CN114435876A - 搬运车 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种搬运车。保持部（20）具备与升降装置连结的第1部分（21）、经由第1部分（21）与升降装置连结且与物品接触的第2部分（22）、被设置于第1部分（21）和第2部分（22）之间而改变第2部分（22）相对于第1部分（21）的倾斜角度（A）的角度调整机构（40）。

Description

搬运车
技术领域
本发明涉及搬运物品的搬运车。
背景技术
如上所述的搬运车的一例被公开于日本特开2012-64799号公报(专利文献1)。以下，背景技术的说明中括号内所示的附图标记是专利文献1的附图标记。专利文献1中，作为搬运物品的搬运车，公开了搬运收纳容器(4)的顶棚搬运车(A)。该顶棚搬运车(A)具备沿行进路径(3)行进的行进部(11)、保持收纳容器(4)的保持部(10)、使保持部(10)相对于行进部(11)升降的升降装置。
在专利文献1中，收纳容器(4)是在侧面形成有用于使基板(5)出入的开口(6)的开放式晶圆匣。为了防止基板(5)从被保持于保持部(10)的收纳容器(4)的开口(6)飞出，在专利文献1的顶棚搬运车(A)，设置有具备能够移动至与基板(5)的侧面接触的接触位置和从基板(5)的侧面离开的离开位置的接触体(26)的飞出防止机构(9)。
搬运车的行进时振动容易传至被保持于保持部的物品，所以无论有无专利文献1的飞出防止机构这样的机构，搬运车的行进时，希望物品被以容易较高地确保相对于振动的允许度的姿势保持于保持部。这样，希望在搬运车的行进时，物品被以适合搬运车的行进时的姿势保持于保持部，但有适合搬运车的行进时的物品的姿势与在移载对象部位(物品被在与保持部之间移载的部位)所要求的物品的姿势不同的情况。例如，专利文献1中，物品是在侧面形成有开口的收纳容器，移载对象部位是相对于被从收纳容器取出的基板进行处理的处理装置的装载端口。因此，与在移载对象部位所要求的收纳容器的姿势如专利文献1的图5所示呈容易使基板相对于收纳容器出入的姿势(具体地，开口朝向水平方向的水平姿势)相对，适合搬运车的行进时的收纳容器的姿势为基板难以从开口移动至收纳容器的外部的姿势(例如，开口朝向斜上方的倾斜姿势)。
适合搬运车的行进时的物品的姿势与移载对象部位所要求的物品的姿势不同的情况下，若简单地构成为物品以适合搬运车的行进时的姿势被保持于保持部，则在保持部和移载对象部位之间的物品的移载时被配置于移载对象部位的物品的姿势也呈适合搬运车的行进时的姿势。因此，需要在移载对象部位设置在适合搬运车的行进时的姿势和在移载对象部位所要求的姿势之间改变物品的姿势的机构，除了保持部和移载对象部位之间的物品的移载动作以外，在移载对象部位需要进行物品的姿势改变动作，有物品的处理效率下降的可能。
发明内容
因此，希望实现如下技术：适合搬运车的行进时的物品的姿势与在移载对象部位所要求的物品的姿势不同的情况下，能够将物品借助保持部在搬运车的行进时以适合搬运车的行进时的姿势保持，且使在保持部与移载对象部位之间的物品的移载时被配置于移载对象部位的物品的姿势为在该移载对象部位所要求的姿势。
本申请的搬运车是搬运物品的搬运车，其特征在于，具备沿移动路径移动的主体部、保持前述物品的保持部、使前述保持部相对于前述主体部沿升降方向升降的升降装置，前述保持部具备第1部分、第2部分、角度调整机构，前述第1部分与前述升降装置连结，前述第2部分经由前述第1部分与前述升降装置连结且接触前述物品，前述角度调整机构被设置于前述第1部分和前述第2部分之间，改变前述第2部分相对于前述第1部分的倾斜角度。
根据本结构，保持部具备角度调整机构，所以即使不在升降装置设置用于改变保持部的姿势的机构，通过借助角度调整机构改变第2部分相对于第1部分的倾斜角度，也能够使第2部分接触的物品(即，被保持于保持部的物品)的姿势为所希望的姿势。由此，能够使搬运车的行进时的物品的姿势为适合搬运车的行进时的姿势，且能够使保持部和移载对象部位之间的物品的移载时的物品的姿势为在该移载对象部位所要求的姿势。由此，能够在搬运车的行进时借助保持部以适合搬运车的行进时的姿势保持物品，且在保持部和移载对象部位之间的物品的移载时使配置于移载对象部位的物品的姿势为在该移载对象部位所要求的姿势。另外，本方案中，无需将用于改变保持部的姿势的机构设置于升降装置，所以能够抑制升降装置的复杂化且实现本申请的搬运车。
搬运车的进一步的特征和优点会根据参照附图说明的关于实施方式的以下的记载而明确。
附图说明
图1是搬运车的立体图。
图2是搬运车的主视图。
图3是表示物品被在保持部和移载对象部位之间移载的状况的图。
图4是倾斜角度被调整成第2角度的状态下的保持部的立体图。
图5是倾斜角度被调整成第1角度的状态下的保持部的立体图。
图6是来自移载对象部位的物品的搬出动作的说明图。
图7是来自移载对象部位的物品的搬出动作的说明图。
图8是来自移载对象部位的物品的搬出动作的说明图。
图9是朝向移载对象部位的物品的搬入动作的说明图。
图10是朝向移载对象部位的物品的搬入动作的说明图。
图11是朝向移载对象部位的物品的搬入动作的说明图。
图12是朝向移载对象部位的物品的搬入动作的说明图。
图13是朝向移载对象部位的物品的搬入动作的说明图。
图14是控制框图。
具体实施方式
参照附图，对搬运车的实施方式进行说明。
搬运车1在图3中例示那样的物品搬运设备100中沿移动路径2行进来搬运物品90。如图1~图3所示，搬运车1具备沿移动路径2移动的主体部10、保持物品90的保持部20、使保持部20相对于主体部10沿铅垂方向V升降的升降装置50。这里，将移动路径2的长边方向(移动路径2延伸的方向)设为路径长边方向L，将移动路径2的宽度方向设为路径宽度方向W。路径宽度方向W是与路径长边方向L及铅垂方向V的双方正交的方向。此外，将以搬运车1为基准定义的方向(即，根据搬运车1的姿势变化的方向)且为在被配置于移动路径2的状态下沿着路径长边方向L的方向设为车体前后方向X，将以搬运车1为基准定义的方向且为在被配置于移动路径2的状态下沿着路径宽度方向W的方向设为车体左右方向Y。在本实施方式中，铅垂方向V相当于“升降方向”。
移动路径2可以是物理上被形成也可以是被假想地设定。在本实施方式中，移动路径2用轨道3而被在物理上形成。具体地，物品搬运设备100具备被沿移动路径2配置的轨道3(这里是被沿路径宽度方向W隔开间隔地配置的一对轨道3)，主体部10沿轨道3移动。此外，在本实施方式中，轨道3被从顶棚4悬挂支承，移动路径2被沿顶棚4形成。即，在本实施方式中，搬运车1是沿着被沿顶棚4形成的移动路径2行进的顶棚搬运车。另外，搬运车1也可以是顶棚搬运车以外的搬运车。
如图1及图2所示，主体部10具备行进部11和罩部14，前述行进部11具备在轨道3(这里是一对轨道3)的行进面滚动的车轮12，前述罩部14与行进部11连结。轨道3的行进面是朝向铅垂方向V的上方V1的面，车轮12绕与铅垂方向V正交的轴心旋转。行进部11具备使车轮12旋转的行进驱动部70(例如，伺服马达等电动马达，参照图14)，车轮12被行进驱动部70旋转驱动，由此，行进部11沿轨道3行进。如图2所示，在本实施方式中，行进部11具备在轨道3的引导面滚动的引导轮13，行进部11在引导轮13被轨道3的引导面接触引导的状态下沿轨道3行进。轨道3的引导面是朝向路径宽度方向W的内侧(朝向一对轨道3之间的路径宽度方向W的中心位置的一侧)的面，引导轮13绕沿铅垂方向V的轴心旋转 (本例中为空转)。图1所示的例子中，主体部10以沿车体前后方向X排列的方式具备一对行进部11。
如图1所示，在本实施方式中，罩部14在相对于行进部11被配置于铅垂方向V的下方V2的状态下支承于行进部11。搬运车1的行进时，被保持于保持部20的状态的物品90被配置于罩部14的内部空间。如图1所示，在本实施方式中，罩部14的内部空间为车体前后方向X的两侧封闭且车体左右方向Y的至少一侧开放。由此，被配置于罩部14的内部空间的物品90被罩部14的壁部至少从车体前后方向X的两侧覆盖。
如图4所示，保持部20具备支承形成于物品90的被保持部91(参照图2)的支承部23，用支承部23保持物品90。在图2所示的例子中，保持部20从上方V1保持物品90。具体地，被保持部91是形成于构成物品90的上表面90a的上表面部(例如，板状的顶棚部)的凸缘部，支承部23在该支承部23的支承部分被插入被保持部91和上表面部之间的空间(以下称作“支承用空间”)的状态下从下方V2支承被保持部91。支承部23具备朝向上方V1的支承面23a(参照图4)，使支承面23a接触被保持部91的下表面，从下方V2支承被保持部91。另外，被保持部91不限于形成于物品90的上部的凸缘部，例如，也可以是物品90的上表面部(具体地为上表面部的外周部分)被用作被保持部91的结构、在构成物品90的侧面90b的侧面部形成被保持部91的结构、或者构成物品90的底面90c的底面部(例如为板状的底板部)被用作被保持部91的结构。
保持部20具备用于进行基于保持部20的物品90的保持及保持解除的保持驱动部72(例如螺线管、电动马达，参照图14)，通过保持驱动部72的驱动，进行基于保持部20的物品90的保持及保持解除。在本实施方式中，如图4所示，保持部20具备一对支承部23，保持驱动部72构成为使一对支承部23(具体地为一对支承部23的一方的支承部分和另一方的支承部分)互相接近及离开。另外，支承部分是形成有支承面23a的部分。
若将一对支承部23互相接近及离开的方向(换言之，一对支承部23的排列方向)设为对象方向，则进行基于保持部20的物品90的保持的情况下，保持驱动部72使一对支承部23互相接近，将一对支承部23的姿势切换成一对支承部23的间隔变得比被保持部91的对象方向的宽度小的保持姿势。此外，进行基于保持部20的物品90的保持解除的情况下，保持驱动部72使一对支承部23互相离开，将一对支承部23的姿势切换成一对支承部23的间隔变得比被保持部91的对象方向的宽度大的保持解除姿势。这里，姿势用作包括位置及朝向的至少一方的概念。图4及图5中所示的例子中，车体前后方向X为对象方向。
保持部20被配置于后述的第2位置P2(参照图3、图6、图11)的状态下，将一对支承部23的姿势从保持解除姿势切换成保持姿势，由此，一对支承部23的各自的支承部分被插入配置于移载对象部位6的物品90的支承用空间。该状态下使保持部20上升，由此，物品90与保持部20一同上升。此外，保持部20被配置于第2位置P2的状态下，将一对支承部23的姿势从保持姿势切换成保持解除姿势，由此，一对支承部23的各自的支承部分被从保持于保持部20的物品90的支承用空间抽出。该状态下使保持部20上升，由此，在将物品90留在移载对象部位6的状态下仅保持部20上升。
物品90的种类不限于此，如图2所示，在本实施方式中，物品90是在侧面90b具有开口部92的容器。开口部92被设置成用于相对于物品90使容纳物出入，经由开口部92进行容纳物相对于物品90的出入。除了开口部92之外的开口(例如，用于轻量化、洗涤的开口、或物品90的构造上形成的开口)也可以被形成于物品90的侧面90b，但以容纳于物品90的容纳物若不穿过开口部92就不能移动至物品90的外部的方式构成物品90。在本实施方式中，玻璃基板、半导体晶圆等基板93(容纳物的一例)被容纳于物品90。此外，在本实施方式中，物品90构成为，能够将多张基板93沿上下方向(底面90c被配置成水平的状态下沿着铅垂方向V的方向)排列地容纳。
在本实施方式中，物品90不具备将开口部92封闭的盖。例如，能够将开放式晶圆匣用作物品90。物品90也能够构成为具备将开口部92封闭的盖。该情况下，例如，能够将前端开启式晶圆传送盒(FOUP，Front Opening Unified Pod)用作物品90。
在图4及图5中，例示了以一对支承部23在车体前后方向X上互相接近及离开的朝向配置保持部20的情况，但也可以以一对支承部23在车体左右方向Y上互相接近及离开的朝向配置保持部20。此外，在图1~图3中，例示了物品90被以开口部92朝向车体左右方向Y的一侧的朝向保持于保持部20的情况，但物品90也可以被以开口部92朝向车体前后方向X的一侧的朝向保持于保持部20。另外，搬运车1也能够构成为具备使保持部20相对于主体部10绕沿铅垂方向V的轴心旋转的机构。从更切实地防止被容纳于物品90的基板93在搬运车1的行进时从开口部92向物品90的外部移动的观点出发，优选为物品90被以开口部92朝向罩部14的壁部的朝向保持于保持部20的结构。
升降装置50具备用于使保持部20升降的升降驱动部71(例如，伺服马达等电动马达、参照图14)，保持部20由于升降驱动部71的驱动而升降。升降装置50在第1位置P1(参照图2及图3)和比第1位置P1靠下方V2的第2位置P2(参照图3)之间使保持部20升降。第1位置P1是升降方向(铅垂方向V)的上端的位置。第1位置P1是主体部10移动的情况的保持部20的铅垂方向V的位置。即，第1位置P1是搬运车1的行进时的保持部20的位置。在本实施方式中，第1位置P1是被保持于保持部20的状态的物品90被配置于罩部14的内部空间那样的保持部20的位置。此外，第2位置P2是进行基于保持部20的物品90的保持及保持解除的情况的保持部20的铅垂方向V的位置。即，第2位置P2是进行基于保持部20的物品90的保持及保持解除的位置，换言之，是在保持部20和移载对象部位6之间的物品90的移载时的保持部20的位置。第2位置P2被与各移载对象部位6的高度(铅垂方向V的位置)对应地设定。在本实施方式中，第2位置P2被设定成通过将一对支承部23的姿势切换成保持姿势和保持解除姿势，能够将一对支承部23的各自的支承部分相对于被在移载对象部位6配置的物品90的支承用空间插脱的高度。
图3中，作为移载对象部位6的一例，表示被与处理装置5相邻地配置的装载端口。处理装置5是使物品90为处理对象的装置，在本实施方式中，相对于已被从物品90取出的基板93进行处理。如图3所示，物品90被以开口部92朝向处理装置5侧的方式配置于移载对象部位6。
如图2中简化而示意地表示，升降装置50具备被旋转驱动的旋转体51、缠绕及放出自如地卷绕于旋转体51的传动部件52。升降装置50还具备将旋转体51旋转驱动的上述的升降驱动部71(参照图14)。旋转体51及升降驱动部71被支承于主体部10，在本实施方式中，被配置于罩部14的内部空间的上方V1的部分。例如，设为传动部件52为带而旋转体51是缠绕带的缠绕滑轮的结构、或者传动部件52是线材而旋转体51是缠绕线材的缠绕滚筒的结构。传动部件52与保持部20连结。具体地，如图3所示，在传动部件52的从旋转体51放出的末端侧设置的连结部52a与保持部20连结。升降装置50使旋转体51通过升降驱动部71的驱动旋转，将传动部件52缠绕或放出，由此使保持部20上升或下降(即升降)。这样，升降装置50在将保持部20悬挂支承的状态下使保持部20升降。
如图2及图3所示，在本实施方式中，升降装置50具备多个旋转体51，传动部件52被卷绕于多个旋转体51的每一个。在图2及图3所示的例子中，升降装置50具备三个旋转体51。并且，多个传动部件52(本例中为三个传动部件52)的各自的连结部52a与保持部20连结。如图4所示，多个连结部52a与保持部20的互不相同的部分连结。另外，图2及图3中表示升降装置50具备多个旋转体51所以将多个旋转体51分别配置于另外的轴，但多个旋转体51也可以被同轴地排列来配置。此外，图3中，传动部件52的连结部52a被配置于卷绕有该传动部件52的旋转体51的正下方，但也可以构成为，传动部件52的从旋转体51放出的放出部分被卷挂于引导用旋转体(引导用滑轮等)而传动部件52的连结部52a被配置于该引导用旋转体的正下方。
在本实施方式中，物品90是基板93经由形成于侧面90b的开口部92出入的容器。因此，搬运车1的行进时，如图2所示，使物品90的姿势为开口部92朝向斜上方的倾斜姿势S1，由此，能够使容纳于物品90的基板93难以从开口部92移动至物品90的外部。另一方面，如图3所示的例所示，在移载对象部位6进行基板93相对于物品90的出入的情况下，使物品90的姿势为开口部92朝向水平方向的水平姿势S2，由此变得容易进行经由开口部92的基板93相对于物品90的出入。即，图3所示的例子中，移载对象部位6处所要求的物品90的姿势为水平姿势S。在本实施方式中，保持部20具备以下说明的角度调整机构40，由此，搬运车1的行进时借助保持部20以倾斜姿势S1保持物品90，且能够使配置于移载对象部位6的物品90的姿势为水平姿势S2。
如图2~图5所示，保持部20具备与升降装置50连结的第1部分21、经由第1部分21与升降装置50连结且接触物品90的第2部分22、角度调整机构40。保持部20还具备驱动角度调整机构40的摆动驱动部73(例如，电动马达、螺线管，参照图14)。在本实施方式中，摆动驱动部73相当于“驱动部”。
在本实施方式中，第1部分21与传动部件52连结。第1部分21与多个传动部件52的每一个(具体地，多个传动部件52的各自的连结部52a)连结。因此，第1部分21的姿势与多个连结部52a(这里是三个连结部52a)之间的高低差对应地确定。在本实施方式中，设置有将多个旋转体51旋转驱动的共通的升降驱动部71，第1部分21借助升降装置50升降，使得姿势被维持成特定的姿势(这里是所有连结部52a被配置于相同高度的姿势)。因此，如图3所示，在保持部20位于第1位置P1的状态、保持部20位于第2位置P2的状态、及保持部20位于第1位置P1和第2位置P2之间的第3位置P3的状态的任何状态下，第1部分21都被以上述特定的姿势配置。
第2部分22是保持部20的接触物品90的部分。因此，被保持于保持部20的物品90的姿势被与第2部分22的姿势对应地确定。第2部分22具备支承部23(在本实施方式中为一对支承部23)，构成第2部分22的支承部23接触物品90(具体地为被保持部91)。
角度调整机构40被设置于第1部分21和第2部分22之间，改变第2部分22相对于第1部分21的倾斜角度A(参照图2、图5)。如图4及图5所示，在本实施方式中，角度调整机构40通过使第2部分22绕沿水平方向的轴心R摆动(相对于第1部分21摆动)来改变倾斜角度A。这里，将倾斜角度A定义成，将被保持于保持部20(具体地为第2部分22)的物品90被以水平姿势S2配置的情况为0度。图4表示倾斜角度A为0度的状态的保持部20。此外，将倾斜角度A定义成，被保持于保持部20的物品90被以开口部92朝向斜上方的倾斜姿势S1配置的情况下(参照图2)为正的锐角。这里，沿进行经由开口部92的容纳物(在本实施方式中为基板93)的出入时的容纳物的移动方向，将朝向物品90的外部的方向设为开口部92的朝向，在本实施方式中，物品90的底面90c沿着水平面的姿势为开口部92朝向水平方向的水平姿势S2。
在本实施方式中，轴心R被配置成沿着车体前后方向X，如图5所示，第2部分22相对于第1部分21倾斜的情况下(具体地为倾斜角度A为正的锐角的情况下)，第2部分22为车体左右方向Y的一侧变得比另一侧高。因此，在本实施方式中，物品90被以开口部92俯视时(沿着铅垂方向V的方向观察时)朝向车体左右方向Y的该一侧的朝向保持于保持部20。
在图4及图5中表示一例，在本实施方式中，角度调整机构40具备固定于第2部分22的摆动部件41、固定于第1部分21的支承部件42，支承部件42将摆动部件41能够绕轴心R旋转地支承。并且，摆动驱动部73构成为使摆动部件41绕轴心R摆动。摆动部件41被固定于第2部分22，所以通过这样使摆动部件41绕轴心R摆动，能够使第2部分22绕轴心R摆动，能够改变倾斜角度A。另外，摆动驱动部73被固定于第1部分21。
在图4及图5中表示的例子中，摆动部件41是被配置于轴心R上的轴部件，经由固定部件43固定于第2部分22。本例中，在沿着轴心R的方向(这里是车体前后方向X)的两部位，摆动部件41被经由固定部件43固定于第2部分22(具体地是第2部分22具备的主体部)。一对支承部23被引导机构46引导互相接近及离开的方向(这里是沿着轴心R的方向)的移动。本例中，引导机构46是具备在沿着轴心R的方向上延伸的引导轨道、卡合于引导轨道的引导块的直线运动机构，引导轨道被固定于第2部分22的上述主体部，引导块被固定于一对支承部23的每一个。
驱动一对支承部23的保持驱动部72被固定于第2部分22的上述主体部。本例中，保持驱动部72经由运动变换机构45驱动一对支承部23。这里，运动变换机构45是滚柱丝杠机构，被作为保持驱动部72的电动马达旋转驱动的旋转轴的旋转运动被转换成一对支承部23的各自的直线运动。另外，一对支承部23也可以不构成为在沿着轴心R的方向上互相接近及离开，而是一对支承部23构成为在俯视时与轴心R正交的方向(本例中为车体左右方向Y)上互相接近及离开。
在图4及图5中表示的例子中，摆动部件41在沿着轴心R的方向的两部位被绕轴心R能够旋转地支承于支承部件42。具体地，相对于一对固定部件43在沿轴心R的方向的两侧的每一个设置有支承部件42，支承部件42的每一个将摆动部件41相对于第1部分21能够旋转地支承。并且，本例中，固定于第1部分21的摆动驱动部73经由齿轮机构44(例如减速机构)与摆动部件41连结，作为摆动驱动部73的电动马达的旋转经由齿轮机构44被传递至摆动部件41，摆动部件41摆动。另外，图4及图5的各部分的尺寸、形状是概念性的，实际的尺寸、形状不限于此。
如图14所示，物品搬运设备100具备控制搬运车1的动作的控制部80。控制部80具备CPU等运算处理装置且具备存储器等周边回路，通过这些硬件和运算处理装置等硬件上所执行的程序的协作，实现控制部80的各功能。控制部80可以设置于搬运车1，也可以与搬运车1独立地设置。此外，控制部80具备能够互相通信地被分离的多个硬件的情况下，也可以是一部分的硬件设置于搬运车1，余下的硬件被与搬运车1独立地设置。
控制部80通过控制行进驱动部70的驱动来使主体部10进行沿移动路径2移动的移动动作。具体地，控制部80通过控制行进驱动部70的驱动来使行进部11进行沿轨道3行进的行进动作。在本实施方式中，通过行进部11的行进动作实现主体部10的移动动作。控制部80在将保持部20保持着的物品90搬运至移载对象部位6的情况下，在保持部20保持着物品90的状态下使行进部11进行行进动作。此外，控制部80通过控制升降驱动部71的驱动使升降装置50进行使保持部20升降的升降动作。此外，控制部80通过控制保持驱动部72的驱动来使保持部20进行保持物品90的保持动作、解除物品90的保持的保持解除动作。在本实施方式中，物品90的保持动作是使一对支承部23互相接近的动作(换言之，将一对支承部23的姿势切换成保持姿势的动作)，物品90的保持解除动作是使一对支承部23互相离开的动作(换言之，将一对支承部23的姿势切换成保持解除姿势的动作)。此外，控制部80通过控制支承驱动部73的驱动，使保持部20进行改变第2部分22相对于第1部分21的倾斜角度A的倾斜角度改变动作。
将物品90从移载对象部位6移载至保持部20的情况(即，将物品90从移载对象部位6搬出的情况)下，控制部80使行进部11进行使搬运车1行进至与移载对象部位6对应的位置(这里是比移载对象部位6靠上方V1且俯视时与移载对象部位6重叠的位置)的行进动作后，使升降装置50进行使未保持物品90的保持部20从第1位置P1下降至第2位置P2的升降动作(参照图6)。在本实施方式中，摆动驱动部73在未保持物品90的保持部20向第2位置P2下降的期间，使倾斜角度A为后述的第2角度。具体地，在未保持物品90的保持部20在倾斜角度A为第2角度的状态下被配置于第1位置P1，在保持部20从第1位置P1下降至第2位置P2的期间，倾斜角度A被维持成第2角度。保持部20到达第2位置P2时，控制部80使保持部20进行物品90的保持动作，之后，使升降装置50进行使保持部20从第2位置P2上升至第1位置P1的升降动作(参照图7、图8)。由此，保持着物品90的保持部20上升至第1位置P1。
另一方面，将物品90从保持部20移载至移载对象部位6的情况(即，将物品90搬入移载对象部位6的情况)下，控制部80使行进部11进行使搬运车1行进至与移载对象部位6对应的位置后，使升降装置50进行使保持着物品90的保持部20从第1位置P1下降至第2位置P2的升降动作(参照图9~图11)。保持部20到达第2位置P2时，控制部80使保持部20进行物品90的保持解除动作，之后，使升降装置50进行使保持部20从第2位置P2上升至第1位置P1的升降动作(参照图11)。由此，将物品90留在移载对象部位6的状态下，未保持物品90的保持部20上升至第1位置P1。在本实施方式中，摆动驱动部73在未保持物品90的保持部20从第2位置P2上升的期间，使倾斜角度A为第2角度。
在本实施方式中，摆动驱动部73构成为在保持部20保持着物品90的情况下执行倾斜角度调整控制。摆动驱动部73受到控制部80进行的控制，执行倾斜角度调整控制。将铅垂方向V上的包括第2位置P2的区域设为规定区域ΔV2(参照图6、图11)，倾斜角度调整控制是如下控制：在保持部20被配置于规定区域ΔV2的外部的状态下，使倾斜角度A为第1角度，在保持部20被配置于第2位置P2的状态下，使倾斜角度A为第2角度。这里，第1角度是物品90(被保持于保持部20的物品90，以下相同)的姿势为倾斜姿势S1(开口部92朝向斜上方的物品90的姿势)的角度，例如5度。此外，第2角度是物品90的姿势为水平姿势S2(开口部92朝向水平方向的物品90的姿势)的角度，在本实施方式中为0度。另外，图6~图13中，将铅垂方向V上的规定区域ΔV2的外部的区域设为外部区域ΔV1。
规定区域ΔV2被设定成不包括第1位置P1。即，第1位置P1被比规定区域ΔV2的上限靠上方V1地配置，被包含于外部区域ΔV1。因此，摆动驱动部73执行倾斜角度调整控制，由此，保持部20被配置于第1位置P1的搬运车1的行进时、保持部20被配置于外部区域ΔV1的状态下的保持部20的升降时，能够使物品90的姿势为被容纳于物品90的容纳物(在本实施方式中为基板93)难以从开口部92移动至物品90的外部的倾斜姿势S1。此外，保持部20被配置于第2位置P2的物品90的移载时，能够使物品90的姿势为在移载对象部位6所要求的水平姿势S2。
保持部20保持着物品90的情况下摆动驱动部73执行倾斜角度调整控制，所以将物品90从移载对象部位6移载至保持部20的情况下，物品90的保持动作后的保持部20被配置于第2位置P2的状态下，如图6所示，倾斜角度A为第2角度，由此，物品90的姿势为水平姿势S2。之后，使保持部20从第2位置P2上升至第1位置P1的升降动作开始时，至保持部20进入外部区域ΔV1之间，进行将倾斜角度A从第2角度改变成第1角度的倾斜角度改变动作。由此，保持部20在外部区域ΔV1上升的期间，如图8所示，倾斜角度A被第1角度，由此，物品90的姿势为倾斜姿势S1。
图7及图8中例示了如下情况：与保持部20到达规定区域ΔV2的上限(比规定区域ΔV2靠上方V1的外部区域ΔV1和规定区域ΔV2的边界)配合地进行倾斜角度改变动作，物品90的姿势从图7中所示的水平姿势S2改变成图8中双点划线所示的倾斜姿势S1。该情况下，也可以构成为，在规定区域ΔV2的上限使保持部20的上升速度从之前的速度下降至零或比零大的值。使保持部20上升的同时进行姿势改变动作的情况下，例如进行倾斜角度改变动作，使得保持部20到达规定区域ΔV2的上限前开始倾斜角度改变动作，保持部20在到达规定区域ΔV2的上限的时刻结束倾斜角度改变动作。为了将物品90以倾斜姿势S1升降的升降范围尽可能大地确保，规定区域ΔV2的上限优选地设定成，在由于伴随倾斜角度改变动作的物品90的姿势变化而物品90不接触移载对象部位6的范围尽可能接近第2位置P2的位置。
此外，将物品90从保持部20移载至移载对象部位6的情况下，使保持部20从第1位置P1下降至第2位置P2的升降动作开始时，保持部20在外部区域ΔV1下降的期间，如图9所示，倾斜角度A为第1角度，由此，物品90的姿势为倾斜姿势S1。保持部20进入规定区域ΔV2时，至保持部20到达第2位置P2之间，进行将倾斜角度A从第1角度改变成第2角度的倾斜角度改变动作。由此，如图11所示，保持部20的姿势被从倾斜姿势S1改变成水平姿势S2后，保持部20到达第2位置P2。
在图9及图10中例示了如下情况：与保持部20到达规定区域ΔV2的上限配合地进行倾斜角度改变动作，物品90的姿势从图9中实线所示的倾斜姿势S1改变成图10中所示的水平姿势S2。该情况下，也可以构成为，在规定区域ΔV2的上限使保持部20的下降速度从之前的速度下降至零或比零大的值。使保持部20下降的同时进行姿势改变动作的情况下，例如，进行倾斜角度改变动作，使得在保持部20到达规定区域ΔV2的上限的时刻开始倾斜角度改变动作，在保持部20到达第2位置P2前结束倾斜角度改变动作。
但是，如在图12及图13中的一例所示，有移载对象部位6被分为多个高度地配置的情况。该情况下，与配置移载对象部位6的多个高度的每一个对应地设定第2位置P2，所以第2位置P2包括比第1位置P1靠下方V2的多个位置。在图12及图13中所示的例子中，第2位置P2包括与实线所示的移载对象部位6对应的第2位置P2、与双点划线所示的移载对象部位6对应的第2位置P2(图12及图13中省略图示)。
这样第2位置P2包括多个位置的情况下，将多个第2位置P2中的作为保持部20的升降动作的起点或终点的第2位置P2设为对象第2位置P2a(参照图13)，在本实施方式中，摆动驱动部73构成为，将包括对象第2位置P2a的区域设定成规定区域ΔV2来控制倾斜角度调整控制。另外，规定区域ΔV2基本上被设定成仅包括对象第2位置P2a，但也有在与对象第2位置P2a接近的高度存在的另外的第2位置P2被包含于规定区域ΔV2的情况。图12及图13中表示的例子中，设想将物品90搬入实线所示的移载对象部位6的情况，与实线所示的移载对象部位6对应的第2位置P2为对象第2位置P2a。并且，本例中，以仅包括对象第2位置P2a的方式(即，以不包括与双点划线所示的移载对象部位6对应的第2位置P2的方式)设定规定区域ΔV2，与双点划线所示的移载对象部位6对应的第2位置P2不被包含于外部区域ΔV1。由此，能够在包含与双点划线所示的移载对象部位6对应的第2位置P2的比较大的升降范围以倾斜姿势S1保持物品90。
〔其他实施方式〕
接着，对搬运车的其他实施方式进行说明。
(1)上述的实施方式中，以驱动角度调整机构40的驱动部(摆动驱动部73)通过使固定于第2部分22的摆动部件41绕轴心R摆动来改变第2部分22相对于第1部分21的倾斜角度A的结构为例进行了说明。但是，本申请不限于这样的结构，例如，也可以构成为，第2部分22经由连杆机构与第1部分21连结，驱动角度调整机构40的驱动部驱动该连杆机构来改变倾斜角度A。此外，上述的实施方式中，以驱动角度调整机构40的驱动部被固定于第1部分21的结构为例进行了说明，但也可以是，借助角度调整机构40的结构，驱动角度调整机构40的驱动部被固定于第2部分22。
(2)上述的实施方式中，以轴心R被配置成沿着车体前后方向X的结构为例进行了说明。但是，本申请不限于这样的结构，也可以构成为，轴心R被配置成沿着车体左右方向Y。该情况下，第2部分22相对于第1部分21倾斜的情况(具体地为倾斜角度A为正的锐角的情况)下，第2部分22为车体前后方向X的一侧比另一侧高，物品90被以开口部92俯视时朝向车体前后方向X的该一侧的朝向保持于保持部20。
(3)上述的实施方式中，以在第2位置P2包括多个位置的情况下摆动驱动部73将包括对象第2位置P2a的区域设定成规定区域ΔV2来执行倾斜角度调整控制的结构为例进行了说明。但是，本申请不限于这样的结构，例如也可以构成为，在第2位置P2所含的多个位置之间的高低差小的情况下等，包括第2位置P2的全部区域被设定成规定区域ΔV2。
(4)上述的实施方式中，以第2角度为物品90的姿势呈水平姿势S2的角度的结构为例进行了说明。但是，本申请不限于这样的结构，也能够使第2角度为物品90的姿势呈倾斜姿势S1的角度且与第1角度不同的角度(例如比第1角度小的角度)。
(5)另外，上述各实施方式中公开的结构，只要不产生矛盾就也能够与其他实施方式中公开的结构组合应用(包括作为其他实施方式说明的实施方式彼此的组合)。关于其他结构，本说明书中公开的实施方式在所有的方面都只不过是例示。因此，能够在不脱离本申请的宗旨的范围内适当地进行各种改变。
〔上述实施方式的概要〕
以下，对上述内容中说明的搬运车的概要进行说明。
一种搬运车，前述搬运车搬运物品，其特征在于，具备沿移动路径移动的主体部、保持前述物品的保持部、使前述保持部相对于前述主体部沿升降方向升降的升降装置，前述保持部具备第1部分、第2部分、角度调整机构，前述第1部分与前述升降装置连结，前述第2部分经由前述第1部分与前述升降装置连结且接触前述物品，前述角度调整机构被设置于前述第1部分和前述第2部分之间，改变前述第2部分相对于前述第1部分的倾斜角度。
根据本结构，保持部具备角度调整机构，所以即使不在升降装置设置用于改变保持部的姿势的机构，通过借助角度调整机构改变第2部分相对于第1部分的倾斜角度，也能够使第2部分接触的物品(即，被保持于保持部的物品)的姿势为所希望的姿势。由此，能够使搬运车的行进时的物品的姿势为适合搬运车的行进时的姿势，且能够使保持部和移载对象部位之间的物品的移载时的物品的姿势为在该移载对象部位所要求的姿势。由此，能够在搬运车的行进时借助保持部以适合搬运车的行进时的姿势保持物品，且在保持部和移载对象部位之间的物品的移载时使配置于移载对象部位的物品的姿势为在该移载对象部位所要求的姿势。另外，本方案中，无需将用于改变保持部的姿势的机构设置于升降装置，所以能够抑制升降装置的复杂化且实现本申请的搬运车。
这里，优选地，前述升降装置具备传动部件和多个旋转体，前述多个旋转体被旋转驱动，前述传动部件被缠绕及放出自如地卷绕于多个前述旋转体的每一个，前述第1部分与前述传动部件连结。
根据本结构，使多个旋转体旋转来将传动部件缠绕或放出，由此，能够在将保持部悬挂支承的状态下使保持部升降。本申请的搬运车中，如上所述，无需在升降装置设置用于改变保持部的姿势的机构。因此，本方案那样地构成升降装置的情况下，无需将各部分(旋转体、传动部件、将旋转体旋转驱动的驱动部等)构成为能够改变被悬挂支承的保持部的姿势，能够实现升降装置的简单化。
此外，优选地，前述角度调整机构具备摆动部件和支承部件，前述摆动部件被固定于前述第2部分，前述支承部件被固定于前述第1部分，并且将前述摆动部件能够绕沿水平方向的轴心旋转地支承，构成为，驱动前述角度调整机构的驱动部使前述摆动部件绕前述轴心摆动。
根据本结构，通过借助驱动部使摆动部件绕轴心摆动，能够使第2部分相对于第1部分的倾斜角度以变大的方式变化或以变小的方式变化，能够适当地设置改变该倾斜角度的角度调整机构。
此外，优选地，前述物品是在侧面具有开口部的容器，前述升降装置使前述保持部在第1位置和第2位置之间升降，前述第2位置是进行基于前述保持部的前述物品的保持及保持解除的位置，比前述第1位置靠下方，将前述升降方向上的包括前述第2位置的区域设为规定区域，将前述开口部朝向斜上方的前述物品的姿势设为倾斜姿势，将前述开口部朝向水平方向的前述物品的姿势设为水平姿势，驱动前述角度调整机构的驱动部在前述保持部保持着前述物品的情况下，执行倾斜角度调整控制，前述倾斜角度调整控制是如下控制：在前述保持部被配置于前述规定区域的外部的状态下，使前述倾斜角度为前述物品的姿势是前述倾斜姿势的角度即第1角度，在前述保持部被配置于前述第2位置的状态下，使前述倾斜角度为前述物品的姿势是前述水平姿势的角度即第2角度。
如本方案所示，物品是在侧面具有开口部的容器的情况下，通过使物品的姿势为倾斜姿势，与物品的姿势为水平姿势的情况相比，能够使被容纳于物品的容纳物难以从开口部移动至物品的外部。此外，通过使物品的姿势为水平姿势，变得容易进行经由开口部的容纳物相对于物品的出入。根据本结构，保持部在保持有物品的情况下，倾斜角度调整控制被执行，所以通过使搬运车的行进时的保持部的位置为规定区域的外部的位置(例如，第1位置)，能够在搬运车的行进时、规定区域的外部的保持部的升降时使物品的姿势为倾斜姿势，且在进行基于保持部的物品的保持或保持解除的物品的移载时，使物品的姿势为水平姿势。
如上所述地由前述驱动部执行前述倾斜角度调整控制的方案中，优选地，前述第2位置包括比前述第1位置靠下方的多个位置，将多个前述第2位置中的作为前述保持部的升降动作的起点或终点的前述第2位置设为对象第2位置，前述驱动部将包括前述对象第2位置的区域设定成前述规定区域来执行前述倾斜角度调整控制。
根据本结构，第2位置包括多个位置的情况下，能够将比规定区域靠上方的区域和规定区域的边界设定成，距在该时刻作为升降动作的起点或终点的对象第2位置比较近的接近位置。由此，保持部被配置于第1位置和接近位置之间的比较大的升降范围内的期间，能够以倾斜姿势保持物品，容易使被保持于保持部的物品适当地升降。
此外，优选地，前述驱动部在未保持前述物品的前述保持部向前述第2位置下降的期间使前述倾斜角度为前述第2角度。
根据本结构，与在使未保持物品的保持部向第2位置下降的情况下，也使保持着物品的保持部向第2位置下降的情况同样地，保持部被配置于规定区域的外部的状态下使倾斜角度为第1角度的情况相比，无需从保持部进入规定区域开始进行将倾斜角度从第1角度改变成第2角度的控制，相应地能够实现控制的简单化、处理的高速化。
本申请的搬运车能够发挥上述各效果的至少一个即可。
附图标记说明
1：搬运车
2：移动路径
10：主体部
20：保持部
21：第1部分
22：第2部分
40：角度调整机构
41：摆动部件
42：支承部件
50：升降装置
51：旋转体
52：传动部件
73：摆动驱动部(驱动部)
90：物品
90b：侧面
92：开口部
A：倾斜角度
P1：第1位置
P2：第2位置
P2a：对象第2位置
R：轴心
S1：倾斜姿势
S2：水平姿势
V：铅垂方向(升降方向)
V2：下方
ΔV2：规定区域。

Claims (6)

1.一种搬运车，前述搬运车搬运物品，其特征在于，
具备沿移动路径移动的主体部、保持前述物品的保持部、使前述保持部相对于前述主体部沿升降方向升降的升降装置，
前述保持部具备第1部分、第2部分、角度调整机构，
前述第1部分与前述升降装置连结，
前述第2部分经由前述第1部分与前述升降装置连结且接触前述物品，
前述角度调整机构被设置于前述第1部分和前述第2部分之间，改变前述第2部分相对于前述第1部分的倾斜角度。
2.如权利要求1所述的搬运车，其特征在于，
前述升降装置具备传动部件和多个旋转体，
前述多个旋转体被旋转驱动，
前述传动部件被缠绕及放出自如地卷绕于多个前述旋转体的每一个，
前述第1部分与前述传动部件连结。
3.如权利要求1或2所述的搬运车，其特征在于，
前述角度调整机构具备摆动部件和支承部件，
前述摆动部件被固定于前述第2部分，
前述支承部件被固定于前述第1部分，并且将前述摆动部件能够绕沿水平方向的轴心旋转地支承，
构成为，驱动前述角度调整机构的驱动部使前述摆动部件绕前述轴心摆动。
4.如权利要求1至3中任一项所述的搬运车，其特征在于，
前述物品是在侧面具有开口部的容器，
前述升降装置使前述保持部在第1位置和第2位置之间升降，前述第2位置是进行基于前述保持部的前述物品的保持及保持解除的位置，比前述第1位置靠下方，
将前述升降方向上的包括前述第2位置的区域设为规定区域，将前述开口部朝向斜上方的前述物品的姿势设为倾斜姿势，将前述开口部朝向水平方向的前述物品的姿势设为水平姿势，
驱动前述角度调整机构的驱动部在前述保持部保持着前述物品的情况下，执行倾斜角度调整控制，
前述倾斜角度调整控制是如下控制：在前述保持部被配置于前述规定区域的外部的状态下，使前述倾斜角度为前述物品的姿势是前述倾斜姿势的角度即第1角度，在前述保持部被配置于前述第2位置的状态下，使前述倾斜角度为前述物品的姿势是前述水平姿势的角度即第2角度。
5.如权利要求4所述的搬运车，其特征在于，
前述第2位置包括比前述第1位置靠下方的多个位置，
将多个前述第2位置中的作为前述保持部的升降动作的起点或终点的前述第2位置设为对象第2位置，
前述驱动部将包括前述对象第2位置的区域设定成前述规定区域来执行前述倾斜角度调整控制。
6.如权利要求4或5所述的搬运车，其特征在于，
前述驱动部在未保持前述物品的前述保持部向前述第2位置下降的期间使前述倾斜角度为前述第2角度。
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