CN114360889B - 烧结钕铁硼磁体表面铝镀层的制备方法及其应用 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种烧结钕铁硼磁体表面铝镀层的制备方法及其应用,该制备方法包括主要工序有超声酸洗:对待处理的烧结钕铁硼磁体I进行超声酸洗处理,获得磁体Ⅱ;烘干:在惰性气氛或真空气氛中,烘干所述磁体Ⅱ,获得磁体Ⅲ;镀膜:在所述磁体Ⅲ的表面镀覆金属铝镀层,获得半成品磁体Ⅳ;热处理:将半成品磁体Ⅳ置于惰性气氛中高温热处理,制得表面镀有铝镀层的烧结钕铁硼磁体Ⅴ,其中,所述铝镀层与磁体的结合力>20MPa。通过该制备方法在烧结钕铁硼磁体的表面形成高结合力铝镀层,其结合力超过20MPa,可满足永磁电机的要求;并且通过该制备方法还消除了磁体表面的横向微裂纹,提高了磁体的机械强度。
Description
技术领域
本发明属于永磁材料表面防护技术领域,特别涉及一种烧结钕铁硼磁体表面铝镀层的制备方法,还涉及该制备方法在烧结钕铁硼磁体表面防护中的应用。
背景技术
烧结钕铁硼磁体是迄今为止磁性最强的磁性材料,广泛应用在航空航天、汽车工业、电子电器、医疗器械、节能电机、新能源、风力发电等领域,是当今世界上发展最快、市场前景最好的永磁材料。烧结钕铁硼磁体具有高磁能积、高矫顽力、高能量密度、高性价比和良好的机械特性等突出优势,已经在高新技术领域中担当了重要的角色。
目前烧结钕铁硼永磁材料主要通过粉末冶金工艺生产,最终磁体由RE2Fe14B主相晶粒和位于主相晶粒之间的晶界富稀土相所组成。晶界富稀土相主要由稀土元素组成,由于稀土元素的化学活性很高,在应用时极易与环境中的水、氧、或者酸等发生反应,导致磁体腐蚀失效。因此,烧结钕铁硼磁体在使用前必须进行表面防护处理。
而在许多内转子永磁电机领域,为了追求磁场的最大化而将磁体粘贴于转子表面,在电机高速运转过程中,磁体受到极大的离心力作用,为了保证磁体不脱离转子表面,对磁体表面镀层与磁体的结合力提出了很高的要求,特别是在高速永磁电机领域,要求镀层与磁体的结合力达到20MPa以上;而传统的锌镀层、镍铜镍镀层的结合力只能达到6~8MPa,普通的铝镀层的结合力也只能达到12~15MPa,距离20MPa的要求还有一定差距,不能满足应用需求。
另一方面,磁体加工过程中,因为外界磨削力的作用,会在磁体表面形成一定量的横向裂纹,由于这些横向裂纹的存在,在电机高速运转过程中,即使镀层与基体结合力足够高,镀层与基体不会剥离,也有可能会发生横向裂纹的扩展,导致磁体表面部分晶粒与内部基体的剥离,最终造成磁体脱落。
公开号为CN105039923A的中国专利申请中公开了一种永磁材料表面高结合力镀铝膜工艺,其通过清洗、真空加热、氩离子轰击、磁控溅射和真空蒸镀等工序,在永磁材料表面形成了高结合力镀铝膜,通过磁控溅射与真空镀铝交叉进行多次镀覆,提高滤膜的紧实程度,从而提高结合力,但该工艺工序复杂,且结合力提高程度有限,且该工艺并不能解决磁体中存在的横向微裂纹问题。
发明内容
有鉴于此,本发明有必要提供一种烧结钕铁硼磁体表面铝镀层的制备方法,在烧结钕铁硼磁体的表面形成高结合力铝镀层,其结合力超过20MPa,可满足永磁电机的要求;并且通过该制备方法还消除了磁体表面的横向微裂纹,提高了磁体的机械强度。
为了实现上述目的,本发明采用以下技术方案:
本发明提供了一种烧结钕铁硼磁体表面铝镀层的制备方法,包括以下工序:
超声酸洗:对待处理的烧结钕铁硼磁体I进行超声酸洗处理,获得磁体Ⅱ;
烘干:在惰性气氛或真空气氛中,烘干所述磁体Ⅱ,获得磁体Ⅲ;
镀膜:在所述磁体Ⅲ的表面镀覆金属铝镀层,获得半成品磁体Ⅳ;
热处理:将半成品磁体Ⅳ置于惰性气氛中高温热处理,制得表面镀有铝镀层的烧结钕铁硼磁体Ⅴ,其中,所述铝镀层与磁体的结合力>20MPa。
进一步方案,所述烧结钕铁硼磁体I为以RE2Fe14B相为主相的磁体,其中,RE选自La、Ce、Pr、Nd、Dy、Tb、Gd、Ho、Y中的至少一种。
进一步方案,所述超声酸洗的次数不低于2次,且每次超声酸洗后均进行1次以上的超声水洗。
进一步方案,所述超声酸洗所采用的酸液为混合酸,所述混合酸为4-10wt%盐酸和4-10wt%硝酸的混合。
进一步方案,所述烘干在温度为120-200℃、氧含量≤1000ppm的惰性气氛中进行。
进一步方案,所述烘干在温度为120-200℃、压强<1Pa的真空气氛中进行。
进一步方案,所述烘干过程中还使用固体干燥剂。
进一步方案,所述铝镀层的厚度在2-10μm,镀覆的方式为磁控溅射或蒸发镀膜。
进一步方案,所述热处理的工序中,惰性气氛的气压为0.06-0.3MPa,热处理的温度为650-700℃,保温时间为1-5h。
本发明进一步提供了一种烧结钕铁硼磁体,其表面镀覆有金属铝镀层,所述金属铝镀层采用如前任一项所述的制备方法制得,所述金属铝镀层与所述烧结钕铁硼磁体的结合力>20MPa。
与现有技术相比,本发明具有以下有益效果:
本发明通过至少两次超声酸洗处理,洗去磁体表面一定深度的晶界富稀土相,在磁体表面形成窄而深的“沟壑”;在真空或者惰性气氛中对磁体进行烘干处理,除去“沟壑”中残留的水分;进一步的,利用在磁体表面沉积金属铝膜;配合高温热处理使金属铝膜软化甚至熔化,利用“沟壑”和惰性气氛的压力差,将软化甚至熔化的金属铝压入“沟壑”中,增加镀层与钕铁硼基体的结合面积,进而增加结合力。
此外,本发明方法通过对加工后的磁体进行热处理,消除了磁体内部因加工而形成的横向微裂纹,有效阻止了磁体表层晶粒的脱落,提高了整个磁体的机械强度。
附图说明
图1为本发明制备工艺流程中磁体的结构示意图。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本发明,而不能理解为对本发明的限制。
除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的,不是旨在于限制本发明。
本发明第一方面提供了一种烧结钕铁硼磁体表面铝镀层的制备方法,结合图1,主要步骤有:
超声酸洗
具体的说,将待处理的烧结钕铁硼磁体(记为磁体Ⅰ)进行超声酸洗,获得磁体Ⅱ。磁体Ⅰ的组成没有特殊的限定,为本领域中常规的烧结钕铁硼磁体,如图1中所述的,其表面形成有富稀土元素组成的晶界相,根据本发明的实施例,磁体Ⅰ为以RE2Fe14B相为主要磁性相的磁体,其中,RE代表稀土元素,可以为La、Ce、Pr、Nd、Dy、Tb、Gd、Ho、Y中的至少一种,可以理解的是,其他种类的烧结钕铁硼磁体也可用于本发明中。本文中超声酸洗的目的在于洗去磁体Ⅰ表面的油污和氧化层,特别是一定深度的晶界富稀土相,从而在烧结钕铁硼磁体的表面形成窄而深的“沟壑”,根据本发明的实施例,超声酸洗的次数应当至少为2次,从而使得形成的“沟壑”足够深且窄,可以的理解的是,在每次超声酸洗后均进行1次以上的超声水洗,从而去除磁体Ⅱ表面因酸洗残留的酸根离子,更优选的,在本发明的一些具体的实施例中,采用混合酸对磁体Ⅰ进行超声酸洗,进一步提升磁体表面“沟壑”的深度,该混合酸优选为4-10wt%盐酸和4-10wt%硝酸的混合。
烘干
具体的说,将超声酸洗后的磁体Ⅱ烘干,除去磁体Ⅱ以及酸性形成的“沟壑”中的水分,获得磁体Ⅲ。这里的烘干温度和方式等没有特别的限定,只要能够实现烘干的目的即可。优选的,在本发明的一些实施例中,烘干在惰性气氛中进行,这里所述的“惰性气氛”指的是化学元素周期表中0族稀有气体(如氦气、氩气等)中的至少一种,具体的说,烘干温度为120-200℃,惰性气氛中的氧含量≤1000ppm;在本发明另外的一些实施例中,烘干在真空气氛中进行,控制真空压强<1Pa,烘干温度同样为120-200℃。通过在惰性气氛或真空气氛下烘干,在除去磁体表面因酸洗和水洗而残留的水分,同时防止磁体表面发生氧化或氮化。进一步优选的,为了提高烘干的速度,在本发明部分实施例中,烘干的同时利用固体干燥剂(如氯化钙、氧化钙等)吸附空间中的水蒸气。
镀膜
具体的说,如图1中所示的,在磁体Ⅲ的表面镀覆金属铝膜,获得磁体Ⅳ。其中,根据磁体表面防护需要,金属铝镀层可以镀覆在磁体的任意一面或多个需要防护的表面,其镀覆厚度可根据防护性能要求通过调节镀覆参数进行调整,故没有特别的限定。在本发明的一个或多个具体的实施例中,金属铝镀层的厚度在2-10μm,镀覆方式优选采用磁控溅射镀膜或蒸发镀膜,更优选的,在镀膜前对磁体Ⅲ进行抽真空处理,抽去磁体Ⅲ表面特别是“沟壑”中吸附的气氛分子,根据本发明的实施例,镀膜时磁体所在空间的气压控制≤5Pa。
热处理
具体的说,如图1中所示的,对磁体IV进行高温热处理,获得磁体Ⅴ。通过高温处理使得金属铝膜软化甚至熔化,配合“沟壑”与惰性气氛的压力差,将软化甚至熔化的金属铝压入“沟壑”中,从而增加镀层与钕铁硼基体的结合面积,进而增加结合力。可以理解的是,该步骤中所述的“惰性气氛”同样指的的化学元素周期表中0族稀有气体中的至少一种,这里不再具体阐述。且可根据铝镀层的厚度,对热处理步骤中惰性气氛的气压和热处理的温度、时间等进行调整,比如当铝镀层较厚时,可以适当提高惰性气氛气压和热处理温度,和/或延长热处理的时间;而当铝镀层较薄时,可以适当降低惰性气氛气压和热处理温度、和/或缩热处理时间。在本发明的一个或多个具体的实施例中,采用的惰性气氛为氩气,其中,氩气气氛的气压为0.06-0.3MPa,热处理的温度为650℃-700℃,保温时间为1-5h。
通过多次超声酸洗,在磁体表面形成窄而深的“沟壑”,配合镀膜后的高温热处理以及惰性气氛的压力差,将金属铝填充至“沟壑”中,增加铝镀层与磁体基体的结合面积,增加铝镀层与烧结钕铁硼磁体的结合力,经测试,其结合力均超过20MPa,满足永磁电机高速使用要求。
本发明第二方面公开了一种烧结钕铁硼磁体,其表面任意一面或者多面上镀覆有铝镀层,该铝镀层采用如本发明第一方面所述的制备方法获得,其具有同样出色的结合力。
下面通过具体实施例对本发明进行说明,需要说明的是,下面的具体实施例仅仅是用于说明的目的,而不以任何方式限制本发明的范围,另外,如无特别说明,未具体记载条件或者步骤的方法均为常规方法,所采用的试剂和材料均可从商业途径获得。
实施例1
对加工完成的规格为40mm×30mm×3mm的磁体I1(主要成分为La1.5Pr5.5Nd25Fe67B1,wt.%)依次进行1次超声酸洗、1次超声水洗、1次超声酸洗、1次超声水洗处理,洗去磁体表面的油污、氧化层和一定深度的晶界富稀土相,在磁体表面形成窄而深的“沟壑”,得磁体II1,其中,超声酸洗所用的酸液为4%的盐酸和6%的硝酸的混合酸;
在氩气气氛中对磁体II1进行烘干处理,烘干温度为120℃,烘干过程气氛中氧含量<1000ppm,烘干的同时利用固体氯化钙吸附空间中的水蒸气,获得磁体III1;
对磁体III1所在空间抽真空至4Pa以下,利用磁控溅射镀膜设备在磁体III1的1个40mm×30mm表面镀覆2μm厚度的金属铝膜层,制得半成品磁体IV1;
将所述半成品磁体IV1置于氩气气氛(气压为0.1MPa)中进行热处理,热处理的保温温度为650℃、保温时间为1h,冷却后制得表面覆盖有铝镀层的烧结钕铁硼磁体V1。
对比例1
本对比例采用同实施例1相同的实施方式,不同之处在于:磁体I1只进行1次超声酸洗和1次超声水洗;未对半成品磁体IV1进行热处理;其他工艺均同实施例1,所获得表面覆盖有铝镀层的烧结钕铁硼磁体记为V11。
对比例2
本对比例采用同实施例1相同的实施方式,不同之处在于:未对半成品磁体IV1进行热处理;其他工艺均同实施例1,所获得表面覆盖有铝镀层的烧结钕铁硼磁体记为V12。
对比例3
本对比例采用同实施例1相同的实施方式,不同之处在于:磁体I1只进行1次超声酸洗和1次超声水洗;其他工艺均同实施例1,所获得表面覆盖有铝镀层的烧结钕铁硼磁体记为V13。
对比例4
本对比例采用同实施例1相同的实施方式,不同之处在于:热处理工序在无压力差的真空气氛中进行,保温温度为650℃、保温时间为1h;其他工艺均同实施例1,所获得表面覆盖有铝镀层的烧结钕铁硼磁体记为V14。
利用万能试验机按照《新能源汽车驱动电机用稀土永磁材料表面涂镀层结合力的测定》(GB/T 39494-2020)对比测试了实施例1和对比例1-4所对应磁体表面铝镀层的结合力,结果见表1。
表1实施例1和对比例1-4的铝镀层结合力对比
根据表1中的测试结果可以看出,本文中实施例1的技术方案,所获得的磁体表面铝镀层与基体的结合力显著提升,达到20MPa以上。具体的说,通过两次以上的超声酸洗可以在磁体表面形成“沟壑”,再通过高温热处理配合氩气气氛的压力差,从而使得铝镀层的结合力显著提升。这正是由于该制备方法增加了镀层与钕铁硼基体的结合面积,增加了结合力;并且消除了磁体内部因加工而形成的横向微裂纹,有效阻止了磁体表层晶粒的脱落,提高了整个磁体的机械强度(即磁体表层部分晶粒与内部基体的结合力)。
实施例2
对加工完成的规格为35mm×30mm×3mm的磁体I2(主要成分为Pr4Nd24.5Dy1Tb1.5Fe68B1,wt.%)依次进行1次超声酸洗、2次超声水洗、1次超声酸洗、2次超声水洗处理,洗去磁体表面的油污、氧化层和一定深度的晶界富稀土相,在磁体表面形成窄而深的“沟壑”,获得磁体II2,其中,超声酸洗所用的酸液为6%的盐酸和8%的硝酸的混合酸;
在氩气气氛中对磁体II2进行烘干处理,烘干温度为150℃,烘干过程气氛中氧含量<800ppm,烘干的同时利用固体氧化钙吸附空间中的水蒸气,获得磁体III2;
对磁体III2所在空间抽真空至1Pa以下,利用真空蒸镀设备在磁体III2的2个35mm×30mm表面镀覆5μm厚度的金属铝膜层,制得半成品磁体IV2;
将所述半成品磁体IV2置于氩气气氛(气压为0.2MPa)中进行热处理,热处理的保温温度为670℃、保温时间为2h,冷却后制得表面覆盖有铝镀层的烧结钕铁硼磁体V2。
对比例5
本对比例采用同实施例2相同的实施方式,不同之处在于:磁体I2只进行1次超声酸洗和2次超声水洗,且未对半成品磁体IV2进行热处理;其他工艺均同实施例2,所获得表面覆盖有铝镀层的烧结钕铁硼磁体记为V21。
对比例6
本对比例采用同实施例2相同的实施方式,不同之处在于:未对半成品磁体IV2进行热处理;其他工艺均同实施例2,所获得表面覆盖有铝镀层的烧结钕铁硼磁体记为V22。
对比例7
本对比例采用同实施例2相同的实施方式,不同之处在于:磁体I2只进行1次超声酸洗和2次超声水洗;其他工艺均同实施例2,所获得表面覆盖有铝镀层的烧结钕铁硼磁体记为V23。
对比例8
本对比例采用同实施例2相同的实施方式,不同之处在于:热处理工序在无压力差的真空气氛中进行,保温温度为670℃、保温时间为2h;其他工艺均同实施例2,所获得表面覆盖有铝镀层的烧结钕铁硼磁体记为V24。
利用万能试验机按照《新能源汽车驱动电机用稀土永磁材料表面涂镀层结合力的测定》(GB/T 39494-2020)对比测试了实施例2和对比例5-8所对应磁体表面铝镀层的结合力,结果见表2。
表2实施例2和对比例5-8的铝镀层结合力对比
根据表2中的测试结果可以看出,采用本文中实施例2的技术方案,所获得的磁体表面铝镀层与基体的结合力显著提升,达到20MPa以上。
实施例3
对加工完成的规格为20mm×10mm×2mm的磁体I3(主要成分为Ce4.5Pr4.5Nd23Fe67B1,wt.%)依次进行1次超声酸洗、1次超声水洗、1次超声酸洗、1次超声水洗、1次超声酸洗、1次超声水洗处理,洗去磁体表面的油污、氧化层和一定深度的晶界富稀土相,在磁体表面形成窄而深的“沟壑”,得磁体II3,其中,超声酸洗所用的酸液为8%的盐酸和4%的硝酸的混合酸;
在氩气气氛中对磁体II3进行烘干处理,烘干温度为150℃,烘干过程气氛中氧含量<500ppm,烘干同时利用固体氯化钙吸附空间中的水蒸气,获得磁体III3;
对磁体III3所在空间抽真空至2Pa以下,利用磁控溅射镀膜设备在磁体III3的所有表面镀覆7μm厚度的金属铝膜层,制得半成品磁体IV3;
将所述半成品磁体IV3置于氩气气氛(气压为0.2MPa)中进行热处理,热处理的保温温度为670℃、保温时间为5h,冷却后制得表面覆盖有铝镀层的烧结钕铁硼磁体V3。
实施例4
对加工完成的规格为25mm×15mm×6mm的磁体I4(主要成分为Ho2Gd4.5Pr4.5Nd21Fe67B1,wt.%)依次进行1次超声酸洗、1次超声水洗、1次超声酸洗、1次超声水洗、1次超声酸洗、1次超声水洗、1次超声酸洗、1次超声水洗处理,洗去磁体表面的油污、氧化层和一定深度的晶界富稀土相,在磁体表面形成窄而深的“沟壑”,得磁体II4,其中,超声酸洗所用的酸液为10%的盐酸和6%的硝酸的混合酸;
在真空气氛中对磁体II4进行烘干处理,烘干温度为160℃,烘干过程气氛中压强<0.5Pa,烘干的同时利用固体氯化钙吸附空间中的水蒸气,获得磁体III4;
对磁体III4所在空间抽真空至2Pa以下,利用磁控溅射镀膜设备在磁体III4的所有表面镀覆8μm厚度的金属铝膜层,制得半成品磁体IV4;
将所述半成品磁体IV4置于氩气气氛(气压为0.25MPa)中进行热处理,热处理的保温温度为680℃、保温时间为2h,冷却后制得表面覆盖有铝镀层的烧结钕铁硼磁体V4。
实施例5
对加工完成的规格为35mm×18mm×5mm的磁体I5(主要成分为Y4.5Pr4.5Nd23Fe67B1,wt.%)依次进行1次超声酸洗、1次超声水洗、1次超声酸洗、1次超声水洗、1次超声酸洗、1次超声水洗处理,洗去磁体表面的油污、氧化层和一定深度的晶界富稀土相,在磁体表面形成窄而深的“沟壑”,获得磁体II5,其中,超声酸洗所用的酸液为4%的盐酸和8%的硝酸的混合酸;
在真空气氛中对磁体II5进行烘干处理,烘干温度为180℃,烘干过程气氛中压强<0.1Pa,烘干的同时利用固体氯化钙吸附空间中的水蒸气,获得磁体III5;
对磁体III5所在空间抽真空至3Pa以下,利用蒸发镀膜设备在磁体III5的所有表面镀覆10μm厚度的金属铝膜层,制得半成品磁体IV5;
将所述半成品磁体IV5置于氩气气氛(气压为0.3MPa)中进行热处理,热处理的保温温度为690℃、保温时间为3h,冷却后制得表面覆盖有铝镀层的烧结钕铁硼磁体V5。
实施例6
对加工完成的规格为22mm×13mm×3.5mm的磁体I6(主要成分为Pr6.5Nd25Fe67.5B1,wt.%)依次进行1次超声酸洗、1次超声水洗、1次超声酸洗、1次超声水洗处理,洗去磁体表面的油污、氧化层和一定深度的晶界富稀土相,在磁体表面形成窄而深的“沟壑”,得磁体II6,其中,超声酸洗所用的酸液为6%的盐酸和10%的硝酸的混合酸;
在真空气氛中对磁体II6进行烘干处理,烘干温度为200℃,烘干过程气氛中压强<1Pa,烘干过程中利用固体氯化钙吸附空间中的水蒸气,获得磁体III6;
对磁体III6所在空间抽真空至3Pa以下,利用蒸发镀膜设备在磁体III6的所有表面镀覆6μm厚度的金属铝膜层,制得半成品磁体IV6;
将所述半成品磁体IV6置于氩气气氛(气压为0.06MPa)中进行热处理,热处理的保温温度为700℃、保温时间为1h,冷却后制得表面覆盖有铝镀层的烧结钕铁硼磁体V6。
对实施例3-6中获得的表面覆盖有铝镀层的烧结钕铁硼磁体,采用同实施例1-2相同的测试方式进行结合力测试,经测试,其铝镀层结合力均>20MPa,说明采用本发明中的技术方案能够在烧结钕铁硼磁体的表面获得高结合力的铝镀层。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。因此,本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (7)
1.一种烧结钕铁硼磁体表面铝镀层的制备方法,其特征在于,包括以下工序:
超声酸洗:对待处理的烧结钕铁硼磁体I进行超声酸洗处理,洗去磁体表面的晶界富稀土相,在磁体表面形成窄而深的沟壑,获得磁体Ⅱ,所述超声酸洗的次数不低于2次,且每次超声酸洗后均进行1次以上的超声水洗;
烘干:在惰性气氛或真空气氛中,烘干所述磁体Ⅱ,除去沟壑中残留的水分,获得磁体Ⅲ;
镀膜:在所述磁体Ⅲ的表面镀覆金属铝镀层,获得半成品磁体Ⅳ;
热处理:将半成品磁体Ⅳ置于气压为0.06-0.3MPa的惰性气氛中于650-700℃高温热处理1-5h,使金属铝镀层软化或熔化,利用沟壑和惰性气氛的压力差,将软化或熔化的金属铝压入沟壑中,增加金属铝镀层与钕铁硼基体的结合面积,进而增加结合力,制得表面镀有铝镀层的烧结钕铁硼磁体Ⅴ,其中,所述铝镀层与磁体的结合力>20MPa。
2.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述烧结钕铁硼磁体I为以RE2Fe14B相为主相的磁体,其中,RE选自La、Ce、Pr、Nd、Dy、Tb、Gd、Ho、Y中的至少一种。
3.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述超声酸洗所采用的酸液为混合酸,所述混合酸为4-10wt%盐酸和4-10wt%硝酸的混合。
4.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述烘干在温度为120-200℃、氧含量≤1000ppm的惰性气氛中进行。
5.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述烘干在温度为120-200℃、压强<1Pa的真空气氛中进行。
6.如权利要求1、4或5中任一项所述制备方法,其特征在于,所述烘干过程中还使用固体干燥剂。
7.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述铝镀层的厚度在2-10μm,镀覆的方式为磁控溅射或蒸发镀膜。
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