CN115041467B - 刀片检测机构及划片机 - Google Patents

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Abstract

本发明揭示了刀片检测机构及划片机，其中刀片检测机构将一组第一吹气孔和一组第二吹气孔集成在一个吹气块上可以有效地简化吹气结构；通过对第一吹气孔和第二吹气孔的位置设计，使它们的出气能够刚好吹在发射器的第一镜面和接收器的第二镜面上，从而保证第一镜面和第二镜面的洁净度。同时，多个第一吹气孔和第二吹气孔的出气可吹到的位置分别位于第一镜面和第二镜面的调整路径上，因此，在对射式传感器的安装位置进行调整时，即使不对吹气块的位置进行调整，仍能够使第一镜面和第二镜面与第一吹气孔和第二吹气孔的出气位置匹配，从而保证对射式传感器的镜面有效清洁，且无需对吹气块进行调节，操作简单。

Description

刀片检测机构及划片机
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，尤其是刀片检测机构及划片机。
背景技术
划片机是用于晶圆加工的重要设备，其是通过主轴驱动刀片对晶圆进行切割，在切割过程中，刀片会出现磨损，导致刀片的外径变小，从而导致刀片的切割深度变化，因此在划片过程中，需要检测刀片的磨损情况，从而精确控制刀片的切割深度。
如申请号为201210296515.1，公开号为CN103630537A的中国专利申请所揭示的现有的检测系统，其通常采用对射式传感器对刀片的刃口进行检测，对射式传感包括发射器和接收器，而切割室中充斥着水雾和切割脏污，它们会污染发射器和接收器的镜面，从而极大地影响对射式传感器的测量精度，因此，保证发射器和接收器的镜面的洁净度是保证检测精度的必要条件。
如申请号为202110505443.6，公开号为CN113118950A的中国专利申请所揭示的防污装置，其是通过纵向吹气组件和横向吹气组件进行发射器和接收器的镜面的防污，这样的结构相对复杂，且由于不是直接吹向镜面，这就造成防尘的效果无法保证，另外，当需要调整所述对射式传感器的位置时，需要对所述横向吹气组件同时进行调整，操作相对繁琐。
发明内容
本发明的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题，提供一种刀片检测机构及划片机。
本发明的目的通过以下技术方案来实现：
刀片检测机构，包括具有发射器和接收器的对射式传感器，所述发射器的第一镜面和接收器的第二镜面相对，所述发射器及接收器间隙设置在传感器支架上，所述传感器支架旁设置有吹气块，所述吹气块上设置有一组用于向所述发射器的第一镜面吹气且轴线平行的第一吹气孔及一组用于向所述接收器的第二镜面吹气且轴线平行的第二吹气孔；所述第一吹气孔及第二吹气孔的出气端位于所述发射器和接收器之间；每个所述第一吹气孔的进气端到所述第一镜面的横向距离大于所述第一吹气孔的出气端到所述第一镜面的横向距离，一组所述第一吹气孔的出气端具有高度差地分布在吹气块上，且一组所述第一吹气孔的出气端到所述第一镜面的横向距离由下至上依次减小；每个所述第二吹气孔的进气端到所述第二镜面的横向距离大于所述第二吹气孔的出气端到所述第二镜面的横向距离，一组所述第二吹气孔的出气端具有高度差的分布在吹气块上，且一组所述第二吹气孔的出气端到所述第二镜面的横向距离由下至上依次减小。
优选的，一组所述第一吹气孔的出气端到所述第一镜面的横向距离小于所述第二吹气孔的出气端到所述第一镜面的横向距离。
优选的，所述第一吹气孔及第二吹气孔的直径在4毫米-4.5毫米之间。
优选的，所述第一吹气孔的出气端与第二吹气孔的出气端的高度一一对应，过高度相同的第一吹气孔和第二吹气孔的出气端的中心的第一直线与第二直线的夹角在70°-75°之间，所述第二直线过一组所述第一吹气孔的出气端的中心或过一组所述第二吹气孔的出气端的中心。
优选的，所述吹气块包括内凹的弧面，所述第一吹气孔及第二吹气孔的出气端位于所述弧面处；所述弧面的上边与位于所述弧面上方的安装斜面衔接，所述安装斜面与所述弧面的外切面的夹角在45°-120°之间，所述安装斜面与水平面的夹角在30°-75°之间；所述传感器支架设置在所述安装斜面处。
优选的，所述传感器支架被压在压紧限位件下方，通过固定组件将所述压紧限位件及传感器支架固定在所述安装斜面处，所述压紧限位件上设置有调节螺栓，所述调节螺栓用于驱动所述传感器支架沿第一方向直线移动，所述第一方向与所述安装斜面平行且与所述第一镜面的轴线的延伸方向垂直。
优选的，所述传感器支架与所述压紧限位件通过一紧固螺栓紧固，所述紧固螺栓的轴线与所述安装斜面垂直，所述压紧限位件上形成有供所述紧固螺栓穿过的腰形孔，所述腰形孔沿所述第一方向延伸。
优选的，所述压紧限位件与一限位块可拆卸地连接，所述压紧限位件的斜表面上设置有限位导引板，所述斜表面与所述安装斜面平行，所述限位导引板沿所述第一方向延伸；所述限位块包括与所述斜表面平行的底面，所述底面处凹设有供所述限位导引板插入的凹槽，所述压紧限位件可相对位置固定的所述限位块沿所述第一方向滑动。
吹气块，包括一组用于向对射式传感器的发射器的第一镜面吹气的第一吹气孔及一组用于向所述对射式传感器的接收器的第二镜面吹气的第二吹气孔；一组所述第一吹气孔的出气端具有高度差地分布在吹气块上，一组所述第二吹气孔的出气端具有高度差的分布在吹气块上，所述第一吹气孔及第二吹气孔轴对称且呈倒八字形分布在所述吹气块上。
划片机，包括上述任一所述的刀片检测机构。
本发明技术方案的优点主要体现在：
本发明将一组第一吹气孔和一组第二吹气孔集成在一个吹气块上可以有效地简化吹气结构；通过对第一吹气孔和第二吹气孔的位置设计，使它们的出气能够刚好吹在所述发射器的第一镜面和接收器的第二镜面上，从而保证第一镜面和第二镜面的洁净度以实现精确地检测。同时，多个第一吹气孔和第二吹气孔的出气可吹到的位置分别位于所述第一镜面和第二镜面的调整路径上，因此，在对射式传感器的安装位置进行调整时，即使不对吹气块的位置进行调整，仍能够使所述第一镜面和第二镜面与第一吹气孔和第二吹气孔的出气位置匹配，从而保证对射式传感器的镜面有效清洁，并且只要调节对射式传感器的位置即可，无需对吹气块进行调节，操作简单。
由于传感器的第一镜面、第二镜面的直径在4mm左右，第一吹气孔和第二吹气孔的孔径设计能够有效覆盖第一、第二镜面，并且，该孔径设计能够有效地减少吹气孔的开设数量以降低在小尺寸的吹气块上加工多个吹气孔的难度，同时，孔径设计能够有效地保证出气气压和出气量，充分保证了清洁质量，获得了最佳的效果。
本发明的传感器支架通过压紧限位件固定在吹气块上，压紧限位件通过紧固螺栓与安装斜面连接，压紧限位件上设置调节螺栓来进行传感器支架的位置调节，进而实现对射式传感器的位置调节，整个调节操作方便，易于实现。
本发明的压紧限位件连接有限位块，在限位块固定位置后，可以有效地对压紧限位件的位置进行限定，可以采用一个紧固螺栓来实现压紧限位件与吹气块连接，这种结构能够有效地增加对射式传感器的调节行程，且方便调节操作，同时，限位块可以有效地防止压紧限位件发生横向位置偏移造成对射式传感器的位置变化，保证了位置精度。同时，这种结构便于压紧限位件与传感器支架的整体拆装。
本发明使限位导引板及限位块上形成相匹配的楔形，能够最大程度地避免压紧限位板在横向上产生晃动，保证了压紧限位板的精度，进而保证了对射式传感器的检测精度。
附图说明
图1是本发明的刀片检测机构的立体图；
图2是本发明的刀片检测机构中的吹气块及传感器支架的正视图；
图3是本发明的刀片检测机构中的吹气块的第二吹气孔的出气可吹到的位置的示意图；
图4是本发明的刀片检测机构中隐去传感器支架的立体图，图中隐去了固定组件；
图5是本发明的刀片检测机构中的限位压紧件与限位块区域的第一视角的立体图；
图6是本发明的刀片检测机构中的限位压紧件与限位块区域的第二视角立体图，图中隐去了固定组件。
具体实施方式
本发明的目的、优点和特点，将通过下面优选实施例的非限制性说明进行图示和解释。这些实施例仅是应用本发明技术方案的典型范例，凡采取等同替换或者等效变换而形成的技术方案，均落在本发明要求保护的范围之内。
在方案的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。并且，在方案的描述中，以操作人员为参照，靠近操作者的方向为近端，远离操作者的方向为远端。
实施例1
下面结合附图对本发明揭示的刀片检测机构进行阐述，如附图1所示，其包括具有发射器和接收器的对射式传感器1，所述对射式传感器1优选是对射式光纤传感器，当然，也可以是其他的对射式光电传感器。所述发射器及接收器间隙设置在传感器支架2上，所述传感器支架2的具体形状可以根据需要进行设计，所述发射器和接收器设置在所述传感器支架2的两个安装臂21上，且发射器的第一镜面和接收器的第二镜面相对，所述第一镜面和第二镜面通常与其所述安装臂21的内侧面平齐设置。在进行检测时，所述发射器和接收器对称分布在要检测的刀片的两侧，且刀片可以遮挡所述发射器和接收器之间的全部和部分光线，当刀片磨损时，接收器接收的光量会发生变化，从而可以对刀片的磨损状态等进行检测，具体的检测原理为已知技术，在此不作赘述。
工作时，需要对刀片和产品喷水以进行冷却和清洗，由此产生的水雾等会对所述对射式传感器1的检测产生干扰，导致出现一定的误判。
如附图1、附图2所示，为了解决这一问题，本发明在所述传感器支架2旁设置有吹气块3，所述吹气块3上设置有一组用于向所述发射器的第一镜面吹气且轴线平行的第一吹气孔31及一组用于向所述接收器的第二镜面吹气且轴线平行的第二吹气孔32，所述第一吹气孔31和第二吹气孔32为直孔；所述第一吹气孔31及第二吹气孔32的出气端位于所述发射器和接收器之间；每个所述第一吹气孔31的进气端到所述第一镜面的横向距离大于所述第一吹气孔31的出气端到所述第一镜面的横向距离，即所述第一吹气孔31向所述第一镜面方向倾斜，一组所述第一吹气孔31的出气端具有高度差地分布在吹气块3上，且一组所述第一吹气孔31的出气端到所述发射器的第一镜面的横向距离由下至上依次减小。每个所述第二吹气孔32的进气端到所述第二镜面的横向距离大于所述第二吹气孔32的出气端到所述第二镜面的横向距离，即所述第二吹气孔32向所述第二镜面方向倾斜，一组所述第二吹气孔32的出气端具有高度差的分布在吹气块3上，且一组所述第二吹气孔32的出气端到所述接收器的第二镜面的横向距离由下至上依次减小，此处横向X是指第一镜面或第二镜面的轴线的延伸方向（刀片的轴线的延伸方向）。
将一组第一吹气孔31和一组第二吹气孔32集成在一个吹气块3上可以简化吹气结构；通过对第一吹气孔31和第二吹气孔32的出气端的位置设计，可以有效地保证它们的出气能够刚好吹在所述发射器的第一镜面和接收器的第二镜面上，从而对所述第一镜面和第二镜面进行清洁，避免水雾等造成的检测误差。同时，多个第一吹气孔31和第二吹气孔32可以在对射式传感器1的安装位置进行调整时，即使不对吹气块3进行调整的情况下，仍能够使所述第一镜面和第二镜面与第一吹气孔31和第二吹气孔32的出气位置匹配，从而保证对射式传感器1的检测精度。进一步，多个所述第一吹气孔31和第二吹气孔32可以在对发射器和接收器进行吹气的同时对刀片进行吹气，从而对刀片起到一定的清洁、冷却作用。
如附图1、附图2所示，一组所述第一吹气孔31及一组所述第二吹气孔32的数量及尺寸可以根据需要进行设计，优选，一组所述第一吹气孔31和一组所述第二吹气孔32均为三个，且所述第一吹气孔31的直径在4毫米-4.5毫米之间，所述第二吹气孔32的直径在4毫米-4.5毫米之间。如附图3所示，在初始位置时，使三个所述第一吹气孔31中，最上方的一个的出气可以覆盖所述第一镜面；使三个所述第二吹气孔32中，最上方的一个的出气可以覆盖所述第二镜面。所述第一吹气孔和第二吹气孔32的进气端可以与所述吹气块3上的一个气腔连通，所述气腔与进气通道连通，所述进气通道连接用于接外部供气管路的气嘴。当然，也可以通过其他结构为所述第一吹气孔31及第二吹气孔32供气。
如附图1、附图2所示，一组所述第一吹气孔31的出气端到所述发射器的第一镜面的横向距离小于所述第二吹气孔32的出气端到所述发射器的第一镜面的横向距离，即一组所述第一吹气孔31更靠近所述发射器的第一镜面，一组所述第二吹气孔32更靠近所述接收器的第二镜面，这样的结构可以避免第一吹气孔31和第二吹气孔32的出气产生干涉。
如附图2所示，所述第一吹气孔31和第二吹气孔32轴对称设置，且它们呈倒八字形分布。当所述第一吹气孔31和第二吹气孔32的出气端在一平面处时，所述第一吹气孔31的出气端与第二吹气孔32的出气端的高度一一对应，且第一直线L1与第二直线L2的夹角a在70°-75°之间，所述第一直线L1过高度相同的第一吹气孔31和第二吹气孔32的出气端的中心，所述第二直线L2过一组所述第一吹气孔31的出气端的中心或过一组所述第二吹气孔32的出气端的中心。
此处，所述第二直线L2以过一组所述第二吹气孔32的出气端的中心为例进行说明，之所以这样设计是由于：若夹角a更大，则三个第二吹气孔32之间的间距就越小，这就不仅增加了三个第二吹气孔32的加工难度，同时也会使下方的两个第二吹气孔32的出气可吹到的位置偏离第二镜面的调整路径，从而影响传感器调整后，第二镜面的清洁质量。反之，夹角a更小，则三个第二吹气孔32之间的间距过大，而吹气块的尺寸有限且需要开六个吹气孔，因此，过小的夹角a不利于加工，同时，三个第二吹气孔32之间的间距过大会造成它们的出气的间距过大，因此，当第二镜面移动到两个第二吹气孔32的出气之间时就会出现第二镜面的局部没有被气流吹到从而可能出现局部清洁不佳的情况。
所述夹角a设计在70°-75°之间，能够有效地降低加工难度，同时，有效地保证第二吹气孔32之间的间距合适以避免它们的出气出现偏离第二镜面的调整路径或它们的出气之间的间距过大从而导致影响清洁效果的问题。
如附图1、附图4所示，所述吹气块3的一个侧面为弧面33，所述弧面33朝向所述刀片10且其曲率与所述刀片10的外圆的曲率一致，所述第一吹气孔31及第二吹气孔32的出气端位于所述弧面33处。当然，所述弧面33也可以是平面。所述弧面33的上边与安装斜面34衔接，所述安装斜面34位于所述弧面33的上方，且其与所述弧面33的外切面的夹角在45°-120°之间，优选在60°-90°之间；所述安装斜面34与水平面呈锐角，它们的夹角在30°-75°之间，更优在45°-60°之间，所述传感器支架2设置在所述安装斜面34处。这样的角度设计能够有效地与所述角度a的设计相匹配，从而使所述对射式传感器调整时的调整路径有效地与所述第一吹气孔31和第二吹气孔32的出气可吹到的位置匹配。
所述传感器支架2可以通过一组轴线垂直于所述安装斜面34的螺栓固定在所述安装斜面34处，所述传感器支架2的具体安装位置可以根据需要进行设计，所述传感器支架2固定在所述安装斜面34处时，所述传感器支架2的两个安装臂21伸出到所述弧面33的上边的下方，并使所述对射式传感器1位于所述弧面33的上边的下方。
在工作时，涉及到对所述对射式传感器1的位置进行调节以适应刀片的磨损情况，为了便于对所述对射式传感器1的位置进行调整。
如附图1、附图4、附图5所示，所述传感器支架2被压在压紧限位件4下方，并通过固定组件5将所述压紧限位件4及传感器支架2固定在所述安装斜面34处。所述压紧限位件4上设置有调节螺栓6，所述调节螺栓6用于驱动所述传感器支架2沿第一方向F直线移动，所述第一方向F与所述安装斜面34平行且与所述第一镜面的轴线的延伸方向（横向X）垂直。
如附图1所示，为了避免所述传感器支架2相对所述压紧限位件4沿横向X平移，所述传感器支架2的两个安装臂21的外顶角位置分别形成有缺口22，所述缺口22为长方体。所述压紧限位件4包括U形槽状的主体42，所述主体42的两个侧板43可滑动地卡接在两个安装臂21的两个缺口22处，从而当所述压紧限位件4的位置固定时，所述传感器支架2只能沿所述第一方向F往复移动。
如附图5所示，所述主体42的上端设置有向所述传感器支架2方向凸起的安装部44，所述安装部44处螺纹连接调节螺栓6，所述调节螺栓6的轴线沿第一方向F延伸且用于驱动所述传感器支架2沿第一方向往复直线移动。所述调节螺栓6的一端连接在所述传感器支架2的上端且所述调节螺栓6可相对所述传感器支架2自转，例如，所述调节螺栓6可以通过轴承连接所述传感器支架2的上端，当然调节螺栓6也可以采用其他可行结构与传感器支架连接，此处不作限定。
如附图1、附图4、附图5所示，所述传感器支架2与所述压紧限位件4通过一紧固螺栓7紧固，所述紧固螺栓7的轴线与所述安装斜面34垂直且螺纹连接在所述传感器支架2处，所述压紧限位件4上形成有供所述紧固螺栓7穿过的腰形孔45，所述腰形孔45沿所述第一方向F延伸。
当需要进行所述对射式传感器1的位置调整时，拧松所述紧固螺栓7，使所述传感器支架2可相对所述压紧限位件4移动，接着，通过拧动所述调节螺栓6来带动所述传感器支架2移动实现位置调节，调节到位后，再次拧紧所述紧固螺栓7即可。
如附图5、附图6所示，为了避免所述压紧限位件4沿横向X移动以保证对射式传感器1的位置精度，使所述压紧限位件4与一限位块8可拆卸地连接，所述压紧限位件4的斜表面46上设置有位于所述腰形孔45一侧的限位导引板47，所述斜表面46与所述安装斜面34平行，所述限位导引板47沿所述第一方向F延伸。所述限位块8具有与所述斜表面46平行且贴合或贴近的底面81，所述底面81处凹设有与所述限位导引板47匹配的凹槽82；当所述压紧限位件4与所述限位块8连接时，所述限位导引板47插入所述凹槽82中，且所述限位块8与所述压紧限位件4之间可沿第一方向F相对滑动。
所述限位导引板47优选为楔形块，所述凹槽82为与所述限位导引板47匹配的形状，更进一步，所述限位导引板47的两侧形成有弧形凸起48，所述弧形凸起48位于所述限位导引板47的两侧面且靠近两侧面的上端，所述凹槽82的上端的插入口为与所述弧形凸起48匹配的结构。这样能够最大程度地避免压紧限位件4相对所述限位块8沿横向移动。
如附图5所示，为了便于所述传感器支架2及压紧限位件4的拆装，固定所述压紧限位件4和传感器支架2的固定组件5可以是一个快速压紧器，其可以设置在任何可行的位置，例如设置在所述吹气块上，较优的，所述固定组件5设置在所述限位块8上。在一种可行的实施例中，所述固定组件5包括中部枢接在所述限位块8上的压板51，在弹簧和/或扭簧的作用下，所述压板51常态下压在所述压紧限位件4上，从而将压紧限位件4和传感器支架2压在所述安装斜面34上。当然，所述固定组件5也可以是申请号为201521119706.6，201620736328.4 ，202123317500.2 等中国实用新型专利所揭示的结构，此处不作赘述。
在所述刀片检测机构组装时，先使所述限位块8及吹气块3安装到指定位置，并使所述限位块8的底面81和吹气块3的安装斜面34平行且它们的下边的高度相当。然后用手按压所述固定组件5的压板51，使压板51打开，接着将连接在一起的压紧限位件4及传感器支架2插接在所述安装斜面34和底面81之间，并使所述压紧限位件4上的限位导引板47插入到所述限位块8的凹槽82中实现限位。当所述压紧限位件4及传感器支架2插接到位后，松开所述压板51，所述压板51在弹簧和/或扭簧的反作用力下复位将所述压紧限位件4及传感器支架2压紧在所述安装斜面上。随后调整好所述传感器支架2的位置后，将所述紧固螺栓7锁紧。
如附图5、附图6所示，为了便于刀片检测机构安装到划片机中，所述限位块8上设置有一组第一连接孔83，所述第一连接孔83的轴线沿横向X延伸，所述第一连接孔83的外端位于所述限位块8的外侧面的内侧。所述吹气块3上设置有一组第二连接孔35，所述第二连接孔35的轴线沿横向X延伸，所述第二连接孔35中的至少一个为条形孔，且沿纵向Z（垂直于水平面的直线的延伸方向）延伸，所述第二连接孔35为沉孔。
实施例2
本实施例揭示了一种划片机，包括上述实施例1的刀片检测机构。
本发明尚有多种实施方式，凡采用等同变换或者等效变换而形成的所有技术方案，均落在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.刀片检测机构，包括具有发射器和接收器的对射式传感器，所述发射器的第一镜面和接收器的第二镜面相对，所述发射器及接收器间隙设置在传感器支架上，其特征在于：所述传感器支架旁设置有吹气块，所述吹气块上设置有一组用于向所述发射器的第一镜面吹气且轴线平行的第一吹气孔及一组用于向所述接收器的第二镜面吹气且轴线平行的第二吹气孔；所述第一吹气孔及第二吹气孔的出气端位于所述发射器和接收器之间；每个所述第一吹气孔的进气端到所述第一镜面的横向距离大于所述第一吹气孔的出气端到所述第一镜面的横向距离，一组所述第一吹气孔的出气端具有高度差地分布在吹气块上，且一组所述第一吹气孔的出气端到所述第一镜面的横向距离由下至上依次减小；每个所述第二吹气孔的进气端到所述第二镜面的横向距离大于所述第二吹气孔的出气端到所述第二镜面的横向距离，一组所述第二吹气孔的出气端具有高度差的分布在吹气块上，且一组所述第二吹气孔的出气端到所述第二镜面的横向距离由下至上依次减小。
2.根据权利要求1所述的刀片检测机构，其特征在于：一组所述第一吹气孔的出气端到所述第一镜面的横向距离小于所述第二吹气孔的出气端到所述第一镜面的横向距离。
3.根据权利要求1所述的刀片检测机构，其特征在于：所述第一吹气孔及第二吹气孔的直径在4毫米-4.5毫米之间。
4.根据权利要求1所述的刀片检测机构，其特征在于：所述第一吹气孔的出气端与第二吹气孔的出气端的高度一一对应，过高度相同的第一吹气孔和第二吹气孔的出气端的中心的第一直线与第二直线的夹角在70°-75°之间，所述第二直线过一组所述第一吹气孔的出气端的中心或过一组所述第二吹气孔的出气端的中心。
5.根据权利要求1-4任一所述的刀片检测机构，其特征在于：所述吹气块包括内凹的弧面，所述第一吹气孔及第二吹气孔的出气端位于所述弧面处；所述弧面的上边与位于所述弧面上方的安装斜面衔接，所述安装斜面与所述弧面的外切面的夹角在45°-120°之间，所述安装斜面与水平面的夹角在30°-75°之间；所述传感器支架设置在所述安装斜面处。
6.根据权利要求5所述的刀片检测机构，其特征在于：所述传感器支架被压在压紧限位件下方，通过固定组件将所述压紧限位件及传感器支架固定在所述安装斜面处，所述压紧限位件上设置有调节螺栓，所述调节螺栓用于驱动所述传感器支架沿第一方向直线移动，所述第一方向与所述安装斜面平行且与所述第一镜面的轴线的延伸方向垂直。
7.根据权利要求6所述的刀片检测机构，其特征在于：所述传感器支架与所述压紧限位件通过一紧固螺栓紧固，所述紧固螺栓的轴线与所述安装斜面垂直，所述压紧限位件上形成有供所述紧固螺栓穿过的腰形孔，所述腰形孔沿所述第一方向延伸。
8.根据权利要求6所述的刀片检测机构，其特征在于：所述压紧限位件与一限位块可拆卸地连接，所述压紧限位件的斜表面上设置有限位导引板，所述斜表面与所述安装斜面平行，所述限位导引板沿所述第一方向延伸；所述限位块包括与所述斜表面平行的底面，所述底面处凹设有供所述限位导引板插入的凹槽，所述压紧限位件可相对位置固定的所述限位块沿所述第一方向滑动。
9.划片机，其特征在于：包括权利要求1-8任一所述的刀片检测机构。
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