CN114536205A - 抛光盘检测、调整系统及方法 - Google Patents

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CN114536205A CN202111565170.0A CN202111565170A CN114536205A CN 114536205 A CN114536205 A CN 114536205A CN 202111565170 A CN202111565170 A CN 202111565170A CN 114536205 A CN114536205 A CN 114536205A
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Abstract

本发明涉及一种抛光盘检测、调整系统和方法，系统包括：液压调整机构，包括至少两个平行设置在抛光盘一侧的第一液压缸和第二液压缸，第一液压缸和第二液压缸沿抛光盘的轴线对称设置在抛光盘的两端，第一液压缸和第二液压缸能够抵接在抛光盘上；液压检测模块，分别设置在第一液压缸和第二液压缸外，检测第一液压缸和第二液压缸进出口压力的变化；液压控制模块，分别与第一液压缸和第二液压缸连接，根据第一液压缸和第二液压缸进出口压力的变化，提供调节动力，使第一液压缸和第二液压缸进出口压力动态平衡；方法通过系统实现抛光盘初始平行度调整、抛光盘平行度动态监测、抛光盘平行度动态调节。本发明能够检测、并自适应调整抛光盘的平行度。

Description

抛光盘检测、调整系统及方法
技术领域
本发明涉及抛光机设备技术领域，尤其是指一种抛光盘检测、调整系统及方法。
背景技术
化学机械抛光机是进行精密机械加工的设备，对零件表面粗糙度的提高具有很大作用，不仅可以用于精密金属零件的加工，也可用于宝石、晶圆等非金属的加工。近年来，随着半导体行业的蓬勃发展，化学抛光机在晶圆方面的应用也得到极大发展。
现有化学机械抛光机都具有X、Y、Z各方向自动升降的功能，还具备自动喷淋抛光机等功能。抛光盘是化学机械抛光机上执行抛光动作的主要部件，抛光过程中，由于每种零件表面状态的不同，抛光盘各部分在抛光过程中所受力也不同，导致抛光盘会发生一定程度的倾斜。
传统的抛光机中没有检测及反馈抛光盘状态的功能，如果抛光盘发生倾斜，将导致所抛光的零件表面平行度不良，零件出现厚薄不均匀，严重影响表面抛光产品的质量。现有技术只注重表面抛光粗糙度的提高，并没有解决表面平行度问题容易产生不良的问题，当抛光硬度较高时会出现抛光盘发生倾斜的情况进而导致抛光零件平行度不良的情况，将抛光盘拆卸又耗时耗力，而且重新拆装需要再次对设备进行平行度校准，非常不方便。
现有技术公开号为：CN112847124A的中国专利公开了一种自动修正双面抛光过程中的晶圆平坦度的方法和系统，基于上抛光盘外侧与上抛光盘内侧的温度差自动调节上抛光盘内侧与所述上抛光盘外侧的高度差，实现了对双面抛光过程中晶圆平坦度的自动调节，实现了晶圆平坦度的管控，提高了产品良率，然而在实际使用中，通过温度差的方法判断平行度的方法仅适用与表面状态平整的零件的抛光检测，对于一些表面状态不平整的零件，抛光盘在打磨的过程中，并不是将抛光盘全部作用到零件上，根据零件的差异本身就存在温度差，因此提供温度差判断平整度的方式并不适用。
发明内容
为此，本发明所要解决的技术问题在于克服现有技术中无法对抛光盘自身平行度进行调节导致抛光零件表面平行度不良，零件出现厚薄不均匀的情况，提供一种抛光盘检测、调整系统和方法，能够检测抛光盘平行度，并自适应调整抛光盘的平行度。
为解决上述技术问题，本发明提供了一种抛光盘检测、调整系统，用于自适应调整抛光盘的平行度，包括：
液压调整机构，包括至少两个平行设置在抛光盘一侧的第一液压缸和第二液压缸，所述第一液压缸和第二液压缸沿抛光盘的轴线对称设置在抛光盘的两端，所述第一液压缸和第二液压缸能够抵接在所述抛光盘上；
液压检测模块，分别设置在第一液压缸和第二液压缸外，检测第一液压缸和第二液压缸进出口压力的变化；
液压控制模块，分别与第一液压缸和第二液压缸连接，根据第一液压缸和第二液压缸进出口压力的变化，提供调节动力，使第一液压缸和第二液压缸进出口压力动态平衡。
在本发明的一个实施例中，所述第一液压缸和第二液压缸均包括：
缸体；
伸缩杆，滑动设置在所述缸体内，所述伸缩杆的一端突出于所述缸体，突出的一端伸缩杆能够抵接在抛光盘上；
端盖，包括设置在缸体两侧的上端盖和下端盖，所述下端盖上设置有供所述伸缩杆穿过的通孔；
端口，包括分别靠近上端盖和下端盖设置的上端口和下端口，在所述上端口和下端口内均设置有液压检测模块。
在本发明的一个实施例中，所述液压检测模块包括分别设置在上端口和下端口内的上端口压力传感器和下端口压力传感器。
在本发明的一个实施例中，所述液压控制模块包括：三位电磁换向阀、变量泵、浮动阀、电磁比例溢流阀；
所述三位电磁换向阀的供油端与变量泵连通、所述三位电磁换向阀的回油端与浮动阀连通，所述三位电磁换向阀的输出端分别与液压缸的上端口和下端口连通形成供油回路；
所述三位电磁换向阀在左位或右位时，所述变量泵为液压缸提供动力油液，所述动力油液流经供油回路，后经浮动阀流回；所述电磁比例溢流阀，设置在所述变量泵与液压缸之间，控制动力油液的通断和流量，调节液压缸进口压力；
所述三位电磁换向阀在中位时，所述动力油液不流经液压缸，直接从所述浮动阀流回。
在本发明的一个实施例中，所述液压控制模块为还包括安全阀，所述安全阀设置在变量泵与电磁比例溢流阀之间。
为解决上述技术问题，本发明还提供了一种抛光盘检测、调整方法，应用上述抛光盘检测、调整系统，包括以下步骤：
S1、调整抛光盘初始平行度，通过液压控制模块使第一液压缸和第二液压缸内的伸缩杆抵接在抛光盘上，调节第一液压缸和第二液压缸的进出口压力，使第一液压缸和第二液压缸推动伸缩杆的压力相同；
S2、对抛光盘的平行度动态监测，通过液压检测模块实时监测第一液压缸和第二液压缸进出口压力的变化，根据变化情况判断抛光盘的平行度；
S3、当抛光盘的平行度变化时，通过液压控制模块再次调节第一液压缸和第二液压缸的进出口压力，使第一液压缸和第二液压缸推动伸缩杆的压力再次相同。
在本发明的一个实施例中，在步骤S1中调整抛光盘初始平行度的步骤包括：
S1-1、调节第一液压缸和第二液压缸的三位电磁换向阀至左位，启动变量泵，使动力油液进入到缸体中，推动伸缩杆抵接在抛光盘上；
S1-2、控制第一液压缸和第二液压缸中的电磁比例溢流阀的开度，使第一液压缸内上端口压力传感器和下端口压力传感器的差值与第二液压缸内上端口压力传感器和下端口压力传感器的差值相同；
S1-3、调整完成后，将三位电磁换向阀调整至中位，关闭变量泵，
在本发明的一个实施例中，在步骤S2对抛光盘的平行度动态监测的过程中，调节第一液压缸和第二液压缸的三位电磁换向阀至中位，所述第一液压缸和第二液压缸受到抛光盘施加的压力，伸缩杆处于随动的状态。
在本发明的一个实施例中，在步骤S3中，当第一液压缸内上端口压力传感器和下端口压力传感器的差值大于第二液压缸内上端口压力传感器和下端口压力传感器的差值时，抛光盘向第一液压缸施加的压力大于向第二液压缸施加的压力，保持第二液压缸的三位电磁换向阀在中位，调节第一液压缸的三位电磁换向阀至左位，控制第一液压缸中的电磁比例溢流阀的开度，直至第一液压缸和第二液压缸中上端口和下端口压力传感器差值相同时，将第一液压缸的三位电磁换向阀调整至中位，关闭变量泵。
在本发明的一个实施例中，在步骤S3中，当第一液压缸内上端口压力传感器和下端口压力传感器的差值小于第二液压缸内上端口压力传感器和下端口压力传感器的差值时，抛光盘向第一液压缸施加的压力小于向第二液压缸施加的压力，保持第一液压缸的三位电磁换向阀在中位，调节第二液压缸的三位电磁换向阀至左位，控制第一液压缸中的电磁比例溢流阀的开度，直至第一液压缸和第二液压缸中上端口和下端口压力传感器差值相同时，将第二液压缸的三位电磁换向阀调整至中位，关闭变量泵。
本发明的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
本发明所述的抛光盘检测、调整系统，包括液压调整机构、液压检测模块和液压控制模块，通过液压调整机构对抛光盘采用液压式调整，通过液压检测模块实时监测抛光盘工作时的平行度，当监测到抛光盘倾斜时，通过液压控制模块带动液压调整机构执行调整动作，实现对抛光盘的动态调整，使抛光盘始终保持平行度：
本发明所述的抛光盘检测、调整方法，通过上述系统，实现抛光盘初始平行度调整、抛光盘平行度动态监测、以及抛光盘平行度动态调节，实现抛光盘工作过程中的在线检测，能实时保证抛光盘的平行，保证被抛光零件的平行度，避免零件出现厚薄不均匀的情况产生，也可避免抛光盘拆卸耗时耗力的问题、以及重新拆装再次对设备进行平行度校准等麻烦。
附图说明
为了使本发明的内容更容易被清楚的理解，下面根据本发明的具体实施例并结合附图，对本发明作进一步详细的说明，其中
图1是本发明的液压调整机构的装配结构示意图；
图2是本发明的液压缸的结构示意图；
图3是本发明的液压检测模块和液压控制模块的原理图；
图4是本发明的抛光盘检测、调整方法的步骤流程图。
说明书附图标记说明：1、抛光盘；2、第一液压缸；21、缸体；22、伸缩杆；23、端盖；24、端口；3、第二液压缸；4、上端口压力传感器；5、下端口压力传感器；6、三位电磁换向阀；7、变量泵；8、浮动阀；9、电磁比例溢流阀；10、安全阀。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本发明并能予以实施，但所举实施例不作为对本发明的限定。
实施例1
参照图1所示，本发明的抛光盘检测、调整系统，用于自适应调整抛光盘1的平行度，包括：
液压调整机构，包括至少两个平行设置在抛光盘1一侧的第一液压缸2和第二液压缸3，所述第一液压缸2和第二液压缸3沿抛光盘1的轴线对称设置在抛光盘1的两端，所述第一液压缸2和第二液压缸3能够抵接在所述抛光盘1上，在对抛光盘1进行调整时，通过第一液压缸2和第二液压缸3推动抛光盘1对抛光盘1的倾斜角度进行调整；
液压检测模块，分别设置在第一液压缸2和第二液压缸3外，检测第一液压缸2和第二液压缸3进出口压力的变化；
液压控制模块，分别与第一液压缸2和第二液压缸3连接，根据第一液压缸2和第二液压缸3进出口压力的变化，提供调节动力，使第一液压缸2和第二液压缸3进出口压力动态平衡；
本实施例的抛光盘检测、调整系统，通过液压调整机构对抛光盘1采用液压式调整，通过液压检测模块实时监测抛光盘1工作时的平行度，当监测到抛光盘1倾斜时，通过液压控制模块带动液压调整机构执行调整动作，实现对抛光盘1的动态调整，使抛光盘1始终保持平行度。
参照图2所示，所述第一液压缸2和第二液压缸3的结构相同，所述第一液压缸2和第二液压缸3均包括：缸体21、伸缩杆22、端盖23和端口24；此实施例已第一液压缸2的结构为例展开说明：
所述缸体21为半封闭式结构，所述缸体21内设置有U型槽，所述伸缩杆22滑动设置在所述缸体21的U型槽中，所述伸缩杆22的一端突出于所述缸体21，在所述缸体21的U型槽内注入动力油液能够推动所述伸缩杆22沿所述U型槽滑动，突出的一端伸缩杆22能够在动力油液的带动下抵接在抛光盘1上；
所述端盖23用于封堵缸体21，所述端盖23包括分别设置在缸体21的上下两侧的上端盖和下端盖，所述下端盖上设置有供所述伸缩杆22穿过的通孔；
所述端口24设置在所述缸体21的侧面，所述端口24包括分别靠近上端盖和下端盖设置的上端口和下端口，在所述上端口和下端口内均设置有液压检测模块，所述液压检测模块通过上端口和下端口伸出到所述缸体21外部，实现液压检测模块与外部设备的电连接。
参照图3所示，所述第一液压缸2和第二液压缸3分别连接独立的液压检测模块和液压控制模块，并且与所述第一液压缸2和第二液压缸3连接用于监测和控制所述第一液压缸2和第二液压缸3执行动作的液压检测模块和液压控制模块结构和原理相同；
本实施例中，所述液压检测模块包括分别设置在上端口和下端口内的上端口压力传感器4和下端口压力传感器5，通过所述上端口压力传感器4和下端口压力传感器5差值能够表示出缸体21内伸缩杆22受到的压力；
所述液压控制模块包括：三位电磁换向阀6、变量泵7、浮动阀8、电磁比例溢流阀9；
所述三位电磁换向阀6的供油端与变量泵7连通、所述三位电磁换向阀6的回油端与浮动阀8连通，所述三位电磁换向阀6的输出端分别与液压缸的上端口和下端口连通形成供油回路，通过三位电磁换向阀6能够改变本实施例的液压控制模块的三种状态的切换；
第一种工作状态为：所述三位电磁换向阀6在左位，所述变量泵7为液压缸提供动力油液，所述动力油液从缸体21的上端口进、下端口出，后经过浮动阀8流回油箱，推动缸体21内的伸缩杆22向靠近抛光盘的方向移动，此工作状态适用于对抛光盘1的平行度调整；
第二种工作状态为：所述三位电磁换向阀6在右位，所述变量泵7为液压缸提供动力油液，所述动力油液从缸体21的下端口口进、上端口出，后经过浮动阀8流回油箱，推动缸体21内的伸缩杆22远离抛光盘的方向移动，此工作状态为回位状态，在设备不使用时可以将伸缩杆22收回；
第三种工作状态为：所述三位电磁换向阀6在中位，所述动力油液不流经液压缸，直接从所述浮动阀8流回，液压控制模块被动接收液压缸在外力的作用，通过伸缩杆22传递外力，使液压缸为受力的状态，使伸缩杆22随外力浮动，此工作状态适用于抛光盘1工作过程中，对抛光盘1的平行度进行实时监控；
所述电磁比例溢流阀9设置在所述变量泵7与液压缸之间，控制动力油液的通断和流量，调节液压缸进口压力，通过调节电磁比例溢流阀9，能够分别调节所述第一液压缸2和第二液压缸3内的伸缩杆22所受到的推力，当所述第一液压缸2和第二液压缸3的伸缩杆22所受推力相等时，表示所述第一液压缸2和第二液压缸3作用在抛光盘1上的力相等，从而表示抛光盘1处于平整状态。
本实施例中，由于所述抛光盘1需要转动进行抛光，因此所述抛光盘1通过转轴连接电机的，通过所述第一液压缸2和第二液压缸3抵接在抛光盘1对抛光盘1进行平行度调整时，其调整力是有安全限值的，因此施加在抛光盘1上的力不能超过安全限值，因此，所述液压控制模块为还包括安全阀10，所述安全阀10设置在变量泵7与电磁比例溢流阀9之间，当变量泵7提供的动力油液过大，导致施加的力超过安全限值时，所述安全阀10打开，多余的动力油液从安全阀10中流出。
实施例2
参照图4所示，本发明的抛光盘检测、调整方法，应用上述抛光盘检测、调整系统，完成对抛光盘1平行度的实时监测，并根据监测情况自适应调整抛光盘1的平行度：包括以下步骤：
S1、调整抛光盘1初始平行度，通过液压控制模块使第一液压缸2和第二液压缸3内的伸缩杆22抵接在抛光盘1上，调节第一液压缸2和第二液压缸3的进出口压力，使第一液压缸2和第二液压缸3推动伸缩杆22的压力相同；
具体地，在步骤S1中调整抛光盘1初始平行度的步骤包括：
S1-1、调节第一液压缸2的三位电磁换向阀6至左位，启动变量泵7，使动力油液进入到缸体21中，调整电磁比例溢流阀9，使其处于全开的状态，第一液压缸2的顶杆向下伸出，推动伸缩杆22抵接在抛光盘1上；调节第二液压缸3的三位电磁换向阀6至左位，启动变量泵7，使动力油液进入到缸体21中，调整电磁比例溢流阀9，使其处于全开的状态，第二液压缸3的顶杆向下伸出，推动伸缩杆22抵接在抛光盘1上；
S1-2、控制第一液压缸2和第二液压缸3中的电磁比例溢流阀9的开度，使第一液压缸2内上端口压力传感器4和下端口压力传感器5的差值与第二液压缸3内上端口压力传感器4和下端口压力传感器5的差值相同，本实施例中第一液压缸2结构相同、设置的位置对称，应该调整到第一液压缸2内上端口压力传感器4的数值与第二液压缸3内上端口压力传感器4数值相同，第二液压缸3内下端口压力传感器5的数值与第二液压缸3内下端口压力传感器5的数值相同，在其他实施例，采用不同型号的液压缸时，仅需调整到第一液压缸2内上端口压力传感器4和下端口压力传感器5的差值与第二液压缸3内上端口压力传感器4和下端口压力传感器5的差值相同即可；
S1-3、调整完成后，将三位电磁换向阀调整至中位，关闭变量泵
S2、对抛光盘1的平行度动态监测，抛光盘1在工作的过程中由于抛光盘1作用在工件上，抛光盘1受到压力的作用，传递到第一液压缸2和第二液压缸3，第一液压缸2和第二液压缸3内的压力会变化，通过液压检测模块实时监测第一液压缸2和第二液压缸3进出口压力的变化，根据变化情况判断抛光盘1的平行度，当抛光盘1平整时，第一液压缸2和第二液压缸3进出口压力的变换幅度是相同的，即第一液压缸2内上端口压力传感器4和下端口压力传感器5的差值与第二液压缸3内上端口压力传感器4和下端口压力传感器5的差值始终相同，当抛光盘1倾斜时，第一液压缸2和第二液压缸3进出口压力的变换幅度是不同的，即第一液压缸2内上端口压力传感器4和下端口压力传感器5的差值与第二液压缸3内上端口压力传感器4和下端口压力传感器5的差值不同；
具体地，在步骤S2对抛光盘1的平行度动态监测的过程中，调节第一液压缸2和第二液压缸3的三位电磁换向阀6至中位，所述第一液压缸2和第二液压缸3受到抛光盘1施加的压力，伸缩杆22处于随动的状态。
S3、当抛光盘1的平行度变化时，通过液压控制模块再次调节第一液压缸2和第二液压缸3的压力，使第一液压缸2和第二液压缸3推动伸缩杆22的压力再次相同；
具体地，当第一液压缸2内上端口压力传感器4和下端口压力传感器5的差值大于第二液压缸3内上端口压力传感器4和下端口压力传感器5的差值时，抛光盘1向第一液压缸2施加的压力大于向第二液压缸3施加的压力，此时抛光盘1与第一液压缸2接触的一端高于与第二液压缸3接触的一端；保持第二液压缸3的三位电磁换向阀6在中位，调节第一液压缸2的三位电磁换向阀6至左位，控制第一液压缸2中的电磁比例溢流阀9的开度，使第一液压缸2内上端口压力传感器4和下端口压力传感器5的差值与第二液压缸3内上端口压力传感器4和下端口压力传感器5的差值相同，完成对倾斜状态的修复调整，将第一液压缸的三位电磁换向阀调整至中位，关闭变量泵。
具体地，当第一液压缸2内上端口压力传感器4和下端口压力传感器5的差值小于第二液压缸3内上端口压力传感器4和下端口压力传感器5的差值时，抛光盘1向第一液压缸2施加的压力小于向第二液压缸3施加的压力，此时抛光盘1与第一液压缸2接触的一端低于与第二液压缸3接触的一端保持第一液压缸2的三位电磁换向阀6在中位，调节第二液压缸3的三位电磁换向阀6至左位，控制第二液压缸3中的电磁比例溢流阀9的开度，使第二液压缸3内上端口压力传感器4和下端口压力传感器5的差值与第一液压缸2内上端口压力传感器4和下端口压力传感器5的差值相同，完成对倾斜状态的修复调整，将第二液压缸的三位电磁换向阀调整至中位，关闭变量泵。
本领域内的技术人员应明白，本申请的实施例可提供为方法、系统、或计算机程序产品。因此，本申请可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且，本申请可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器、CD-ROM、光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。
本申请是参照根据本申请实施例的方法、设备(系统)、和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程数据处理设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。
这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。
这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理设备上，使得在计算机或其他可编程设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，从而在计算机或其他可编程设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种抛光盘检测、调整系统，用于自适应调整抛光盘的平行度，其特征在于：包括：
液压调整机构，包括至少两个平行设置在抛光盘一侧的第一液压缸和第二液压缸，所述第一液压缸和第二液压缸沿抛光盘的轴线对称设置在抛光盘的两端，所述第一液压缸和第二液压缸能够抵接在所述抛光盘上；
液压检测模块，分别设置在第一液压缸和第二液压缸外，检测第一液压缸和第二液压缸进出口压力的变化；
液压控制模块，分别与第一液压缸和第二液压缸连接，根据第一液压缸和第二液压缸进出口压力的变化，提供调节动力，使第一液压缸和第二液压缸进出口压力动态平衡。
2.根据权利要求1所述的抛光盘检测、调整系统，其特征在于：所述第一液压缸和第二液压缸均包括：
缸体；
伸缩杆，滑动设置在所述缸体内，所述伸缩杆的一端突出于所述缸体，突出的一端伸缩杆能够抵接在抛光盘上；
端盖，包括设置在缸体两侧的上端盖和下端盖，所述下端盖上设置有供所述伸缩杆穿过的通孔；
端口，包括分别靠近上端盖和下端盖设置的上端口和下端口，在所述上端口和下端口内均设置有液压检测模块。
3.根据权利要求2所述的抛光盘检测、调整系统，其特征在于：所述液压检测模块包括分别设置在上端口和下端口内的上端口压力传感器和下端口压力传感器。
4.根据权利要求2所述的抛光盘检测、调整系统，其特征在于：所述液压控制模块包括：三位电磁换向阀、变量泵、浮动阀、电磁比例溢流阀；
所述三位电磁换向阀的供油端与变量泵连通、所述三位电磁换向阀的回油端与浮动阀连通，所述三位电磁换向阀的输出端分别与液压缸的上端口和下端口连通形成供油回路；
所述三位电磁换向阀在左位或右位时，所述变量泵为液压缸提供动力油液，所述动力油液流经供油回路，后经浮动阀流回；所述电磁比例溢流阀，设置在所述变量泵与液压缸之间，控制动力油液的通断和流量，调节液压缸进口压力；
所述三位电磁换向阀在中位时，所述动力油液不流经液压缸，直接从所述浮动阀流回。
5.根据权利要求4所述的抛光盘检测、调整系统，其特征在于：所述液压控制模块为还包括安全阀，所述安全阀设置在变量泵与电磁比例溢流阀之间。
6.一种抛光盘检测、调整方法，其特征在于：应用上述权利要求1-5任意一项所述的抛光盘检测、调整系统，包括以下步骤：
S1、调整抛光盘初始平行度，通过液压控制模块使第一液压缸和第二液压缸内的伸缩杆抵接在抛光盘上，调节第一液压缸和第二液压缸的进出口压力，使第一液压缸和第二液压缸推动伸缩杆的压力相同；
S2、对抛光盘的平行度动态监测，通过液压检测模块实时监测第一液压缸和第二液压缸进出口压力的变化，根据变化情况判断抛光盘的平行度；
S3、对抛光盘平行度动态调节，当抛光盘的平行度变化时，通过液压控制模块再次调节第一液压缸和第二液压缸的进出口压力，使第一液压缸和第二液压缸推动伸缩杆的压力再次相同。
7.根据权利要求6所述的抛光盘检测、调整方法，其特征在于：在步骤S1中调整抛光盘初始平行度的步骤包括：
S1-1、调节第一液压缸和第二液压缸的三位电磁换向阀至左位，启动变量泵，使动力油液进入到缸体中，推动伸缩杆抵接在抛光盘上；
S1-2、控制第一液压缸和第二液压缸中的电磁比例溢流阀的开度，使第一液压缸内上端口压力传感器和下端口压力传感器的差值与第二液压缸内上端口压力传感器和下端口压力传感器的差值相同；
S1-3、调整完成后，将三位电磁换向阀调整至中位，关闭变量泵。
8.根据权利要求6所述的抛光盘检测、调整方法，其特征在于：在步骤S2对抛光盘的平行度动态监测的过程中，调节第一液压缸和第二液压缸的三位电磁换向阀至中位，所述第一液压缸和第二液压缸受到抛光盘施加的压力，伸缩杆处于随动的状态。
9.根据权利要求6所述的抛光盘检测、调整方法，其特征在于：在步骤S3中，当第一液压缸内上端口压力传感器和下端口压力传感器的差值大于第二液压缸内上端口压力传感器和下端口压力传感器的差值时，抛光盘向第一液压缸施加的压力大于向第二液压缸施加的压力，保持第二液压缸的三位电磁换向阀在中位，调节第一液压缸的三位电磁换向阀至左位，控制第一液压缸中的电磁比例溢流阀的开度，直至第一液压缸和第二液压缸中上端口和下端口压力传感器差值相同时，将第一液压缸的三位电磁换向阀调整至中位，关闭变量泵。
10.根据权利要求6所述的抛光盘检测、调整方法，其特征在于：在步骤S3中，当第一液压缸内上端口压力传感器和下端口压力传感器的差值小于第二液压缸内上端口压力传感器和下端口压力传感器的差值时，抛光盘向第一液压缸施加的压力小于向第二液压缸施加的压力，保持第一液压缸的三位电磁换向阀在中位，调节第二液压缸的三位电磁换向阀至左位，控制第一液压缸中的电磁比例溢流阀的开度，直至第一液压缸和第二液压缸中上端口和下端口压力传感器差值相同时，将第二液压缸的三位电磁换向阀调整至中位，关闭变量泵。
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