CN114234827A - 一种石墨舟整舟检测系统及检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种石墨舟整舟检测系统及检测方法，该检测系统包括：机架、检测平台、第一检测机构和第二检测机构，检测平台固定于机架上，用于放置石墨舟；第一检测机构安装于机架上方，并可沿机架进行X向、Y向和Z向运动，第一检测机构对石墨舟的卡点、陶瓷环、螺母垫片、舟页直线度进行检测；第二检测机构安装于机架的左右两端，并可沿机架进行X向运动，以调节与检测平台上的石墨舟的距离，第二检测机构对石墨舟整舟的配件安装位置、电极孔位置、舟脚距离进行检测。本发明利用第一检测机构和第二检测机构对石墨舟整舟进行检测，完全代替人工作业，避免了人工容易漏检和检测不精准情况，有效控制了有问题的石墨舟进入生产线。

Description

一种石墨舟整舟检测系统及检测方法

技术领域

本发明涉及石墨舟形变检测技术领域，尤其涉及一种石墨舟整舟检测系统及检测方法。

背景技术

在石墨舟镀膜到一定次数后，石墨舟需要下线清洗。清洗时要拆散石墨舟，同时更换每一片石墨舟页上的石墨卡点，石墨卡点更换完成后，需要把石墨舟页、陶瓷套、陶瓷杆、石墨杆、石墨卡点、石墨螺母等部件重新组装为一个石墨舟。石墨舟上线前，需要对石墨舟外形尺寸、配件安装位置、电极孔位置、舟脚距离、石墨舟整体外形尺寸、陶瓷环、螺母垫片有无及其舟页直线度进行人工检测，以确保石墨舟整舟无质量问题才能上线进行生产。而如果石墨舟出现问题，比如舟页直线度不好、破损、陶瓷螺母松动、陶瓷杆断裂、电极孔位不对等情况，就会导致石墨舟片间距出现不等、石墨舟扭曲变形、石墨舟页不平行且间距不相等等情况，会导致机器人末端的相互平行的吸盘往石墨舟里装卸片时，出现有部分硅片放置不到卡点上的情况，出现硅片掉落从而导致碎片发生。舟页形变严重的石墨舟甚至会破坏到机器人上安装的数量众多的吸盘，出现吸盘破损，从而导致更大的损失。如果电极孔位置安装错误，易导致石墨舟进入PECVD后出现高频，必须回退到自动化再进行处理，从而严重降低了整体机台的产能，给客户造成了极大的浪费。

目前业内都是人工对上线前的石墨舟进行检测，检测一台石墨舟要将近10分钟时间，同时人工很多检测项容易漏掉，且不能对所有石墨舟页进行直线度测量。故此业内亟需开发一种快速的、能够提前预判的、智能化的石墨舟整舟的检测系统和检测方法，以满足生产的需求。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术的不足，提供一种石墨舟整舟检测系统及检测方法，以提高检测精度及检测效率，解决现有技术中整舟检测均需人工操作，存在漏检或无法测量检测的情况，导致有问题的石墨舟进入生产，造成工序停滞或引发生产安全的问题。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：本发明提供一种石墨舟整舟检测系统，包括：机架、检测平台、第一检测机构和第二检测机构，所述检测平台安装于所述机架上，用于放置石墨舟；所述第一检测机构安装于所述机架上方，并可沿所述机架进行X向、Y向和Z向运动，所述第一检测机构对石墨舟的卡点、陶瓷环、螺母垫片、舟页直线度进行检测；所述第二检测机构安装于所述机架的左右两端，并可沿所述机架进行X向运动，以调节与检测平台上的石墨舟的距离，所述第二检测机构对石墨舟整舟的配件安装位置、电极孔位置、舟脚距离进行检测；

所述第一检测机构包括：X向运动模组、Y向运动模组、Z向运动模组、第一CCD相机、第一光源和第二光源，所述第一CCD相机和所述第一光源安装于所述Z向运动模组上，所述Z向运动模组驱动所述第一CCD相机 Z向运动；所述Z向运动模组连接于所述Y向运动模组上，所述Y向运动模组驱动所述Z向运动模组Y向运动；所述Y向运动模组连接于所述X向运动模组上，所述X向运动模组驱动所述Y向运动模组X向运动；所述X 向运动模组安装于所述机架上；所述第二光源安装于所述检测平台上，向上照亮石墨舟；

所述第二检测机构包括：分别安装于所述检测平台左侧的左侧检测组件和所述检测平台右侧的右侧检测组件，所述左侧检测组件和所述右侧检测组件均包括：移动支架、设于所述移动支架上的多个第二CCD相机和多个第三光源，所述移动支架滑动连接于所述机架上，沿所述机架做X向运动。

进一步地，所述X向运动模组包括：两第一导轨和第一X向驱动件，所述机架上设有两X向支架，每一所述第一导轨固定于一X向支架上，所述Y向驱动模组的两端分别滑动连接于一第一导轨上，所述第一X向驱动件为一输送带模组，所述Y向驱动模组连接于所述输送带模组的输送带上，所述输送带带动所述Y向驱动模组沿两所述第一导轨做X向运动。

进一步地，所述Y向运动模组和所述Z向运动模组为丝杆滑台或直线导轨。

进一步地，所述机架上安装一第二X向驱动件，所述第二X向驱动件为为丝杆滑台或直线导轨，所述左侧检测组件和/或所述右侧检测组件的移动支架滑动连接于所述第二X向驱动件上。

进一步地，还包括第一位置传感器，所述第一位置传感器设于所述检测平台上方。

进一步地，所述左侧检测组件和所述右侧检测组件的移动支架上均安装一第二位置传感器。

进一步地，还包括一控制装置，所述控制装置用于接收所述位置传感器的信息、控制所述所述第一检测机构和所述第二检测机构运动及拍照、接收图片并分析得出检测结果。

本发明还提供一种利用以上所述的石墨舟整舟检测系统进行石墨舟检测的检测方法，包括以下步骤：

S10、利用第二检测机构对石墨舟的配件安装位置、电极孔位置、舟脚距离进行检测，具体包括：

左侧检测组件和右侧检测组件沿X向调节位置，第三光源打开，第二 CCD相机拍照并上传至控制装置；

控制装置对接收到的图片进行数据分析，得出配件安装位置、电极孔位置、舟脚距离的检测结果；关闭第三光源；

S20、利用第一检测机构对石墨舟的卡点进行检测，具体包括：

打开第二光源，X向运动模组带动第一CCD相机到达石墨舟第一槽上方，Y向运动模组带动第一CCD相机沿Y向运动，运动过程中对石墨舟第一槽的每一列舟页拍照，并上传至控制装置；

控制装置对接收到的第一槽的每一列舟页的图片进行数据分析，得出第一槽中所有石墨舟页上卡点的检测结果；

重复以上步骤，直至将石墨舟所有槽的舟页卡点检测完毕；关闭第二光源；

S30、利用第一检测机构对石墨舟的陶瓷环、螺母垫片、舟页直线度进行检测，具体包括：

关闭第二光源，打开第一光源，X向运动模组带动第一CCD相机运动，运动过程中第一CCD相机依次对石墨舟每一槽进行拍照，并上传至控制装置；

控制装置对接收到的石墨舟所有槽的图片进行数据分析，得出每一槽中陶瓷环、螺母垫片、舟页直线度的检测结果。

进一步地，步骤S10中，所述第一位置传感器感应到石墨舟到位后，发送信息至控制装置，所述控制装置控制所述第二检测机构启动；

进一步地，步骤S10中，沿X向调节位置包括：两所述第二位置传感器感应所述左侧检测组件和右侧检测组件与石墨舟的距离，并发送信息至控制装置，所述控制装置控制左侧检测组件和右侧检测组件运动至相应位置。

采用上述方案，本发明提供一种石墨舟整舟检测系统及检测方法，其具有以下有益效果：

(1)利用第一检测机构和第二检测机构对石墨舟整舟的卡点、陶瓷环、螺母垫片、舟页直线度以及配件安装位置、电极孔位置、舟脚距离进行检测，完全代替人工作业，避免了人工容易漏检和检测不精准情况，有效控制了有问题的石墨舟进入生产线，大大降低了生产损失。

(2)现有对石墨舟整舟的检测至少需要10分钟以上，而利用本检测系统可在1分钟内完成检测，检测效率大大提高。

(3)彻底解决了行业痛点，属于行业首创，节省了劳动力和成本，为用户提高了产能。

附图说明

图1为本发明石墨舟整舟检测系统的立体构示意图。

图2为本发明石墨舟整舟检测系统的俯视图。

图3为本发明石墨舟整舟检测系统的侧面示意图图。

图4为本发明石墨舟整舟检测方法的流程示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例，对本发明进行详细说明。

本发明积极响应了国家倡导的智能制造2025的理念，采用了数字化工厂的理念，对传统设备进行了极大的升级，对石墨舟设计出自动化检测系统，同时辅以控制模块对数据进行分析处理，实现了石墨舟整舟的无人化、智能化检测，真正实现了黑灯工厂。

本发明具体提供一种石墨舟整舟检测系统，对石墨舟整舟进行检测分析，自动得出石墨舟的卡点、陶瓷环、螺母垫片、舟页直线度以及配件安装位置、电极孔位置、舟脚距离的检测，检测时间短且精度高，完全摆脱了人工检测，大大提高了石墨舟的检测效率，提高了产能，且避免了有问题的石墨舟进入生产线，造成生产损失。具体的，请参阅图1-3，该石墨舟整舟检测系统包括：第一检测机构、第二检测机构、机架30、检测平台和控制装置(未图示)。所述检测平台40固定于所述机架30上，用于放置待检测的石墨舟50。本实施例中，所述检测平台包括一固定端401和一可移动端402，所述可移动端通过滑块41与轨道42滑动连接于所述机架上，使所述检测平台40的宽度可调，以适用于不同长度尺寸的石墨舟。所述第一检测机构安装于所述机架30的上方，所述第一检测机构对石墨舟的卡点、陶瓷环、螺母垫片、舟页直线度进行检测。所述第二检测机构包括位于机架30左侧的左侧检测组件21和位于所述机架30右侧的右侧检测组件22，所述左侧检测组件21和右侧检测组件22均可沿所述机架30进行X向运动，以调节与检测平台40上的石墨舟的距离，所述第二检测机构对石墨舟整舟的配件安装位置、电极孔位置、舟脚距离进行检测。所述控制装置用于控制所述第一检测机构10和第二检测机构20的运行，并对检测数据进行分析，得出检测结果。

具体的，所述第一检测机构10包括：X向运动模组11、Y向运动模组 12、Z向运动模组13、第一CCD相机14、第一光源15和第二光源(未图示)，所述第一CCD相机14和所述第一光源15通过一安装支架17安装于所述Z向运动模组13的滑块上，所述Z向运动模组13为一直线导轨或丝杆，所述Z向运动模组13驱动所述安装支架17做Z向运动，带动所述第一CCD相机14和所述第一光源15做Z向运动，用于调节所述第一CCD 相机14和所述第一光源15与石墨舟50间的距离，方便进行对焦拍照。所述Z向运动模组13连接于所述Y向运动模组12上，所述Y向运动模组12 为一直线导轨或丝杆，所述Y向运动模组12驱动所述Z向运动模组13沿 Y向运动，以经过石墨舟每一槽的每一舟页，对每一舟页进行拍照检测。所述Y向运动模组12连接于所述X向运动模组11上，所述X向运动模组 11驱动所述Y向运动模组12沿X向运动。本实施例中，所述X向运动模组11包括两第一导轨111和第一X向驱动件112，所述机架30上设有两X 向支架31，每一所述第一导轨111固定于一X向支架31上，所述Y向驱动模组12的两端分别滑动连接于一第一导轨111上。本实施例中，所述第一X向驱动件112为一输送带模组，所述Y向驱动模组12连接于所述输送带模组的输送带上，所述输送带带动所述Y向驱动模组12沿两所述第一导轨111做X向运动，使得所述第一CCD相机14依次经过石墨舟的每一槽上方，进行拍照检测。所述第二光源安装于所述检测平台下方的机架上，从石墨舟底部向上照亮石墨舟。当第一光源15打开，第一CCD相机14对石墨舟拍照，得到的图片用于对石墨舟的陶瓷环、螺母垫片、舟页直线度进行检测。具体的，当第一光源15打开时，通过第一CCD相机14可以清晰拍摄到位于石墨舟上表面的陶瓷环、螺母掉片及其舟页，拍摄完成后即可通过图像处理比对判断这三个部分是否合格，得出检测结果。

当第二光源打开时，第一光源需要关闭，第一CCD相机14对石墨舟拍照，此时通过背影成像的方式，可以清晰看到石墨舟各个舟页上的卡点，拍摄完成后即可通过图像处理比对判断卡点是否缺失，得出石墨舟卡点的检测结果。优选的，所述检测平台的固定端上方还设有一第一位置传感器 (未图示)，所述第一位置传感器用于感应石墨舟是否到位。

进一步的，所述左侧检测组件21和所述右侧检测组件22均包括：移动支架201、设于所述移动支架201上的两个第二CCD相机202和多个第三光源203。所述机架30上安装一第二X向驱动件32，所述第二X向驱动件 32为丝杆滑台或直线导轨，所述移动支架201连接于所述第二X向驱动件 32的移动端上，沿所述机架30做X向运动，带动两第二CCD相机202和多个第三光源203做X向位置调节。所述左侧检测组件21和所述右侧检测组件22达到检测位置后，所述第三光源203打开，左右两侧的数个第二 CCD相机202对石墨舟50进行拍照，并上传至控制装置，用于对石墨舟的配件安装位置、电极孔位置、舟脚距离进行检测。优选的，所述左侧检测组件21和所述右侧检测组件22的移动支架201上均安装一第二位置传感器(未图示)，所述第二位置传感器用于感应所述第二CCD相机202与石墨舟50间的距离。本实施例中，所述左侧检测组件21固定于所述机架30 的左端部，不设有第二X向驱动件进行调节，仅右侧检测组件22设有第二 X向驱动件32，可沿X向运动进行位置调节。也可以根据需求对于左侧检测21也安装一第二X向驱动件，使其可以进行位置调节。将左右两侧的第二CCD相机202拍摄到的图片，与标准石墨舟的图片进行处理对比，来确定配件安装位置和电极孔位置是否安装到位。具体的，通过标准石墨舟侧面图像进行标定后计算出标准舟脚距离，再根据实际拍摄到的图片和标定比例计算出实际的舟脚位置，从而判断石墨舟舟脚是否距离相等，确保距离相等的合格石墨舟进入下一道工序。

所述控制装置包括控制模块和分析处理模块，其均运行于工控机上，所述控制模块与所述第一位置传感器、第二位置传感器均通信连接，用于接收传感器的信号，并触发所述第一检测机构10和第二检测机构20的启动，利用第一CCD相机14和数个第二CCD相机202对石墨舟进行拍照，并发送至控制装置。所述分析处理模块对接收到的图片进行计算分析，并得出石墨舟50各项的检测结果。

对应上述的检测系统，本发明还提供一种石墨舟整舟的检测方法，请参阅图4，其包括以下步骤：

S10、利用第二检测机构20对石墨舟的配件安装位置、电极孔位置、舟脚距离进行检测。具体步骤如下：

将石墨舟置于检测平台40上，第一位置传感器感应到所述石墨舟50 到位后，第二检测机构20启动，其包括：控制装置根据第二位置传感器的位置信息，控制左侧检测组件21和右侧检测组件22沿两第二导轨32进行 X向调节，以到达精确的拍照位置，一般，所述第二CCD相机202与石墨舟50距离控制在200mm左右，即满足拍照需求。也可根据各个石墨舟的宽度不同对该距离进行实时调整。控制装置控制第三光源203打开，左侧检测组件21和右侧检测组件22的数个第二CCD相机202拍照(本实施例中第二CCD相机202的数量为4个)，并将得到的第一图片上传至控制装置。控制装置对接收到的第一图片进行数据分析，得出配件安装位置、电极孔位置、舟脚距离是否合格的检测结果。第二CCD相机202拍照完成后，控制装置控制所述左侧检测组件21和所述右侧检测组件22回位，并关闭第三光源203。

S20、利用第一检测机构10对石墨舟50的卡点进行检测。具体步骤如下：

控制装置控制第二光源打开，第二光源照亮上方的石墨舟舟槽。X向运动模组11启动，带动第一CCD相机14到达石墨舟50的第一槽上方，Y 向运动模组12启动，带动第一CCD相机14沿Y向运动，运动过程中对石墨舟50第一槽的每一列舟页进行拍照，并将得到的第二图片上传至控制装置。控制装置对接收到的第一槽的每一列舟页的图片进行数据分析，得出第一槽中所有石墨舟页上卡点的检测结果。然后X向运动模组11再次启动，带动第一CCD相机14到达石墨舟50的第二槽上方，Y向运动模组12再次启动，带动第一CCD相机14沿Y向运动，运动过程中对石墨舟50第二槽的每一列舟页进行拍照，并将得到的第二图片上传至控制装置。重复以上步骤，直至将石墨舟所有槽的舟页卡点检测完毕。控制装置的数据分析模块对接收到的所有第二图片进行数据分析，得到石墨舟每一槽每一列舟页的卡点检测机构。完成后控制装置控制第二光源16关闭。

S30、利用第一检测机构10对石墨舟50的陶瓷环、螺母垫片、舟页直线度进行检测，具体包括：

控制装置控制第一光源15打开，向下照亮石墨舟50的舟槽。控制装置控制X向运动模组11带动第一CCD相机14运动，运动过程中第一CCD 相机14依次对石墨舟50的每一槽进行拍照，并将得到的第三图片上传至控制装置，控制装置的数据分析模块对接收到的所有第三图片进行数据分析，得出石墨舟的每一槽中的陶瓷环、螺母垫片、舟页直线度的检测结果。

值得一提的是，在具体检测过程中，步骤S10、S20、S30并无先后顺序之分，可根据需求进行调节，如可先从左至右进行卡点检测，检测完成后第一CCD相机14运行至石墨舟50的右侧，再从石墨舟的右侧开始，依次向左，完成石墨舟的陶瓷环、螺母垫片、舟页直线度的检测。

本实施例中，控制装置的控制模块实时接收来自各个CCD相机的图片，并将图片存入实时数据库中。数据分析模块内预存有石墨舟的卡点标准图片，陶瓷环、螺母垫片、舟页直线度标准图片，以及配件安装位置、电极孔位置、舟脚距离标准图片。数据分析模块将拍摄得到的图片与每一组标准图片进行匹配并比对，如阈值在一定范围内，则判定为该对比项检测合格，如阈值超过该一定范围，则判定为该比对项检测不合格。

在一优选实施例中，所述控制装置还将检测结果发送至PLC机台，方便控制人员监控并对检测结果进行复核。

本发明具备了工业4.0MES接口和相应数据库，对接工厂MES系统，上传石墨舟检测数据到整厂MES系统，以便整厂MES系统访问。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”“右”等指示方位为基于本发明附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是指两个或两个以上。另外，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。

综上所述，本发明提供一种石墨舟整舟检测系统及检测方法，其实现了对石墨舟整舟的全自动检测，完成对石墨舟所有缺陷的检测，且检测结果精准，检测效率高，避免了人工检测产生漏检和不准确的情况，节省了人力和检测成本，保证了进入生产线的石墨舟的品质，大大降低了工厂的损失，提高了工厂的产能。

以上仅为本发明的较佳实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种石墨舟整舟检测系统，其特征在于，包括：机架、检测平台、第一检测机构和第二检测机构，所述检测平台安装于所述机架上，用于放置石墨舟；所述第一检测机构安装于所述机架上方，并可沿所述机架进行X向、Y向和Z向运动，所述第一检测机构对石墨舟的卡点、陶瓷环、螺母垫片、舟页直线度进行检测；所述第二检测机构安装于所述机架的左右两端，并可沿所述机架进行X向运动，以调节与检测平台上的石墨舟的距离，所述第二检测机构对石墨舟整舟的配件安装位置、电极孔位置、舟脚距离进行检测；

所述第一检测机构包括：X向运动模组、Y向运动模组、Z向运动模组、第一CCD相机、第一光源和第二光源，所述第一CCD相机和所述第一光源安装于所述Z向运动模组上，所述Z向运动模组驱动所述第一CCD相机Z向运动；所述Z向运动模组连接于所述Y向运动模组上，所述Y向运动模组驱动所述Z向运动模组Y向运动；所述Y向运动模组连接于所述X向运动模组上，所述X向运动模组驱动所述Y向运动模组X向运动；所述X向运动模组安装于所述机架上；所述第二光源安装于所述检测平台上，向上照亮石墨舟；

所述第二检测机构包括：分别安装于所述检测平台左侧的左侧检测组件和所述检测平台右侧的右侧检测组件，所述左侧检测组件和所述右侧检测组件均包括：移动支架、设于所述移动支架上的多个第二CCD相机和多个第三光源，所述移动支架滑动连接于所述机架上，沿所述机架做X向运动。

2.根据权利要求1所述的石墨舟整舟检测系统，其特征在于，所述X向运动模组包括：两第一导轨和一第一X向驱动件，所述机架上设有两X向支架，每一所述第一导轨固定于一X向支架上，所述Y向驱动模组的两端分别滑动连接于一第一导轨上，所述第一X向驱动件为一输送带模组，所述Y向驱动模组连接于所述输送带模组的输送带上，所述输送带带动所述Y向驱动模组沿两所述第一导轨做X向运动。

3.根据权利要求1所述的石墨舟整舟检测系统，其特征在于，所述Y向运动模组和所述Z向运动模组为丝杆滑台或直线导轨。

4.根据权利要求1所述的石墨舟整舟检测系统，其特征在于，所述机架上安装一第二X向驱动件，所述第二X向驱动件为为丝杆滑台或直线导轨，所述左侧检测组件和/或所述右侧检测组件的移动支架滑动连接于所述第二X向驱动件上。

5.根据权利要求1-4任一项所述的石墨舟整舟检测系统，其特征在于，还包括第一位置传感器，所述第一位置传感器设于所述检测平台上方。

6.根据权利要求5所述的石墨舟整舟检测系统，其特征在于，所述左侧检测组件和所述右侧检测组件的移动支架上均安装一第二位置传感器。

7.根据权利要求6所述的石墨舟整舟检测系统，其特征在于，还包括一控制装置，所述控制装置用于接收所述第一和第二位置传感器的信息、控制所述所述第一检测机构和所述第二检测机构运动及拍照、接收图片并分析得出检测结果。

8.一种采用权利要求1-7任一项所述的石墨舟整舟检测系统的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

S10、利用第二检测机构对石墨舟的配件安装位置、电极孔位置、舟脚距离进行检测，具体包括：

左侧检测组件和右侧检测组件沿X向调节位置，第三光源打开，第二CCD相机拍照并上传至控制装置；

控制装置对接收到的图片进行数据分析，得出配件安装位置、电极孔位置、舟脚距离的检测结果；关闭第三光源；

S20、利用第一检测机构对石墨舟的卡点进行检测，具体包括：

打开第二光源，X向运动模组带动第一CCD相机到达石墨舟第一槽上方，Y向运动模组带动第一CCD相机沿Y向运动，运动过程中对石墨舟第一槽的每一列舟页拍照，并上传至控制装置；

控制装置对接收到的第一槽的每一列舟页的图片进行数据分析，得出第一槽中所有石墨舟页上卡点的检测结果；

重复以上步骤，直至将石墨舟所有槽的舟页卡点检测完毕；关闭第二光源；

S30、利用第一检测机构对石墨舟的陶瓷环、螺母垫片、舟页直线度进行检测，具体包括：

关闭第二光源，打开第一光源，X向运动模组带动第一CCD相机运动，运动过程中第一CCD相机依次对石墨舟每一槽进行拍照，并上传至控制装置；

控制装置对接收到的石墨舟所有槽的图片进行数据分析，得出每一槽中陶瓷环、螺母垫片、舟页直线度的检测结果。

9.根据权利要求8所述的形变检测方法，其特征在于，步骤S10中，所述第一位置传感器感应到石墨舟到位后，发送信息至控制装置，所述控制装置控制所述第二检测机构启动。

10.根据权利要求8所述的形变检测方法，其特征在于，步骤S10中，沿X向调节位置包括：两所述第二位置传感器感应所述左侧检测组件和右侧检测组件与石墨舟的距离，并发送信息至控制装置，所述控制装置控制左侧检测组件和右侧检测组件运动至相应位置。

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