CN114207751A - 电感器 - Google Patents

Abstract

电感器(1)包括：第1布线(21)和第2布线(22)；第1磁性层(31)，其包含大致球形状的磁性颗粒；第2磁性层(51)，其包含大致扁平形状的磁性颗粒；以及第3磁性层(71)，其包含大致扁平形状的磁性颗粒。第2磁性层(51)和第3磁性层(71)各自的相对磁导率高于第1磁性层(31)的相对磁导率。第1磁性层(31)的第4面(54)具有第2凹部(60)。第3磁性层(71)的第6面(74)具有第4凹部(80)。

Description

电感器

技术领域

本发明涉及一种电感器。

背景技术

以往，公知有一种包括多个导体和覆盖该多个导体的磁性体层的电感器(例如参照专利文献1。)。

在专利文献1中，在配置有多个导体的铁素体坯料片之上层叠别的铁素体坯料片，对它们进行烧制，从而得到电感器。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平10-144526号公报

发明内容

发明要解决的问题

然而，对于电感器，要求较高的电感、优异的直流叠加特性和优异的Q值。

但是，在专利文献1所记载的电感器中，无法满足上述要求。

本发明提供一种电感较高，且直流叠加特性优异并且Q值也优异的电感器。

用于解决问题的方案

本发明[1]包含一种电感器，其中，该电感器包括：第1布线和第2布线，该第1布线和第2布线相互隔开间隔地相邻；第1磁性层，其具有在面方向上连续的第1面、相对于所述第1面在厚度方向上隔开间隔且在所述面方向上连续的第2面、以及位于所述第1面与所述第2面之间且接触于所述第1布线的外周面和所述第2布线的外周面的内周面，该第1磁性层含有大致球形状的磁性颗粒和树脂；第2磁性层，其具有与所述第1面接触的第3面和在厚度方向上与所述第3面隔开间隔的第4面，该第2磁性层含有大致扁平形状的磁性颗粒和树脂；以及第3磁性层，其具有与所述第2面接触的第5面和在厚度方向上与所述第5面隔开间隔的第6面，该第3磁性层含有大致扁平形状的磁性颗粒和树脂，所述第2磁性层和所述第3磁性层各自的相对磁导率高于所述第1磁性层的相对磁导率，所述第3面在与所述第1布线在厚度方向上相对的第1相对部和与所述第2布线在厚度方向上相对的第2相对部之间具有从该第1相对部和该第2相对部凹陷的第1凹部，所述第4面在与所述第1相对部在厚度方向上相对的第3相对部和与所述第2相对部在厚度方向上相对的第4相对部之间具有从该第3相对部和该第4相对部凹陷的第2凹部，所述第5面在与所述第1布线在厚度方向上相对的第5相对部和与所述第2布线在厚度方向上相对的第6相对部之间具有从该第5相对部和该第6相对部凹陷的第3凹部，所述第6面在与所述第5相对部在厚度方向上相对的第7相对部和与所述第2相对部在厚度方向上相对的第8相对部之间具有从该第7相对部和该第8相对部凹陷的第4凹部。

该电感器1包括含有大致球形状的磁性颗粒的第1磁性层以及含有大致扁平形状的磁性颗粒的第2磁性层和第3磁性层。并且，第2磁性层和第3磁性层各自的相对磁导率高于第1磁性层的相对磁导率。因此，该电感器的电感较高，且直流叠加特性优异。

并且，由于第2磁性层具有第1凹部和第2凹部，因此，在第2磁性层的被第1凹部和第2凹部包围的区域中，大致扁平形状的磁性颗粒能够沿第1凹部和第2凹部取向。另外，由于第3磁性层具有第3凹部和第4凹部，因此，在第3磁性层的被第3凹部和第4凹部包围的区域中，大致扁平形状的磁性颗粒能够沿第3凹部和第4凹部取向。因此，能够获得优异的Q值。

因而，该电感器的电感较高，且直流叠加特性优异，并且Q值也优异。

本发明[2]包含[1]所述的电感器，其中，所述第1相对部与所述第1布线之间的长度L1、所述第2相对部与所述第2布线之间的长度L2和所述第1凹部的深度L3满足下述式(1)和下述式(2)，所述第3相对部与所述第1布线之间的长度L4、所述第4相对部与所述第2布线之间的长度L5和所述第2凹部的深度L6满足下述式(3)和下述式(4)。

L3/L1≥0.2 (1)

L3/L2≥0.2 (2)

L6/L4≥0.2 (3)

L6/L5≥0.2 (4)。

本发明[3]包含[1]或[2]所述的电感器，其中，所述第1凹部的深度L3和所述第2凹部的深度L7满足下述式(5)，所述第3凹部的深度L6和所述第4凹部的深度L8满足下述式(6)。

L7/L3≥0.3 (5)

L8/L6≥0.3 (6)

本发明[4]包含[1]～[3]中任一项所述的电感器，其中，所述第1相对部与所述第1布线之间的长度L1和所述第1布线的厚度方向长度L9满足下述式(7)，所述第2相对部与所述第2布线之间的长度L2和所述第2布线的厚度方向长度L10满足下述式(8)，所述第3相对部与所述第1布线之间的长度L4和所述第1布线的所述长度L9满足下述式(9)，所述第4相对部与所述第2布线之间的长度L5和所述第2布线的所述长度L10满足下述式(10)。

L1/L9≥0.1 (7)

L2/L10≥0.1 (8)

L4/L9≥0.1 (9)

L5/L10≥0.1 (10)

发明的效果

本发明的电感器的电感较高，且直流叠加特性优异，并且Q值也优异。

附图说明

图1是本发明的电感器的一个实施方式的剖视图。

图2是描绘出图1所示的电感器中的第1磁性层、第2磁性层和第3磁性层所包含的磁性颗粒的剖视图。

图3表示在电感器的制造方法中准备热压装置的第1工序。

图4接续于图3表示在电感器的制造方法中将磁性片、第1布线和第2布线放置于热压装置的第3工序。

图5接续于图4表示在电感器的制造方法中使外框构件密合于第1模具而形成第1密闭空间，接着对第1密闭空间进行减压而形成减压空间的第4工序。

图6接续于图5表示在电感器的制造方法中将内框构件向第1模具施压而形成减压气氛的第2密闭空间的第5工序。

图7接续于图6表示在电感器的制造方法中对磁性片、第1布线和第2布线进行热压的第6工序。

图8表示在从图7中的热压装置取出的电感器形成通孔的工序。

图9表示图1所示的电感器的变形例(是电感器还包括功能层的形态)的剖视图。

具体实施方式

＜一个实施方式＞

参照图1和图2并说明本发明的电感器的一个实施方式。

该电感器1具有沿与厚度方向正交的面方向延伸的大致片形状。电感器1包括第1布线21和第2布线22、第1磁性层31、第2磁性层51、第3磁性层71。

第1布线21和第2布线22在与电的传送方向(第2方向)(延伸方向)和厚度方向正交的第1方向上相互隔开间隔地相邻。此外，第1方向和第2方向包含于面方向，且在面方向上相互正交。在第1布线21和第2布线22之中，第1布线21配置于第1方向一侧，第2布线22配置于第1方向另一侧。第1布线21和第2布线22分别例如具有剖视时呈大致圆形的形状。此外，第1布线21和第2布线22分别具有面向如下说明的第1磁性层31的外周面25。第1布线21和第2布线22分别包括导线23和覆盖该导线23的绝缘膜24。

导线23具有与第1布线21和第2布线22分别共有中心轴线的在剖视时呈大致圆形的形状。导线23的材料为铜等金属导体。导线23的半径的下限例如为25μm，上限例如为2000μm。

绝缘层24覆盖导线23的整个周面。绝缘层24具有与第1布线21和第2布线22分别共有中心轴线的在剖视时呈大致圆环的形状。作为绝缘层24的材料，例如，举出聚酯、聚氨酯、聚酯酰亚胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺等绝缘树脂。绝缘层24是单层或多层。绝缘层24的厚度的下限例如为1μm，另外，上限例如为100μm。

第1布线21和第2布线22各自的半径为导线23的半径和绝缘膜24的厚度的总和，具体而言，其下限例如为25μm，优选为50μm，另外，上限例如为2000μm，优选为200μm。

第1布线21与第2布线22之间的距离(间隔)L0的下限能够根据电感器1的用途和目的而适当设定，例如为10μm，优选为50μm，另外，上限例如为10000μm，优选为5000μm。

第1磁性层31具有内周面32、第1面33和第2面34。

内周面32接触于第1布线21的外周面25和第2布线22的外周面25。内周面32在厚度方向上位于第1面33与第2面34之间，对此在以下进行说明。

第1面33在面方向上连续。第1面33与内周面32隔开间隔地配置于内周面32的厚度方向一侧。第1面33是第1磁性层31的厚度方向一侧面。第1面33具有第1隆起部35、第2隆起部36和一侧凹部37。

在沿着厚度方向和第1方向的剖视(以下有时简称作“剖视”。)时，第1隆起部35相对于第1布线21的外周面25的厚度方向一侧面26隔开间隔地相对。此外，若第1布线21为剖视时呈大致圆形的形状，则第1布线21的一侧面26的中心角α1的上限例如为90度，优选为60度，另外，下限例如为15度，优选为30度。第1布线21的一侧面26的中心角α1以第1布线21的中心轴线CA1为中心来确定。第1隆起部35是在沿从第1布线21的中心轴线CA1(或重心)放射的放射方向投影时与一侧面26重叠的区域。第1隆起部35沿着第1布线21的一侧面26弯曲。第1隆起部35的弯曲方向与第1布线21的一侧面26的弯曲方向相同。

在剖视时，第2隆起部36相对于第2布线22的外周面25的厚度方向一侧面26隔开间隔地相对。此外，若第2布线22为剖视时呈大致圆形的形状，则第2布线22的一侧面26的中心角α2的上限例如为90度，优选为60度，另外，下限例如为15度，优选为30度。第2布线22的一侧面26的中心角α2以第2布线22的中心轴线CA2为中心来确定。第2隆起部36是在沿从第2布线22的中心轴线CA2(或重心)放射的放射方向投影时与一侧面26重叠的区域。第2隆起部36沿着第2布线22的一侧面26弯曲。第2隆起部36的弯曲方向与第2布线22的一侧面26的弯曲方向相同。

一侧凹部37配置在第1隆起部35与第2隆起部36之间。一侧凹部37将第1隆起部35和第2隆起部36在第1方向上连结起来。在沿厚度方向投影时，一侧凹部37不与第1布线21和第2布线22重叠，而是配置在第1布线21与第2布线22之间。一侧凹部37从第1隆起部35和第2隆起部36朝向厚度方向另一侧凹陷。

第2面34相对于第1面33在厚度方向另一侧与之隔有间隔地相对配置。第2面34位于相对于第1布线21和第2布线22而言的第1面33的相反侧。第2面34是第1磁性层31的厚度方向另一侧面。第2面34在面方向上连续。第2面34具有第3隆起部41、第4隆起部42和另一侧凹部43。

在剖视时，第3隆起部41相对于第1布线21的外周面25的厚度方向另一侧面27隔开间隔地相对。此外，若第1布线21为剖视时呈大致圆形的形状，则另一侧面27的中心角α3的上限例如为90度，优选为60度，另外，下限例如为15度，优选为30度。另一侧面27的中心角α3以第1布线21的中心轴线CA1为中心来确定。第3隆起部41是在沿从第1布线21的中心轴线CA1(或重心)放射的放射方向投影时与另一侧面27重叠的区域。第3隆起部41沿着第1布线21的另一侧面27弯曲。第3隆起部41的弯曲方向与第1布线21的另一侧面27的弯曲方向相同。

在剖视时，第4隆起部42相对于第2布线22的外周面25的厚度方向另一侧面27隔开间隔地相对。此外，若第2布线22为剖视时呈大致圆形的形状，则另一侧面27的中心角α4的上限例如为90度，优选为60度，另外，下限例如为15度，优选为30度。另一侧面27的中心角α4以第2布线22的中心轴线CA2为中心来确定。第4隆起部42是在沿从第2布线22的中心轴线CA2(或重心)放射的放射方向投影时与另一侧面27重叠的区域。第4隆起部42沿着第2布线22的另一侧面27弯曲。第4隆起部42的弯曲方向与第2布线22的另一侧面27的弯曲方向相同。

另一侧凹部43配置在第3隆起部41与第4隆起部42之间。另一侧凹部43将第3隆起部41和第4隆起部42在第1方向上连结起来。在沿厚度方向投影时，另一侧凹部43不与第1布线21和第2布线22重叠，而是配置在第1布线21与第2布线22之间。另一侧凹部43自第3隆起部41和第4隆起部42朝向厚度方向一侧凹陷。

在后面叙述第1磁性层31的材料、物理属性和尺寸。

第2磁性层51配置于第1磁性层31的第1面33。第2磁性层51具有第3面53和第4面54。

第3面53是与第1磁性层31的第1面33接触的接触面。第3面53在面方向上连续。第3面53是第2磁性层51的厚度方向另一侧面。第3面53具有第1相对部55、第2相对部56和第1凹部57。

第1相对部55与第1隆起部35接触。具体而言，第1相对部55在剖视时具有与第1隆起部35相同的形状。此外，第1相对部55包含位于最靠厚度方向一侧的位置的第1顶部91。

第2相对部56与第2隆起部36接触。具体而言，第2相对部56在剖视时具有与第2隆起部36相同的形状。此外，第2相对部56包含位于最靠厚度方向一侧的位置的第2顶部92。

第1凹部57与一侧凹部37接触。第1凹部57在第1相对部55与第2相对部56之间从第1相对部55和第2相对部56朝向厚度方向另一侧凹陷。具体而言，第1凹部57具有与一侧凹部37相同的形状。第1凹部57具有位于最靠厚度方向另一侧的位置的第1底部38。另外，第1凹部57包含中心轴线位于比一侧凹部37靠厚度方向一侧的位置的第1圆弧面39。第1圆弧面39包含第1底部38。

第4面54以与第3面53隔开间隔的方式相对配置于第3面53的厚度方向一侧。第4面54形成第2磁性层51和电感器1各自的厚度方向一侧面。第4面54是在厚度方向一侧暴露的暴露面。第4面54在面方向上连续。第4面54具有第3相对部58、第4相对部59和第2凹部60。

第3相对部58在厚度方向上与第3面53的第1相对部55相对。在剖视时，第3相对部58沿着第1相对部55弯曲。第3相对部58具有与第1相对部55的第1顶部91的厚度方向一侧相对的第5顶部86。第5顶部86位于第3相对部58的最靠厚度方向一侧的位置。

第4相对部59在厚度方向上与第3面53的第2相对部56相对。第4相对部59沿着第2相对部56弯曲。第4相对部59具有与第2顶部92的厚度方向一侧相对的第6顶部87。第6顶部87位于第4相对部59中的最靠厚度方向一侧的位置。

第2凹部60在厚度方向上与第3面53的第1凹部57相对。第2凹部60在第3相对部58与第4相对部59之间从第3相对部58和第4相对部59朝向厚度方向另一侧凹陷。第2凹部60沿着第1凹部57凹陷。第2凹部60具有位于最靠厚度方向另一侧的位置的第3底部63。第3底部63在厚度方向上与第1凹部57的第1底部38相对。

在后面叙述第2磁性层51的材料、物理属性和尺寸。

第3磁性层71配置于第1磁性层31的第2面34。第3磁性层71具有第5面73和第6面74。

第5面73是与第1磁性层31的第2面34接触的接触面。第5面73在面方向上连续。第5面73是第3磁性层71的厚度方向一侧面。第5面73具有第5相对部75、第6相对部76和第3凹部77。

第5相对部75与第3隆起部41接触。具体而言，第5相对部75在剖视时具有与第3隆起部41相同的形状。第5相对部75具有位于最靠厚度方向另一侧的位置的第3顶部93。

第6相对部76与第4隆起部42接触。具体而言，第6相对部76在剖视时具有与第4隆起部42相同的形状。第6相对部76具有位于最靠厚度方向另一侧的位置的第4顶部94。

第3凹部77与另一侧凹部43接触。第3凹部77在第5相对部75与第6相对部76之间从第5相对部75和第6相对部76朝向厚度方向一侧凹陷。具体而言，第3凹部77具有与另一侧凹部43相同的形状。第3凹部77具有位于最靠厚度方向一侧的位置的第2底部44。另外，另一侧凹部43包含中心轴线位于比另一侧凹部43靠厚度方向另一侧的位置的第2圆弧面49。第2圆弧面49包含第2底部44。

第6面74以与第5面73隔开间隔的方式相对配置于第5面73的厚度方向另一侧。第6面74形成第3磁性层71和电感器1各自的厚度方向另一侧面。第6面74是在厚度方向另一侧暴露的暴露面。第6面74在面方向上连续。第6面74具有第7相对部78、第8相对部79和第4凹部80。

第7相对部78在厚度方向上与第5面73的第5相对部75相对。第7相对部78在剖视时沿着第5相对部75弯曲。第7相对部78具有在厚度方向另一侧与第5相对部75的第3顶部93相对的第7顶部88。第7顶部88位于第7相对部78的最靠厚度方向另一侧的位置。

第8相对部79在厚度方向上与第5面73的第6相对部76相对。第8相对部79在剖视时沿着第6相对部76弯曲。第8相对部79具有在厚度方向另一侧与第6相对部76的第4顶部94相对的第8顶部89。第8顶部89位于第8相对部79的最靠厚度方向另一侧的位置。

第4凹部80在厚度方向上与第5面73的第3凹部77相对。第4凹部80在第7相对部78与第8相对部79之间从第7相对部78和第8相对部79朝向厚度方向一侧凹陷。第4凹部80沿着第3凹部77凹陷。第4凹部80具有位于最靠厚度方向一侧的位置的第4底部64。第4底部64在厚度方向上与第3凹部77的第2底部44相对。

接下来，说明第1磁性层31、第2磁性层51和第3磁性层71的材料、物理属性和尺寸。

第1磁性层31、第2磁性层51和第3磁性层71的材料是含有磁性颗粒和树脂的磁性组合物。

作为构成磁性颗粒的磁性材料，例如，举出软磁性体、硬磁性体。从电感的观点出发，优选举出软磁性体。

作为软磁性体，例如举出以纯物质的状态含有1种金属元素的单一金属体，例如1种以上的金属元素(第1金属元素)和1种以上的金属元素(第2金属元素)和/或非金属元素(碳、氮、硅、磷等)的共熔体(混合物)即合金体。它们可以单独使用或并用。

作为单一金属体，举出例如仅由1种金属元素(第1金属元素)构成的金属单质。作为第1金属元素，例如从铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)、以及其他可作为软磁性体的第1金属元素而含有的金属元素中适当选择。

另外，作为单一金属体，例如举出具有仅含有1种金属元素的芯和包含修饰该芯的表面的局部或者全部的无机物和/或有机物的表面层的形态、例如包含第1金属元素的有机金属化合物、无机金属化合物分解(热分解等)后的形态等。作为后者的形态，更具体而言，举出含有铁作为第1金属元素的有机铁化合物(具体为羰基铁)热分解后的铁粉(有时称作羰基铁粉)等。此外，具有对仅包含1种金属元素的部分进行修饰的无机物和/或有机物的层的位置并不限定于上述那样的表面。此外，作为能够得到单一金属体的有机金属化合物、无机金属化合物，没有特别限制，能够从能够得到软磁性体的单一金属体的公知或者惯用的有机金属化合物、无机金属化合物中适当选择。

合金体为1种以上的金属元素(第1金属元素)和1种以上的金属元素(第2金属元素)和/或非金属元素(碳、氮、硅、磷等)的共熔体，只要能够作为软磁性体的合金体使用，则没有特别限制。

第1金属元素为合金体中的必需元素，例如举出铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)等。此外，若第1金属元素为Fe，则合金体为Fe系合金，若第1金属元素为Co，则合金体为Co系合金，若第1金属元素为Ni，则合金体为Ni系合金。

第2金属元素为合金体中次要含有的元素(副成分)，且是与第1金属元素相容(共熔)的金属元素，例如举出铁(Fe)(第1金属元素为Fe之外的情况)、钴(Co)(第1金属元素为Co之外的情况)、镍(Ni)(第1金属元素为Ni之外的情况)、铬(Cr)、铝(Al)、硅(Si)、铜(Cu)、银(Ag)、锰(Mn)、钙(Ca)、钡(Ba)、钛(Ti)、锆(Zr)、铪(Hf)、钒(V)、铌(Nb)、钽(Ta)、钼(Mo)、钨(W)、钌(Ru)、铑(Rh)、锌(Zn)、镓(Ga)、铟(In)、锗(Ge)、锡(Sn)、铅(Pb)、钪(Sc)、钇(Y)、锶(Sr)、各种稀土元素等。它们能够单独使用或者并用两种以上。

非金属元素为合金体中次要含有的元素(副成分)，且是与第1金属元素相容(共熔)的非金属元素，例如举出硼(B)、碳(C)、氮(N)、硅(Si)、磷(P)、硫(S)等。它们能够单独使用或者并用两种以上。

作为合金体的一个例子的Fe系合金，例如举出磁性不锈钢(Fe-Cr-Al-Si合金)(包括电磁不锈钢)、铁硅铝合金(Fe-Si-Al合金)(包括超级铁硅铝合金)、坡莫合金(Fe-Ni合金)、Fe-Ni-Mo合金、Fe-Ni-Mo-Cu合金、Fe-Ni-Co合金、Fe-Cr合金、Fe-Cr-Al合金、Fe-Ni-Cr合金、Fe-Ni-Cr-Si合金、铜硅合金(Fe-Cu-Si合金)、Fe-Si合金、Fe-Si-B(-Cu-Nb)合金、Fe-B-Si-Cr合金、Fe-Si-Cr-Ni合金、Fe-Si-Cr合金、Fe-Si-Al-Ni-Cr合金、Fe-Ni-Si-Co合金、Fe-N合金、Fe-C合金、Fe-B合金、Fe-P合金、铁素体(包含不锈钢系铁素体、以及Mn-Mg系铁素体、Mn-Zn系铁素体、Ni-Zn系铁素体、Ni-Zn-Cu系铁素体、Cu-Zn系铁素体、Cu-Mg-Zn系铁素体等软磁铁素体)、珀明德铁钴系高磁导率合金(Fe-Co合金)、Fe-Co-V合金、Fe基非晶合金等。

作为合金体的一个例子的Co系合金，例如举出Co-Ta-Zr、钴(Co)基非晶合金等。

作为合金体的一个例子的Ni系合金，例如举出Ni-Cr合金等。

如图2所示，第1磁性层31所包含的磁性颗粒的形状为大致球形状。另一方面，第2磁性层51和第3磁性层71所包含的磁性颗粒的形状为大致扁平形状(板形状)。因此，通过第1磁性层31的大致球形状的磁性颗粒，能够提高直流叠加特性，并且通过第2磁性层51和第3磁性层71的大致扁平形状的磁性颗粒，能够获得较高的电感，进而能够获得优异的Q值。

磁性颗粒的最大长度的平均值的下限例如为0.1μm，优选为0.5μm，另外，上限例如为200μm，优选为150μm。磁性颗粒的最大长度的平均值能够作为磁性颗粒的中位粒径来计算。

磁性颗粒在磁性组合物中的容积比例(填充率)例如为10容积％以上，另外例如为90容积％以下。

作为树脂，例如，举出热固性树脂。作为热固性树脂，例如，举出环氧树脂、三聚氰胺树脂、热固性聚酰亚胺树脂、不饱和聚酯树脂、聚氨酯树脂、有机硅树脂等。从粘接性、耐热性等的观点出发，优选举出环氧树脂。

在热固性树脂含有环氧树脂的情况下，热固性树脂也可以作为以适当的比例含有环氧树脂(甲酚酚醛清漆型环氧树脂等)、固化剂(酚醛树脂等)和固化促进剂(咪唑化合物等)的环氧树脂组合物来调制。热固性树脂相对于100容积份的磁性颗粒的容积份的数量例如为10容积份以上，另外例如为90容积份以下。

另外，树脂能够以适当的比例含有丙烯酸树脂等热塑性树脂。此外，上述磁性组合物的详细的配方记载于日本特开2014-165363号公报等。

第1磁性层31、第2磁性层51和第3磁性层71这几者的相对磁导率均在频率10MHz下来测量。第2磁性层51和第3磁性层71各自的相对磁导率高于第1磁性层31的相对磁导率。具体而言，第2磁性层51和第3磁性层71各自的相对磁导率相对于第1磁性层31的相对磁导率的比的下限例如大于1，优选为1.1，更优选为1.5，另外，上限例如为20，优选为10。

由于第2磁性层51和第3磁性层71各自的相对磁导率高于第1磁性层31的相对磁导率，因此，该电感器1的直流叠加特性优异。

此外，第1磁性层31、第2磁性层51和第3磁性层71这几者的相对磁导率能够通过对用于形成它们的第1片65、第2片66和第3片67(参照图4～图6)的相对磁导率进行测量而求出。另外，也能够对第1磁性层31、第2磁性层51和第3磁性层71这几者的相对磁导率进行直接测量。

接下来，说明第1磁性层31、第2磁性层51和第3磁性层71的尺寸。

第1相对部55与第1布线21之间的长度L1、第2相对部56与第2布线22之间的长度L2和第1凹部的深度L3例如满足下述式(1)和下述式(2)，优选满足下述式(1A)和下述式(2A)，更优选满足下述式(1B)和下述式(2B)，另外，例如满足下述式(1C)和下述式(2C)。

L3/L1≥0.2 (1)

L3/L2≥0.2 (2)

L3/L1≥0.3 (1A)

L3/L2≥0.3 (2A)

L3/L1≥0.4 (1B)

L3/L2≥0.4 (2B)

L3/L1＜1.5 (1C)

L3/L2＜1.5 (2C)

若L1、L2和L3满足上述式，则能够使第1凹部57的深度L3相对于第1相对部55与第1布线21之间的长度L1和第2相对部56与第2布线22之间的长度L2而言足够深。因此，如图2所示，能够使第2磁性层51中的位于第1凹部57的附近的大致扁平形状的磁性颗粒相对于第1凹部57充分地取向。其结果，能够提高电感器1的Q值。

第2相对部56与第2布线22之间的长度L2相对于第1相对部55与第1布线21之间的长度L1的比例(L2/L1)的下限例如为0.7，优选为0.9，另外，上限例如为1.3，优选为1.1。

另外，第5相对部75与第1布线21之间的长度L4、第6相对部76与第2布线22之间的长度L5、第3凹部77的深度L6例如满足下述式(3)和下述式(4)，优选满足下述式(3A)和下述式(4A)，更优选满足下述式(3B)和下述式(4B)，另外，例如满足下述式(3C)和下述式(4C)。

L6/L4≥0.2 (3)

L6/L5≥0.2 (4)

L6/L4≥0.3 (3A)

L6/L5≥0.3 (4A)

L6/L4≥0.4 (3B)

L6/L5≥0.4 (4B)

L6/L4＜1.5 (3C)

L6/L5＜1.5 (4C)

若L4、L5和L6满足上述式，则能够使第3凹部77的深度L6相对于第5相对部75与第1布线21之间的长度L4和第6相对部76与第2布线22之间的长度L5而言足够深。因此，能够使第3磁性层71中的位于第3凹部77的附近的大致扁平形状的磁性颗粒相对于第3凹部77充分地取向。其结果，能够提高电感器1的Q值。

另外，关于L1～L6，例如，同时满足式(1)、式(2)、式(3)和式(4)，优选同时满足式(1A)、式(2A)、式(3A)和式(4A)，更优选同时满足式(1B)、式(2B)、式(3B)和式(4B)，进一步优选同时满足式(1C)、式(2C)、式(3C)和式(4C)。由此，能够高效地提高电感器1的Q值。

另外，第6相对部76与第2布线22之间的长度L5相对于第5相对部75与第1布线21之间的长度L4的比例(L5/L4)的下限例如为0.7，优选为0.9，另外，上限例如为1.3，优选为1.1。

另外，例如，第1凹部57的深度L3和第2凹部60的深度L7例如满足下述式(5)，优选满足下述式(5A)，更优选满足下述式(5B)，另外，例如满足下述式(5C)。

L7/L3≥0.3 (5)

L7/L3≥0.5 (5A)

L7/L3≥0.7 (5B)

L7/L3＜1.0 (5C)

若L3和L7满足上述式，则能够使第2凹部60的深度L7相对于第1凹部57的深度L3而言足够深。因此，如图2所示，能够使位于第1凹部57与第2凹部60之间的大致扁平形状的磁性颗粒沿着第1凹部57和较深地凹陷的第2凹部60充分地取向。其结果，能够提高电感器1的Q值。

第3凹部77的深度L6和第4凹部80的深度L8例如满足下述式(6)，优选满足下述式(6A)，更优选满足下述式(6B)，另外，例如满足下述式(6C)。

L8/L6≥0.3 (6)

L8/L6≥0.5 (6A)

L8/L6≥0.7 (6B)

L8/L6＜1.0 (6C)

若L6和L8满足上述式，则能够使第4凹部80的深度L8相对于第3凹部77的深度L6而言足够深。因此，如图2所示，能够使位于第3凹部77与第4凹部80之间的大致扁平形状的磁性颗粒沿着第3凹部77和较深地凹陷的第4凹部80充分地取向。其结果，能够提高电感器1的Q值。

另外，关于深度L3、L6～L8，例如同时满足式(5)和式(6)，优选同时满足式(5A)和式(6A)，更优选同时满足式(5B)和式(6B)，进一步优选同时满足式(5C)和式(6C)。由此，能够高效地提高电感器1的Q值。

并且，例如，第1相对部55与第1布线21之间的长度L1和第1布线21的厚度方向长度L9例如满足下述式(7)，优选满足下述式(7A)，更优选满足下述式(7B)，另外，例如满足下述式(7C)。

L1/L9≥0.1 (7)

L1/L9≥0.2 (7A)

L1/L9≥0.25 (7B)

L1/L9＜1.0 (7C)

若L1和L9满足上述式，则能够使第1相对部55与第1布线21之间的长度L1相对于第1布线21的厚度方向长度L9而言足够长。因此，能够维持电感器1的较高的电感，并且能够提高电感器1的Q值。

第2相对部56与第2布线22之间的长度L2和第2布线22的厚度方向长度L10例如满足下述式(8)，优选满足下述式(8A)，更优选满足下述式(8B)，另外，例如满足下述式(8C)。

L2/L10≥0.1 (8)

L2/L10≥0.2 (8A)

L2/L10≥0.25 (8B)

L2/L10＜1.0 (8C)

若L2和L10满足上述式，则能够使第2相对部56与第2布线22之间的长度L2相对于第2布线22的厚度方向长度L10而言足够长。因此，能够维持电感器1的较高的电感，并且能够提高电感器1的Q值。

第3相对部58与第1布线21之间的长度L4和第1布线21的长度L9例如满足下述式(9)，优选满足下述式(9A)，更优选满足下述式(9B)，另外，例如满足下述式(9C)。

L4/L9≥0.1 (9)

L4/L9≥0.2 (9A)

L4/L9≥0.25 (9B)

L4/L9＜1.0 (9C)

若L4和L9满足上述式，则能够使第3相对部58与第1布线21之间的长度L4相对于第1布线21的长度L9而言足够长。因此，能够维持电感器1的较高的电感，并且能够提高电感器1的Q值。

第4相对部59与第2布线22之间的长度L5和第2布线22的长度L10满足下述式(10)，优选满足下述式(10A)，更优选满足下述式(10B)，另外，例如满足下述式(10C)。

L5/L10≥0.1 (10)

L5/L10≥0.2 (10A)

L5/L10≥0.25 (10B)

L5/L10＜1.0 (10C)

若L5和L10满足上述式，则能够使第4相对部59与第2布线22之间的长度L5相对于第2布线22的长度L10而言足够长。因此，能够维持电感器1的较高的电感，并且能够提高电感器1的Q值。

另外，关于上述L1、L2、L4、L5、L9、L10，例如同时满足式(7)、式(8)、式(9)和式(10)，优选同时满足式(7A)、式(8A)、式(9A)和式(10A)，更优选同时满足式(7B)、式(8B)式(9B)和式(10B)，进一步优选同时满足式(7C)、式(8C)、式(9C)和式(10C)。由此，能够高效地提高电感器1的Q值。

上述L1～L10的长度如下那样定义。

第1相对部55与第1布线21之间的长度L1是第1顶部91与第1布线21之间的最短距离L1。

第2相对部56与第2布线22之间的长度L2是第2顶部92与第2布线22之间的最短距离。

第1凹部57的深度L3是从将第1顶部91和第2顶部92连结起来的线段到第1凹部57的第1底部38的最长的厚度方向长度L3。

第5相对部75与第1布线21之间的长度L4是第3顶部93与第1布线21之间的最短距离L4。

第6相对部76与第2布线22之间的长度L5是第4顶部94与第2布线22之间的最短距离L5。

第2凹部60的深度L6是从将第3顶部93和第4顶部94连结起来的线段到第3凹部77的第2底部44的最长的厚度方向长度L6。

第2凹部60的深度L7是从将第5顶部86和第6顶部87连结起来的线段到第2凹部60的第3底部63的最长的厚度方向长度L7。

第4凹部80的深度L8是从将第7顶部88和第8顶部89连结起来的线段到第4凹部80的第4底部64的最长的厚度方向长度L8。

该电感器1的Q值的下限例如为30，优选为35，更优选为40。若Q值为上述下限以上，则成为损失的电阻成分较小，因此，电感变高。另一方面，电感器1的Q值的上限并没有特别限制，Q值优选较高。

接下来，说明该电感器1的制造方法的一个例子。

该电感器1的制造方法包括准备热压装置2的第1工序(参照图3)和利用热压装置2对磁性片8(后述)以及第1布线21和第2布线22进行热压的第2工序(参照图7)。

[第1工序]

如图3所示，在第1工序中，准备热压装置2。

热压装置2是能够对磁性片8以及第1布线21和第2布线22(参照图4)各向同性地进行热压(等静压施压)的等静压施压装置。该热压装置2包括第1模具3、第2模具4、内框构件5、外框构件81和流动性柔软片6。

此外，在该一个实施方式中，热压装置2构成为，第2模具4、内框构件5和外框构件81能够相对于第1模具3接近而进行施压(密合)。此外，第1模具3在热压装置2的施压方向上不动。

第1模具3具有大致板(plate)形状。第1模具3具有面向接下来说明的第2模具4的第1施压面61。第1施压面61沿与施压方向正交的方向(面方向)延伸。第1施压面61平坦。并且，第1模具3包含未图示的加热器。

第2模具4在第1工序中在施压方向上与第1模具3隔开间隔。第2模具4能够相对于第1模具3沿施压方向移动。第2模具4具有比第1模具3小的大致板(plate)形状。具体而言，第2模具4在沿施压方向投影时包含于第1模具3。详细而言，第2模具4在沿施压方向投影时与第1模具3的面方向中央部重叠。第2模具4具有面向第1模具3的第1施压面61的面方向中央部施压的第2施压面62。第2施压面62沿面方向延伸。第2施压面62与第1施压面61平行。另外，第2模具4包含未图示的加热器。

内框构件5包围第2模具4的周围。详细而言，内框构件5包围第2模具4的整个周围，该情况未图示。另外，内框构件5在第1工序中在施压方向上与第1模具3的周端部隔开间隔。也就是说，内框构件5在第1工序中在施压方向上与第1模具3的周端部隔开间隔地相对配置。内框构件5一体地具有面向第1施压面61的周端部的第3施压面98和朝向内侧的内侧面99。内框构件5能够相对于第1模具3和第2模具4这两者沿施压方向移动。

此外，在内框构件5与第2模具4之间设有未图示的密封构件。未图示的密封构件防止在内框构件5和第2模具4的相对移动过程中接下来说明的流动性柔软片6渗入内框构件5与第2模具4之间。

外框构件81包围内框构件5的周围。详细而言，外框构件81包围内框构件5的整个周围，该情况未图示。另外，外框构件81在第1工序中在施压方向上与第1模具3的周端部隔开间隔。也就是说，外框构件81在第1工序中在施压方向上与第1模具3的周端部隔开间隔地相对配置。外框构件81一体地具有面向第1施压面61的周端部的接触面82和朝向内侧的腔室内侧面83。外框构件81能够相对于第1模具3和内框构件5这两者沿施压方向移动。

另外，外框构件81具有排气口15。排气口15的排气方向上游侧端部面对腔室内侧面83的内端部。排气口15经由排气管线46与真空泵16连接。此外，在第1工序中，排气管线46被封闭。

另外，在外框构件81与内框构件5之间设有未图示的密封构件。未图示的密封构件防止在外框构件81和内框构件5的相对移动过程中第2密闭空间(后述)45与外部连通。

流动性柔软片6具有沿与施压方向正交的面方向延伸的大致板形状。流动性柔软片6配置于第2模具4的第2施压面62。另外，流动性柔软片6还配置于内框构件5的内侧面99。更具体而言，流动性柔软片6接触于第2施压面62的整个面和内侧面99的施压方向下游侧部分。此外，在流动性柔软片6与内框构件5的内侧面99之间设有未图示的密封构件。内框构件5能够相对于流动性柔软片6沿施压方向移动。

作为流动性柔软片6的材料，只要是在热压时能够表现出流动性和柔软性的材料就没有特别限定，例如，举出凝胶或软质弹性体。流动性柔软片6的材料可以是市售品，例如，举出αGEL系列(Taica Corporation制造)、Riken Elastomers系列(Riken technosCorporation制造)等。流动性柔软片6的厚度并不特别限定，具体而言，厚度的下限例如为1mm，优选为2mm，另外，厚度的上限例如为1000mm，优选为100mm。

热压装置2例如在日本特开2004-296746号公报等中有详细叙述。另外，对于热压装置2，能够使用市售品，例如，能够使用日机装公司制造的干式层压机(日文：ドライラミネータ)系列等。

[第2工序]

在第2工序中，如图7所示，利用热压装置2对磁性片8以及第1布线21和第2布线22进行热压。具体而言，第2工序包括第3工序、第4工序、第5工序和第6工序。在第2工序中，依次实施第3工序、第4工序、第5工序和第6工序。

[第3工序]

如图4所示，在第3工序中，首先，将第1脱模片14配置于第1模具3的第1施压面61。

第1脱模片14在沿厚度方向投影时比内框构件5小。

第1脱模片14例如朝向施压方向下游侧依次包括第1剥离薄膜11、缓冲薄膜12和第2剥离薄膜13。第1剥离薄膜11和第2剥离薄膜13的材料能够根据用途和目的而适当选择，例如，举出聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)等聚酯、例如聚甲基戊烯(TPX)、聚丙烯等聚烯烃等。第1剥离薄膜11的厚度和第2剥离薄膜13的厚度分别例如为1μm以上，另外例如为1000μm以下。缓冲薄膜12包含柔软层。柔软层在第2工序中的热压时沿面方向和厚度方向流动。作为柔软层的材料，举出通过后述的第2工序中的热压而在面方向和施压方向上流动的热流动材料。热流动材料例如包含烯烃-(甲基)丙烯酸酯共聚物(乙烯-(甲基)丙烯酸甲酯共聚物等)、烯烃-乙酸乙烯酯共聚物等作为主要成分。缓冲薄膜12的厚度例如为50μm以上，另外例如为500μm以下。缓冲薄膜12能够使用市售品，例如，能够使用脱模薄膜OT系列(积水化学工业公司制造)等。

此外，第1脱模片14能够包含第1剥离薄膜11和第2剥离薄膜13中的任一者以及缓冲薄膜12，或者也可以仅是缓冲薄膜12。

在将第1脱模片14配置于第1模具3之后，将磁性片8以及第1布线21和第2布线22以沿施压方向投影时与流动性柔软片6重叠的方式放置于第1脱模片14与第2脱模片7之间。

磁性片8包含用于形成第1磁性层31、第2磁性层51和第3磁性层71的3种磁性片。具体而言，磁性片8包含第1片65、第2片66和第3片67。第1片65是用于制作第1磁性层31的磁性片。第2片66是用于制作第2磁性层51的磁性片。第3片67是用于制作第3磁性层71的磁性片。第1片65、第2片66和第3片67分别为单个或多个。磁性片8由上述磁性组合物形成。此外，在形成磁性片8的磁性组合物中，热固性树脂为B阶。

具体而言，在第1片65为多个的情况下，在施压方向上依次层叠第3片67、一个第1片65、第1布线21和第2布线22、另一个第1片65、第2片66。此时，能够利用包括两个平行平板的平板压机将磁性片8相对于第1布线21和第2布线22临时固定，制作出层叠体48。

之后，将第2脱模片7配置于层叠体48(第3片67)。

第2脱模片7具有与第1脱模片14相同的层结构。例如，第1脱模片14在沿厚度方向投影时比内框构件5小。

[第4工序]

在第4工序中，如图4的箭头和图5所示，使外框构件81与第1模具3接触而形成减压空间85。

具体而言，将外框构件81相对于第1模具3的第1施压面61的周端部按压。由此，外框构件81的接触面82和第1模具3的第1施压面61的周端部相互呈密合状接触(密合)(优选为施压)。

减压空间85由外框构件81的腔室内侧面83、内框构件5的第3施压面98和内侧面99、流动性柔软片6的第2施压面62、以及第1模具3的第1施压面61划分出来。此外，划分出减压空间85的腔室内侧面83与第1模具3一起构成腔室装置。

外框构件81相对于第1模具3的压力被设定为能够通过上述接触面82与第1施压面61之间的密合来确保后述的减压空间85的气密性(不与外部连通)的程度，具体而言为0.1MPa以上且20MPa以下。

由此，在第1模具3、外框构件81和流动性柔软片6这三者之间形成有第1密闭空间84。第1密闭空间84相对于外部遮蔽。但是，排气管线46与第1密闭空间84连通。

另一方面，第2脱模片7和流动性柔软片6还在施压方向上隔开间隔。

接着，在第4工序中，对第1密闭空间84进行减压而形成减压空间85。

具体而言，驱动真空泵16，接着使排气管线46开放。由此，与排气口15相连通的第1密闭空间84被减压。由此，第1密闭空间84成为减压空间85。

减压空间85(或排气管线46)的压力的上限例如为100000Pa，优选为10000Pa，下限为1Pa。

[第5工序]

在第5工序中，如图5的箭头和图6所示，使内框构件5向第1模具3施压，形成第2密闭空间45。

具体而言，将内框构件5相对于第1模具3的第1施压面61的周端部按压。由此，内框构件5的第3施压面98和第1模具3的第1施压面61的周端部相互密合。

内框构件5相对于第1模具3的压力被设定为能够通过上述第3施压面98与第1施压面61之间的密合来防止后述的第6工序中的流动性柔软片6向外部漏出的程度，具体而言为0.1MPa以上且50MPa以下。

由此，在内框构件5的内侧形成有由第1模具3和流动性柔软片6在施压方向上围成的第2密闭空间45。第2密闭空间45与排气管线46之间的连通被内框构件5阻断。

第2密闭空间45具有与上述减压空间85相同的减压度(气压)。

此外，第2脱模片7和流动性柔软片6还在施压方向上隔开间隔。

[第6工序]

如图6的箭头和图7所示，在第6工序中，使第2模具4靠近第1模具3，隔着流动性柔软片6、第2脱模片7和第1脱模片14对磁性片8以及第1布线21和第2布线22进行热压。

首先，将第1模具3和第2模具4各自包含的加热器加热。接着，使第2模具4沿施压方向移动。于是，流动性柔软片6随着第2模具4的移动而靠近第2脱模片7。

于是，流动性柔软片6柔软地接触于第2脱模片7的施压方向上游侧面的除了周端部以外的整个面。此时，由于流动性柔软片6具有流动性和柔软性，因此，流动性柔软片6与第2脱模片7一起沿着第1布线21和第2布线22的形状变形。流动性柔软片6与第2脱模片7密合。

进一步使第2模具4朝向第1模具3热压。

热压的压力的下限例如为0.1MPa，优选为1MPa，更优选为2MPa，另外，上限例如为30MPa，优选为20MPa，更优选为10MPa。加热温度的下限例如为100℃，优选为110℃，更优选为130℃，另外，上限例如为200℃，优选为185℃，更优选为175℃。加热时间的下限例如为1分钟，优选为5分钟，更优选为10分钟，另外，上限例如为1小时，优选为30分钟。

于是，磁性片8以及第1布线21和第2布线22被从磁性片8的厚度方向和面方向的两侧以相等的压力施压。总之，磁性片8和第1布线21和第2布线22被等静压施压。

于是，磁性片8流动以埋设第1布线21和第2布线22。另外，磁性片8横跨相邻的第1布线21与第2布线22之间。

另外，磁性片8的周侧面52被流动性柔软片6和第2脱模片7从侧方(外侧)朝向内侧施压。因此，能够抑制磁性片8的周侧面52向外侧流出。

此外，上述磁性片8的流动起因于由第1模具3的加热器和第2模具4的加热器的加热引起的、B阶的热固性树脂的流动和根据需要调配的热塑性树脂的流动。

通过上述加热器的进一步的加热，从而热固性树脂成为C阶。也就是说，形成有含有磁性颗粒和热固性树脂的固化体(C阶体)第1磁性层31、第2磁性层51和第3磁性层71。

由此，制造出包括第1布线21和第2布线22、以横跨相邻的第1布线21与第2布线22之间的方式覆盖第1布线21和第2布线22的第1磁性层31、配置于第1磁性层31的第1面33的第2磁性层51以及配置于第1磁性层31的第2面34的第3磁性层71的电感器1。

如图8所示，之后，自热压装置2取出电感器1。接着，对电感器1进行外形加工。例如，在第2磁性层51和第1磁性层31的与第1布线21的长度方向的端部和第2布线22的长度方向的端部对应的部分形成通孔47。具体而言，通孔47是通过利用激光、穿孔机等去除所对应的第2磁性层51和第1磁性层31以及绝缘膜24而形成的。通孔47使导线23的一侧面26的一部分暴露。

之后，在通孔47配置未图示的导电构件等，借助该导电构件等和焊锡、焊锡膏、银膏等导电性连接材料将外部设备和导线23电连接起来。导电构件包含镀层。

之后，根据需要，在回流焊工序中，对导电构件和导电性连接材料进行回流焊。

[一个实施方式的作用效果]

该电感器1包括：第1磁性层31，其含有大致球形状的磁性颗粒；以及第2磁性层51和第3磁性层71，该第2磁性层51和第3磁性层71含有大致扁平形状的磁性颗粒。并且，第2磁性层51和第3磁性层71各自的相对磁导率高于第1磁性层31的相对磁导率。因此，该电感器1的电感较高，且直流叠加特性优异。

并且，由于第2磁性层51具有第1凹部57和第2凹部60，因此，在第2磁性层51的被第1凹部57和第2凹部60包围的区域中，大致扁平形状的磁性颗粒能够沿第1凹部57和第2凹部60高效地取向。另外，由于第3磁性层71具有第3凹部77和第4凹部80，因此，第3磁性层71的被第3凹部77和第4凹部80包围的区域中，大致扁平形状的磁性颗粒能够沿第3凹部77和第4凹部80高效地取向。因此，能够获得优异的Q值。

因而，该电感器的电感较高，且直流叠加特性优异，并且Q值也优异。

另外，若L1、L2和L3满足式(1)和式(2)，则能够使第1凹部57的深度L3相对于第1相对部55与第1布线21之间的长度L1和第2相对部56与第2布线22之间的长度L2而言足够深。因此，如图2所示，能够使第2磁性层51中的位于第1凹部57的附近的大致扁平形状的磁性颗粒相对于第1凹部57充分地取向。其结果，能够提高电感器1的Q值。

L3/L1≥0.2 (1)

L3/L2≥0.2 (2)

另外，若L4、L5和L6满足式(3)和式(3)，则能够使第3凹部77的深度L6相对于第5相对部75与第1布线21之间的长度L4和第6相对部76与第2布线22之间的长度L5而言足够深。因此，能够使第3磁性层71中的位于第3凹部77的附近的大致扁平形状的磁性颗粒相对于第3凹部77充分地取向。其结果，能够提高电感器1的Q值。

L6/L4≥0.2 (3)

L6/L5≥0.2 (4)

若L3和L7满足式(5)，则能够使第2凹部60的深度L7相对于第1凹部57的深度L3而言足够深。因此，如图2所示，能够使位于第1凹部57与第2凹部60之间的大致扁平形状的磁性颗粒沿着第1凹部57和较深地凹陷的第2凹部60充分地取向。其结果，能够提高电感器1的Q值。

L7/L3≥0.3 (5)

若L6和L8满足式(6)，则能够使第4凹部80的深度L8相对于第3凹部77的深度L6而言足够深。因此，如图2所示，能够使位于第3凹部77与第4凹部80之间的大致扁平形状的磁性颗粒沿着第3凹部77和较深地凹陷的第4凹部80充分地取向。其结果，能够提高电感器1的Q值。

L8/L6≥0.3 (6)

若L1和L9满足式(7)，则能够使第1相对部55与第1布线21之间的长度L1相对于第1布线21的厚度方向长度L9而言足够长。因此，能够维持电感器1的较高的电感，并且能够提高电感器1的Q值。

L1/L9≥0.1 (7)

若L2和L10满足式(8)，则能够使第2相对部56与第2布线22之间的长度L2相对于第2布线22的厚度方向长度L10而言足够长。因此，能够维持电感器1的较高的电感，并且能够提高电感器1的Q值。

L2/L10≥0.1 (8)

若L4和L9满足式(9)，则能够使第3相对部58与第1布线21之间的长度L4相对于第1布线21的长度L9而言足够长。因此，能够维持电感器1的较高的电感，并且能够提高电感器1的Q值。

L4/L9≥0.1 (9)

若L5和L10满足上述式，则能够使第4相对部59与第2布线22之间的长度L5相对于第2布线22的长度L10而言足够长。因此，能够维持电感器1的较高的电感，并且能够提高电感器1的Q值。

L5/L10≥0.1 (10)

＜一个实施方式的变形例＞

在以下的变形例中，对于与上述一个实施方式相同的构件和工序，标注相同的附图标记并省略其详细的说明。另外，变形例除了特别记载之外，能够起到与一个实施方式相同的作用效果。并且，能够适当组合一个实施方式和其变形例。

在一个实施方式中，对多个磁性片8一并进行热压，但也能够是，例如，对第1片65、第2片66和第3片67分别依次进行热压，该情况未图示。

另外，利用图3所示的热压装置2制造了该电感器1，但若能够在第2磁性层51形成第2凹部60且在第3磁性层71形成第4凹部80，则制造装置并不特别限定。

但是，平板压机无法形成上述第2凹部60和第4凹部80，而是使第4面54和第6面74分别平坦，因此，在本实施方式中，平板压机并不适合。

如图9所示，电感器1能够还包括不含有磁性颗粒的功能层95。功能层95包含配置于第2磁性层51的第4面54的第1功能层96和配置于第3磁性层71的第6面74的第2功能层97。第1功能层96和第2功能层97例如均是仅由树脂构成的树脂层。

第1功能层96的厚度方向一侧面和第2功能层97的厚度方向另一侧面均为平坦面。第1功能层96的厚度方向一侧面和/或第2功能层97的厚度方向另一侧面例如能够作为吸附(抽吸)式的拾取装置的拾取面来提供。

另外，功能层95也可以是抑制水和/或氧的透过的阻隔层。由此，能够利用阻隔层来抑制第2磁性层51和第3磁性层71腐蚀。

第1布线21和第2布线22分别例如也能够具有剖视时呈大致矩形的形状等在剖视时呈大致多边形的形状，该情况未图示。

实施例

以下示出调制例、实施例和比较例，进一步具体地说明本发明。此外，本发明并不限定于任何调制例、实施例和比较例。另外，在以下的记载中所使用的调配比例(含有比例)、物理性质值、参数等具体的数值可以替代上述的“具体实施方式”中所述的、与之相对应的调配比例(含有比例)、物理性质值、参数等相应记载的上限值(以“以下”、“小于”的方式来定义的数值)或下限值(以“以上”、“大于”的方式来定义的数值)。

调制例1

(粘结剂的调制)

将24.5质量份的环氧树脂(主剂)、24.5质量份的酚醛树脂(固化剂)、1质量份的咪唑化合物(固化促进剂)、50质量份的丙烯酸树脂(热塑性树脂)混合，调制出粘结剂。

实施例1

如图3所示，首先，作为上述热压装置2，准备了干式层压机(日机装公司制造)(实施第1工序)。

另外，以成为表1中记载的容积比例的方式对磁性颗粒和调制例1的粘结剂进行调配和混合，以成为表1中记载的磁性颗粒的种类、容积比例的方式分别制作第1片65、第2片66和第3片67(磁性片8)。

由上述磁性片8夹持L9为260μm的第1布线21和L10为260μm的第2布线22，利用平板压机制作了层叠体48。第1布线21与第2布线22之间的距离L0为240μm。平板压机的条件是：温度为110℃、1分钟、压力为0.9MPa(表压为2kN)。

之后，如图5所示，使外框构件81密合于第1模具3，形成了第1密闭空间84。接着，驱动真空泵16，对第1密闭空间84进行减压而形成减压空间85(第4工序)。减压空间85的气压为2666Pa(20torr)。

之后，如图6所示，使内框构件5向第1模具3施压，形成了比减压空间85小的2666Pa的第2密闭空间45(第5工序)。

之后，如图7所示，使第2模具4靠近第1模具3，隔着流动性柔软片6、第2脱模片7和第1脱模片14对磁性片8、第1布线21和第2布线22进行热压(第6工序)。热压的温度为170℃，时间为15分钟。热压的压力如表1所记载那样。

由此，制作出包括第1布线21和第2布线22、第1磁性层31、第2磁性层51和第3磁性层71的电感器1。

实施例2

将第1片65、第2片66和第3片67的厚度如表2那样变更，除此以外，与实施例1同样地进行处理，制作出电感器1。

比较例1

如表3所述那样，替代图3～图7所述的热压装置2，而使用平板压机装置，对第1片65、第2片66和第3片67进行热压，除此以外，与实施例1同样地进行处理，制作出电感器1。

评价

(截面观察和尺寸)

通过SEM截面观察，求出了各实施例的电感器1的各构件的剖视时的尺寸。将其结果记载于表4。

并且，观察了第2磁性层51和第3磁性层71的形状。在实施例1和实施例2中，第2磁性层51具有第2凹部60。第3磁性层71具有第4凹部80。

观察了比较例1的电感器1的形状。在比较例1的电感器1中，第2磁性层51不包括第2凹部60，第4面54为平坦。在比较例1的电感器1中，第3磁性层71不包括第4凹部80，第6面74为平坦。

＜电感＞

测量了各实施例和比较例中的电感器1的第1布线21和第2布线22的电感。根据以下的基准，评价了频率为10MHz时的电感。此外，在测量中，使用了阻抗分析仪(Agilent公司制造，“4291B”)。

[基准]

○：电感为250nH以上。

＜直流叠加特性＞

测量了各实施例和比较例中的电感器1的频率为10MHz时的电感下降率，并评价了直流叠加特性。此外，在电感下降率的测量中，使用了阻抗分析仪(桑木电子公司制造，“65120B”)。根据以下的基准，评价了电感下降率。

[未施加DC偏压电流的状态下的电感－施加了DC偏压电流10A的状态下的电感]/[施加了DC偏压电流10A的状态下的电感]×100(％)

[基准]

○：相对于比较例1的电感下降率为30％以下。

＜Q值＞

测量了各实施例和比较例中的电感器1的Q值。根据以下的基准，评价了Q值。此外，在测量中，使用了阻抗分析仪(Agilent公司制造，“4291B”)。

[基准]

○：Q值为30以上。

×：Q值小于30。

[表1]

[表2]

[表3]

[表4]

[表5]

此外，作为本发明的例示的实施方式提供了上述发明，但这仅是例示，并不能限定性地解释本发明。对于该技术领域的技术人员而言可明确的本发明的变形例包含于前述的权利要求书中。

产业上的可利用性

电感器用于各种用途。

附图标记说明

1、电感器；21、第1布线；22、第2布线；25、外周面；31、第1磁性层；32、内周面；33、第1面；34、第2面；51、第2磁性层；53、第3面；54、第4面；55、第1相对部；56、第2相对部；57、第1凹部；58、第3相对部；59、第4相对部；60、第2凹部；71、第3磁性层；73、第5面；74、第6面；75、第5相对部；76、第6相对部；77、第3凹部；78、第7相对部；79、第8相对部；80、第4凹部；L1、第1相对部与第1布线之间的长度；L2、第2相对部与第2布线之间的长度；L3、第1凹部的深度；L4、第5相对部与第1布线之间的长度；L5、第6相对部与第2布线之间的长度；L6、第3凹部的深度；L7、第2凹部的深度；L8、第4凹部的深度；L9、第1布线的长度；L10、第2布线的长度。

Claims (6)

1.一种电感器，其特征在于，

该电感器包括：

第1布线和第2布线，该第1布线和第2布线相互隔开间隔地相邻；

第1磁性层，其具有在面方向上连续的第1面、相对于所述第1面在厚度方向上隔开间隔且在所述面方向上连续的第2面、以及位于所述第1面与所述第2面之间且接触于所述第1布线的外周面和所述第2布线的外周面的内周面，该第1磁性层含有大致球形状的磁性颗粒和树脂；

第2磁性层，其具有与所述第1面接触的第3面和在厚度方向上与所述第3面隔开间隔的第4面，该第2磁性层含有大致扁平形状的磁性颗粒和树脂；以及

第3磁性层，其具有与所述第2面接触的第5面和在厚度方向上与所述第5面隔开间隔的第6面，该第3磁性层含有大致扁平形状的磁性颗粒和树脂，

所述第2磁性层和所述第3磁性层各自的相对磁导率高于所述第1磁性层的相对磁导率，

所述第3面在与所述第1布线在厚度方向上相对的第1相对部和与所述第2布线在厚度方向上相对的第2相对部之间具有从该第1相对部和该第2相对部凹陷的第1凹部，

所述第4面在与所述第1相对部在厚度方向上相对的第3相对部和与所述第2相对部在厚度方向上相对的第4相对部之间具有从该第3相对部和该第4相对部凹陷的第2凹部，

所述第5面在与所述第1布线在厚度方向上相对的第5相对部和与所述第2布线在厚度方向上相对的第6相对部之间具有从该第5相对部和该第6相对部凹陷的第3凹部，

所述第6面在与所述第5相对部在厚度方向上相对的第7相对部和与所述第2相对部在厚度方向上相对的第8相对部之间具有从该第7相对部和该第8相对部凹陷的第4凹部。

2.根据权利要求1所述的电感器，其特征在于，

所述第1相对部与所述第1布线之间的长度L1、所述第2相对部与所述第2布线之间的长度L2和所述第1凹部的深度L3满足下述式(1)和下述式(2)，

所述第5相对部与所述第1布线之间的长度L4、所述第6相对部与所述第2布线之间的长度L5和所述第3凹部的深度L6满足下述式(3)和下述式(4)，

L3/L1≥0.2 (1)

L3/L2≥0.2 (2)

L6/L4≥0.2 (3)

L6/L5≥0.2 (4)。

3.根据权利要求1所述的电感器，其特征在于，

所述第1凹部的深度L3和所述第2凹部的深度L7满足下述式(5)，所述第3凹部的深度L6和所述第4凹部的深度L8满足下述式(6)，

L7/L3≥0.3 (5)

L8/L6≥0.3 (6)。

4.根据权利要求1所述的电感器，其特征在于，

所述第1相对部与所述第1布线之间的长度L1和所述第1布线的厚度方向长度L9满足下述式(7)，

所述第2相对部与所述第2布线之间的长度L2和所述第2布线的厚度方向长度L10满足下述式(8)，

所述第3相对部与所述第1布线之间的长度L4和所述第1布线的所述长度L9满足下述式(9)，

所述第4相对部与所述第2布线之间的长度L5和所述第2布线的所述长度L10满足下述式(10)，

L1/L9≥0.1 (7)

L2/L10≥0.1 (8)

L4/L9≥0.1 (9)

L5/L10≥0.1 (10)。

5.根据权利要求2所述的电感器，其特征在于，

所述第1相对部与所述第1布线之间的长度L1和所述第1布线的厚度方向长度L9满足下述式(7)，

所述第2相对部与所述第2布线之间的长度L2和所述第2布线的厚度方向长度L10满足下述式(8)，

所述第3相对部与所述第1布线之间的长度L4和所述第1布线的所述长度L9满足下述式(9)，

所述第4相对部与所述第2布线之间的长度L5和所述第2布线的所述长度L10满足下述式(10)，

L1/L9≥0.1 (7)

L2/L10≥0.1 (8)

L4/L9≥0.1 (9)

L5/L10≥0.1 (10)。

6.根据权利要求3所述的电感器，其特征在于，

所述第1相对部与所述第1布线之间的长度L1和所述第1布线的厚度方向长度L9满足下述式(7)，

所述第2相对部与所述第2布线之间的长度L2和所述第2布线的厚度方向长度L10满足下述式(8)，

所述第3相对部与所述第1布线之间的长度L4和所述第1布线的所述长度L9满足下述式(9)，

所述第4相对部与所述第2布线之间的长度L5和所述第2布线的所述长度L10满足下述式(10)，

L1/L9≥0.1 (7)

L2/L10≥0.1 (8)

L4/L9≥0.1 (9)

L5/L10≥0.1 (10)。

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