CN114212524A - 柔性铰链组件及基板抬升机构 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种柔性铰链组件及基板抬升机构，该柔性铰链组件包括：第一柔性铰链，第二柔性铰链，以及柔性连接第一柔性铰链与第二柔性铰链的柔性连杆机构，第一柔性铰链的自由端与第二柔性铰链的自由端均用于被固定；柔性连杆机构包括至少三个首尾柔性连接的连杆，位于内侧的一所述连杆包括用于承载基板的第一承载面，当第一柔性铰链连接柔性连杆机构的第一端部受到水平推力使第一端部产生水平位移时，位于内侧的一连杆转动，并至少沿竖直方向产生位移以抬升所述基板。通过本发明，可提高对基板执行抬升过程中所施加力的准确性，以将基板抬升至准确的角度，避免了手动抬升基板过程中对基板的表面造成划伤，并有效地抑制了颗粒的产生。

Description

柔性铰链组件及基板抬升机构

技术领域

本发明涉及基板抬升设备技术领域，尤其涉及一种柔性铰链组件及基板抬升机构。

背景技术

为了对基板进行量测、检测或其他加工工艺，常常需要使用夹具夹持基板。以基板为晶圆为例，晶圆保持器(晶圆夹具)用于对晶圆实现装夹。晶圆保持器通常包括圆形平台和至少两个限位件，以圆形平台的边缘设置三个高于圆形平台并用于抵持晶圆边缘的限位件，且其中至少一个限位件可夹持或脱离晶圆(即松开夹持)为例，当取样时，令至少一个限位件脱离晶圆，然后手动抬升晶圆，之后通过晶圆夹(wafer clamp)夹取晶圆；当送样时，令至少一个限位件脱离晶圆，然后将晶圆放置在圆形平台上，之后使用脱离的限位件夹持晶圆。

目前，当取样时，通常需要以手动的方式抬升晶圆等基板。然而，一方面，手动抬升的力难以精确控制，使得基板难以抬升至一准确的角度；另一方面，手指容易划伤基板，且会产生颗粒物，从而造成污染。

有鉴于此，有必要对现有技术中的对晶圆等基板抬升过程中所使用的方案予以改进，以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于揭示一种柔性铰链组件及基板抬升机构，用以提高对晶圆等基板执行抬升过程中所施加力的准确性，以抬升至准确的角度，同时避免手动抬升基板过程中对基板的表面造成划伤，并抑制颗粒的产生。

为实现上述目的之一，本发明提供了柔性铰链组件，包括：

第一柔性铰链，第二柔性铰链，以及柔性连接所述第一柔性铰链与第二柔性铰链的柔性连杆机构，所述第一柔性铰链的自由端与第二柔性铰链的自由端均用于被固定；所述柔性连杆机构包括至少三个首尾柔性连接的连杆，位于内侧的一所述连杆包括用于承载基板的第一承载面，当所述第一柔性铰链连接柔性连杆机构的第一端部受到水平推力使第一端部产生水平位移时，位于内侧的一所述连杆转动，并至少沿竖直方向产生位移以抬升所述基板。

作为本发明的进一步改进，当所述第一端部受到水平推力使所述第一端部产生水平位移时，所述第二柔性铰链连接柔性连杆机构的第二端部产生竖直位移，以在进行所述转动时基板始终与第一承载面贴合。

作为本发明的进一步改进，当所述第一柔性铰链连接柔性连杆机构的第一端部受到水平推力时，所述第一端部沿水平方向运动的位移大于或者等于所述第二端部沿竖直方向运动的位移。

作为本发明的进一步改进，所述转动的角度α被配置为满足：α_min≤α≤α_max，α_min和α_max分别为预设的最低角度和最高角度，位于内侧的一所述连杆包括一个或多个子连杆，位于内侧的一所述连杆被配置为绕当抬升基板时基板的一支撑点转动，以使所述基板因绕支撑点转动而被抬升。

作为本发明的进一步改进，所述柔性连杆机构包括三个首尾柔性连接的第一连杆、第二连杆及第三连杆，所述第一连杆与第二柔性铰链柔性连接，所述第三连杆与第一柔性铰链柔性连接，所述第二连杆上方形成用于承载基板的第一承载面，所述第二连杆在进行所述转动时第一承载面始终贴合基板表面。

作为本发明的进一步改进，所述第一柔性铰链和/或第二柔性铰链包括平行四边形铰链。

作为本发明的进一步改进，所述第一柔性铰链和/或第二柔性铰链包括平行四边形铰链对，所述平行四边形铰链对包括呈对称分布的两个平行四边形铰链，两个所述平行四边形铰链之间的连接端与所述柔性连杆机构连接，两个所述平行四边形铰链的自由端均用于被固定。

基于相同发明思想，本发明还揭示了基板抬升机构，包括：

支撑本体，以及

一如上述任一项发明创造所揭示的柔性铰链组件；

其中，所述自由端固定在支撑本体上，所述支撑本体包括用于承载基板的第二承载面，当未抬升所述基板时，所述第一承载面设置在第二承载面的下方或者与其平齐，当抬升所述基板时，所述第一承载面和第二承载面共同承载基板，所述基板和第二承载面的接触位置形成一支撑点，位于内侧的一所述连杆被配置为绕支撑点转动。

作为本发明的进一步改进，所述支撑本体包括夹具与固定夹具的运动台，所述夹具包括所述第二承载面，所述柔性铰链组件与支撑本体共同用于支撑基板，所述自由端固定在夹具和/或运动台上，所述基板包括晶圆，所述夹具上设置有用于夹持基板的限位件。

作为本发明的进一步改进，当取样时，先使用所述柔性铰链组件抬升基板，然后取走基板；当送样时，将所述基板放置在第二承载面上或同时放置在第一承载面与第二承载面上，或者先令所述柔性连杆机构进行所述转动，然后将所述基板放置在第一承载面上，以通过所述柔性铰链组件带动基板复位至通过第二承载面或同时通过第一承载面和第二承载面承载基板的位置。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

通过本发明所揭示的柔性铰链组件及基板抬升机构，可以通过向第一柔性铰链连接柔性连杆机构的第一端部施加水平推力，使得位于柔性连杆机构内侧的一连杆转动，并至少沿竖直方向产生位移以抬升基板，确保了对基板执行抬升过程中所施加力的准确性，可以抬升至准确的预设角度；同时，本发明还避免了手动抬升基板过程中对基板的表面造成划伤，并有效地抑制了颗粒的产生。

附图说明

图1为本发明实施例中将装夹有基板的夹具安装于运动台上的俯视图；

图2为沿图1中A-A并省略运动台的剖视图；

图3为本发明实施例中基板抬升机构未抬升基板状态的示意图，图3中，未示意运动台，未完整示意夹具；

图4为本发明实施例中基板抬升机构抬升基板状态的示意图，图4中，未示意运动台，未完整示意夹具；

图5为本发明实施例中使用基板抬升机构抬升基板时的一剖视图；

图6为本发明实施例中柔性铰链组件的详细结构示意图；

图7为本发明实施例中柔性连杆机构形成相对于支撑点的转动角度的示意图；

图8为本发明实施例中对称分布的平行四边形铰链受力变形过程示意图；

图9为本发明实施例中一种柔性连杆机构的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图所示的各实施方式对本发明进行详细说明，但应当说明的是，这些实施方式并非对本发明的限制，本领域普通技术人员根据这些实施方式所作的功能、方法、或者结构上的等效变换或替代，均属于本发明的保护范围之内。

参图1至图8所示，在本实施例中，该柔性铰链组件400，包括：第一柔性铰链41c，第二柔性铰链41a，以及柔性连接第一柔性铰链41c与第二柔性铰链41a的柔性连杆机构42b，第一柔性铰链41c的自由端43与第二柔性铰链41a的自由端41均用于被固定；柔性连杆机构42b包括至少三个首尾柔性连接的连杆，位于内侧的一连杆包括用于承载基板的第一承载面4260，当第一柔性铰链41c连接柔性连杆机构42b的第一端部428受到水平推力F_h使第一端部428产生水平位移时，位于内侧的一连杆转动，并至少沿竖直方向产生位移以抬升所述基板100。

前述位于内侧的一连杆(例如第二连杆426)转动过程中，同步发生沿竖直方向的位移。其中，前述水平推力F_h不限于仅在水平方向上推动第一端部428，当推力和水平方向倾斜且推力具有水平方向的分量时亦可；因为柔性连杆机构42b的两端分别与第一柔性铰链41c与第二柔性铰链41a连接，所以术语“首尾柔性连接”指：除了柔性连杆机构42b的两端以外，至少三个连杆的其他端部首尾柔性连接。

示例性地，位于内侧的一连杆包括一个或多个子连杆，参考图6和图9，在本实施例中，位于内侧的一连杆包括第二连杆426，第二连杆426包括一个或多个子连杆，各子连杆均连接在相邻的两连杆之间，即连接在第一连杆425和第三连杆427之间，例如，参考图9，第二连杆426包括两个子连杆，即包括子连杆4261和子连杆4262。示例性地，至少三个连杆中的任一连杆均包括一个或多个子连杆，例如，参考图9，任一连杆均包括两个子连杆，并形成平行四边形铰链，柔性连杆机构42b包括至少三个首尾柔性连接的平行四边形铰链。

示例性地，参考图3，当所述第一端部428受到水平推力F_h使所述第一端部428产生水平位移时，所述第二柔性铰链41a连接柔性连杆机构42b的第二端部429产生竖直位移，以在进行所述转动时基板100始终与第一承载面4260贴合，因此当进行转动以抬升基板100时，基板100和柔性铰链组件400之间无相对位移，不会使得基板100在柔性铰链组件400上因有相对位移而对基板100产生磨损，降低损坏基板100的概率。具体地，所述水平推力F_h使第二端部429产生竖直向下的位移，如图6所示，当复位时，第二端部429产生竖直向上(图中的C方向)的位移。

示例性地，当所述转动的角度α较低时，不便于取走基板100，当其较高时，会使得基板100和柔性铰链组件400之间有产生相对位移的趋势，基于此，将所述转动的角度α配置为满足：α_min≤α≤α_max，α_min和α_max分别为预设的最低角度和最高角度，以将转动的角度α限定在一合适的范围内，将基板100停留在合适的位置。

在本实施例中，参考图3和图4，位于内侧的一所述连杆被配置为绕当抬升基板100时基板100的一支撑点102转动，以使所述基板100因绕支撑点102转动而被抬升。

在本实施例中，图3中柔性连杆机构42b的状态一为初始状态，图4中柔性连杆机构42b的状态二为目标状态，示例性地，在初始状态，第一柔性铰链41c与竖直方向形成一夹角，第二柔性铰链41a与水平方向形成另一夹角，在目标状态，第一柔性铰链41c位于竖直方向，即竖直设置，第二柔性铰链41a位于水平方向，即水平设置，但均不限于此。

在本实施例中，参考图6，柔性连杆机构42b包括三个首尾柔性连接的连杆(即第一连杆425、第二连杆426及第三连杆427)。第一连杆425与第二柔性铰链41a柔性连接，第三连杆427与第一柔性铰链41c柔性连接，参考图7，第二连杆426上方形成用于承载基板的第一承载面4260，在进行转动时第一承载面4260始终贴合基板表面，在目标状态，第一承载面4260和夹具200的第二承载面101之间形成所述角度α。当然，该柔性连杆机构42b还可包括四个或者数量更多首尾连接的连杆。示例性地，当基板100水平放置于夹具200上方时，基板100大部分被夹具200所承载，并压持柔性铰链组件400，并使得柔性铰链组件400发生形变，从而形成图3所示出的状态一。水平推力F_h可由人工手动施加，也可通过机械臂自动施加。

在本实施例中，当抬起基板100并取走基板100后，柔性铰链组件400可自动复位，其利用第一柔性铰链41c、第二柔性铰链41a及柔性连杆机构42b基于形变所储存的弹性势能恢复至未被施加水平推力F_h时的状态，例如，柔性铰链组件400从图4中的状态复位至图3中的状态，由此使得该柔性铰链组件400具有结构简单可靠，所需零件数少及制造成本较低的优点。

在本实施例中，结合图6所示，第一柔性铰链41c与第三连杆427之间形成第一铰点424，第二柔性铰链41a与第一连杆425之间形成第二铰点421，第一连杆425与第二连杆426之间形成第三铰点422，第二连杆426与第三连杆427之间形成第四铰点423。示例性地，第一柔性铰链41c由四个边433首尾连接形成一个平行四边形，第二柔性铰链41a由四个边413首尾连接形成一个平行四边形。当第一柔性铰链41c连接柔性连杆机构42b的第一端部428受到水平推力F_h时，第一柔性铰链41c沿反向于箭头D沿水平方向向左移动，第二柔性铰链41a连接柔性连杆机构的第二端部429沿反向于箭头C向下运动。当撤去水平推力F_h时，基于形变所储存的弹性势能，以从图4中的状态二(目标状态)恢复至图3中的状态一(初始状态)，并在此复位过程中，第一柔性铰链41c沿箭头D水平方向向右移动，第二柔性铰链41a连接柔性连杆机构的第二端部429沿箭头C向上运动。

在本实施例中，柔性连杆机构42b形变过程中，至少驱动第二连杆426沿竖直方向作上下运动。在第一柔性铰链41c连接柔性连杆机构42b的第一端部428受到水平推力F_h时，第二连杆426仅形成一个绕支撑点102转动的自由度，并在抬升基板100的过程中支撑点102位于第二连杆426的第一承载面4260的延伸平面上，从而使得当抬升基板100时位于第二连杆426上方的第一承载面4260始终贴合基板100底面且不发生水平相对运动。

具体的，所谓位于内侧的一连杆是指除柔性连杆机构42b中位于两端的两个连杆之外，位于中间的一个连杆。例如，在本实施例中，其指除第一连杆425和第三连杆427外的连杆，即为第二连杆426，当然，若柔性连杆机构包括五个连杆，则其指中间的三个连杆中的一个连杆，以此类推，不再赘述。

示例性地，柔性铰链组件400的初始状态可与夹具200的第二承载面101平齐，也可位于夹具200的第二承载面101的下方。在本实施例中，如图3所示，在初始状态，柔性铰链组件400的初始状态为使得第二连杆426呈水平的状态，且与夹具200的第二承载面101平齐，以下将介绍如何将柔性铰链组件400从图3中的状态一切换至如图4所示的状态二。

参考图3，当第一端部428受到水平推力F_h时，柔性连杆机构42b中的各连杆同步运动，第一柔性铰链41c位于上方的两个铰点431与位于下方的两个铰点432同步扭转，倾斜布置的两个边433相对于被固定的自由端43沿图3中顺时针方向转动。第二柔性铰链41a倾斜布置的两个边413相对于被固定的自由端41作轻微的逆时针转动，且左右设置的两个铰点411及两个铰点412同步扭转。第三连杆427通过第一铰点424的扭转发生逆时针转动，第二连杆426两端的第四铰点423及第三铰点422发生扭转，以通过第三连杆427推动第二连杆426，第二铰点421发生扭转，第一连杆425围绕第二铰点421作顺时针运动，从而最终由图3所示出的状态一形变为图4所示出的状态二以抬升基板100，并转过角度为α的转动角度。需要说明的是，在状态一与状态二切换过程中，第二铰点421仅沿竖直方向发生运动，第一铰点424仅沿水平方向发生运动。在本实施例中，柔性连杆机构42b与第一柔性铰链41c之间形成当第一端部428受水平推力F_h时仅沿水平方向运动的第一铰点424，柔性连杆机构42b与第二柔性铰链41a之间形成当第一端部428受水平推力F_h时仅沿竖直方向运动的第二铰点421。

示例性地，当第一柔性铰链41c连接柔性连杆机构42b的第一端部428受到水平推力F_h时，第一端部428沿水平方向运动的位移大于或者等于第二端部429沿竖直方向运动的位移。由此，使得各个柔性铰点转动的角度较小，有效地避免了柔性铰点转动角度过大所造成的材料疲劳及损伤，有效地保护了各柔性铰点，从而提高了柔性铰链组件400的使用寿命。

示例性地，第一柔性铰链41c和/或第二柔性铰链41a包括平行四边形铰链，例如，参考图6，二者均包括平行四边形铰链。

参考图3和图6，如前文所述，若第一柔性铰链41c的第一端部428受水平推力F_h，第一端部428产生水平位移，但是由于柔性铰链的铰点会发生柔性形变，使得第一柔性铰链41c的第一端部428不仅在进行水平运动，还会产生竖直方向的耦合运动(寄生运动)，故还会产生较小的耦合位移，柔性铰链组件400的运动精度受到不利影响，不利于稳定抬升基板100，可能会导致基板100和柔性连杆机构42b之间产生所述相对位移。需要说明的是，如图3所示，因为同时存在水平位移和耦合位移，所以第一柔性铰链41c将因受水平推力F_h的作用而形成转动。

示例性地，第一柔性铰链41c和/或第二柔性铰链41a包括平行四边形铰链对，平行四边形铰链对包括呈对称分布的两个平行四边形铰链，两个平行四边形铰链之间的连接端与柔性连杆机构42b连接，两个平行四边形铰链的自由端均用于被固定，当使用呈对称分布的平行四边形铰链对时，可以消除垂直于位移方向的耦合运动，以提高柔性铰链组件400的运动精度，稳定抬升基板100，进一步保障基板100和柔性连杆机构42b之间无相对位移。

结合图8所示，例如，呈矩形柔性铰链44由对称分布的两个呈平行四边形的柔性铰链组成，位于左侧的柔性铰链形成两个左侧的柔性铰点443与两个位于右侧的柔性铰点444，位于右侧的柔性铰链形成两个左侧的柔性铰点445与两个位于右侧的柔性铰点446。柔性铰链44形成两个均被固定的自由端441及自由端442。在图8中，柔性铰链44水平设置在X方向上，当向两个柔性铰链连接端447施加Y方向的作用力F时，柔性铰链44变化为呈柔性铰链44’的状态。在此过程中，柔性铰链44发生扭转并形变。其中，X方向和Y方向垂直，在形变过程中，左右两侧的柔性铰链对称地向下运行，两个左侧的柔性铰点443与两个位于右侧的柔性铰点444扭转过相同的角度，两个左侧的柔性铰点445与两个位于右侧的柔性铰点446扭转过相同的角度，从而不会产生垂直于连接端447所产生的位移方向(Y方向)的耦合运动(X方向)，从而使得柔性铰链44的形变过程，尤其是连接端447的运动轨迹更加精确。当前述作用力F消失后，呈平行四边形的柔性铰链44在基于形变所储存的弹性势能恢复至未被施加作用力的状态，以恢复呈矩形结构的状态。

结合图3至图6所示，本实施例还揭示了一种基板抬升机构1，包括：用于支撑基板100的支撑本体，以及一个(或者多个)柔性铰链组件400；其中，自由端固定在支撑本体上，所述支撑本体包括用于承载基板100的第二承载面101，当未抬升所述基板100时，所述第一承载面4260设置在第二承载面101的下方或者与其平齐，在本实施例中，如图3所示，在初始状态二者平齐，当抬升所述基板100时，所述第一承载面4260和第二承载面101共同承载基板100，所述基板100和第二承载面101的接触位置形成一支撑点102，位于内侧的一所述连杆被配置为绕支撑点102转动，当向柔性铰链组件400的第一端部428施加水平推力F_h时，位于内侧的一连杆进行转动，以抬起基板100。

示例性地，支撑本体包括夹具200与固定夹具200的运动台300，所述夹具200包括所述第二承载面101，柔性铰链组件400与支撑本体共同用于支撑基板100，自由端41(43)固定在夹具200和/或运动台300上，基板100包括晶圆，但也可为其他板状的样品，当需要抬升基板100时，将基板100围绕支撑点102沿图3中箭头B所示出的方向转动一定角度，以抬起基板100，并最终从图3所示出的状态一变化为图4所示出的状态二。

支撑本体上设置有用于夹持基板的限位件(未示出)，形成如图3所示的支撑点102，例如，夹具200上设置有至少两个限位件，且其中至少一个限位件可夹持或脱离基板100(即松开夹持)。

示例性地，参考图2、图5和图6，支撑本体远离支撑点102的侧部水平凹设收容柔性铰链组件400的收容腔210，以及连通收容腔210的缺口220，第一柔性铰链41c的自由端43被固定于收容腔210的底面240，第二柔性铰链41a的自由端41被固定于收容腔210的内侧面230。示例性地，限位件向上延伸出夹具200的上表面并抵靠住基板100的侧边缘。例如，可设置两个限位件，且在俯视角度上两个限位件相对于圆形的基板100所具有的圆心之间的圆心角呈120度，或者也可呈现其他角度的圆心角。

当取样时，先使用所述柔性铰链组件400抬升基板100，然后取走基板100；当送样时，将所述基板100放置在第二承载面101上或同时放置在第一承载面4260与第二承载面101上，或者先令所述柔性连杆机构42b进行所述转动，然后将所述基板100放置在第一承载面4260上，以通过所述柔性铰链组件400带动基板100复位至通过第二承载面101或同时通过第一承载面4260和第二承载面101承载基板100的位置，在本实施例中，即复位至第二连杆426呈水平且与夹具200的第二承载面101平齐的初始状态。

上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本发明的可行性实施方式的具体说明，它们并非用以限制本发明的保护范围，凡未脱离本发明技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本发明的保护范围之内。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (10)

1.柔性铰链组件，其特征在于，包括：

第一柔性铰链，第二柔性铰链，以及柔性连接所述第一柔性铰链与第二柔性铰链的柔性连杆机构，所述第一柔性铰链的自由端与第二柔性铰链的自由端均用于被固定；所述柔性连杆机构包括至少三个首尾柔性连接的连杆，位于内侧的一所述连杆包括用于承载基板的第一承载面，当所述第一柔性铰链连接柔性连杆机构的第一端部受到水平推力使第一端部产生水平位移时，位于内侧的一所述连杆转动，并至少沿竖直方向产生位移以抬升所述基板。

2.根据权利要求1所述的柔性铰链组件，其特征在于，当所述第一端部受到水平推力使所述第一端部产生水平位移时，所述第二柔性铰链连接柔性连杆机构的第二端部产生竖直位移，以在进行所述转动时基板始终与第一承载面贴合。

3.根据权利要求2所述的柔性铰链组件，其特征在于，当所述第一柔性铰链连接柔性连杆机构的第一端部受到水平推力时，所述第一端部沿水平方向运动的位移大于或者等于所述第二端部沿竖直方向运动的位移。

4.根据权利要求2所述的柔性铰链组件，其特征在于，所述转动的角度α被配置为满足：α_min≤α≤α_max，α_min和α_max分别为预设的最低角度和最高角度，位于内侧的一所述连杆包括一个或多个子连杆，位于内侧的一所述连杆被配置为绕当抬升基板时基板的一支撑点转动，以使所述基板因绕支撑点转动而被抬升。

5.根据权利要求2所述的柔性铰链组件，其特征在于，所述柔性连杆机构包括三个首尾柔性连接的第一连杆、第二连杆及第三连杆，所述第一连杆与第二柔性铰链柔性连接，所述第三连杆与第一柔性铰链柔性连接，所述第二连杆上方形成用于承载基板的第一承载面，所述第二连杆在进行所述转动时第一承载面始终贴合基板表面。

6.根据权利要求1所述的柔性铰链组件，其特征在于，所述第一柔性铰链和/或第二柔性铰链包括平行四边形铰链。

7.根据权利要求6所述的柔性铰链组件，其特征在于，所述第一柔性铰链和/或第二柔性铰链包括平行四边形铰链对，所述平行四边形铰链对包括呈对称分布的两个平行四边形铰链，两个所述平行四边形铰链之间的连接端与所述柔性连杆机构连接，两个所述平行四边形铰链的自由端均用于被固定。

8.基板抬升机构，其特征在于，包括：

支撑本体，以及

一如权利要求1至7中任一项所述的柔性铰链组件；

其中，所述自由端固定在支撑本体上，所述支撑本体包括用于承载基板的第二承载面，当未抬升所述基板时，所述第一承载面设置在第二承载面的下方或者与其平齐，当抬升所述基板时，所述第一承载面和第二承载面共同承载基板，所述基板和第二承载面的接触位置形成一支撑点，位于内侧的一所述连杆被配置为绕支撑点转动。

9.根据权利要求8所述的基板抬升机构，其特征在于，所述支撑本体包括夹具与固定夹具的运动台，所述夹具包括所述第二承载面，所述柔性铰链组件与支撑本体共同用于支撑基板，所述自由端固定在夹具和/或运动台上，所述基板包括晶圆，所述夹具上设置有用于夹持基板的限位件。

10.根据权利要求8所述的基板抬升机构，其特征在于，当取样时，先使用所述柔性铰链组件抬升基板，然后取走基板；当送样时，将所述基板放置在第二承载面上或同时放置在第一承载面与第二承载面上，或者先令所述柔性连杆机构进行所述转动，然后将所述基板放置在第一承载面上，以通过所述柔性铰链组件带动基板复位至通过第二承载面或同时通过第一承载面和第二承载面承载基板的位置。

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