CN114310621A - 侧喷水部件、喷水罩及划片机 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种侧喷水部件、喷水罩以及划片机，包括：主侧喷水模块，包括主侧喷水块，包括主进水口、主出水口，以及连通主进水口和主出水口的主内腔，主内腔包括主竖直腔、主倾斜腔，主倾斜腔包括第一倾斜腔和第二倾斜腔，主竖直腔的第一端形成主进水口，第二倾斜腔的第二端形成主出水口；稳流器，设置在第一倾斜腔内，稳流器的朝向第二倾斜腔的一端的端面至第一倾斜腔的第二端的端面之间间隔设置；所述稳流器的朝向所述第二倾斜腔的一端的端面至所述第一倾斜腔的第二端的端面之间的距离为X，所述第一倾斜腔的直径为D，X与D之比为1:2‑1:3。

Description

侧喷水部件、喷水罩及划片机

技术领域

本申请涉及一种划片机切割技术领域，尤其涉及一种侧喷水部件、喷水罩及划片机。

背景技术

喷水罩是砂轮划片机上常见结构，覆盖于主轴前端砂轮刀片位置，是影响划片机加工品质的核心部件。喷水罩主要功能是通过从不同角度提供切割水或切割液来起到砂轮刀片的清洁和冷却的作用，同时还可以监测砂轮刀片的磨损和破损情况。

现有的喷水罩水路结构比较简单，只能实现一些简单的功能，现有的喷水罩普遍喷水的水柱呈发散状，且冲击刀片力度不够，冷却砂轮刀片效果不理想，直接导致砂轮刀片寿命短、易变钝、温度高、产品刀口品质差甚至出现分层、融锡等高废品率问题。

而且现有技术中的喷水罩没有同时对砂轮刀片和工件进行清洗的冷却结构，在切割某些半导体产品时不能及时清洁工件表面，产生后期无法去除的脏污污染。现有喷水罩没有刀片和主轴吹气结构，刀片状态监测和划片机测高过程中喷水罩周围有大量水气残留甚至测高时有水从主轴前端滴落，严重影响监测精度和测高精度。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本申请实施例提供一种侧喷水部件、喷水罩及划片机。

本发明实施例提供了一种侧喷水部件，包括用于向砂轮刀片提供切割液的主侧喷水模块，其中所述主侧喷水模块包括：

主侧喷水块，包括主进水口、主出水口，以及连通所述主进水口和主出水口的主内腔，所述主内腔包括主竖直腔、主倾斜腔，所述主倾斜腔包括第一倾斜腔和第二倾斜腔，所述第一倾斜腔的横截面面积大于所述第二倾斜腔的横截面面积，所述主竖直腔的第一端形成所述主进水口，第二端与所述第一倾斜腔的第一端连通，所述第一倾斜腔的第二端与所述第二倾斜腔的第一端连通，所述第二倾斜腔的第二端形成所述主出水口；

稳流器，设置在所述第一倾斜腔内，用于将流经所述稳流器的水分隔成多路水流，且所述稳流器的朝向所述第二倾斜腔的一端的端面至所述第一倾斜腔的第二端的端面之间间隔设置；

其中，所述稳流器的朝向所述第二倾斜腔的一端的端面至所述第一倾斜腔的第二端的端面之间的距离为X，所述第一倾斜腔的直径为D，X与D之比为1:2-1:3。

根据本发明实施例所提供的侧喷水部件，所述稳流器包括中心管，以及围绕所述中心管设置的若干辅助管。

根据本发明实施例所提供的侧喷水部件，X与D之比为1:2.5。

根据本发明实施例所提供的侧喷水部件，所述侧喷水部件还包括安装座，以及与所述主侧喷水模块前后方向并列设置在所述安装座上的辅侧喷水模块，所述辅侧喷水模块用于向工件表面提供切割液来冲刷工件表面。

根据本发明实施例所提供的侧喷水部件，所述辅侧喷水模块包括辅侧喷水块，所述辅侧喷水块包括辅进水口、辅出水口，以及连通所述辅进水口、辅出水口的辅内腔，所述辅内腔包括辅竖直腔、圆形缓冲腔，以及若干辅倾斜腔，所述辅竖直腔的第一端形成所述辅进水口，所述辅竖直腔的第二端与所述圆形缓冲腔连通，若干所述辅倾斜腔的第一端均与所述圆形缓冲腔连通，另一端均形成所述辅出水口，若干所述辅出水口呈直线排布。

根据本发明实施例所提供的侧喷水部件，所述安装座包括：

侧喷底座；

侧喷调整块，通过前后调节结构前后可调地连接在所述侧喷底座上；

辅助侧喷底座，安装在所述侧喷调整块上，用于固定所述辅侧喷水模块；

侧喷固定块，安装在所述侧喷调整块上，所述侧喷固定块上设有沿上下方向延伸的条形孔，所述主侧喷水模块通过穿过所述主侧喷水模块、所述条形孔的螺钉/螺栓可上下调节或沿旋转角度固定在所述侧喷固定块上。

本实施例还提供一种喷水罩，设置在安装砂轮刀片的主轴上方，包括：

刀片吹气部件，用于对所述砂轮刀片和主轴进行吹气，所述刀片吹气部件包括后安装板；

前后喷水部件，安装在所述后安装板上，用于向所述砂轮刀片提供前后两路垂直于所述砂轮刀片的切割液；

传感器部件，设置在所述后安装板上，用于检测所述砂轮刀片的磨损状况；

如上述实施例中所述的侧喷水部件，安装于所述后安装板上。

根据本发明实施例所提供的喷水罩，还包括安装在所述后安装板上的气缸部件，所述前后喷水部件、所述传感器部件安装于所述气缸部件的气缸板上，并能够随所述气缸板作沿左右方向上的靠近或远离所述主轴的直线运动。

根据本发明实施例所提供的喷水罩，所述气缸部件包括排气节流阀、双杆气缸、气缸防尘板以及所述气缸板；

所述双杆气缸设置在所述后安装板上；

所述排气节流阀安装在所述双杆气缸上，用于控制所述双杆气缸的进气速度和伸缩速度；

所述气缸防尘板安装在所述双杆气缸上，所述气缸防尘板用于遮挡气缸，防止脏水粉尘进入气缸；

所述气缸板安装在所述双杆气缸上，随所述双杆气缸一起伸缩运动。

根据本发明实施例所提供的喷水罩，所述前后喷水部件包括螺杆压板、螺杆、第二单向阀、前后喷水结构、前后喷底座以及排水板；

所述前后喷底座安装在所述气缸板上；

所述螺杆压板安装在所述前后喷底座上，所述螺杆安装在所述前后喷底座和所述螺杆压板之间，所述螺杆压板限制所述螺杆只能沿轴线旋转，旋转所述螺杆控制所述前后喷水结构上下运动；

所述前后喷水结构用于提供前后两路垂直于所述砂轮刀片的切割液；

上下调节结构，用于将所述前后喷水结构上下可调地连接在所述前后喷底座上；

所述第二单向阀安装在所述前后喷水结构的进水口上，所述第二单向阀用于防止所述前后喷水结构内的水回流引起相连通的水路滴水；

所述排水板安装在所述前后喷底座的底部，所述排水板用于对所述砂轮刀片高速旋转带起的切割液、水雾进行引导排水。

根据本发明实施例所提供的喷水罩，所述排水板包括安装在所述前后喷底座上的第一水平板，连接在所述第一水平板的第一端上的倾斜长边，以及连接在所述第一水平板的第二端上的倾斜短边，且所述第一水平板的第一端为远离所述砂轮刀片的一端；所述倾斜长边用于挡住所述砂轮刀片高速旋转带起的切割液，所述倾斜短边挡住随所述砂轮刀片旋转空气中的水雾，并凝结汇聚成水流沿折弯方向流下。

根据本发明实施例所提供的喷水罩，所述刀片吹气部件包括所述后安装板、进气接头以及刀片吹气管；

所述后安装板位于所述主轴上方；

所述进气接头安装在所述后安装板上，所述进气接头提供刀片吹气的气源；

所述刀片吹气管安装在所述后安装板上，用于测量所述砂轮刀片的高度时向所述砂轮刀片和主轴吹气。

根据本发明实施例所提供的喷水罩，所述刀片吹气管包括第一吹气管和第二吹气管，所述第一吹气管向所述砂轮刀片吹气，所述第二吹气管向所述主轴吹气。

本实施例还提供一种划片机，包括主轴，安装在所述主轴上的砂轮刀片，以及设置在所述主轴上方的如上述实施例中所述的喷水罩。

本发明的有益效果为：本发明实施例所提供的一种侧喷水部件，通过在出水口上方设置稳流器，经过所述稳流器后，切割液被分为环绕的多路水流。而由于切割液水流中位于边缘部分水流会受到所述第一倾斜腔腔体内壁的摩擦而流速减小，位于中心部位的水流则不受影响，中心水流的流速最高。故所述稳流器中所述中心管出水水流速度也是最高的。由于第二倾斜腔的横截面面积小于第一倾斜腔的横截面面积，且稳流器的朝向第二倾斜腔的一端的端面至第一倾斜腔的第二端的端面之间间隔设置，这样所述稳流器中的所述辅助管流出的水流从横截面较大的第一倾斜腔进入横截面较小的第二倾斜腔内时，受腔体空间限制而向水流中心挤压，经过压缩后的水流可以全部通过所述主出水口喷出。经过所述稳流器后喷出的水流不仅水流的出水压力和流速大大增加，而且出水水流稳定性也有所提高。X与D之间的比例改变时，流经所述稳流器中的水流在水压和流速会发生相应的改变，经研究发现X与D之间比例过小或比例过大均会造成出水水流水压过小或水流分叉的情况。当所述X与D之比为1:2-1:3时，所述侧喷水部件所喷出的水流水柱集中水流清澈透明，没有分叉和分散情况。

附图说明

下面结合附图，通过对本申请的具体实施方式详细描述，将使本申请的技术方案及其它有益效果显而易见。

图1为本实施例提供的侧喷水部件结构示意图。

图2为本实施例提供的主侧喷水模块结构示意图。

图3为本实施例提供的其中一种稳流器出水口示意图。

图4a为本实施例提供的第二种稳流器出水口示意图。

图4b为本实施例提供的第三种稳流器出水口示意图。

图4c为本实施例提供的第四种稳流器出水口示意图。

图5为本实施例提供的主侧喷水模块中距离X与直径D的标注示意图。

图6为本实施例提供的辅侧喷水模块的结构示意图。

图7为本实施例提供的主侧喷水模块结构喷水除污效果统计图。

图8为本实施例提供的喷水罩结构示意图。

图9为本实施例提供的气缸部件结构示意图。

图10为本实施例提供的前后喷水部件结构示意图。

图11为本实施例提供的刀片吹气部件结构示意图。

图12为本实施例提供的传感器部件结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本申请的不同结构。为了简化本申请的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本申请。此外，本申请可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本申请提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。

如图1-图8所示，本发明实施例提供了一种侧喷水部件1，包括用于向砂轮刀片6提供切割液的主侧喷水模块19，如图2所示，其中所述主侧喷水模块19包括：

主侧喷水块191，包括主进水口、主出水口，以及连通所述主进水口和主出水口的主内腔，所述主内腔包括主竖直腔1911、主倾斜腔，所述主倾斜腔包括第一倾斜腔1912和第二倾斜腔1913，所述第一倾斜腔1912的横截面面积大于所述第二倾斜腔1913的横截面面积，所述主竖直腔1911的第一端形成所述主进水口，第二端与所述第一倾斜腔1912的第一端连通，所述第一倾斜腔1912的第二端与所述第二倾斜腔1913的第一端连通，所述第二倾斜腔1913的第二端形成所述主出水口；

稳流器192，设置在所述第一倾斜腔1912内，用于将流经所述稳流器192的水分隔成多路水流，且所述稳流器192的朝向所述第二倾斜腔1913的一端的端面至所述第一倾斜腔1912的第二端的端面之间间隔设置。即所述稳流器192在朝向所述第一倾斜腔1912的第二端的端面之间存在一个空腔。

如图3所示，所述稳流器192包括中心管1921，以及围绕所述中心管1921设置的若干辅助管1922。所述中心管1921和所述辅助管1922的数量不少于5个，且所述辅助管1922之间为中心对称设置。在本实施例中以所述中心管1921数量为1，所述辅助管1922数量为6为例说明。如图4a-图4c所示，为所述稳流器192的其他替代结构。具体地，所述稳流器192还可以设置为包括但不限于同等直径的气孔圆柱或尺寸经过计算后的中心对称的多小孔圆柱或环绕扇形槽圆柱等均可以达到同样效果的形状。

具体地，参阅图2，切割液从所述主进水口进入所述主侧喷水块191流经所述主竖直腔1911和所述第一倾斜腔1912，经过所述稳流器192后，切割液被分为环绕的多路水流。而由于切割液水流中位于边缘部分水流会受到所述第一倾斜腔1912腔体内壁的摩擦而流速减小，位于中心部位的水流则不受影响，中心水流的流速最高。故所述稳流器192中所述中心管1921出水水流速度也是最高的。由于第二倾斜腔1913的横截面面积小于第一倾斜腔1912的横截面面积，且稳流器192的朝向第二倾斜腔1913的一端的端面至第一倾斜腔1912的第二端的端面之间间隔设置，这样所述稳流器192中的所述辅助管1922流出的水流从横截面较大的第一倾斜腔1912进入横截面较小的第二倾斜腔1913内时，受腔体空间限制而向水流中心挤压，经过压缩后的水流可以全部通过所述主出水口喷出。经过所述稳流器192后喷出的水流不仅水流的出水压力和流速大大增加，而且出水水流稳定性也有所提高。

如图5所示，在一个实施例中，所述稳流器192的朝向所述第二倾斜腔1913的一端的端面至所述第一倾斜腔1912的第二端的端面之间的距离为X，所述第一倾斜腔1912的直径为D，优选X与D之比为1:2-1:3。当所述X与D之比为1:2-1:3时，所述侧喷水部件1所喷出的水流水柱集中水流清澈透明，没有分叉和分散情况，且当X与D之比为1:2.5时，所述侧喷水部件1所喷出的水流效果最优。其中，通过发明人深入研究发现，在设置了所述稳流器192的所述侧喷水部件1中X与D之间的比例会直接影响所述侧喷水部件1的出水效果。当X与D之间的比例改变时，流经所述稳流器192中的水流的水压和流速会发生相应的改变，经研究发现X与D之间比例过小或比例过大均会造成出水水流水压过小或水流分叉的情况。当X与D之比为1:2时，所述侧喷水部件1的出水效果与所述侧喷水部件1的标准效果相同，其中所述标准效果为满足划片机喷水口出水水压和集中度的标准条件。当X与D之比为1:1或1:0.5时，所述侧喷水部件1的出水效果低于所述侧喷水部件1的标准效果。当X与D之比为1:3时，所述侧喷水部件1的出水效果与所述侧喷水部件1的标准效果相同。当X与D之比为1:3.5或1:5时，所述侧喷水部件1的出水效果低于所述侧喷水部件1的标准效果。当X与D之比为1:2.5时，所述侧喷水部件1的出水效果高于所述侧喷水部件1的标准效果。因此，本实施例中所提供的侧喷水结构在同等进水条件下，将所述第一倾斜腔1912的第二端的端面之间的距离X与所述第一倾斜腔1912的直径为D之间的比例设置为1:2.5时，所述侧喷水部件1的出水压力和流速都要远远高于普通的侧喷水结构，而且本实施例中所述侧喷水结构的出水水柱集中水流清澈透明，没有分叉和分散情况。

所述侧喷水部件1通过在所述第一倾斜腔1912中设置所述稳流器192，在同样进水水压条件下，增加了出水压力和流速，冲击所述砂轮刀片6的力度也得到了提高。由于出水压力更大，水流冲击所述砂轮刀片6可以冲走附着在所述砂轮刀片6表面的碎屑，使所述砂轮刀片6保持锋利，寿命更长。而且由于水流集中且流速更快，水流可以快速带走所述砂轮刀片6切割工件产生的热量，大幅降低了融锡和分层的情况。

如图1、图6所示，所述侧喷水部件1还包括安装座，以及与所述主侧喷水模块19前后方向并列设置在所述安装座上的辅侧喷水模块16，所述辅侧喷水模块16用于向工件表面提供切割液来冲刷工件表面。并对工件表面保湿，还可以防止切割产生的碎屑脏污残留。其中，所述辅侧喷水模块16包括辅侧喷水块161，所述辅侧喷水块161包括辅进水口、辅出水口1614，以及连通所述辅进水口、辅出水口1614的辅内腔，所述辅内腔包括辅竖直腔1611、圆形缓冲腔1612，以及若干辅倾斜腔1613，所述辅竖直腔1611的第一端形成所述辅进水口，所述辅竖直腔1611的第二端与所述圆形缓冲腔1612连通，若干所述辅倾斜腔1613的第一端均与所述圆形缓冲腔1612连通，另一端均形成所述辅出水口1614，若干所述辅出水口1614呈直线排布。

在本实施例中以10个所述辅出水口1614为例说明。具体地，在所述辅侧喷水模块16中，切割液从所述辅进水口进入，切割液流进所述圆形缓冲腔1612中，切割液的水流在所述圆形缓冲腔1612中的圆弧面减小了反向冲击力，而且所述圆形缓冲腔1612中的腔体相对切割液来说足够大，切割液水流在所述圆形缓冲腔1612中不会产生旋涡，在所述圆形缓冲腔1612中的切割液可以由10个所述辅出水口1614高速喷出，在冲击工件后形成均匀的水面。故在本实施例中通过所述侧喷水部件1冲击所述砂轮刀片6，并设置所述辅侧喷水模块16来冲击工件，形成了一个同时清洗所述砂轮刀片6和所述工件的双清洗结构。所述辅侧喷水模块16中10个所述辅出水口1614喷水在所述工件表面形成均匀水面后，可以保持切割位置附近工件表面湿润，而所述侧喷水部件1可以及时冲刷所述砂轮刀片6切割所述工件产生的碎屑，防止碎屑沉积附着到所述工件表面形成后期无法清洁的脏污污染，使用本实施例中提供的双清洗结构可以减低甚至消除工件表面的脏污残留。

具体地，经过发明人的对比统计，如图7所示，在使用现有技术中的喷水罩时，工件上的脏污污染数量要远多于使用了本实施例中所提供的所述辅侧喷水模块16的喷水罩所造成的工件上的脏污污染数量。而且，本实施例中提供的砂轮刀片6和工件双清洗结构可以大大减少工件上的脏污污染数量以及分层、融锡的数量。

所述辅侧喷水模块16的所述辅出水口1614可以由其他角度的5孔或6孔或其他数量孔的结构来达到同样的效果，其他角度分别应用于不同的产品领域，可根据实际需要来调整角度和孔的数量。

如图1所示，所述安装座包括：侧喷底座12；所述侧喷底座12作为主体部件，用于承载侧喷水部件1上的各元件；侧喷调整块11，通过前后调节结构前后可调地连接在所述侧喷底座12上；辅助侧喷底座14，安装在所述侧喷调整块11上，用于固定所述辅侧喷水模块16；侧喷固定块17，安装在所述侧喷调整块11上，所述侧喷固定块17上设有沿上下方向延伸的条形孔，所述主侧喷水模块19通过穿过所述主侧喷水模块19、所述条形孔的螺钉/螺栓可上下调节或沿旋转角度固定在所述侧喷固定块17上。所述主侧喷水模块19可以给砂轮刀片6提供沿切线方向的切割液，并清洁砂轮刀片6表面附着的碎屑，同时带走砂轮刀片6切割所产生的热量。

通过前后调节结构的设置，能够准确调整主侧喷水模块19、辅侧喷水模块16的前后位置，同时，主侧喷水模块19通过螺钉/螺栓可上下调节或沿旋转角度固定在所述侧喷固定块17上，能够确保主侧喷水模块19准确调整到达指定喷水位置。

具体地，所述前后调节结构包括：侧喷底座12的侧面上由上至下分别设有第一凸起、第一凹槽，侧喷调整块11的侧面上由上至下设有第二凹槽和第二凸起，且所述第一凸起适于插入第二凹槽内安装，第二凸起适于插入第一凹槽内安装，第一凸起上设有至少一个第一螺纹孔，第二凹槽的上方的槽侧壁上设有条形孔，且条形孔的长度方向沿前后方向延伸，通过第一螺钉/螺栓穿过条形孔、第一螺纹孔，将侧喷底座12和侧喷调整块11连接，第二凸起上设有第二螺纹孔，第二螺纹孔适合侧喷调整螺杆13拧入，所述侧喷调整块11通过侧喷调整螺杆13穿过并安装在所述侧喷底座12上，所述侧喷调整块11用于连接所述辅助侧喷底座14和所述侧喷固定块17。所述侧喷调整螺杆13通过旋转来带动所述侧喷调整块11前后运动，使所述侧喷水部件1跟随前后运动，可以准确调节侧喷水到达指定喷水位置。

在调整所述侧喷水部件1时，由于侧喷调整螺杆13远离主轴，使用扳手调节时，调节扳手位置远离划片机装置的主轴，不用直接用工具调节离所述砂轮刀片6很近的主侧喷水模块19，降低了高速旋转主轴给操作人员带来的危险，也降低了损坏所述砂轮刀片6的风险；优选侧喷调整螺杆13使用螺距较小的螺杆旋转控制前后移动，调节距离可以通过旋转角度控制，相比手动调节更加精准方便控制。

所述侧喷水部件1还包括：第一单向阀15以及进水接头18，所述第一单向阀15安装在所述辅侧喷水模块16上，用于防止水回流引起相连通的水路滴水。所述进水接头18安装在所述侧喷水部件1上，给所述侧喷水部件1提供切割液。

本实施例所提供的侧喷水部件1增加所述辅侧喷水模块16，切割液经过所述辅侧喷水模块16中10个所述辅出水口1614高速喷出，冲击工件后沿出水方向形成均匀的长方形水面，能够保持切割位置附近工件表面湿润，而且可以及时冲刷所述砂轮刀片6切割工件产生的碎屑，防止碎屑沉积附着到工件表面形成后期无法清洁的脏污污染，使用这种结构可以减低甚至消除工件表面的脏污残留。

如图8-图12所示，本实施例还提供了一种喷水罩，设置在安装砂轮刀片6的主轴上方，包括：刀片吹气部件2，用于对所述砂轮刀片6和主轴进行吹气，所述刀片吹气部件2包括后安装板21；前后喷水部件3，安装在所述后安装板21上，用于向所述砂轮刀片6提供前后两路垂直于所述砂轮刀片6的切割液；传感器部件4，设置在所述后安装板21上，用于检测所述砂轮刀片6的磨损状况；如上述实施例所提供的侧喷水部件1，安装于所述后安装板21上。本实施例提供的一种喷水罩因具有上述实施例的侧喷水部件1，具有上述的侧喷水部件1带来的全部效果，在此不再多叙。

进一步的，本实施例还提供了一种喷水罩还包括安装在所述后安装板21上的气缸部件5，所述前后喷水部件3、所述传感器部件4安装于所述气缸部件5的气缸板54上，并能够随所述气缸板54作沿左右方向上的靠近或远离所述主轴的直线运动。这样在所述喷水罩需要更换砂轮刀片6时能够将位于砂轮刀片6影响更换刀片的部件，如所述前后喷水部件3、所述传感器部件4一起弹出，方便更换砂轮刀片6，避免刮蹭损坏砂轮刀片6。

如图9所示，具体地，所述气缸部件5包括排气节流阀51、双杆气缸52、气缸防尘板53以及气缸板54；所述双杆气缸52设置在所述刀片吹气部件2上的所述后安装板21上，所述双杆气缸52提供喷水罩弹出的动力；所述排气节流阀51安装在所述双杆气缸52上，所述排气节流阀51控制气缸进气速度和伸缩速度；所述气缸防尘板53安装在所述双杆气缸52上，所述气缸防尘板53遮挡气缸，防止脏水粉尘进入气缸；所述气缸板54安装在所述双杆气缸52上，所述气缸板54承载其它部件随所述双杆气缸52一起伸缩运动。本实施例中的喷水罩可以通过所述双杆气缸52在更换砂轮刀片6时带动安装在所述气缸防尘板53上的一系列部件一起自动弹出，减少了人工拆卸所述前后喷水部件3和所述传感器部件4等零部件的复杂操作，降低刮蹭损坏砂轮刀片6的风险，提高换刀效率。

如图10所示，所述前后喷水部件3包括螺杆压板31、螺杆32、第二单向阀33、前后喷水结构34、前后喷底座35以及排水板36；所述前后喷水部件3的主体为所述前后喷底座35，其他部件设置在所述前后喷底座35上。所述前后喷底座35安装在所述气缸板54上，所述前后喷底座35连接和调节所述前后喷水结构34的上下位置；所述螺杆压板31安装在所述前后喷底座35上，所述螺杆压板31限制所述螺杆32只能沿轴线旋转；所述螺杆32安装在所述前后喷底座35和所述螺杆压板31之间，所述螺杆32旋转控制所述前后喷水结构34上下运动，且防止因螺钉松动导致所述前后喷水结构34掉落划伤待切割工件；所述第二单向阀33安装在所述前后喷水结构34上，所述第二单向阀33防止水回流引起相连通的水路滴水；所述前后喷水结构34安装在所述螺杆32和所述前后喷底座35上，所述前后喷水结构34提供前后共两路垂直于所述砂轮刀片6的切割液；所述排水板36安装在所述前后喷底座35上，所述排水板36引导排水，防止大量切割液随所述砂轮刀片6旋转产生水雾。

具体地，所述排水板36具有三个弯折角度，即包括安装在所述前后喷底座35上的第一水平板，连接在所述第一水平板的第一端上的倾斜长边，以及连接在所述第一水平板的第二端上的倾斜短边，所述第一水平板的第一端为远离所述砂轮刀片的一端。所述排水板36的倾斜长边挡住所述砂轮刀片6高速旋转带起的切割液，所述切割液在所述排水板36上汇聚并沿弯折方向流出，所述排水板36的倾斜短边挡住随所述砂轮刀片6旋转空气中的水雾，并凝结汇聚成水流沿折弯方向流下。因此，装备所述排水板36可以及时挡住了大部分所述砂轮刀片6高速旋转带起的切割液，使切割液汇聚流出不会冲击到喷水罩其它部件形成水雾，减少了水气对所述传感器部件4监测的干扰，提高监测精度。

如图11所示，所述刀片吹气部件2包括后安装板21、进气接头22以及刀片吹气管23；所述刀片吹气部件2的主体为所述后安装板21，其他元件设置在所述后安装板21上。所述后安装板21连接在主轴上，所述后安装板21承载其他结构；所述进气接头22安装在所述后安装板21上，所述进气接头22提供刀片吹气的气源；所述刀片吹气管23安装在所述后安装板21上，并用螺钉固定角度和高度，在划片机测高时所述刀片吹气管23向所述砂轮刀片6和主轴吹气，吹掉残留水珠和周围水气，提高测高精度。

具体地，所述刀片吹气管23包括第一吹气管和第二吹气管，所述第一吹气管向所述砂轮刀片6吹气，所述第二吹气管向所述主轴吹气。在本实施例中，装备两根所述刀片吹气管23对所述主轴和所述砂轮刀片6进行吹气清洁，对划片机测高时抑制水气干扰、提高测高精度和监测刀片状态精度起到了重要的作用，降低了所述传感器部件4监测刀片状态时的误报警，提高了划片机生产效率。

如图12所示，所述传感器部件4包括调节旋钮41、垫片42、保持板43、锁定旋钮44、传感器底座45、光纤传感器46、弹簧压盖47、转动轴48、弹簧49、弹簧底座410；所述弹簧底座410固定在所述气缸板54上，所述弹簧底座410限制所述传感器部件4的位置；所述调节旋钮41、所述垫片42、所述保持板43、所述锁定旋钮44以及所述传感器底座45组成的结构夹在所述弹簧底座410和所述前后喷底座35之间，被所述弹簧压盖47压住，来固定和上下调节所述光纤传感器46位置；所述光纤传感器46监测所述砂轮刀片6的状态，并在所述砂轮刀片6旋转切割的状态下测量出刀片的磨损量以及是否出现缺口和破损；所述转动轴48安装在所述弹簧底座410上，固定所述弹簧压盖47只能沿轴向转动；所述弹簧49安装于所述弹簧压盖47和所述弹簧底座410之间，所述弹簧49支撑所述弹簧压盖47压紧光纤传感器46，并减小光纤传感器46晃动。

本实施例还提供一种划片机，该划片机包括切割用的主轴，安装在所述主轴上的砂轮刀片，以及设置在所述主轴上方的本实施例所提供的喷水罩。使用本实施例所提供的划片机，喷水罩的出水压力大，可以有效冲走附着在所述砂轮刀片上的碎屑，使所述砂轮刀片保持锋利，使用寿命更长，而且该喷水罩的水流集中且流速较快，水流可以快速带走所述砂轮刀片切割工件产生的热量，大幅降低了融锡和分层的情况。

以上对本申请实施例所提供的一种侧喷水部件、喷水罩及划片机进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的技术方案及其核心思想；本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例的技术方案的范围。

Claims (14)

1.一种侧喷水部件，其特征在于，包括用于向砂轮刀片提供切割液的主侧喷水模块，其中所述主侧喷水模块包括：

主侧喷水块，包括主进水口、主出水口，以及连通所述主进水口和主出水口的主内腔，所述主内腔包括主竖直腔、主倾斜腔，所述主倾斜腔包括第一倾斜腔和第二倾斜腔，所述第一倾斜腔的横截面面积大于所述第二倾斜腔的横截面面积，所述主竖直腔的第一端形成所述主进水口，第二端与所述第一倾斜腔的第一端连通，所述第一倾斜腔的第二端与所述第二倾斜腔的第一端连通，所述第二倾斜腔的第二端形成所述主出水口；

稳流器，设置在所述第一倾斜腔内，用于将流经所述稳流器的水分隔成多路水流，且所述稳流器的朝向所述第二倾斜腔的一端的端面至所述第一倾斜腔的第二端的端面之间间隔设置；

其中，所述稳流器的朝向所述第二倾斜腔的一端的端面至所述第一倾斜腔的第二端的端面之间的距离为X，所述第一倾斜腔的直径为D，X与D之比为1:2-1:3。

2.根据权利要求1所述的侧喷水部件，其特征在于，所述稳流器包括中心管，以及围绕所述中心管设置的若干辅助管。

3.根据权利要求1所述的侧喷水部件，其特征在于，X与D之比为1:2.5。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的侧喷水部件，其特征在于，所述侧喷水部件还包括安装座，以及与所述主侧喷水模块前后方向并列设置在所述安装座上的辅侧喷水模块，所述辅侧喷水模块用于向工件表面提供切割液来冲刷工件表面。

5.根据权利要求4所述的侧喷水部件，其特征在于，所述辅侧喷水模块包括辅侧喷水块，所述辅侧喷水块包括辅进水口、辅出水口，以及连通所述辅进水口、辅出水口的辅内腔，所述辅内腔包括辅竖直腔、圆形缓冲腔，以及若干辅倾斜腔，所述辅竖直腔的第一端形成所述辅进水口，所述辅竖直腔的第二端与所述圆形缓冲腔连通，若干所述辅倾斜腔的第一端均与所述圆形缓冲腔连通，另一端均形成所述辅出水口，若干所述辅出水口呈直线排布。

6.根据权利要求5所述的侧喷水部件，其特征在于，所述安装座包括：

侧喷底座；

侧喷调整块，通过前后调节结构前后可调地连接在所述侧喷底座上；

辅助侧喷底座，安装在所述侧喷调整块上，用于固定所述辅侧喷水模块；

侧喷固定块，安装在所述侧喷调整块上，所述侧喷固定块上设有沿上下方向延伸的条形孔，所述主侧喷水模块通过穿过所述主侧喷水模块、所述条形孔的螺钉/螺栓可上下调节或沿旋转角度固定在所述侧喷固定块上。

7.一种喷水罩，设置在安装砂轮刀片的主轴上方，其特征在于，包括：

刀片吹气部件，用于对所述砂轮刀片和主轴进行吹气，所述刀片吹气部件包括后安装板；

前后喷水部件，安装在所述后安装板上，用于向所述砂轮刀片提供前后两路垂直于所述砂轮刀片的切割液；

传感器部件，设置在所述后安装板上，用于检测所述砂轮刀片的磨损状况；

如权利要求1-6中任一项所述的侧喷水部件，安装于所述后安装板上。

8.根据权利要求7所述的喷水罩，其特征在于，还包括安装在所述后安装板上的气缸部件，所述前后喷水部件、所述传感器部件安装于所述气缸部件的气缸板上，并能够随所述气缸板作沿左右方向上的靠近或远离所述主轴的直线运动。

9.根据权利要求8所述的喷水罩，其特征在于，所述气缸部件包括排气节流阀、双杆气缸、气缸防尘板以及所述气缸板；

所述双杆气缸设置在所述后安装板上；

所述排气节流阀安装在所述双杆气缸上，用于控制所述双杆气缸的进气速度和伸缩速度；

所述气缸防尘板安装在所述双杆气缸上，所述气缸防尘板用于遮挡气缸，防止脏水粉尘进入气缸；

所述气缸板安装在所述双杆气缸上，随所述双杆气缸一起伸缩运动。

10.根据权利要求8或9所述的喷水罩，其特征在于，所述前后喷水部件包括螺杆压板、螺杆、第二单向阀、前后喷水结构、前后喷底座以及排水板；

所述前后喷底座安装在所述气缸板上；

所述螺杆压板安装在所述前后喷底座上，所述螺杆安装在所述前后喷底座和所述螺杆压板之间，所述螺杆压板限制所述螺杆只能沿轴线旋转，旋转所述螺杆控制所述前后喷水结构上下运动；

所述前后喷水结构用于提供前后两路垂直于所述砂轮刀片的切割液；

上下调节结构，用于将所述前后喷水结构上下可调地连接在所述前后喷底座上；

所述第二单向阀安装在所述前后喷水结构的进水口上，所述第二单向阀用于防止所述前后喷水结构内的水回流引起相连通的水路滴水；

所述排水板安装在所述前后喷底座的底部，所述排水板用于对所述砂轮刀片高速旋转带起的切割液、水雾进行引导排水。

11.根据权利要求10所述的喷水罩，其特征在于，所述排水板包括安装在所述前后喷底座上的第一水平板，连接在所述第一水平板的第一端上的倾斜长边，以及连接在所述第一水平板的第二端上的倾斜短边，且所述第一水平板的第一端为远离所述砂轮刀片的一端；所述倾斜长边用于挡住所述砂轮刀片高速旋转带起的切割液，所述倾斜短边挡住随所述砂轮刀片旋转空气中的水雾，并凝结汇聚成水流沿折弯方向流下。

12.根据权利要求7所述的喷水罩，其特征在于，所述刀片吹气部件包括所述后安装板、进气接头以及刀片吹气管；

所述后安装板位于所述主轴上方；

所述进气接头安装在所述后安装板上，所述进气接头提供刀片吹气的气源；

所述刀片吹气管安装在所述后安装板上，用于测量所述砂轮刀片的高度时向所述砂轮刀片和主轴吹气。

13.根据权利要求12所述的喷水罩，其特征在于，所述刀片吹气管包括第一吹气管和第二吹气管，所述第一吹气管向所述砂轮刀片吹气，所述第二吹气管向所述主轴吹气。

14.一种划片机，其特征在于，包括主轴，安装在所述主轴上的砂轮刀片，以及设置在所述主轴上方的，如权利要求7-13中任一项所述的喷水罩。

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