CN114619370B - 硅片倒角砂轮修整装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种硅片倒角砂轮修整装置，属于砂轮修整技术领域，它包括工作台和间隔设于工作台上的工件放置机构和修整机构，所述工件放置机构至少包括竖直向上延伸的放置转轴和用于驱动放置转轴自转的第一驱动件，所述放置转轴顶部形成有供砂轮套装于放置转轴上的固定部，所述放置转轴上设有位于固定部下方的对槽辅助部，所述修整机构至少包括能上下升降且能沿放置转轴的径向水平移动的移动部，所述移动部上固定有上下间隔设置的砂轮修整器和对槽检测部。本发明能够有效防止修整时砂轮修整器损坏砂轮槽槽壁上的磨粒结构，延长砂轮的使用寿命下降，同时能够保证修整的效果，从而保证砂轮后续倒角加工的质量。

Description

硅片倒角砂轮修整装置

技术领域

本发明涉及一种硅片倒角砂轮修整装置，属于砂轮修整技术领域。

背景技术

采用金刚线切割后的硅片，由于其边缘存在一定的加工压力，需要使用专用的倒角砂轮对硅片进行倒角加工。但砂轮经过长期磨削之后，砂轮槽槽壁上的磨粒结构会逐渐磨钝，磨钝后的砂轮，将影响被加工工件的表面质量和几何精度。因此，砂轮在使用一段时间之后都需要对其进行修整。

现有中国专利号为201310304935.4，专利名称为一种蜗杆砂轮磨齿机砂轮修整装置的专利，该修整装置包括第一支架、第一高速电机、粗修整金刚轮、蜗杆砂轮、蜗杆砂轮安装座、主动伺服电机、砂轮安装轴、精修整金刚轮、第二高速电机、纵向伺服电机、纵向丝杠副、第二支架、横向丝杠副、横向伺服电机、第三支架；蜗杆砂轮安装座固定在底座上，蜗杆砂轮安装在砂轮安装轴内端，砂轮安装轴套装在蜗杆砂轮安装座的带有轴承的轴承孔中，砂轮安装轴外端安装有主动伺服电机；第一支架通过纵向丝杠副安装在第二支架上，第一支架可在第二支架上纵向往复移动，第二支架通过横向丝杠副安装在底座上的第三支架上，第二支架可在第三支架上横向往复移动，其有益效果是不需更换金刚轮即可完成对蜗杆砂轮的粗修和精修。但其还存在以下缺点：修整时难以保证金刚轮的中心与砂轮槽的中心对齐，使得修整时金刚轮容易损坏砂轮槽槽壁上的磨粒结构，导致砂轮的使用寿命下降，同时使得修整的效果难以保证，容易影响砂轮后续倒角加工的质量等问题。

发明内容

本发明目的在于提供一种硅片倒角砂轮修整装置，解决了现有技术中存在的修整时容易损坏砂轮槽槽壁上的磨粒结构，导致砂轮的使用寿命下降，同时使得修整的效果难以保证，容易影响砂轮后续倒角加工的质量等问题。

本发明的上述技术目的主要是通过以下技术方案解决的：一种硅片倒角砂轮修整装置，所述砂轮周向表面沿其轴向等间距设有多个用于倒角的砂轮槽，包括工作台和间隔设于工作台上的工件放置机构和修整机构，所述工件放置机构至少包括竖直向上延伸的放置转轴和用于驱动放置转轴自转的第一驱动件，所述放置转轴顶部形成有供砂轮套装于放置转轴上以使二者同步自转的固定部，所述放置转轴上设有位于固定部下方的对槽辅助部，所述修整机构至少包括能上下升降且能沿放置转轴的径向水平移动的移动部，所述移动部上固定有上下间隔设置的砂轮修整器和对槽检测部，所述对槽检测部用于与对槽辅助部配合以使砂轮修整器上下升降时其中心横截面能够逐一与各个砂轮槽的中心横截面对齐。

本发明装置使用时，操作人员首先将砂轮安装在固定部处并使砂轮套装于放置转轴上，然后控制移动部进行升降运动以使对槽检测部运动至与对槽辅助部对应的位置，再控制移动部沿放置转轴的径向朝向靠近放置转轴的方向水平移动，直至对槽检测部运动至与对槽辅助部相互配合的位置，然后再控制移动部进行升降运动同时带动砂轮修整器同步运动，与此同时通过对槽检测部与对槽辅助部之间的配合使砂轮修整器的中心横截面逐一与各个砂轮槽的中心横截面对齐，当砂轮修整器运动至与任意一个砂轮槽对齐时，控制移动部停止运动并控制第一驱动件工作，从而通过放置转轴驱动砂轮自转，然后再控制移动部继续向靠近放置转轴的方向水平移动指定距离，从而带动砂轮修整器进入相应的砂轮槽内并与之接触进行修整操作，修整指定圈数后完成修整，由此完成对一个砂轮槽的修整，然后重复上述步骤依次进行其余砂轮槽的修整，本发明装置通过对槽检测部与对槽辅助部之间的配合能够使砂轮修整器上下升降时其中心横截面能够逐一与各个砂轮槽的中心横截面对齐，从而使得砂轮修整器能够精确对准各个砂轮槽，能够有效防止修整时砂轮修整器损坏砂轮槽槽壁上的磨粒结构，延长砂轮的使用寿命下降，同时能够保证修整的效果，从而保证砂轮后续倒角加工的质量。

作为优选，所述对槽辅助部至少包括套装于放置转轴上的定位轮，所述定位轮周向表面沿其轴向等间距设有多个与砂轮槽一一对应的定位槽，所述定位轮周向表面形成有多个分别位于每个定位槽上下两侧的检测位，所述对槽检测部至少包括用于与多个检测位接触以检测各处压力的压力传感器，所述压力传感器的检测面与定位轮圆柱表面的切面平行，所述定位槽的高度与检测面的高度一致，当所述压力传感器的中心横截面与任意一个定位槽的中心横截面对齐时砂轮修整器的中心横截面刚好与一个砂轮槽的中心横截面对齐。

上述设置使得当对槽检测部运动至与对槽辅助部相互配合的位置时，压力传感器的检测面能够与检测位的表面接触，从而能够测量出当前检测位处的压力，随着移动部的上下升降能够带动压力传感器上下升降，当压力传感器的中心横截面与任意一个定位槽的中心横截面对齐时，压力传感器测出的压力为0，从而判断出当前位置砂轮修整器的中心横截面刚好与一个砂轮槽的中心横截面对齐，由此能够实现砂轮修整器的精准对槽。

作为优选，每个所述定位槽的中心横截面与与之对应的砂轮槽的中心横截面之间的垂直距离均相等且等于压力传感器的中心横截面与砂轮修整器的中心横截面之间的垂直距离。

上述设置能够保证当压力传感器测出的压力为0时，砂轮修整器的中心横截面刚好与一个砂轮槽的中心横截面对齐，以便实现砂轮修整器的精准对槽。

作为优选，所述对槽检测部还包括固定于压力传感器与其检测面相对的另一个侧面的接近开关，所述接近开关沿水平方向延伸，所述接近开关与压力传感器中心对齐且接近开关的纵切面尺寸小于或等于压力传感器的纵切面尺寸，所述接近开关的上表面形成有矩状的感应面，所述感应面相对靠近压力传感器的一端为触发第一驱动件工作的第一感应端，所述感应面相对远离压力传感器的一端为触发砂轮修整器停止水平移动的第二感应端。

上述设置使得砂轮修整器精准对槽后继续向靠近放置转轴的方向水平移动指定距离时，压力传感器同时沿着定位槽的径向滑动，当定位槽的上表面接近感应面上的第一感应端时，接近开关能够发出指令以使第一驱动件工作从而带动砂轮自转，能够保证在砂轮修整器对砂轮槽修整之前砂轮能够先自转，以便砂轮修整器在继续水平移动的过程中能够完成修整，另外当定位槽的上表面接近感应面上的第二感应端时，接近开关能够发出指令以使砂轮修整器停止水平移动，以便保证砂轮修整器在对每个砂轮槽进行修整时均能够水平移动相同的指定距离，从而能够保证多个砂轮槽修整的一致性。

作为优选，相邻两个所述检测位中其中一个检测位的表面为圆柱面，另一个所述检测位的表面为该圆柱面朝向径向外侧延伸形成的凸弧形面，多个所述检测位的表面以圆柱面和凸弧形面的形式交错设置。

上述设置使得压力传感器的检测面与凸弧形面接触时测量得出的压力大于与圆柱面接触时测量得出的压力，从而能够根据测量得出的压力大小不同自动判断压力传感器位于定位槽的上方还是下方，进而往对应的方向调整，直至压力为0实现精准对槽，能够提高修整的效率。

作为优选，所述定位槽为内凹的环形槽，所述定位槽的径向深度大于砂轮槽的径向深度，所述定位轮的截面直径与砂轮的截面直径相等，所述压力传感器的检测面与定位轮周向表面之间的水平距离小于砂轮修整器周向边缘与定位轮周向表面之间的水平距离。

上述设置使得移动部水平移动时压力传感器上的检测面能够先与检测位的表面接触，以便保证在修整之前能够先进行精准对槽，同时能够保证在对槽之后压力传感器有足够的移动空间，以便保证砂轮修整器能够继续水平移动完成修整。

作为优选，所述固定部包括形成于放置转轴周向且外凸的环形端面，所述放置转轴顶端螺纹连接有固定螺母，当所述砂轮套装于放置转轴上时，所述砂轮的内圈与放置转轴的外圈呈滑动配合，并且所述砂轮的轴向一端与环形端面接触，所述砂轮的轴向另一端与固定螺母的下表面接触。

上述设置使得通过环形端面与固定螺母之间的配合能够将砂轮固定套装于放置转轴上，以使放置转轴转动时能够驱动砂轮同步自转，以便完成整个砂轮槽的修整，并且修整完成后能够通过旋下固定螺母将砂轮取出以及通过旋紧固定螺母将待修整的其余砂轮安装在放置转轴上，由此能够实现多个砂轮的修整，以便实现修整装置的重复使用。

作为优选，所述移动部包括水平设置且位于放置转轴横向一侧的安装板，所述安装板上固定有竖直向上延伸的安装杆，所述砂轮修整器以可拆卸的方式套装固定于安装杆顶端，所述安装杆的径向与放置转轴的径向重合，所述接近开关固定于安装板的上表面且朝向靠近放置转轴的一侧水平延伸，所述修整机构还包括用于驱动移动部上下升降的第二驱动件和用于驱动移动部沿放置转轴的径向水平移动的第三驱动件，所述安装板固定于第二驱动件的输出端，所述第二驱动件固定于第三驱动件的输出端。

上述设置使得第二驱动件工作时能够通过安装板驱动砂轮修整器和对槽检测部上下升降，另外使得第三驱动件工作时能够通过第二驱动件驱动砂轮修整器和对槽检测部沿着放置转轴的径向水平移动。

作为优选，所述安装杆上套装有位于砂轮修整器上下两侧的上垫片和下垫片，所述砂轮修整器套装于安装杆上且位于上垫片和下垫片之间，所述上垫片和下垫片分别与砂轮修整器的两个轴向端面接触，所述安装杆顶端螺纹连接有锁紧螺母，所述锁紧螺母的下表面与上垫片的上表面接触，所述上垫片的横截面尺寸小于下垫片的横截面尺寸，所述上垫片的厚度小于下垫片的厚度。

上述设置使得通过上垫片和下垫片之间的配合能够将砂轮修整器固定套装于安装杆上，并且能够在砂轮修整器磨损时对其进行维修更换，以便保证修整的效果，同时通过上垫片和下垫片能够对砂轮修整器的轴向两端进行稳定支撑，能够提高砂轮修整器的水平度，从而能够进一步保证修整的效果。

作为优选，所述放置转轴间接或直接旋转支撑于工作台上，所述放置转轴的下端延伸至工作台下方并与第一驱动件的输出端动力连接。

上述设置使得第一驱动件工作时能够驱动放置转轴转动，从而能够驱动砂轮自转，以便完成整个砂轮槽的修整。

因此，本发明通过对槽检测部与对槽辅助部之间的配合能够使砂轮修整器上下升降时其中心横截面能够逐一与各个砂轮槽的中心横截面对齐，从而使得砂轮修整器能够精确对准各个砂轮槽，能够有效防止修整时砂轮修整器损坏砂轮槽槽壁上的磨粒结构，延长砂轮的使用寿命下降，同时能够保证修整的效果，从而保证砂轮后续倒角加工的质量。

附图说明

图1是本发明的立体结构示意图；

图2是本发明中工件放置机构的立体结构示意图；

图3是本发明中固定部和对槽辅助部的立体结构示意图；

图4是本发明中移动部的立体结构示意图；

图5是本发明中对槽检测部的立体结构示意图；

图6是本发明工作状态的结构示意图。

附图中标记分述如下：1、砂轮；2、砂轮槽；3、工作台；4、工件放置机构；5、修整机构；6、放置转轴；7、第一驱动件；8、固定部；9、对槽辅助部；10、移动部；11、砂轮修整器；12、对槽检测部；13、定位轮；14、定位槽；15、检测位；16、压力传感器；17、检测面；18、接近开关；19、感应面；20、第一感应端；21、第二感应端；22、环形端面；23、固定螺母；24、安装板；25、安装杆；26、第二驱动件；27、第三驱动件；28、上垫片；29、下垫片；30、锁紧螺母。

具体实施方式

下面通过实施例，并结合附图，对本发明的技术方案作进一步具体的说明。

如图1和图3所示，本发明所述的一种硅片倒角砂轮修整装置，包括砂轮1周向表面沿其轴向等间距设有多个用于倒角的砂轮槽2，包括工作台3和间隔设于工作台3上的工件放置机构4和修整机构5，工件放置机构4至少包括竖直向上延伸的放置转轴6和用于驱动放置转轴6自转的第一驱动件7，放置转轴6间接或直接旋转支撑于工作台3上，放置转轴6的下端延伸至工作台3下方并与第一驱动件7的输出端动力连接，其中，第一驱动件7为驱动电机，该驱动电机的出轴通过齿轮传动机构与放置转轴6的下端动力连接，放置转轴6顶部形成有供砂轮1套装于放置转轴6上以使二者同步自转的固定部8，固定部8包括形成于放置转轴6周向且外凸的环形端面22，放置转轴6顶端螺纹连接有固定螺母23，当砂轮1套装于放置转轴6上时，砂轮1的内圈与放置转轴6的外圈呈滑动配合，并且砂轮1的轴向一端与环形端面22接触，砂轮1的轴向另一端与固定螺母23的下表面接触。

如图2和图3所示，放置转轴6上设有位于固定部8下方的对槽辅助部9，对槽辅助部9至少包括套装于放置转轴6上的定位轮13，定位轮13呈圆柱状且与砂轮的高度一致，定位轮13的截面直径与砂轮1的截面直径相等，定位轮13周向表面沿其轴向等间距设有多个与砂轮槽2一一对应的定位槽14，定位槽14的数量与砂轮槽2的数量一致，并且相邻两个定位槽14之间的间距与相邻两个砂轮槽2之间的间距相等，定位槽14为内凹的环形槽，定位槽14的径向深度大于砂轮槽2的径向深度，定位轮13周向表面形成有多个分别位于每个定位槽14上下两侧的检测位15，相邻两个检测位15中其中一个检测位15的表面为圆柱面，另一个检测位15的表面为该圆柱面朝向径向外侧延伸形成的凸弧形面，多个检测位15的表面以圆柱面和凸弧形面的形式交错设置。

如图1、图4和图6所示，修整机构5至少包括能上下升降且能沿放置转轴6的径向水平移动的移动部10，移动部10上固定有上下间隔设置的砂轮修整器11和对槽检测部12，砂轮修整器11呈圆盘状，砂轮修整器11的周向边缘形成有与砂轮槽2适配的刃口部，对槽检测部12用于与对槽辅助部9配合以使砂轮修整器11上下升降时其中心横截面能够逐一与各个砂轮槽2的中心横截面对齐，对槽检测部12至少包括用于与多个检测位15接触以检测各处压力的压力传感器16，压力传感器16的检测面17与检测位15的表面接触或脱离时其检测端会自动伸缩，压力传感器16的检测面17与定位轮13圆柱表面的切面平行，定位槽14的高度与检测面17的高度一致，压力传感器16的检测面17与定位轮13周向表面之间的水平距离小于砂轮修整器11周向边缘与定位轮13周向表面之间的水平距离，当压力传感器16的中心横截面与任意一个定位槽14的中心横截面对齐时砂轮修整器11的中心横截面刚好与一个砂轮槽2的中心横截面对齐，每个定位槽14的中心横截面与与之对应的砂轮槽2的中心横截面之间的垂直距离均相等且等于压力传感器16的中心横截面与砂轮修整器11的中心横截面之间的垂直距离。

如图5所示，对槽检测部12还包括固定于压力传感器16与其检测面17相对的另一个侧面的接近开关18，接近开关18沿水平方向延伸，接近开关18与压力传感器16中心对齐且接近开关18的纵切面尺寸小于或等于压力传感器16的纵切面尺寸，接近开关18的上表面形成有矩状的感应面19，感应面19相对靠近压力传感器16的一端为触发第一驱动件7工作的第一感应端20，感应面19相对远离压力传感器16的一端为触发砂轮修整器11停止水平移动的第二感应端21。

如图1和图4所示，移动部10包括水平设置且位于放置转轴6横向一侧的安装板24，安装板24上固定有竖直向上延伸的安装杆25，砂轮修整器11以可拆卸的方式套装固定于安装杆25顶端，安装杆25的径向与放置转轴6的径向重合，接近开关18固定于安装板24的上表面且朝向靠近放置转轴6的一侧水平延伸，修整机构5还包括用于驱动移动部10上下升降的第二驱动件26和用于驱动移动部10沿放置转轴6的径向水平移动的第三驱动件27，第二驱动件26为丝杠滑台结构，第三驱动件27为丝杠滑台和滑轨组合结构，安装板24固定于第二驱动件26的输出端，第二驱动件26固定于第三驱动件27的输出端，安装杆25上套装有位于砂轮修整器11上下两侧的上垫片28和下垫片29，砂轮修整器11套装于安装杆25上且位于上垫片28和下垫片29之间，上垫片28和下垫片29分别与砂轮修整器11的两个轴向端面接触，安装杆25顶端螺纹连接有锁紧螺母30，锁紧螺母30的下表面与上垫片28的上表面接触，上垫片28的横截面尺寸小于下垫片29的横截面尺寸，上垫片28的厚度小于下垫片29的厚度。

本实施例具体实施时，操作人员首先将砂轮1安装在放置转轴6上并旋紧固定螺母23，然后控制第二驱动件26工作使其通过安装板24驱动砂轮修整器11和对槽检测部12向下运动，直至对槽检测部12内的压力传感器16运动至与定位轮13表面最边缘的一个检测位15对齐的位置，再控制第三驱动件27工作使其通过第二驱动件26驱动砂轮修整器11和对槽检测部12沿放置转轴6的径向朝向靠近放置转轴6的方向水平移动，直至压力传感器16的检测面17运动至与检测位15表面接触的位置，此时压力传感器16能够测量出该处的压力，然后再通过第二驱动件26驱动砂轮修整器11和对槽检测部12朝相应的方向进行升降运动，直至压力传感器16测量得出的压力值为0，此时砂轮修整器11的中心横截面与最边缘的一个砂轮槽2的中心横截面对齐，然后通过第三驱动件27驱动砂轮修整器11和对槽检测部12继续沿放置转轴6的径向朝向靠近放置转轴6的方向水平移动，移动过程中压力传感器16和接近开关18沿着定位槽14的径向滑动，当定位槽14的上表面接近感应面19上的第一感应端20时，接近开关18发出指令控制第一驱动件7工作从而通过放置转轴6驱动砂轮1自转，当定位槽14的上表面接近感应面19上的第二感应端21时，接近开关18发出指令以控制第三驱动件27停止工作，此时砂轮修整器11停止水平移动，由此砂轮修整器11进入相应的砂轮槽2内并与之接触进行修整操作，修整指定圈数后完成修整，由此完成对一个砂轮槽2的修整，然后控制第三驱动件27工作使其驱动砂轮修整器11和对槽检测部12沿放置转轴6的径向朝向远离放置转轴6的方向水平移动，直至压力传感器16运动至上一个可与检测位15表面接触的初始位置，再控制第二驱动件26工作使其驱动砂轮修整器11和对槽检测部12朝相应的方向进行升降运动，直至压力传感器16再次测量得出的压力值为0，然后重复上述步骤依次进行其余砂轮槽2的修整，并且操作人员也可根据实际需要选择对其中的某个或者几个砂轮槽2进行修整。

本发明通过对槽检测部与对槽辅助部之间的配合能够使砂轮修整器上下升降时其中心横截面能够逐一与各个砂轮槽的中心横截面对齐，从而使得砂轮修整器能够精确对准各个砂轮槽，能够有效防止修整时砂轮修整器损坏砂轮槽槽壁上的磨粒结构，延长砂轮的使用寿命下降，同时能够保证修整的效果，从而保证砂轮后续倒角加工的质量。

Claims (9)

1.一种硅片倒角砂轮修整装置，所述砂轮(1)周向表面沿其轴向等间距设有多个用于倒角的砂轮槽(2)，其特征在于：包括工作台(3)和间隔设于工作台(3)上的工件放置机构(4)和修整机构(5)，所述工件放置机构(4)至少包括竖直向上延伸的放置转轴(6)和用于驱动放置转轴(6)自转的第一驱动件(7)，所述放置转轴(6)顶部形成有供砂轮(1)套装于放置转轴(6)上以使二者同步自转的固定部(8)，所述放置转轴(6)上设有位于固定部(8)下方的对槽辅助部(9)，所述修整机构(5)至少包括能上下升降且能沿放置转轴(6)的径向水平移动的移动部(10)，所述移动部(10)上固定有上下间隔设置的砂轮修整器(11)和对槽检测部(12)，所述对槽检测部(12)用于与对槽辅助部(9)配合以使砂轮修整器(11)上下升降时其中心横截面能够逐一与各个砂轮槽(2)的中心横截面对齐；所述对槽辅助部(9)至少包括套装于放置转轴(6)上的定位轮(13)，所述定位轮(13)周向表面沿其轴向等间距设有多个与砂轮槽(2)一一对应的定位槽(14)，所述定位轮(13)周向表面形成有多个分别位于每个定位槽(14)上下两侧的检测位(15)，所述对槽检测部(12)至少包括用于与多个检测位(15)接触以检测各处压力的压力传感器(16)，所述压力传感器(16)的检测面(17)与定位轮(13)圆柱表面的切面平行，所述定位槽(14)的高度与检测面(17)的高度一致，当所述压力传感器(16)的中心横截面与任意一个定位槽(14)的中心横截面对齐时砂轮修整器(11)的中心横截面刚好与一个砂轮槽(2)的中心横截面对齐。

2.根据权利要求1所述的硅片倒角砂轮修整装置，其特征在于：每个所述定位槽(14)的中心横截面与与之对应的砂轮槽(2)的中心横截面之间的垂直距离均相等且等于压力传感器(16)的中心横截面与砂轮修整器(11)的中心横截面之间的垂直距离。

3.根据权利要求1或2所述的硅片倒角砂轮修整装置，其特征在于：所述对槽检测部(12)还包括固定于压力传感器(16)与其检测面(17)相对的另一个侧面的接近开关(18)，所述接近开关(18)沿水平方向延伸，所述接近开关(18)与压力传感器(16)中心对齐且接近开关(18)的纵切面尺寸小于或等于压力传感器(16)的纵切面尺寸，所述接近开关(18)的上表面形成有矩状的感应面(19)，所述感应面(19)相对靠近压力传感器(16)的一端为触发第一驱动件(7)工作的第一感应端(20)，所述感应面(19)相对远离压力传感器(16)的一端为触发砂轮修整器(11)停止水平移动的第二感应端(21)。

4.根据权利要求1或2所述的硅片倒角砂轮修整装置，其特征在于：相邻两个所述检测位(15)中其中一个检测位(15)的表面为圆柱面，另一个所述检测位(15)的表面为该圆柱面朝向径向外侧延伸形成的凸弧形面，多个所述检测位(15)的表面以圆柱面和凸弧形面的形式交错设置。

5.根据权利要求2所述的硅片倒角砂轮修整装置，其特征在于：所述定位槽(14)为内凹的环形槽，所述定位槽(14)的径向深度大于砂轮槽(2)的径向深度，所述定位轮(13)的截面直径与砂轮(1)的截面直径相等，所述压力传感器(16)的检测面(17)与定位轮(13)周向表面之间的水平距离小于砂轮修整器(11)周向边缘与定位轮(13)周向表面之间的水平距离。

6.根据权利要求1或2所述的硅片倒角砂轮修整装置，其特征在于：所述固定部(8)包括形成于放置转轴(6)周向且外凸的环形端面(22)，所述放置转轴(6)顶端螺纹连接有固定螺母(23)，当所述砂轮(1)套装于放置转轴(6)上时，所述砂轮(1)的内圈与放置转轴(6)的外圈呈滑动配合，并且所述砂轮(1)的轴向一端与环形端面(22)接触，所述砂轮(1)的轴向另一端与固定螺母(23)的下表面接触。

7.根据权利要求3所述的硅片倒角砂轮修整装置，其特征在于：所述移动部(10)包括水平设置且位于放置转轴(6)横向一侧的安装板(24)，所述安装板(24)上固定有竖直向上延伸的安装杆(25)，所述砂轮修整器(11)以可拆卸的方式套装固定于安装杆(25)顶端，所述安装杆(25)的径向与放置转轴(6)的径向重合，所述接近开关(18)固定于安装板(24)的上表面且朝向靠近放置转轴(6)的一侧水平延伸，所述修整机构(5)还包括用于驱动移动部(10)上下升降的第二驱动件(26)和用于驱动移动部(10)沿放置转轴(6)的径向水平移动的第三驱动件(27)，所述安装板(24)固定于第二驱动件(26)的输出端，所述第二驱动件(26)固定于第三驱动件(27)的输出端。

8.根据权利要求7所述的硅片倒角砂轮修整装置，其特征在于：所述安装杆(25)上套装有位于砂轮修整器(11)上下两侧的上垫片(28)和下垫片(29)，所述砂轮修整器(11)套装于安装杆(25)上且位于上垫片(28)和下垫片(29)之间，所述上垫片(28)和下垫片(29)分别与砂轮修整器(11)的两个轴向端面接触，所述安装杆(25)顶端螺纹连接有锁紧螺母(30)，所述锁紧螺母(30)的下表面与上垫片(28)的上表面接触，所述上垫片(28)的横截面尺寸小于下垫片(29)的横截面尺寸，所述上垫片(28)的厚度小于下垫片(29)的厚度。

9.根据权利要求1或2所述的硅片倒角砂轮修整装置，其特征在于：所述放置转轴(6)间接或直接旋转支撑于工作台(3)上，所述放置转轴(6)的下端延伸至工作台(3)下方并与第一驱动件(7)的输出端动力连接。

Images