CN114593075B - 一种分子泵 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种分子泵，属于泵体技术领域，包括底座、泵壳、驱动轴、静片及隔离环，其中，泵壳罩设在底座上，泵壳具有用于容纳动片和静片的安装腔，驱动轴转动连接在底座上，驱动轴上沿轴向间隔设置有多个动片，静片分别设置在相邻两个动片之间，隔离环具有若干个，并被轴向压紧于泵壳的安装腔内，以用于卡接固定静片，相邻的两个隔离环之间通过第一密封件密封连接，其一隔离环上设有用于连通隔离环内外两侧的导流通道。本发明提供的分子泵，能够避免气体从隔离环和泵壳之间的间隙反流，从而有利于提升分子泵的极限压缩比。

Description

一种分子泵

技术领域

本发明涉及泵体技术领域，具体涉及一种分子泵。

背景技术

随着分子泵在半导体、工业镀膜等行业的蓬勃发展，分子泵的应用越来越普遍。

分子泵的具体工作原理为：气体通过分子泵入口进入，在分子泵动片和静片的带动下向下运动，经过牵引级牵引，最后通过前级口排出，动静片和牵引级对气体的排出能力会使气体在入口处和出口处形成非常大的压差。

现有技术中的分子泵的静片是通过隔离环压紧和固定的，泵壳完成装配后压紧隔离环以防止静片松动，但由于隔离环和泵壳之间存在有装配间隙，低真空端的气体通过隔离环和泵壳之间的缝隙反流至高真空端，影响气体的压缩比。

为了解决上述问题，其中一种方式是通过在装配间隙中间隔设置若干密封圈的方式，然而，采用该方式时，由于密封圈和密封圈之间仍然存在有未逸出的气体，未逸出的气体无法快速排出，在高真空的工作环境下，未逸出气体仍然会持续进行放气；此外，密封圈在泵壳和隔离环之间的定位固定较为困难，装配过紧时难以拆卸，影响分子泵的维护修理。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中分子泵的气体容易从泵壳和隔离环之间的间隙反流而影响压缩比的缺陷，从而提供一种分子泵。

为了解决上述问题，本发明提供了一种分子泵，包括：

底座；

泵壳，罩设在所述底座上，所述泵壳具有用于容纳动片和静片的安装腔；

驱动轴，转动连接在底座上，所述驱动轴上沿轴向间隔设置有多个动片；

静片，分别设置在相邻两个所述动片之间；

隔离环，具有若干个，所述隔离环被轴向压紧于所述泵壳的安装腔内，所述隔离环用于卡接固定所述静片；相邻的两个所述隔离环之间通过第一密封件密封连接，其一所述隔离环上设有用于连通所述隔离环内外两侧的导流通道。

进一步地，所述隔离环的内侧设有适于压接所述静片的第一台阶。

进一步地，所述隔离环的外侧设有适于卡接相邻所述隔离环的卡接结构，所述卡接结构包括伸出臂和适于与所述相邻所述隔离环的伸出臂卡接配合的卡接台。

进一步地，所述卡接台具有第一抵接面，所述第一抵接面适于沿轴向抵接相邻所述隔离环的所述伸出臂。

进一步地，所述卡接台上设有沿径向延伸的卡接部，所述卡接部具有第二抵接面，所述第二抵接面适于径向抵接所述静片。

进一步地，所述卡接台的第一抵接面上设有用于容纳所述第一密封件的环形凹槽。

进一步地，所述泵壳的上端内侧设有第二台阶，所述第二台阶用于轴向抵接所述卡接台。

进一步地，所述第二台阶的抵接端面设有安装槽，所述安装槽中嵌设有适于抵接所述卡接台的第二密封件。

进一步地，所述导流通道设于最下端的所述隔离环上。

进一步地，所述第一密封件和/或所述第二密封件为耐高温胶圈。

本发明技术方案，具有如下优点：

1.本发明提供的分子泵，将隔离环轴向压紧于泵壳的安装腔内，能够对隔离环之间的静片进行卡接固定，由于相邻的两个隔离环之间密封连接有第一密封件，并在其一隔离环上设有连通隔离环内外两侧的导流通道，隔离环和泵壳之间的装配间隙被封堵后气体只能从导流通道中导出，从而避免气体受压差影响而从装配间隙反流至泵体入口，有利于提升分子泵的极限压缩比。

2.本发明提供的分子泵，通过在隔离环的外侧设置适于卡接相邻隔离环的卡接结构，有利于保持相邻两隔离环之间的固定效果，避免工作过程中隔离环错位。

3.本发明提供的分子泵，将第一密封件容纳于卡接台的环形凹槽中，能够进一步提升第一密封件的固定效果，便于装配，减小第一密封件在卡接台上的活动旷量。

4.本发明提供的分子泵，将导流通道设于最下端的隔离环上，有利于将装配间隙中的气体直接从泵体的出口抽出，减小其在泵体内的停留时间，从而有利于提升工作效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的实施例中提供的分子泵的主视图；

图2为图1中A-A剖面图；

图3为图2中B部放大图；

图4为图2中C部放大图。

附图标记说明：

1、底座；2、泵壳；3、驱动轴；4、动片；5、静片；6、隔离环；7、第一密封件；8、第二密封件；

21、第二台阶；22、安装槽；

61、第一台阶；62、伸出臂；63、卡接台；64、第一抵接面；65、第二抵接面；66、导流通道；67、环形凹槽；68、卡接部。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

本实施例提供了一种分子泵，如图1所示，包括底座1和罩设于底座1上的泵壳2，泵壳2内具有用于容纳动片4和静片5的安装腔。

如图1和图2所示，该分子泵还包括驱动轴3和隔离环6，驱动轴3转动连接在底座1上，驱动轴3上沿其轴向间隔设置有多个动片4，静片5分别设置于相邻的两个动片4之间，隔离环6具有若干个，并被轴向压紧于泵壳2的安装腔内，隔离环6用于卡接固定静片5，相邻的两个隔离环6之间通过第一密封件7密封连接，其一隔离环6上设有用于连通隔离环6内外两侧的导流通道66。

通过上述设置，隔离环6和泵壳2之间的装配间隙被封堵后气体只能从导流通道66中导出，从而避免气体受压差影响而在装配间隙反流至泵体入口，有利于提升分子泵的极限压缩比。

如图3所示，本实施例中的隔离环6的内侧设有适于压接静片5的第一台阶61，该第一台阶61由隔离环6主体错位形成，相邻的隔离环6之间经各两个第一台阶61形成抵压空间，泵壳2和底座1固定后，隔离环6受到轴向压紧的压紧力作用而将位于抵押空间内的静片5压紧，从而起到固定静片5的作用。在此，本实施例中所述的内侧和外侧均以泵壳2作为参照物进行说明。

作为一种可替换的实施方式，本实施例中的隔离环6的外侧设有适于卡接相邻隔离环6的卡接结构，卡接结构包括一伸出臂62，以及适于与相邻的隔离环6的伸出臂62卡接配合的卡接台63，具体的，卡接台63上具有水平设置的第一抵接面64，第一抵接面64适于沿轴向抵接相邻隔离环6上的伸出臂62的下端部，伸出臂62的内侧部分用于与相邻的隔离环6的卡接台63卡接。

在此，第一抵接面64上设有适于容纳第一密封件7的环形凹槽67，第一密封件7被嵌设于环形凹槽67中，从而进一步提升第一密封件7的固定效果，便于装配，并可防止第一密封件7脱离第一抵接面64而影响正常的密封状态。

作为一种可替换的实施方式，该环形凹槽67也可以设置于伸出臂62的端部，或者在伸出臂62和第一抵接面64上均设置有环形凹槽67，以对第一密封件7进行限位约束。作为一种可替换的实施方式，第一抵接面64也可设置为斜面，只要能够与伸出臂62的端部配合抵紧即可。

如图4所示，本实施例中的卡接台63上设有沿径向延伸的卡接部68，卡接部68具有第二抵接面65，第二抵接面65适于径向抵接静片5，以防止静片5沿径向运动。在此，设置卡接部68能够进一步增强对静片5的固定效果，需要说明的是，卡接部68上第二抵接面65的位置应根据静片5实际装配位置调整。

如图3所示，本实施例中的泵壳2的上端内侧设有第二台阶21，第二台阶21用于轴向抵接位于最上端的隔离环6上的卡接台63，进一步地，第二台阶21的抵接端面上设有安装槽22，安装槽22中嵌设有适于抵接卡接台63的第二密封件8。在此，设置第二密封件8能够保证泵壳2和隔离环6之间的密封状态，避免气体从泵壳2和隔离环6之间逸出反流。作为一种可替换的实施方式，也可以在最上端的隔离环6的卡接台63上设置安装槽22，具体可以根据装配工序便利性选用。

本实施例中的第一密封件7和第二密封件8采用耐高温弹性胶圈，优选的，第一密封件7和第二密封件8采用全氟胶圈。泵壳2和底座1在装配后，第一密封件7被过盈的装配于安装槽22中，第二密封件8被过盈的装配于环形凹槽67中，从而形成良好的密封效果，同时，采用上述方式也便于对分子泵进行拆装工作，有利于后期的定期维护和检修。

如图4所示，本实施例中的导流通道66设于最下端的隔离环6上，由于装配间隙被第一密封件7和第二密封件8密封，位于装配间隙内的气体经由外部二级泵从导流通道66中抽出，并经分子泵底部的出气口送出泵体，有利于快速抽离泵体内部的常压气体，保持泵体内部的真空状态，从而有利于提高泵体的极限压缩比。作为一种可替换的实施方式，导流通道66也可以设置于其他的隔离环6上。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种分子泵，其特征在于，包括：

底座(1)；

泵壳(2)，罩设在所述底座(1)上，所述泵壳(2)具有用于容纳动片(4)和静片(5)的安装腔；

驱动轴(3)，转动连接在底座(1)上，所述驱动轴(3)上沿轴向间隔设置有多个动片(4)；

静片(5)，分别设置在相邻两个所述动片(4)之间；

隔离环(6)，具有若干个，所述隔离环(6)被轴向压紧于所述泵壳(2)的安装腔内，所述隔离环(6)用于卡接固定所述静片(5)；相邻的两个所述隔离环(6)之间通过第一密封件(7)密封连接，其一所述隔离环(6)上设有用于连通所述隔离环(6)内外两侧的导流通道(66)。

2.根据权利要求1所述的分子泵，其特征在于，所述隔离环(6)的内侧设有适于压接所述静片(5)的第一台阶(61)。

3.根据权利要求1所述的分子泵，其特征在于，所述隔离环(6)的外侧设有适于卡接相邻所述隔离环(6)的卡接结构，所述卡接结构包括伸出臂(62)和适于与所述相邻所述隔离环(6)的伸出臂(62)卡接配合的卡接台(63)。

4.根据权利要求3所述的分子泵，其特征在于，所述卡接台(63)具有第一抵接面(64)，所述第一抵接面(64)适于沿轴向抵接相邻所述隔离环(6)的所述伸出臂(62)。

5.根据权利要求4所述的分子泵，其特征在于，所述卡接台(63)上设有沿径向延伸的卡接部(68)，所述卡接部(68)具有第二抵接面(65)，所述第二抵接面(65)适于径向抵接所述静片(5)。

6.根据权利要求4所述的分子泵，其特征在于，所述卡接台(63)的第一抵接面(64)上设有用于容纳所述第一密封件(7)的环形凹槽(67)。

7.根据权利要求3所述的分子泵，其特征在于，所述泵壳(2)的上端内侧设有第二台阶(21)，所述第二台阶(21)用于轴向抵接所述卡接台(63)。

8.根据权利要求7所述的分子泵，其特征在于，所述第二台阶(21)的抵接端面设有安装槽(22)，所述安装槽(22)中嵌设有适于抵接所述卡接台(63)的第二密封件(8)。

9.根据权利要求1所述的分子泵，其特征在于，所述导流通道(66)设于最下端的所述隔离环(6)上。

10.根据权利要求8所述的分子泵，其特征在于，所述第一密封件(7)和/或所述第二密封件(8)为耐高温胶圈。

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