CN114322515A - 处理炉 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种处理炉，其使开始进行被处理物的处理之前的准备作业变得简便。热处理炉具备：炉体、输入口辊、多个导向辊、输出口辊以及贯穿装置。贯穿装置具备：供卷绕于输入口辊的被处理物的前端以能够装卸的方式进行安装的安装部件、以及使安装部件沿着预先设定的第二输送路径进行移动的移动装置。如果将卷绕于输入口辊的被处理物的前端安装于安装部件，并利用移动装置使安装部件沿着第二输送路径进行移动，则卷绕于输入口辊的被处理物被架设于多个导向辊，从输出口向炉外送出而被安装于输出口辊。

Description

处理炉

技术领域

本说明书中公开的技术涉及一种对从输入口经过处理室而架设至输出口的被处理物进行处理的处理炉。

背景技术

在专利文献1所公开的处理炉中，将被处理物从输入口向处理室内输入，在处理室内输送期间进行处理(例如干燥处理等)，并从输出口向炉外输出。因此，被处理物的处理时间为：被处理物在处理室内被输送的时间。在专利文献1的处理炉中，为了有效利用处理室内的空间，在处理室内设置有多个导向辊。被处理物从输入口开始借助多个导向辊而被架设至输出口，在处理室内经过由多个导向辊规定的输送路径而被输送。通过在处理室内设置多个导向辊，使得输送路径变长，从而可确保所需要的处理时间。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开2014/163175号

发明内容

上述的处理炉中，作为开始进行被处理物的处理之前的准备作业，必须将卷绕于输入口辊的被处理物经由输入口而向处理室内导入，并从处理室内经由输出口而安装于炉外的输出口辊。另一方面，为了延长被处理物的处理时间而在处理炉的处理室内设置有多个导向辊，通过这些多个输送辊而形成有复杂的输送路径。因此，在进行准备作业时，必须在将导入至处理室内的被处理物依次架设于多个导向辊的状态下再经过复杂的输送路径而引导至输出口，处理开始前的准备作业变得繁杂。本说明书公开一种能够使开始进行被处理物的处理之前的准备作业变得简便的技术。

本说明书中公开的处理炉具备：炉体，该炉体具备输入口、输出口、以及配置在输入口与输出口之间的处理室；输入口辊，该输入口辊配置于炉体的外侧且配置于输入口的附近，并卷绕有被处理物；多个导向辊，该多个导向辊配置于处理室内，用于对被处理物进行引导；输出口辊，该输出口辊配置于炉体的外侧且配置于输出口的附近，用于对在处理室内输送来的被处理物进行卷绕；贯穿装置，该贯穿装置用于将卷绕于输入口辊的被处理物从输入口借助多个导向辊而架设至输出口；以及控制装置，该控制装置用于对输入口辊的旋转进行控制。在卷绕于输入口辊的被处理物的前端安装于输出口辊的状态下，被处理物经过由多个导向辊规定的第一输送路径而从输入口被输送至输出口。贯穿装置具备：安装部件，该安装部件供卷绕于输入口辊的被处理物的前端以能够装卸的方式进行安装；以及移动装置，该移动装置使安装部件沿着预先设定的第二输送路径进行移动。第二输送路径沿着第一输送路径而被设定，以使得安装于安装部件的被处理物架设于多个导向辊。在处理室内，第二输送路径的长度比第一输送路径的长度要长。利用移动装置使安装部件沿着第二输送路径移动而将卷绕于输入口辊的被处理物架设于多个导向辊的情况下，当安装部件在第二输送路径上的位置位于：架设于相邻的导向辊的被处理物发生挠曲的位置时，控制装置使输入口辊的旋转停止，以便不将被处理物从输入口辊送出。

上述的处理炉中，在进行处理开始前的准备作业时，采用贯穿装置将被处理物从输入口辊架设于输出口辊。即，首先，将卷绕于输入口辊的被处理物的前端安装于贯穿装置的安装部件。接下来，一边使输入口辊旋转而将被处理物从输入口辊送出，一边通过移动装置而使安装部件沿着预先设定的第二输送路径进行移动。据此，安装有被处理物的前端的安装部件在处理室内沿着第二输送路径进行移动，被处理物被架设于多个导向辊。当被处理物被架设于多个导向辊时，将被处理物的前端从安装部件拆下，被安装于输出口辊。据此，被处理物从输入口辊架设于输出口辊。由于一边通过移动装置使安装部件沿着第二输送路径进行移动，一边使输入口辊旋转即可，所以，能够简便地进行处理开始前的准备作业。

此外，在处理室内，为了将被处理物架设于多个导向辊，使安装部件的第二输送路径的长度比第一输送路径的长度要长。这样，因为安装部件在第二输送路径上的位置，会导致架设于相邻的导向辊的被处理物发生挠曲。在被处理物发生了挠曲的状态下，如果从输入口辊继续送出被处理物，则被处理物以挠曲的状态卷绕于导向辊，必须重新开始作业。上述的热处理炉中，当安装部件到达特定的位置(即、架设于相邻的导向辊的被处理物发生挠曲的位置)时，则输入口辊停止旋转，不会将被处理物从输入口辊送出。因此，被处理物以挠曲的状态卷绕于导向辊的情况得以抑制，能够将被处理物适当地架设于导向辊。

附图说明

图1是实施例1所涉及的热处理炉的纵向截面图。

图2是图1的II－II线截面图。

图3是实施例1所涉及的加热器的截面图。

图4是实施例1所涉及的供气管的截面图。

图5是示出了用于控制贯穿装置的控制系统的构成的框图。

图6是俯视安装部件、链条及片体W(被处理物)的图。

图7是放大示出了片体W的轨道、链条的轨道及多个导向辊的一部分的图。

图8A是示出了安装部件处于x₁点(A点)时的上部导向辊22a和片体W的状态的图。

图8B是示出了安装部件处于x₂点时的上部导向辊22a和片体W的状态的图。

图8C是示出安装部件处于x₃点时的上部导向辊22a和片体W的状态的图。

图8D是示出了安装部件处于x₄点(B点)时的上部导向辊22a和片体W的状态的图。

图9是用于说明用于启动贯穿装置的启动开关45、用于驱动链条42的链条驱动马达42c、用于检测安装部件43的传感器29、以及用于驱动输入口辊21的输入口马达21a的各动作的时序图。

附图标记说明

10…热处理炉，12…炉体，22a、22b、22c…上部导向辊，24…下部导向辊，26a、26b…第一加热器，28…第二加热器，38…供气管。

具体实施方式

在本说明书所公开的处理炉中，利用移动装置使安装部件沿着第二输送路径移动而将卷绕于输入口辊的被处理物架设于多个导向辊的情况下，当安装部件在第二输送路径上的位置位于：架设于相邻的导向辊的被处理物所发生的挠曲被消除的位置时，控制装置可以使输入口辊旋转，以便将被处理物从输入口辊送出。根据这样的构成，能够抑制架设于导向辊的被处理物产生过大的张力。

在本说明书所公开的处理炉中，控制装置还可以对多个导向辊的旋转进行控制。炉体可以具备：配置成与将输入口和输出口连结的第一方向平行的第一壁、以及配置成与第一方向平行且与第一壁对置的第二壁。多个导向辊可以具备：1个或多个第一导向辊，该1个或多个第一导向辊在从处理室的中心观察时处于第一壁侧的位置，以沿第一方向空开间隔的方式配置；以及1个或多个第二导向辊，该1个或多个第二导向辊在从处理室的中心观察时处于第二壁侧的位置，以沿第一方向空开间隔的方式配置。从输入口被输送的被处理物可以最初架设于第一导向辊和第二导向辊中的一方，然后，在第一导向辊和第二导向辊上交替架设，从而架设至输出口。利用移动装置使安装部件沿着第二输送路径移动而将卷绕于输入口辊的被处理物架设于多个导向辊的情况下，控制装置可以以第一导向辊和第二导向辊中的一方产生的扭矩呈恒定的方式控制旋转，并以第一导向辊和第二导向辊中的另一方以恒速旋转的方式进行控制。根据这样的构成，在被处理物被架设于第一导向辊和第二导向辊时，能够抑制所架设的被处理物产生过大的张力，并且，能够将被处理物朝向输出口输送。

在本说明书所公开的处理炉中，移动装置可以具备：滚子链，该滚子链供安装部件以能够装卸的方式安装，并沿着第二输送路径设置，从输入口经过处理室而延伸至输出口，并且，经过炉体的外部或内部而从输出口返回至输入口；以及驱动马达，该驱动马达对滚子链进行驱动。根据这样的构成，通过驱动滚子链，能够使安装部件在输入口与输出口之间循环。

在本说明书所公开的处理炉中，还可以具备多个加热器，该多个加热器配置于处理室内，且沿着第一输送路径进行配置，用于对通过输送装置而被输送的被处理物进行加热。在通过多个加热器而使处理室内成为规定加热气氛的状态下，贯穿装置能够将卷绕于输入口辊的被处理物从输入口借助多个导向辊而架设至输出口。根据这样的构成，在处理室内被调整为规定加热气氛的状态下，能够将卷绕于输入口辊的被处理物从输入口架设至输出口。因此，准备作业之后，能够迅速地进行被处理物的处理。

在本说明书中公开的处理炉中，规定加热气氛中，处理室内的温度可以为400℃以下。

在本说明书所公开的处理炉中，还可以具备：向处理室内供给气体的供气装置、以及将处理室内的气体排出的排气装置。在通过供气装置及排气装置而使处理室内成为规定气氛的状态下，贯穿装置能够将卷绕于输入口辊的被处理物从输入口借助多个导向辊而架设至输出口。根据这样的构成，在处理室内被调整为规定气氛的状态下，能够将卷绕于输入口辊的被处理物从输入口架设至输出口。因此，准备作业之后，能够迅速地进行被处理物的处理。

在本说明书所公开的处理炉中，规定气氛中，处理室内的氧浓度可以为10％以下。另外，在本说明书所公开的处理炉中，规定气氛中，处理室内的露点可以为0℃以下。

实施例

以下，对实施例1所涉及的热处理炉10(处理炉的一例)进行说明。本实施例的热处理炉10为将工件W(被处理物的一例)中包含的水分除去的干燥炉(脱水装置)。工件W为在长度方向上连续延伸的片体(被处理物的一例)，例如，在液晶显示器、有机EL、电池等中使用的薄膜属于该工件W。对于这样的薄膜，有时薄膜本身包含水分，或者，在薄膜被覆有被覆层的情况下，有时该被覆层中包含水分。因此，首先，将薄膜中包含的水分除去，然后，将水分被除去后的薄膜切成所期望的大小，从而制造出最终产品。本实施例的热处理炉10可以用于从上述片体中除去水分。

以下，参照附图，对热处理炉10的构成进行说明。如图1、2所示，热处理炉10具备：长方体形状的炉体12、进行工件W相对于炉体12的输入及输出的输送装置20、对工件W进行加热的加热装置(26a、26b、28)、以及向工件W的表面供给冷却气体的供气装置(38等)。

炉体12具备：下壁13、与下壁13对置的上壁14、一端与下壁13连接且另一端与上壁14连接的侧壁17、18(参照图2)、以及将由上述壁13、14、17、18包围的处理室(19a、19b)的端部进行封闭的输入侧壁15及输出侧壁16。

下壁13为俯视呈矩形的板材，配置于处理室(19a、19b)的下方。如图1所示，在下壁13，以沿x方向空开大致恒定的间隔的方式设置有多个排气口13a。多个排气口13a分别与排气风扇13b连接。当排气风扇13b运转时，处理室(19a、19b)内的气氛气体就会向处理室(19a、19b)外排出。

上壁14为与下壁13相同形状的板材，配置于处理室(19a、19b)的上方。与下壁13同样地，在上壁14，也以沿x方向空开大致恒定的间隔的方式设置有多个排气口14a。多个排气口14a分别与排气风扇14b连接。当排气风扇14b运转时，处理室(19a、19b)内的气氛气体就会向处理室(19a、19b)外排出。

在输入侧壁15设置有输入口15a，在输出侧壁16形成有输出口16a。输入口15a和输出口16a在高度方向上的位置为相同的位置，输入口15a和输出口16a彼此对置。由图1可知：处理室(19a、19b)配置于输入口15a与输出口16a之间。

此外，对构成炉体12的各壁13、14、15、16、17、18的内表面(即、处理室(19a、19b)侧的面)实施了镜面加工。其结果，上述面的红外区域的电磁波(详细而言，后述的加热器26a、26b、28放射的电磁波)的反射率为50％以上。据此，能够将加热器26a、26b、28放射的电磁波向工件W有效地照射。

输送装置20具备：输入口辊21，其配置在炉体12的外侧且配置于输入口15a的附近；输出口辊25，其配置在炉体12的外侧且配置于输出口16a的附近；以及多个导向辊(22a、22b、22c、24)，它们配置在处理室(19a、19b)内。

在输入口辊21卷绕有工件W。卷绕于输入口辊21的工件W从输入口15a经过处理室(19a、19b)而被架设至输出口16a。具体而言，将工件W从输入口辊21经由输入口15a而架设于导向辊(22a、22b、22c、24)，进而，从导向辊(22a、22b、22c、24)经由输出口16a而架设至输出口辊25。在输入口辊21连接有输入口马达21a(图1中省略图示(不过，在图5中进行了图示))。当利用输入口马达21a使得输入口辊21旋转时，将卷绕于输入口辊21的工件W向处理室(19a、19b)送出。此外，在输入口辊21与输入口15a之间配置有张力辊(46a、46b)(图1中省略图示。不过，在图7中进行了图示)。张力辊(46a、46b)由上侧张力辊46a和下侧张力辊46b构成。从输入口辊21被送出的工件W通过张力辊(46a、46b)而被向输入口15a送出。通过工件W被上侧张力辊46a和下侧张力辊46b夹持，从而对工件W赋予张力。此外，作为向工件W赋予张力的构成，可以采用公知的各种构成，例如可以采用吸力辊(suction roll)。

输出口辊25为：对从处理室(19a、19b)输出的工件W进行卷绕的辊。在输出口辊25连接有未图示的驱动装置，利用驱动装置而对输出口辊25进行旋转驱动。从输入口辊21送出的工件W被导向辊(22a、22b、22c、24)引导而在处理室(19a、19b)内的规定输送路径上进行移动，从输出口16a向处理室(19a、19b)外送出，从而卷绕于被驱动旋转的输出口辊25。即，导向辊(22a、22b、22c、24)规定出处理室(19a、19b)内的工件W的输送路径。

导向辊(22a、22b、22c、24)具备：配置于上壁14的附近的多个上部导向辊(22a、22b、22c)、以及配置于下壁13的附近的多个下部导向辊24。此外，本实施例中，导向辊(22a、22b、22c、24)使用与工件W接触的接触式辊，不过，也可以使用以非接触引导工件W的非接触式辊。

上部导向辊(22a、22b、22c)(权利要求中所称的第一导向辊的一例)以沿x方向空开恒定的间隔的方式配置。具体而言，上部导向辊22a与输入口15a相邻地配置，上部导向辊22c与输出口16a相邻地配置。多个导向辊22b以等间隔配置于上部导向辊22a与上部导向辊22c之间。上部导向辊(22a、22b、22c)各自在高度方向上的位置相同。在上部导向辊(22a、22b、22c)分别连接有上部马达23a(在图5中进行了图示)。通过对上部马达23a进行驱动，使得上部导向辊(22a、22b、22c)旋转。此外，在上部马达23a的旋转轴安装有扭矩传感器23b(在图5中进行了图示)。扭矩传感器23b与控制器44连接，对作用于上部马达23a的旋转轴(即、上部导向辊(22a、22b、22c))的扭矩进行检测。如后所述，在贯穿装置安装工件W时，控制器44以由扭矩传感器23b检测出的扭矩恒定的方式对上部马达23a进行旋转驱动。

多个下部导向辊24(权利要求中所称的第二输送辊的一例)与上部导向辊(22a、22b、22c)同样地，分别以沿x方向空开恒定的间隔的方式配置。相邻的下部导向辊24在x方向上的间隔与上部导向辊(22a、22b、22c)在x方向上的间隔相同。多个下部导向辊24在x方向上的位置处于相邻的上部导向辊(22a、22b、22c)的中央位置。多个下部导向辊24在高度方向上的位置相同。在下部导向辊24分别连接有下部马达27a(在图5中进行了图示)。通过对下部马达27a进行驱动，使得下部导向辊24旋转。此外，在下部马达27a的旋转轴安装有编码器27b(在图5中进行了图示)。编码器27b与控制器44连接，用于对下部马达27a的旋转轴(即、下部导向辊24)的转速进行检测。如后所述，在贯穿装置安装工件W时，控制器44以由编码器27b检测出的转速呈恒定的方式对下部马达27a进行旋转驱动。

如上所述，由于配置有上部导向辊(22a、22b、22c)和下部导向辊24，所以，从输入口15a沿x方向输送的工件W通过上部导向辊22a而被向下方输送，接下来，通过下部导向辊24而被向上方输送，之后通过上部输送辊22b和下部输送辊24而在上下方向上反复输送。并且，从最靠近输出口16a侧配置的下部输送辊24向上方输送的工件W通过上部导向辊22c而被向输出口16a输送。这样，通过在处理室(19a、19b)内沿上下方向反复输送，能够有效地利用处理室(19a、19b)内的空间，确保用于使工件W干燥的处理时间。此外，由图1可知：通过架设于导向辊(22a、22b、22c、24)的工件W而将处理室(19a、19b)区分为设置于上壁14侧的上部处理室19a和设置于下壁13侧的下部处理室19b。此外，由图2可知：在没有工件W的位置(即、工件W在y方向上的两端的外侧的位置)，上部处理室19a和下部处理室19b相连接。

加热装置配置于处理室(19a、19b)内，对通过输送装置20而被输送的工件W进行加热。加热装置具备：第一加热器(26a、26b)，其配置于导向辊(22a、22b、22c、24)的附近；以及第二加热器28，其配置于上部导向辊(22a、22b、22c)与下部导向辊24之间的高度。如图2所示，第一加热器(26a、26b)和第二加热器28在导向辊(22a、22b、22c、24)的轴线方向上延伸，能够对工件W的整个宽度方向(y方向)进行加热。

如图1所示，第一加热器(26a、26b)具备：多个第一上部加热器26a，它们配置于上部导向辊(22a、22b、22c)的上方；以及多个第一下部加热器26b，它们配置于下部导向辊24的下方。第一上部加热器26a配置成：分别与所对应的上部导向辊(22a、22b、22c)对置，第一下部加热器26b配置成：分别与所对应的下部导向辊24对置。因此，工件W位于第一上部加热器26a与上部导向辊(22a、22b、22c)之间，工件W通过第一上部加热器26a而被直接加热。同样地，工件W位于第一下部加热器26b与下部导向辊24之间，工件W通过第一下部加热器26b而被直接加热。

第二加热器28在上部导向辊(22a、22b、22c)各自的下方以沿z方向空开间隔的方式配置有2个。另外，第二加热器28在下部导向辊24各自的上方以沿z方向空开间隔的方式配置有2个。因此，配置成：11个第二加热器28沿x方向空开间隔地排列，并且，2个第二加热器28沿y方向空开间隔地排列。由图可知：第二加热器28配置于与架设于上部导向辊(22a、22b、22c)和下部导向辊24的工件W对置的位置(即、在工件W的输送方向上相邻的导向辊间的中间位置的附近)。由于第二加热器28在导向辊(22a、22b、22c、24)的轴线方向上延伸，所以，架设于上部导向辊(22a、22b、22c)和下部导向辊24的工件W的整个宽度方向通过第二加热器28而被加热。

第一加热器(26a、26b)为：放射出红外区域的电磁波的公知的波长可控的加热器，第一加热器(26a、26b)和第二加热器28具有相同的结构。因此，此处对第二加热器28的结构简单地进行说明。

如图3所示，第二加热器28具备：灯丝30、用于收纳灯丝30的内管32、以及用于收纳内管32的外管34。灯丝30为例如钨制的发热体，由未图示的外部电源供电。当向灯丝30供电而达到规定温度(例如1200～1700℃)时，从灯丝30放射出包括红外线在内的电磁波。内管32由红外线透过材料形成，其中，在从灯丝30放射出的电磁波中仅仅是特定的波长区域(本实施例为红外区域)的电磁波才能透过该红外线透过材料。通过适当选择用于形成内管32的红外线透过材料，能够将从灯丝30向内管32的外部放射出的电磁波的波长调整为所期望的波长。外管34也由与内管32相同的红外线透过材料形成。因此，从内管32透过的电磁波从外管34透过而向外部放射。内管32与外管34之间的空间36为：供冷媒(例如空气)流通的冷媒流路。通过向空间36(即、冷媒流路)供给冷媒，可防止外管34的温度变得过高。据此，可防止工件W过热。此外，放射红外区域的电磁波的波长可控的加热器已在例如日本特许4790092号中进行了详细的公开。

供气装置具备：多个供气管38，它们在处理室(19a、19b)内沿y方向延伸；以及供气风扇(省略图示)，其配置于处理室(19a、19b)外，向多个供气管38供给冷却气体。如图4所示，在供气管38的周向上的2处形成有喷出孔39a、39b。因此，从供气风扇供给至供气管38的冷却气体从喷出孔39a、39b向处理室(19a、19b)内喷射。本实施例中，调整设置供气管38的朝向，以使得从喷出孔39a、39b喷射的冷却气体的喷出方向与工件W的表面正交。如图4所示，喷出孔39a、39b配置于：夹着供气管38的轴线而对置的位置。因此，在工件W位于供气管38的输入口15a侧和输出口16a侧的情况下，从该供气管38的喷出孔39a喷射的冷却气体向一方的工件W喷射，从该供气管38的喷出孔39b喷射的冷却气体向另一方的工件W喷射。另外，如图2所示，供气管38的喷出孔39a、39b沿y方向空开间隔地形成有多个。因此，从喷出孔39a、39b喷射的冷却气体向工件W的整个宽度方向(y方向)喷射。

如图1所示，供气管38在上部导向辊(22a、22b、22c)各自的下方以沿z方向空开间隔的方式配置有2个。另外，供气管38在下部导向辊24各自的上方以沿z方向空开间隔的方式配置有2个。由图1可知：供气管38配置于与第一加热器(26a、26b)及第二加热器28的配置位置不同的位置。具体而言，第二加热器28和供气管38沿z方向(输送方向)空开相等的间隔交替地配置。另外，如上所述，通过架设于导向辊(22a、22b、22c、24)的工件W而将处理室(19a、19b)区分为上部处理室19a、和下部处理室19b，在上部处理室19a和下部处理室19b分别配置有供气管38。

作为向供气管38供给的冷却气体，可以使用例如氮、Ar气体等不活泼性气体。处理室(19a、19b)内的气氛气体通过从供气管38向处理室(19a、19b)内喷射的气体而进行调整。本实施例中，由于除去工件W中包含的水分，所以，处理室(19a、19b)内的气氛气体调整为：露点在0℃以下的气体。更详细而言，处理室(19a、19b)内的气氛调整为：氧浓度在10％以下。另外，露点调整为0℃以下。此外，作为冷却气体，可以采用露点在0℃以下的大气。

控制器44由具备CPU、ROM、RAM的处理器构成，对输送装置20、加热装置(26a、26b、28)、供气装置和排气装置(13b、14b)进行控制。具体而言，控制器44通过控制输送装置20来控制工件W的输送速度及张力，通过控制加热装置(26a、26b、28)来控制工件W的加热量，通过控制供气装置，来控制从供气管38向工件W喷射的冷却气体的流量及流速。另外，控制器44控制后述的贯穿装置而将卷绕于输入口辊21的工件W安装于输出口辊25。下文中，对贯穿装置的构成及控制方法进行说明。

接下来，对采用上述的热处理炉10而从工件W中除去水分的处理进行说明。首先，从供气管38向处理室(19a、19b)内供给冷却气体，将处理室(19a、19b)内调整为规定气氛。接下来，控制器44对马达(21a、23a、27a等)进行驱动，由此将工件W从输入口15a经过处理室(19a、19b)而输送至输出口16a。此时，控制器44对加热装置(26a、26b、28)进行控制，从而对工件W照射红外线区域的电磁波，并且，从供气管38向工件W的表面喷出冷却气体。当从加热装置(26a、26b、28)照射出红外线区域的电磁波时，工件W中包含的水分吸收所照射的电磁波，使得水分蒸发。从工件W中蒸发出的水分又通过从供气管38喷射的冷却气体而从工件W的表面被除去。包含有从工件W的表面除去的水分(其中，水分中包含微量的有机溶剂)的气氛气体会从下壁13的排气口13a和上壁14的排气口14a分别向处理室(19a、19b)外排出。工件W在从输入口15a输送至输出口16a的期间被除去水分。被除去水分的工件W卷绕于输出口辊25。

根据上述的热处理炉10，在导向辊(22a、22b、22c、24)的附近具备：与导向辊(22a、22b、22c、24)对置的第一加热器(26a、26b)。另外，在上部导向辊(22a、22b、22c)与下部导向辊24之间，具备第二加热器28。利用上述加热器26a、26b、28，能够控制与导向辊(22a、22b、22c、24)接触的状态下的工件W的热收支，另外，还能够控制未与导向辊(22a、22b、22c、24)接触的状态下的工件W的热收支。因此，能够很好地控制工件W的热收支，从而能够明显地提高从工件W中除去水分的处理的效率。例如，因工件W与导向辊(22a、22b、22c、24)接触而使热从工件W流向导向辊(22a、22b、22c、24)从而导致工件W过于冷却的情况下，增加从第一加热器(26a、26b)向工件W供给的热量，使得工件W不会过于冷却。据此，能够防止从工件W中除去水分的效率降低。

另外，上述的热处理炉10中，供气管38和第二加热器28在输送方向上交替地配置，另外，来自供气管38的冷却气体从与工件W的表面正交的方向喷射。据此，从工件W的内部蒸发出的水分从工件W的表面被快速地除去，促进来自工件W的水分的除去。据此，还能够提高工件W的水分的除去效率。

此外，通过架设于导向辊(22a、22b、22c、24)的工件W而将处理室(19a、19b)区分为上部处理室19a和下部处理室19b，不过，在上部处理室19a和下部处理室19b均配置有供气管38和排气口14a、13a。因此，供给至上部处理室19a的冷却气体及供给至下部冷却室19b的冷却气体与被除去的水分一同快速地向处理室(19a、19b)外排出。据此，还能够优化处理室(19a、19b)内的气体流动，提高工件W的水分除去效率。

此外，加热器(26a、26b、28)选择用于形成内管及外管的红外线透过材料，由此，能够调整放射的红外线的波长区域。因此，通过根据工件W的特性而调整放射的电磁波的波长，能够提高工件W的热处理效率。例如，作为工件W，考虑对由固体成分(苯酚·环氧树脂、10～90wt％)、以及使该固体成分成为浆料状或糊料状的溶剂(水或溶剂(例如、IPA(异丙醇、NMP(N－甲基－2－吡咯烷酮)等)构成的物质进行干燥的情形。对这样的工件W进行干燥的情况下，可以在热处理炉10的前半部分，利用选择了近红外线波长的加热器(26a、26b、28)来进行水或溶剂的干燥，在热处理炉10的后半部分，利用选择了远红外线波长的加热器(26a、26b、28)来进行退火。

另外，上述的实施例中，加热器(26a、26b、28)放射了全部相同的波长区域的电磁波，但不局限于上述例子。例如，从加热器(26a、26b、28)放射的电磁波的波长可以根据输送路径上的位置进行调整。例如，利用热处理炉10从工件W中除去水分的情况下，工件W中包含的水分量从输入口15a朝向输出口16a而逐渐降低。因此，通过使从加热器(26a、26b、28)放射的电磁波的波长从输入口15a朝向输出口16a而逐渐变长，能够将与水分量相对应的电磁波向工件W照射。

另外，上述的实施例中，在导向辊(22a、22b、22c、24)的附近配置第一加热器(26a、26b)，利用第一加热器(26a、26b)对工件W进行加热，但不局限于上述例子。例如，可以在导向辊的内部设置供热媒流通的流路，利用导向辊对工件W进行加热。通过这样的构成，也能够控制与导向辊接触的状态下的工件W的热收支，提高工件W的热处理效率。

接下来，对用于将卷绕于输入口辊21的工件W安装于输出口辊25的贯穿装置进行说明。如图1、6所示，贯穿装置具备：一对滚子链42a、42b，它们在处理室(19a、19b)内和处理室(19a、19b)外通过并且进行循环；安装棒43(安装部件的一例)，其以能够装卸的方式安装于一对滚子链42a、42b；以及驱动马达42c(在图5中进行了图示)，其对一对滚子链42a、42b进行驱动。

如图6所示，一对滚子链42a、42b配置于工件W的两侧。具体而言，滚子链42a、42b相对于供工件W架设的导向辊(22a、22b、22c、24)而言，分别配置于侧方(即、+y方向的侧壁18侧和－y方向的侧壁17侧(参照图2))。

如图1所示，滚子链42a、42b与被架设于导向辊(22a、22b、22c、24)的工件W同样地，从输入口15a开始，沿上下方向改变朝向，同时延伸至输出口16a，从输出口16a开始，在处理室(19a、19b)的外侧通过而返回输入口15a。更详细而言，滚子链42a、42b从输入口15a朝向x方向(上部导向辊22a的方向)延伸，绕到上部导向辊22a的外侧而朝向下部导向辊24改变方向，接下来，绕到下部导向辊24的外侧而朝向上部导向辊22b而改变方向，之后，同样地依次经由上部导向辊22b和下部导向辊24，绕到上部导向辊22c的外侧而从输出口16a向炉外延伸。从输出口16a向炉外延伸的滚子链42a、42b反转180度而在炉体12的上方沿－x方向延伸，返回至输入口15a。由于需要将工件W架设于导向辊(22a、22b、22c、24)，所以，滚子链42a、42b的轨道(第二输送路径的一例)在导向辊(22a、22b、22c、24)的外侧绕了大弯。因此，滚子链42a、42b的轨道比在处理室19内由导向辊(22a、22b、22c、24)规定的工件W的输送路径(第一输送路径的一例)要长，另外，在工件W的输送路径的多处(即、沿上下方向(z方向)延伸的各路径部分的中央)交叉。

此外，如图7所示，在滚子链42a、42b的轨道上的一处配置有用于检测安装棒43的检测传感器29。更详细而言，检测传感器29配置于输入口15a的附近，且配置于在滚子链42a、42b上所安装的安装棒43到达规定位置时与该安装棒43接近的位置。检测传感器29对安装棒43已通过滚子链42a、42b的轨道(第二输送路径)上的规定位置进行检测。从检测传感器29输出的信号被输入控制器44。此外，检测传感器29可以采用由发光部和受光部构成的光学式传感器、接近传感器等。

安装棒43构成为：其一端以能够装卸的方式安装于滚子链42a，其另一端以能够装卸的方式安装于滚子链42b。在安装棒43以能够装卸的方式安装有卷绕于输入口辊21的工件W的前端。在安装棒43安装于一对滚子链42a、42b的状态下，安装棒43与滚子链42a、42b正交，在安装棒43上所安装的工件W与滚子链42a、42b平行地延伸。

驱动马达42c与一对滚子链42a、42b中的一方(即、驱动侧滚子链)连接。如果在滚子链42a、42b安装有安装棒43的状态下，驱动马达42c旋转，则驱动侧滚子链旋转，从而从动侧滚子链也旋转。通过滚子链42a、42b旋转，使得安装于滚子链42a、42b的安装棒43及工件W的前端也沿着滚子链42a、42b的轨道进行移动。

如图5所示，上述的贯穿装置通过控制器44而被控制。即，在控制器44连接有启动开关45、检测传感器29、输入口马达21a、驱动马达42c、上部马达23a以及下部马达27a。启动开关45由作业者来操作，用于将工件W朝向输出口辊25安装的准备作业的开始则被输入于控制器44。当检测传感器29检测安装棒43时，将其检测信号向控制器44输入。控制器44通过来自启动开关45的信号而开始输入口马达21a、驱动马达42c、上部马达23a、下部马达27a的动作。另外，控制器44基于来自检测传感器29的检测信号和检测信号输入之后的时间，计算出安装部件43的位置(在滚子链42a、42b的轨道上的位置)，根据所计算出的位置，对输入口马达21a的旋转进行控制。通过控制器44对输入口马达21a、驱动马达42c、上部马达23a、下部马达27a的动作进行控制，使得卷绕于输入口辊21的工件W架设至输出口辊25的附近。

接下来，对将卷绕于输入口辊21的工件W的前端安装于输出口辊25时的步骤进行说明。如果将作为处理对象的工件W安装在输入口辊21，则作业者从滚子链42a、42b拆下安装棒43，将卷绕于输入口辊21的工件W的前端安装于安装棒43。将安装有工件W的前端的安装棒43安装于滚子链42a、42b。然后，作业者按压启动开关45，启动贯穿装置。

当按压启动开关45时，首先，控制器44开始驱动马达42c的驱动。据此，滚子链42a、42b旋转，随之，安装棒43在滚子链42a、42b的轨道上进行移动。控制器44根据安装棒43的移动而对输入口马达21a进行旋转驱动，将卷绕于输入口辊21的工件W送出。此外，本实施例中，驱动马达42c以预先确定的恒定的速度进行驱动(即、恒速驱动)。因此，安装棒43也以恒定的速度在滚子链42a、42b的轨道上进行移动。另一方面，如下文中详细所述那样，输入口马达21a根据安装棒43的位置(即、在滚子链42a、42b的轨道上的位置)进行旋转驱动。另外，控制器44基于扭矩传感器23b的检测值，来控制上部马达23a，基于编码器27b的检测值，来控制下部马达27a。具体而言，上部马达23a在扭矩小于目标值的状态下停止旋转，当扭矩达到目标值以上时，以扭矩为目标值的方式进行旋转驱动。另一方面，下部马达27a以预先设定的速度进行恒速驱动。

接下来，控制器44监视：是否已输入了来自检测传感器29的检测信号。如果来自检测传感器29的检测信号被输入于控制器44，则控制器44启动计时器，测量检测信号输入之后的时间。然后，控制器44根据计时器所测量的时间，来计算出安装棒43的位置。如上所述，检测传感器29的配置位置是已知的，输入口马达21a以恒速驱动。因此，控制器44能够根据计时器所测量的时间而计算出安装棒43的位置。当计算出安装棒43的位置时，控制器44根据安装棒43的位置而对输入口马达21a的旋转驱动进行控制。

此处，对输入口马达21a的旋转驱动控制进行说明。如图7所示，滚子链42的轨道(安装棒43的输送路径)比由导向辊(22a、22b、22c、24)规定的工件W的输送路径要长。即，在滚子链42的轨道设置有与导向辊22a相对应的弯曲点(A点)，并设置有与导向辊24相对应的弯曲点(C点、E点)，之后设置有与各导向辊(22b、24、22c)分别相对应的弯曲点。由于将在安装棒43上所安装的工件W向各导向辊(22a、22b、22c、24)架设，所以，各弯曲点(A、C、E、G、··)相对于所对应的导向辊而配置于外侧的位置。因此，滚子链42的轨道(安装棒43的输送路径)不得不比工件W的输送路径要长。因此，如果使输入口马达21a恒速旋转，则因为安装棒43的位置而在工件W发生挠曲(下垂)。如果想要以工件W发生了挠曲的状态架设于导向辊(22a、22b、22c、24)，则有时工件W就会以产生了褶皱的状态被卷绕于导向辊(22a、22b、22c、24)。因此，本实施例中，根据安装棒43的位置，对输入口马达21a的旋转驱动进行控制。

基于图8A～8D，对输入口马达21a的旋转驱动具体地进行说明。如图8A所示，在安装棒43从检测传感器29的位置移动至弯曲点A的期间，从张力辊(46a、46b)至安装棒43为止的距离逐渐变长，因此，工件W不会发生挠曲。另一方面，如图8B所示，当安装棒43经过弯曲点A而开始向下方移动时，安装棒43逐渐接近导向辊22a，因此，从张力辊(46a、46b)至安装棒43为止的距离逐渐变短。其结果，即便没有从输入口辊21将工件W送出，工件W也会发生挠曲。因此，在安装棒43超过弯曲点A而开始下降的初期，不需要对输入口马达21a进行驱动来将工件W送出。因此，本实施例中，在安装棒43处于工件W没有发生挠曲的位置时，停止输入口马达21a的驱动。

在将输入口马达21a的驱动停止的状态下，当安装棒43进一步下降时，如图8C所示，工件W与导向辊22a接触。如上所述，以所作用的扭矩为目标值以下的方式对导向辊22a进行驱动。因此，如果从工件W作用于导向辊22a的扭矩变大，则导向辊22a旋转，可抑制工件W产生过大的张力。当安装棒43进一步下降时，如图8D所示，呈现出工件W未发生挠曲的状态。因此，当安装棒43从图8D所示的状态进一步下降时，与其相应地重新开启输入口马达21a的旋转驱动，从输入口辊21将工件W送出。通过从输入口辊21将工件W送出，并且，对导向辊22a进行扭矩控制，从而不会有过大的张力作用于工件W地，安装棒43下降下去。

之后，自安装棒43在输送路径上的各弯曲点(C点、E点、G点、··)起算，在规定范围(C点～D点、E点～F点、G点～H点、··)内，工件W发生挠曲，因此，将输入口马达21a的驱动停止，从而停止工件W的送出。据此，可抑制工件W发生过大的挠曲，并抑制以工件W产生了褶皱的状态卷绕于导向辊(22a、22b、22c、24)。此外，通过下部导向辊24恒速旋转，使得工件W始终向安装棒43侧输送。因此，安装棒43上升时(即、从下部导向辊24侧朝向上部导向辊22b侧移动时)的工件W的挠曲迅速地被消除，能够抑制工件W因重力而大幅挠曲。

如上所述，根据安装棒43的位置而对输入口马达21a的旋转驱动进行控制，由此工件W被架设于处理室19内的各导向辊(22a、22b、22c、24)。当安装棒43从输出口16a向炉外移动并移动至输出口辊25的附近时，作业者按压启动开关45而将贯穿装置停止。接下来，作业者从滚子链42a、42b拆下安装棒43，进而，从安装棒43拆下工件W的前端。然后，将所拆下的工件W的前端安装于输出口辊25，完成工件W的安装。

图9示出了上述的安装工件W时的各部分的动作的时序图。如图9所示，当在时刻t1按压启动开关45时，滚子链42a、42b与此相应地进行旋转，另外，输入口辊21也旋转。然后，当在时刻t2，检测传感器29对安装棒43进行检测时，将其信号向控制器44输入。控制器44计算出相对于时刻t2经过的时间，由此控制之后的各部分的动作。当从时刻t1经过预先设定的时间T1而到达时刻t3时，安装棒43到达弯曲点A，与此相应地，输入口辊21的旋转停止。当输入口辊21的旋转停止之后经过预先设定的时间T2而到达时刻t4时，安装棒43到达B点，使得工件W的挠曲被消除，因此，再次开启输入口辊21的旋转。之后，根据安装棒43的位置，对输入口辊21的旋转进行接通－切断，使得安装棒43在处理室19内移动，并移动至输出口辊25的附近。

由上述说明可知：在本实施例的热处理炉中，能够采用贯穿装置而将卷绕于输入口辊21的工件W的前端安装于输出口辊25。因此，能够简便地进行处理开始前的准备作业。特别是，贯穿装置能够在处理室19内为规定气氛的状态下进行动作。因此，例如在输入口辊21安装新的工件W时，可以在维持处理室19内的加热气氛的状态下安装新的工件W。因此，能够对新安装的工件W立即进行处理，从而能够提高工件W的处理效率。

此外，上述的实施例中，在工件W发生挠曲时，将输入口辊21的旋转停止，在工件W的挠曲消除时，再次开启输入口辊21的旋转，但并不局限于这样的例子。例如，即便工件W发生挠曲，如果其挠曲为可容许的量，则可以不将输入口辊21的旋转停止。同样地，在工件W的挠曲消除至可容许的量时，可以再次开启输入口辊21的旋转。即，权利要求所称的“发生挠曲的位置”包括挠曲在容许范围的上限的位置，另外，“挠曲被消除的位置”包括挠曲在容许范围的上端的位置。

另外，上述的实施例中，滚子链42a、42b从输入口15a经过处理室内而延伸至输出口16a，并从输出口16a经过炉外而返回至输入口15a，但不局限于这样的例子。例如，可以使从输入口15a经过处理室内而延伸至输出口16a的滚子链经过炉内(即、处理室)而返回至输入口15a。

另外，上述的实施例中，上部马达23a在扭矩小于目标值的状态下停止旋转，当扭矩达到目标值以上时，以扭矩为目标值的方式进行旋转驱动，下部马达27a以预先设定的速度进行恒速驱动，但不局限于这样的例子。例如，上部马达23a及下部马达27a可以各自在扭矩小于目标值的状态下停止旋转，当扭矩达到目标值以上时，以扭矩为目标值的方式进行旋转驱动。

本说明书或附图中说明的技术要素单独发挥出技术有用性，或者通过各种组合而发挥出技术有用性，并不限定于申请时权利要求中记载的组合。另外，本说明书或附图中例示的技术同时实现多个目的，实现其中一个目的的技术本身具有技术有用性。

Claims (9)

1.一种处理炉，其特征在于，具备：

炉体，该炉体具备输入口、输出口、以及配置在所述输入口与所述输出口之间的处理室；

输入口辊，该输入口辊配置于所述炉体的外侧且配置于所述输入口的附近，并卷绕有被处理物；

多个导向辊，该多个导向辊配置于所述处理室内，用于对所述被处理物进行引导；

输出口辊，该输出口辊配置于所述炉体的外侧且配置于所述输出口的附近，用于对在所述处理室内输送的所述被处理物进行卷绕；

贯穿装置，该贯穿装置用于将卷绕于所述输入口辊的所述被处理物从所述输入口借助所述多个导向辊而架设至所述输出口；以及

控制装置，该控制装置用于对所述输入口辊的旋转进行控制，

在卷绕于所述输入口辊的所述被处理物的前端安装于所述输出口辊的状态下，所述被处理物经过由所述多个导向辊规定的第一输送路径而从所述输入口被输送至所述输出口，

所述贯穿装置具备：

安装部件，该安装部件供卷绕于所述输入口辊的所述被处理物的前端以能够装卸的方式进行安装；以及

移动装置，该移动装置使所述安装部件沿着预先设定的第二输送路径进行移动，

所述第二输送路径沿着所述第一输送路径而被设定，以使得安装于所述安装部件的所述被处理物架设于所述多个导向辊，

在所述处理室内，所述第二输送路径的长度比所述第一输送路径的长度要长，

利用所述移动装置使所述安装部件沿着所述第二输送路径移动而将卷绕于所述输入口辊的所述被处理物架设于所述多个导向辊的情况下，当所述安装部件在所述第二输送路径上的位置位于：架设于相邻的所述导向辊的所述被处理物发生挠曲的位置时，所述控制装置使所述输入口辊的旋转停止，以便不将所述被处理物从所述输入口辊送出。

2.根据权利要求1所述的处理炉，其特征在于，

利用所述移动装置使所述安装部件沿着所述第二输送路径移动而将卷绕于所述输入口辊的所述被处理物架设于所述多个导向辊的情况下，当所述安装部件在所述第二输送路径上的位置位于：架设于相邻的所述导向辊的所述被处理物所发生的挠曲被消除的位置时，所述控制装置使所述输入口辊旋转，以便将所述被处理物从所述输入口辊送出。

3.根据权利要求1或2所述的处理炉，其特征在于，

所述控制装置还对所述多个导向辊的旋转进行控制，

所述炉体具备：相对于将所述输入口和所述输出口连结的第一方向而平行地配置的第一壁、以及相对于所述第一方向而平行地配置且与所述第一壁对置的第二壁，

所述多个导向辊具备：

1个或多个第一导向辊，该1个或多个第一导向辊在从所述处理室的中心观察而处于所述第一壁侧的位置，以沿所述第一方向空开间隔的方式配置；以及

1个或多个第二导向辊，该1个或多个第二导向辊在从所述处理室的中心观察而处于所述第二壁侧的位置，以沿所述第一方向空开间隔的方式配置，

从所述输入口被输送的所述被处理物最初架设于所述第一导向辊和所述第二导向辊中的一方，然后，在所述第一导向辊和所述第二导向辊上交替架设，从而架设至所述输出口，

利用所述移动装置使所述安装部件沿着所述第二输送路径移动而将卷绕于所述输入口辊的所述被处理物架设于所述多个导向辊的情况下，所述控制装置以所述第一导向辊和所述第二导向辊中的一方产生的扭矩呈恒定的方式来控制旋转，并以所述第一导向辊和所述第二导向辊中的另一方以恒速旋转的方式进行控制。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的处理炉，其特征在于，

所述移动装置具备：

滚子链，该滚子链供所述安装部件以能够装卸的方式安装，并沿着所述第二输送路径设置，从所述输入口经过所述处理室而延伸至所述输出口，并且，经过所述炉体的外部或内部而从所述输出口返回至所述输入口；以及

驱动马达，该驱动马达对所述滚子链进行驱动。

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的处理炉，其特征在于，

所述处理炉还具备多个加热器，该多个加热器配置于所述处理室内，且沿着所述第一输送路径进行配置，用于对通过所述输送装置而被输送的所述被处理物进行加热，

在通过所述多个加热器而使所述处理室内成为规定加热气氛的状态下，所述贯穿装置能够将卷绕于所述输入口辊的所述被处理物从所述输入口借助所述多个导向辊而架设至所述输出口。

6.根据权利要求5所述的处理炉，其特征在于，

所述规定加热气氛中，所述处理室内的温度为0～400℃。

7.根据权利要求1～6中的任一项所述的处理炉，其特征在于，

所述处理炉还具备：向所述处理室内供给气体的供气装置、以及将所述处理室内的所述气体排出的排气装置，

在通过所述供气装置及所述排气装置而使所述处理室内成为规定气氛的状态下，所述贯穿装置能够将卷绕于所述输入口辊的所述被处理物从所述输入口借助所述多个导向辊而架设至所述输出口。

8.根据权利要求5所述的处理炉，其特征在于，

所述规定气氛中，所述处理室内的氧浓度为10％以下。

9.根据权利要求5所述的处理炉，其特征在于，

所述规定气氛中，所述处理室内的露点为0℃以下。

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