CN114556119A - 稳定待测设备处的电压 - Google Patents

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Abstract

稳定待测设备(DUT)处的电压的示例性方法包括识别在该DUT处出现的第一电压偏差的一个或多个特性。该偏差可由数字信号和该DUT中的伴随瞬态电流导致。该数字信号可为通过自动测试设备(ATE)的一个或多个测试通道待发送到该DUT的测试流的一部分。在将该测试流发送到该DUT之前，可识别该一个或多个特性。该方法还包括生成施加到该DUT的第二电压。该第二电压可基于该一个或多个特性，并且被塑形以减小该偏差。

Description

稳定待测设备处的电压
技术领域
本说明书描述了被配置为稳定待测设备处的电压的测试系统的示例。
背景技术
测试系统被配置为测试电子设备诸如微处理器和存储器芯片的操作。测试可包括向设备发送信号以及基于其响应来确定设备对这些信号作何反应。例如，测试可包括将电压和电流强加到测试通道上，以及基于所强加的电压和电流从设备接收信号。设备的反应将决定设备通过测试还是测试失败。电压源可用于向待测设备供电。
发明内容
用于稳定待测设备(DUT)处的电压的示例性方法包括识别在该DUT处出现的第一电压偏差的一个或多个特性。该偏差可由数字信号和该DUT中的伴随瞬态电流导致。该数字信号可为通过自动测试设备(ATE)的一个或多个测试通道待发送到该DUT的测试流的一部分。在将该测试流发送到该DUT之前，可识别该一个或多个特性。该方法还包括生成施加到该DUT的第二电压。该第二电压可基于该一个或多个特性，并且可被塑形以减小该偏差。示例性方法可包括下列特征中的一个或多个特征(单独地或组合地)。
该瞬态电流可由该数字信号引起的该DUT的状态变化引起。该偏差可包括(i)该电压的暂时下降，之后是该电压的暂时上升，或(ii)该电压的暂时上升，之后是该电压的暂时下降。该一个或多个特性可基于(i)该电压的该暂时下降的幅度和该电压的该暂时上升的幅度，或(ii)该电压的该暂时上升的幅度和该电压的该暂时下降的幅度。该一个或多个特性可包括该数字信号与该电压偏差之间的持续时间。
生成该第二电压可包括改变同样产生该测试流的测试程序。该方法可包括通过该识别操作和该生成操作迭代两次或更多次，以便在每次迭代期间进一步减小该偏差。该测试流可实施扫描测试。该方法可包括通过电压传感器感测该DUT处的该第一电压。识别该一个或多个特性可基于所感测的电压。该方法可包括执行校准操作以确定该第二电压。该第二电压可基于电压源与该DUT之间的未指定负载。
示例性测试系统包括向DUT提供电压的电压源和通过一个或多个测试通道向该DUT发送测试流的测试仪器。该测试系统还包括一个或多个处理设备，该一个或多个处理设备用于识别在该DUT处出现的第一电压偏差的一个或多个特性，其中该第一电压待基于来自该电压源的该电压，其中该偏差由数字信号和该DUT中的伴随瞬态电流导致，其中该数字信号是该测试流的一部分，并且其中在将该测试流发送到该DUT之前识别该一个或多个特性。该一个或多个处理设备还被配置为控制该电压源输出第二电压。该第二电压可基于该一个或多个特性，并且可被塑形以减小该偏差。示例性测试系统可包括下列特征中的一个或多个特征(单独地或组合地)。
该瞬态电流可由该数字信号引起的该DUT的状态变化引起。该偏差可包括(i)该电压的暂时下降，之后是该电压的暂时上升，或(ii)该电压的暂时上升，之后是该电压的暂时下降。该一个或多个特性可基于(i)该电压的该暂时下降的幅度和该电压的该暂时上升的幅度，或(ii)该电压的该暂时上升的幅度和该电压的该暂时下降的幅度。该一个或多个特性可包括该数字信号与该电压偏差之间的持续时间。该电压源可由同样产生该测试流的测试程序控制。
该一个或多个处理设备可被配置为控制包括通过该识别操作和该控制操作迭代两次或更多次的操作，以便在每次迭代期间进一步减小该偏差。该测试流可实施扫描测试。该测试系统可包括电压传感器，以感测该DUT处的该电压。电压传感器可为该电压源的一部分，或者可与该电压源分离。识别该一个或多个特性可基于从该电压传感器获得的所感测的电压。
该测试系统可包括用于将该测试仪器连接到该DUT的设备接口板(DIB)。该DIB可包括该DUT与之连接的位点。该偏差的该一个或多个特性可基于该DIB中包含的一个或多个导体或部件上的电感或电容中的电感或电容中的至少一者。该测试系统可包括位于该电压源与该DUT之间的一条或多条感测线。该一条或多条感测线可被配置为至少感测邻近该DUT的电压。该一个或多个处理设备可被配置为执行校准操作以确定该第二电压。该第二电压可基于该电压源与该DUT之间的未指定负载。
本说明书(包括本发明内容部分)中所描述的特征中的任何两者或更多者可组合以形成本说明书中未具体描述的具体实施。
本说明书中所描述的测试系统和过程的至少一部分可通过在一个或多个处理设备上执行存储在一个或多个非暂态机器可读存储介质上的指令来配置或控制。非暂态机器可读存储介质的示例包括只读存储器、光盘驱动器、存储器磁盘驱动器和随机存取存储器。本说明书中所描述的测试系统和过程的至少一部分可使用由一个或多个处理设备和存储指令的存储器组成的计算系统来配置或控制，这些指令可由该一个或多个处理设备执行以进行各种控制操作。
附图和以下具体实施方式中阐述了一个或多个具体实施的详细信息。通过具体实施和附图以及通过权利要求书，其他特征和优点将显而易见。
附图说明
图1是包括能够控制的电压电源的示例性测试系统的部件图。
图2是DUT处的示例性电压瞬变的曲线图。
图3是包括用于向待测设备(DUT)发送数字信号的仪器的示例性测试系统的部件的框图。
不同图中的类似附图标记指示类似元件。
具体实施方式
本文描述了被配置为向诸如自动测试设备(ATE)等测试系统中的待测设备(DUT)提供电压的系统的示例性具体实施。该系统包括电压源，诸如数字电源(DPS)或其他适当的电压发生器。电压源被配置和控制以实现前馈方法以解决当DUT改变状态时(诸如当DUT最初通电测试时)在该DUT处出现的电压偏差。该前馈方法包括响应于接收到数字信号，诸如作为测试DUT的测试流的一部分的数字突发，识别该DUT处的电压的一个或多个特性。该一个或多个特性可包括电压与其在DUT处的预期值的任何偏差。例如，该一个或多个特性可包括电压的暂时下降，之后是电压的暂时上升，或电压的暂时上升，之后是电压的暂时下降。
电压偏差是DUT对数字信号的反应以及DUT中产生的伴随瞬态电流的结果。偏差的该一个或多个特性(在本文中被称为“特性”)在测试DUT之前是已知的，例如，在将包括数字信号的测试流发送到DUT之前是已知的。在一些具体实施中，基于预测试校准操作、DUT对已知数字信号的已知反应或这些因素和其他因素的组合来确定特性。因此，在一些具体实施中，反馈或正在进行的反馈不用于生成用于减少偏差的数据。
由硬件、软件或硬件和软件的组合组成的控制系统被配置为基于DUT处的电压特性来控制输出到DUT的电压。在一些具体实施中，特性包括数字信号和电压偏差之间的持续时间。基于此持续时间和偏差的特征，诸如下降和上升的幅度和形状，控制系统控制电压源以产生输出电压，该输出电压的被塑形以减小DUT处的电压偏差。
图1是示出了包括补偿器13的电压源10的示例性具体实施的图，该电压源用于通过一个或多个导管向DUT 11供电。在此示例中，电压源10包括强制数模转换器(DAC)12以生成电压信号。强制DAC对来自控制系统14的数字命令有响应，该控制系统可包括由一个或多个如本文所述的处理设备组成的计算系统。控制系统是测试系统15的一部分，该测试系统的示例在下文中进行描述。由强制DAC生成的信号是能够改变的，以控制电压源的电压输出，从而减少响应于来自测试系统的数字信号而在DUT处出现的电压偏差。例如，比较器32确定感测线上的电压差，并将电压差输出到组合逻辑34，该组合逻辑可为例如加法器或减法器。由强制DAC生成的信号诸如电压信号用于控制组合逻辑34的电压输出。例如，由强制DAC生成的信号可为用于产生组合逻辑34的电压输出的唯一信号。在这种情况下，输出到DUT的电压可单独或主要基于由强制DAC产生的电压信号。在另一个示例中，由强制DAC生成的信号可用于调整感测线上的电压差。在这种情况下，组合逻辑34的电压输出，以及因此由电压源输出的被提供给DUT的电压，是基于由强制DAC生成的信号和感测线上的电压差的。
电压源10还可包括电压放大器16，诸如运算放大器(“op-amp”)，以向DUT提供电压，该电压基于来自强制DAC的电压信号和施加到放大器的另一个输入的参考电压18诸如电接地。电阻器19和电容器21形成运算放大器积分器电路，其中输出响应输入电压随着时间的推移的变化，因为运算放大器积分器产生与输入电压的积分成比例的输出电压。通过基于DUT处的电压特性来控制来自强制DAC的输入，可消除或减少与DUT处的预期电压的偏差。例如，控制系统可向强制DAC提供命令，以对由放大器产生的电压输出的形状进行设定，从而减少或消除与DUT处的预期电压的偏差。以此方式，测试系统可稳定DUT处的电压。
例如，从电压源10输出的电压的形状被设定为在DUT处减小电压偏差，诸如电压下降的幅度、电压上升的幅度或电压下降的幅度和电压上升的幅度两者。从电压源10输出的电压可被定时，使得考虑到用于递送电压的导管的类型和这些导管的特性，对解决DUT处的电压偏差的电压调整在适当的时间到达DUT。导管的特性可至少部分地基于电压源与DUT之间的距离。沿着电压输出线可包括驱动器或放大器37。
可邻近DUT包括一个或多个电容器20，以减小当在DUT处从测试系统接收到数字信号17时产生的电压偏差。邻近DUT的电容器的大小、存在或不存在将影响如何对电压源的输出的形状进行设定以减小DUT处的电压偏差。在这方面，特性还可基于用于向DUT递送电压的一个或多个导体或部件上的电感、电容和/或电阻。这些电感、电容和/或电阻也将影响如何对电压源的输出的形状进行设定以减小DUT处的电压偏差。如下文所描述的，这些导体或部件中的一个或多个导体或部件可为测试系统的设备接口板(DIB)的一部分。
参考图2，例如，从电压源10输出的电压可为3.3伏(V)。这可为DUT处的预期电压。然而，诸如数字突发等数字信号可导致DUT处的电压偏差22。该偏差可由数字信号导致的DUT中的瞬态电流引起。在一些示例中，此电压偏差仅在例如DUT中的状态变化24期间或响应于该状态变化而发生。此瞬态电流在概念上由DUT中的可变电流源25表示。状态变化的示例包括例如DUT上电或以某种方式改变其操作，这可支持导致DUT处电压偏差的瞬态电流。在此示例中，电压偏差包括电压的暂时下降，之后是电压的暂时上升。在另一个示例中，偏差包括电压的暂时上升，之后是电压的暂时下降。如上所述，可控制电压源的电压输出，以减少或消除DUT处的电压偏差，使得在此示例中，DUT接收稳定的3.3V。
图1的电路包括电压感测线29和30。在一些具体实施中，感测线包括开尔文连接。这些电压感测线可在校准操作期间用于感测DUT处的电压。例如，在校准期间，电压传感器32可监测感测线以确定DUT两端的电压。由电压传感器感测的电压可被提供给控制系统。控制系统可使用所感测的电压或所感测的电压的数字化版本来确定例如由瞬态电流在DUT处引起的电压偏差的定时、形状和/幅度。然后，控制系统可基于例如电压偏差的定时、形状和/或幅度，在DUT的测试期间调整电压源的电压输出，以便减少或消除电压偏差。控制系统还可在DUT测试期间基于电压源与DUT之间的未指定负载来调整电压源的电压输出。换句话说，本文所描述的前馈控制过程能够调整输出电压，而不管电压源与DUT之间的负载如何。因此，校准可考虑电压源与DUT之间的任何电容负载、电感负载和/或电阻负载，包括导体28的固有属性，并且将该负载对DUT的电压的影响作为其电压调整的因素计入。
电压传感器可如图所示为电压源的一部分，或者与电压源分离。例如，如图所示，电压传感器可包括比较器。在一些具体实施中，电压传感器可为控制系统的一部分，或以其他方式位于电压源的外部。在一些示例中，即使在测试之前强制DAC值都是已知的，感测线也提供反馈。
在一些具体实施中，控制系统可通过操作迭代两次或更多次，这些操作包括：在向DUT发送测试流之前，识别由于数字信号和DUT中的伴随瞬态电流而在DUT处出现的电压偏差的特性，被塑形以减小偏差的电压，以及将该电压施加到DUT。在一些具体实施中，迭代可基于在测试期间未执行的后续校准操作期间获得的信息。在一些具体实施中，迭代可基于在测试期间获得的信息，该信息经由感测线29和30反馈到控制系统。即，在一些示例中，后续迭代采用单独的前馈方法，并且在一些具体实施中，后续迭代使用反馈信息。
图3示出了ATE 33的部件，其可用于实施本文所描述的DUT电压稳定技术。ATE 33可为测试系统15的一部分。在图3中，虚线在概念上表示系统部件之间的潜在信号路径。ATE可包括图1的电压源10，或者图1的电压源10可与图1所示出的ATE分离。
ATE 10包括测试头35和控制系统36，该控制系统可与图1的控制系统14相同。控制系统可包括计算系统，该计算系统由一个或多个微处理器或如本文所描述的其他适当的处理设备组成。DIB 38包括印刷电路板(PCB)，该印刷电路板连接到测试头11并且包括与正在测试的或者待通过ATE进行测试的一个或多个DUT诸如DUT 11连接的机械接口和电气接口。包括电压的电力可经由DIB中的一个或多个导管运行到连接到DIB的DUT。包括电压的电力还可通过一个或多个无源电子设备，诸如沿着该一个或多个导管和/或在该DIB上连接的电容器、电感器或电阻器，或通过沿着该一个或多个导管和/或在该DIB上连接的一个或多个有源电子设备运行。
在图3的示例中，DIB 38电连接和机械连接到测试头35。DIB包括位点41，这些位点可包括销、传导迹线或DUT可连接到的其他电连接和机械连接点。测试信号、响应信号、电压信号和其他信号经由穿过位点的测试通道在DUT与测试仪器之间传递。DIB 38还包括连接器、传导迹线以及用于在测试仪器、连接到位点41的DUT以及其他电路之间路由信号的电路等等。
控制系统36与测试头和电压源10(图1)的部件通信以控制测试。例如，控制系统36可将测试程序集下载到测试头中的测试仪器40A至40N。测试仪器是可包括一个或多个处理设备和其他电路的硬件设备。测试仪器40A至40N可运行测试程序集以测试与测试仪器通信的DUT。控制系统36还可向测试头中的测试仪器发送指令、测试数据和/或其他信息，其可由测试仪器用来在通过接口连接到DIB的DUT上执行适当的测试。在一些具体实施中，该信息可经由计算机或其他类型的网络或经由直接电路径发送。在一些具体实施中，该信息可经由局域网(LAN)或广域网(WAN)发送。
测试程序生成测试流以提供给DUT。例如，测试流被写入为输出数字信号以从DUT引出响应。测试流还可被写入输出控制信号，以控制电压源在测试期间向DUT施加适当的电压。在一些具体实施中，控制系统可基于在预测试校准操作期间确定的DUT处的电压信号的特性来改变产生测试流的测试程序。这样做可减少或消除与先前所描述的DUT处的预期电压的偏差。例如，对测试程序的改变可包括向测试程序添加指令或改变测试程序中的现有指令，以在指定时间将DUT处的电压调整到指定的幅度和/或形状，从而减小DUT处的电压偏差。
在图3的示例中，ATE 10包括多个测试仪器40A至40N，每个测试仪器可被适当地配置为执行一个或多个测试和/或其他功能。尽管仅描绘了四个测试仪器，但是系统可包括任何适当数量的测试仪器，包括存在于测试头35外部的测试仪器。在一些具体实施中，每个测试仪器可被配置为输出数字信号以基于例如由控制系统提供的数据来测试DUT，并且从DUT接收响应信号。不同的测试仪器可被配置为执行不同类型的测试和/或被配置为测试不同的DUT。所接收的信号可包括基于测试信号的响应信号和/或源自DUT的未被(例如，未响应于)测试信号提示的信号。在一些具体实施中，在DUT、DIB与测试仪器接口之间可能存在电导体，例如铜线，通过其发送测试和响应信号。
包括来自电压源的电压的信号可通过多个测试通道或其他导电介质发送到DUT或从其接收。在一些示例中，测试通道可包括一种或多种物理传输介质，通过该一种或多种物理传输介质，从测试仪器向DUT发送信号，以及从DUT接收信号。物理传输介质可包括但不限于单独的电导体或电导体与光导体的组合、无线传输介质、或光导体和无线传输介质两者。在一些示例中，测试通道可包括通过一种或多种物理传输介质在其内传输信号的频率范围。测试通道可包括DIB上的传导迹线并且/或者电连接到DIB上的传导迹线。
在一些示例中，ATE 10包括将测试仪器测试通道47连接到DIB 38的连接接口44。连接接口44可包括连接器46或用于在测试仪器与DIB 38之间路由信号的其他设备。例如，连接接口可包括其上安装有此类连接器的一个或多个电路板或其他基板。包括在测试通道中的导体可被引导穿过连接接口和DIB。
本文所描述的技术可在扫描测试期间使用。在扫描测试系统中，设备中的存储器元件被连接以形成扫描寄存器或链。设备的内部状态通过移入或扫描入待施加到设备的部件的测试数据控制。这些部件的逻辑响应可通过移出或扫描出扫描寄存器中存储的数据来获得。然而，本文所描述的技术不限于在测试中使用，而是可在任何适当的技术环境中使用。
本说明书中所描述的测试系统和过程的全部或部分以及它们的各种修改可至少部分地由诸如控制系统36等一个或多个计算机使用一个或多个计算机程序来配置或控制，该一个或多个计算机程序有形地体现在一个或多个信息载体中，诸如在一个或多个非暂态机器可读存储介质中。计算机程序可采用任何形式的编程语言编写，包括编译或解释语言，并且其可以任何形式部署，包括作为独立程序或作为模块、零件、子程序或适用于计算环境中的其他单元。计算机程序可被部署成在一台计算机上或者在一个站点处或分布在多个位点并且通过网络互连的多台计算机上执行。
与配置或控制电压源、测试系统和本文描述的过程相关联的动作可由执行一个或多个计算机程序的一个或多个可编程处理器来执行，以控制先前描述的阱形成操作中的全部或一些。测试系统和过程的全部或部分可由专用逻辑电路(诸如FPGA(现场可编程门阵列)和/或ASIC(专用集成电路))来配置或控制。
适用于计算机程序执行的处理器包括(举例来说)通用和专用微处理器两者，以及任何种类数字计算机的任何一个或多个处理器。通常，处理器将从只读存储区或随机存取存储区或这二者接收指令和数据。计算机的元件包括用于执行指令的一个或多个处理器以及用于存储指令和数据的一个或多个存储区设备。通常，计算机还将包括(或者操作地耦合以从其接收数据或向其传输数据或这二者)一个或多个机器可读存储介质，诸如用于存储数据的大容量存储设备，诸如磁盘、磁光盘或光盘。适于体现计算机程序指令和数据的非暂态机器可读存储介质包括所有形式的非易失性存储区，包括(以举例的方式)半导体存储区设备，诸如EPROM(可擦除可编程只读存储器)、EEPROM(电可擦除可编程只读存储器)和快闪存储区设备；磁盘，诸如内部硬盘或可移动磁盘；磁光盘；以及CD-ROM(光盘只读存储器)和DVD-ROM(数字通用光盘只读存储器)。
所描述的不同具体实施的元件可组合在一起以形成未在前面具体阐明的其他具体实施。元件可从先前所描述的系统中省去，而通常不会不利影响其操作或系统的操作。此外，各单独元件可组合为一个或多个单个元件来执行本说明书所述的功能。
未在本说明书中具体描述的其他具体实施同样在以下权利要求书的范围内。

Claims (25)

1.一种方法，所述方法包括：
识别待测设备(DUT)处出现的第一电压偏差的一个或多个特性，所述偏差是由数字信号和所述DUT中的伴随瞬态电流导致的，所述数字信号是通过自动测试设备(ATE)的一个或多个测试通道待发送到所述DUT的测试流的一部分，其中在将所述测试流发送到所述DUT之前识别所述一个或多个特性；并且
生成施加到所述DUT的第二电压，所述第二电压是基于所述一个或多个特性的并且被塑形以减小所述偏差。
2.根据权利要求1所述的方法，其中所述瞬态电流是由所述数字信号引起的所述DUT的状态变化引起的。
3.根据权利要求1所述的方法，其中所述偏差包括所述电压的暂时下降，之后是所述电压的暂时上升。
4.根据权利要求1所述的方法，其中所述偏差包括所述电压的暂时上升，之后是所述电压的暂时下降。
5.根据权利要求1所述的方法，其中所述偏差包括(i)所述电压的暂时下降，之后是所述电压的暂时上升，或(ii)所述电压的暂时上升，之后是所述电压的暂时下降；并且
其中所述一个或多个特性基于(i)所述电压的所述暂时下降的幅度和所述电压的所述暂时上升的幅度，或(ii)所述电压的所述暂时上升的幅度和所述电压的所述暂时下降的幅度。
6.根据权利要求1所述的方法，其中所述一个或多个特性包括所述数字信号与所述电压偏差之间的持续时间。
7.根据权利要求1所述的方法，其中生成所述第二电压包括改变同样产生所述测试流的测试程序。
8.根据权利要求1所述的方法，所述方法还包括：
通过所述识别操作和所述生成操作迭代两次或更多次，以便在每次迭代期间进一步减小所述偏差。
9.根据权利要求1所述的方法，其中所述测试流实施扫描测试。
10.根据权利要求1所述的方法，所述方法还包括：
通过电压传感器感测所述DUT处的所述第一电压；
其中识别所述一个或多个特性是基于所感测的电压。
11.根据权利要求1所述的方法，所述方法还包括：
执行校准操作以确定所述第二电压，所述第二电压基于电压源与所述DUT之间的未指定负载。
12.一种测试系统，所述测试系统包括：
电压源，所述电压源用于向待测设备(DUT)提供电压；
测试仪器，所述测试仪器用于通过一个或多个测试通道向所述DUT发送测试流；和
一个或多个处理设备，所述一个或多个处理设备(i)用于识别在所述DUT处出现的第一电压偏差的一个或多个特性，所述第一电压待基于来自所述电压源的所述电压，所述偏差由数字信号和所述DUT中的伴随瞬态电流导致，所述数字信号是所述测试流的一部分，其中在将所述测试流发送到所述DUT之前识别所述一个或多个特性，并且(ii)用于控制所述电压源输出第二电压，所述第二电压是基于所述一个或多个特性的并且被塑形以减小所述偏差。
13.根据权利要求12所述的测试系统，其中所述瞬态电流是由所述数字信号引起的所述DUT的状态变化引起的。
14.根据权利要求12所述的测试系统，其中所述偏差包括所述电压的暂时下降，之后是所述电压的暂时上升。
15.根据权利要求12所述的测试系统，其中所述偏差包括所述电压的暂时上升，之后是所述电压的暂时下降。
16.根据权利要求12所述的测试系统，其中所述偏差包括(i)所述电压的暂时下降，之后是所述电压的暂时上升，或(ii)所述电压的暂时上升，之后是所述电压的暂时下降；并且
其中所述一个或多个特性基于(i)所述电压的所述暂时下降的幅度和所述电压的所述暂时上升的幅度，或(ii)所述电压的所述暂时上升的幅度和所述电压的所述暂时下降的幅度。
17.根据权利要求12所述的测试系统，其中所述一个或多个特性包括所述数字信号与所述电压偏差之间的持续时间。
18.根据权利要求12所述的测试系统，其中所述电压源由同样产生所述测试流的测试程序控制。
19.根据权利要求12所述的测试系统，其中所述一个或多个处理设备被配置为执行包括以下项的操作：
通过所述识别操作和所述控制操作迭代两次或更多次，以便在每次迭代期间进一步减小所述偏差。
20.根据权利要求12所述的测试系统，其中所述测试流实施扫描测试。
21.根据权利要求12所述的测试系统，所述测试系统还包括：
电压传感器，所述电压传感器用于感测所述DUT处的所述电压；
其中识别所述一个或多个特性是基于所感测的电压。
22.根据权利要求21所述的测试系统，其中所述电压传感器是所述电压源的一部分。
23.根据权利要求21所述的测试系统，其中所述电压传感器与所述电压源分离。
24.根据权利要求12所述的测试系统，所述测试系统还包括：
设备接口板(DIB)，所述设备接口板用于将所述测试仪器连接到所述DUT,所述DIB包括所述DUT与之连接的位点；
其中所述偏差的所述一个或多个特性基于所述DIB中包含的一个或多个导体或部件上的电感或电容中的电感或电容中的至少一者。
25.根据权利要求1所述的测试系统，所述测试系统还包括：
一条或多条感测线，所述一条或多条感测线位于所述电压源与所述DUT之间，所述一条或多条感测线至少感测邻近所述DUT的电压；
其中所述一个或多个处理设备被配置为执行校准操作以确定所述第二电压，所述第二电压基于所述电压源与所述DUT之间的未指定负载。
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