后再装入新的清洗液，由此保障了所述新的清洗液的洁净度。
上述仅为本发明的优选实施例而已，并不对本发明起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本发明的技术方案的范围内，对本发明揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本发明的技术方案的内容，仍属于本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种水车，其特征在于，包括：车架、升降机构、顶部为开口的清洗盒以及顶部为开口的承托盒；
其中，所述清洗盒放置在所述车架上，所述清洗盒用于容纳清洗液；
所述承托盒通过所述升降机构与所述车架连接所述承托盒用于放置待清洗物。
2.如权利要求1所述的一种水车，其特征在于，所述承托盒设有数个进出液孔。
3.如权利要求2所述的一种水车，其特征在于，所述升降机构被配置为：带动所述承托盒下降以使得所述清洗液通过所述进出液孔进入所述承托盒直至所述清洗液淹没所述待清洗物，以及带动所述承托盒上升直至所述承托盒内的所述待清洗物露出所述清洗液面。
4.如权利要求3所述的一种水车，其特征在于，所述承托盒的底部还设有一清洁孔和与所述清洁孔可拆卸连接的可拆卸底板。
5.如权利要求4所述的一种水车，其特征在于，所述可拆卸底板上设有数个所述进出液孔。
6.如权利要求1所述的一种水车，其特征在于，所述承托盒还设有警戒水位标识。
7.如权利要求3所述的一种水车，其特征在于，所述承托盒下降至最低点时，所述承托盒的底部与所述清洗盒的底部之间具有预设距离。
8.如权利要求1所述的一种水车，其特征在于，还包括电池箱，所述电池箱用于为所述升降机构提供电能。
9.如权利要求8所述的一种水车，其特征在于，所述车架包括第一结构架、第二结构架和一单边开门，其中，所述第一结构架位于所述第二结构架上方，所述清洗盒放置在所述第一结构架上；所述单边开门设置在所述第二结构架的一侧，所述电池箱放置在所述第二结构架上。
10.如权利要求1所述的一种水车，其特征在于，还包括设置在所述车架上的升降开关，所述升降开关与所述升降机构连接，所述升降开关用于启停所述升降机构。
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