CN114199903B - 热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆 - Google Patents
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- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 title claims abstract description 74
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 title claims abstract description 50
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 67
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims abstract description 67
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims abstract description 67
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 17
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 16
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 207
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 claims description 11
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 11
- 239000003292 glue Substances 0.000 claims description 10
- 238000009461 vacuum packaging Methods 0.000 claims description 8
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 7
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 6
- 230000009471 action Effects 0.000 description 4
- 238000011160 research Methods 0.000 description 4
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 3
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 3
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000000930 thermomechanical effect Effects 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000002524 electron diffraction data Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004627 transmission electron microscopy Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
- G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/20008—Constructional details of analysers, e.g. characterised by X-ray source, detector or optical system; Accessories therefor; Preparing specimens therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
- G01N23/20008—Constructional details of analysers, e.g. characterised by X-ray source, detector or optical system; Accessories therefor; Preparing specimens therefor
- G01N23/20025—Sample holders or supports therefor
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
本发明公开了一种热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆，包括：杆体，杆体内设有压电组件和倾转传动机构；样品部，样品部包括基座、倾转座和电路板，倾转座适于固定芯片样品，倾转座上设有标准样品基座，标准样品基座上设有标准样品压片，电路板上设有多个电极；钨针，钨针可沿杆体的轴向移动地且可拆卸地设在杆体上；驱动部，驱动部设在杆体上，驱动部上设有驱动装置和微分头，驱动装置通过倾转传动机构与倾转座传动连接以驱动倾转座转动，微分头通过压电组件与钨针传动连接。根据本发明实施例的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆具有适用于不同样品、能够满足不同实验要求等优点。
Description
技术领域
本发明涉及透射电镜实验领域，具体而言，涉及一种热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆。
背景技术
材料的宏观性能取决于材料的微观组织结构，透射电子显微镜是表征研究材料微观组织结构的核心设备。样品杆用于承载待检测的透射电镜样品，是透射电镜的关键部件之一。
相关技术中的样品杆，其功能单一，进行不同实验需要购置不同的样品杆，难以满足不同的实验研究需要，而且样品杆的价格昂贵，进行不同实验需要的总成本较高。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆，该热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆具有适用于不同样品、能够满足不同实验要求等优点。
为实现上述目的，根据本发明的实施例提出一种热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆，所述热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆包括：杆体，所述杆体内设有压电组件和倾转传动机构；样品部，所述样品部包括基座、倾转座和电路板，所述基座安装在所述杆体上，所述基座具有两个沿所述杆体轴向延伸的平行段和连接两个平行段的连接段，每个所述平行段上设有转轴，所述倾转座可转动地设在两个所述转轴上，所述倾转座适于固定芯片样品，所述倾转座上可拆卸地设有标准样品基座，所述标准样品基座上设有标准样品压片，所述电路板安装在所述倾转座上，所述电路板上设有多个电极，所述电极在适于贴合样品的贴合位置和脱离样品的脱离位置之间可移动地设在所述电路板上；钨针，所述钨针可沿所述杆体的轴向移动地且可拆卸地设在所述杆体上，所述压电组件与所述钨针相连以驱动所述钨针；驱动部，所述驱动部设在所述杆体上，所述驱动部上设有驱动装置和微分头，所述驱动装置通过所述倾转传动机构与所述倾转座传动连接以驱动所述倾转座转动，所述微分头通过所述压电组件与所述钨针传动连接以驱动所述钨针，所述压电组件用于在纳米量级驱动所述钨针，所述微分头用于在微米和毫米量级驱动所述钨针。
根据本发明实施例的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆，具有适用于不同样品、能够满足不同实验要求等优点。
另外，根据本发明上述实施例的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆还可以具有如下附加的技术特征：
根据本发明的一个实施例，所述倾转座上设有用于避让所述钨针的避让槽。
根据本发明的一个实施例，所述标准样品基座和所述标准样品压片上设有用于避让所述钨针的避让槽。
根据本发明的一个实施例，所述电极为钨针电极或晶圆探针电极，所述电极通过可调的螺纹紧固件安装在所述电路板上，所述电极与所述电路板之间设有压簧。
根据本发明的一个实施例，所述基座可拆卸地安装在所述杆体上。
根据本发明的一个实施例，所述基座上设有复位扭簧，所述复位扭簧与所述倾转座相连。
根据本发明的一个实施例，所述驱动装置包括电机、丝杠、主动齿轮和从动齿轮，所述电机设在所述驱动部内，所述主动齿轮设在所述电机的电机轴上，所述从动齿轮设在所述丝杠上且与所述主动齿轮啮合，所述丝杠适于将沿轴线的转动转化为沿轴向的移动，所述丝杠与通过所述倾转传动机构与所述倾转座传动连接。
根据本发明的一个实施例，所述杆体内具有真空封装槽，所述真空封装槽内设有插头、绝缘导线组、真空绝缘胶、密封圈，所述真空绝缘胶设在所述插头外，所述密封圈设在所述真空绝缘胶外。
根据本发明的一个实施例，所述倾转传动机构具有外套杆段，所述压电组件具有内套杆段，所述外套杆段沿所述杆体的轴向移动地配合在所述杆体内，所述内套杆段沿所述杆体的轴向可移动地配合在所述外套杆段内。
根据本发明的一个实施例，所述外套杆段与所述杆体之间配合有密封圈。
本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
图1是根据本发明实施例的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆的结构示意图。
图2是根据本发明实施例的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆的局部结构示意图，其中样品为标准样品。
图3是根据本发明实施例的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆的局部结构示意图，其中样品为芯片样品。
图4是根据本发明实施例的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆的局部结构示意图。
图5是根据本发明实施例的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆的局部结构示意图。
图6是根据本发明实施例的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆的局部结构示意图。
附图标记：热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆1、杆体100、压电组件110、倾转传动机构120、真空封装槽130、插头131、绝缘导线组132、真空绝缘胶133、密封圈134、样品部200、基座210、转轴211、复位扭簧212、连接螺钉213、倾转座220、标准样品基座221、标准样品压片222、电路板230、钨针300、驱动部400、电机410、编码器411、丝杠420、主动齿轮430、从动齿轮440、微分头450、电连接头460、标准样品2、芯片样品3。
具体实施方式
本申请是基于发明人对以下事实和问题的发现和认识作出的：
根据倾转方式样品杆分为单倾样品杆和双倾样品杆。沿样品杆轴线的旋转为X轴倾转，一般通过透射电镜的测角台带动样品杆杆体的轴向旋转来实现；垂直于杆轴和电子束入射方向的旋转为Y轴倾转，一般通过样品杆杆体前端的样品载台的自身倾转来实现；只能沿X轴倾转的为单倾样品杆，同时能沿X轴和Y轴倾转的为双倾样品杆。由于单倾样品杆通常不能实现电子束沿正带轴入射，所以一般不能得到正带轴的电子衍射花样和高质量的高分辨图像，所以很多情况下透射电镜的强大功能难以发挥。双倾样品杆则可以通过X轴与Y轴的倾转非常轻松的实现电子束的正带轴入射，从而方便的对样品进行特定取向的观察与晶体结构的表征。双倾样品杆样品载台的自身倾转需要样品杆杆体后端外部的马达驱动和样品杆杆体内部传动部件的直接驱动，其设计、加工与装配制造不仅要实现流畅的驱动与传动，而且要同时实现真空封装、无磁、无振动、良好稳定性和高可靠性等等，因此双倾样品杆结构非常复杂，一般都至少由几十个高精度的零件装配而成，而且由于空间尺寸狭小受限，因此很多零件也都特别微小、精密、结构复杂。
随着材料科学研究的不断深入，对基于透射电镜的材料微观组织结构观察与表征提出了更高的要求，需要在对样品进行双倾观测的同时，原位对样品施加各种各样的外场，包括：热、冷、电、力、气、液等等各种外场环境，这些外场环境一般都需要样品杆来提供，因此此类样品杆又称为原位单倾样品杆或原位双倾样品杆。根据原位功能的不同，样品杆又分为：热杆、冷杆、电学杆、力学杆、热电一体杆、气体杆、液体杆，等等。
透射电镜样品杆价格昂贵，常规的双倾样品杆一般只适用于直径3mm的常规样品，价格大约在20万左右，原位双倾样品杆一般只适用于直径3mm的常规样品，或者是只适用于芯片样品等特定尺寸的样品，价格一般在几十万、近百万，甚至几百万。因此常规双倾样品杆和原位双倾样品杆一般存在如下不足：(1)原位样品杆的功能比较单一化，其功能一般只能是上述原位样品杆中的一种或两种；(2)加电方式单一，要么匹配适用常规样品。例如FIB(聚焦离子束)制备的金手指样品，采用探针电极趋近或者接触的方式加电，要么匹配适用芯片类样品，利用FIB把样品永久性的焊接在芯片两个电极之间的方法加电；(3)Y轴倾转角度太小或只能沿Y轴正反方向中的一个方向倾转。不同用户对透射电镜原位实验研究的要求千差万别，如果同一个原位样品杆同时兼具多种功能，同时兼容常规样品和芯片样品，而且Y轴正反方向倾转不受限，那么将给材料微观组织结构的原位表征带来极大的便利，从而满足不同的实验研究需要。
下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
下面参考附图描述根据本发明实施例的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆1。
如图1-图6所示，根据本发明实施例的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆1包括杆体100、样品部200、钨针300和驱动部400。
杆体100内设有压电组件110和倾转传动机构120。
样品部200包括基座210、倾转座220和电路板230，基座210安装在杆体100上，基座210具有两个沿杆体100轴向延伸的平行段和连接两个平行段的连接段，每个所述平行段上设有转轴211，倾转座220可转动地设在两个转轴211上。
具体而言，杆体100可以沿自身的中心轴线转动，以带动样品部200上的基座210、倾转座220和样品沿杆体100的中心轴线转动。同时，倾转座220可以沿转轴211翻转，实现沿垂直于杆体100轴向的轴线转动。由此可以实现样品在两个自由度上的倾转，实现双倾转功能，便于将样品调节至合适的角度，满足不同的入射角度要求。
倾转座220适于固定芯片样品3，倾转座220上可拆卸地设有标准样品基座221，标准样品基座221上设有标准样品压片222，标准样品基座221和标准样品压片222适于固定标准样品2。
具体而言，在需要固定标准样品2时，如图2所示，标准样品2可以夹持在标准样品基座221和标准样品压片222之间。在需要固定芯片样品3时，可以将标准样品基座221和标准样品压片222从倾转座220上拆卸下来，直接将芯片样品3固定在倾转座220上。这样可以实现对于不同种类样品的固定，满足对于不同样品的实验需求。
电路板230安装在倾转座220上，电路板230上设有多个电极，所述电极在适于贴合样品的贴合位置和脱离样品的脱离位置之间可移动地设在电路板230上。钨针300可沿杆体100的轴向移动地且可拆卸地设在杆体100上。
具体而言，这样可以通过控制所述电极和钨针300与样品的接触方式控制对样品的加电方式，实现不同的电学或热学实验的加电方式，以满足不同的实验需求。
压电组件110与钨针300相连以驱动钨针300。驱动部400设在杆体100上，驱动部400上设有驱动装置和微分头450，所述驱动装置通过倾转传动机构120与倾转座220传动连接以驱动倾转座220转动，微分头450通过压电组件110与钨针300传动连接以驱动钨针300，压电组件110用于在纳米量级驱动钨针300，微分头450用于在微米和毫米量级驱动钨针300。
具体而言，压电组件110通过压电驱动原理对钨针300进行驱动。
这样不仅可以实现对倾转座220和钨针300的驱动，而且可以利用压电驱动通过钨针300对样品施力，满足力学实验要求。换言之，钨针300不仅可以用于对样品进行加电，而且可以用于对样品施力。
进一步地，在不需要钨针300时，也可以将钨针300拆卸下来，仅利用电路板230上的电极对样品加电。
综上所述，根据本发明实施例的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆1，具有双倾功能、能够适用于不同样品、能够满足不同的实验要求，大大降低进行不同实验时的总体成本。
因此，根据本发明实施例的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆1具有适用于不同样品、能够满足不同实验要求等优点。
下面参考附图描述根据本发明具体实施例的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆1。
在本发明的一些具体实施例中，如图1-图6所示，根据本发明实施例的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆1包括杆体100、样品部200、钨针300和驱动部400。
有利地，如图2和图3所示，倾转座220上设有用于避让钨针300的避让槽。这样可以避免钨针300干涉倾转座220的转动，使倾转座220在正反两个转动方向上均能够灵活转动。
更为有利地，如图2所示，标准样品基座221和标准样品压片222上设有用于避让钨针300的避让槽。这样可以避免钨针300和标准样品基座221及标准样品压片222的干涉影响倾转座220的转动，使固定标准样品2时倾转座220在正反两个转动方向上均能够灵活转动。
本领域的技术人员可以理解的是，样品上也可以根据实际需要设置避让槽。
当然，在不利用钨针300进行加电时，可以将钨针300拆卸下来，此时不需要额外设置避让槽。
可选地，如图2和图3所示，所述电极为钨针电极或晶圆探针电极，所述电极通过可调的螺纹紧固件安装在所述电路板上，所述电极与电路板230之间设有压簧。这样可使电极与样品之间实现弹性接触，不仅保证了电极与样品的充分接触，而且避免了电极滑动对样品的损伤。
具体地，如图2和图3所示，基座210可拆卸地安装在杆体100上。具体而言，基座210通过连接螺钉213可拆卸地安装在杆体100。这样可以根据实际需要对样品部200进行更换，进一步满足实验对不同结构和不同功能的需求。
更为具体地，如图2和图3所示，基座210上设有复位扭簧212，复位扭簧212与倾转座220相连。具体而言，所述驱动装置能够通过倾转传动机构120驱动倾转座220克服复位扭簧212的弹力转动，当所述驱动装置复位时，倾转座220能够在复位扭簧212的弹力作用下复位。这样可以便于倾转座220的复位。
图4示出了根据本发明一个具体示例的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆1。如图4所示，所述驱动装置包括电机410、丝杠420、主动齿轮430和从动齿轮440，电机410设在驱动部400内，主动齿轮430设在电机410的电机轴上，从动齿轮440设在丝杠420上且与主动齿轮430啮合，丝杠420适于将沿轴线的转动转化为沿轴向的移动，丝杠420与通过倾转传动机构120与倾转座220传动连接。具体而言，电机410上连接有编码器411。驱动部400上设有用于供电的电连接头460。这样可以实现对倾转座220的驱动。
图1、图4和图5示出了根据本发明一个具体示例的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆1。如图1、图4和图5所示，杆体100内具有真空封装槽130，真空封装槽130内设有插头131、绝缘导线组132、真空绝缘胶133、密封圈134，真空绝缘胶133设在插头131外，密封圈134设在真空绝缘胶133外。具体而言，插头131为航空插头。绝缘导线组包括12根导线。这样可以保证杆体100内的绝缘性和密封性。
具体地，如图4所示，倾转传动机构120具有外套杆段，压电组件110具有内套杆段，所述外套杆段沿杆体100的轴向移动地配合在杆体100内，所述内套杆段沿所述杆体的轴向可移动地配合在所述外套杆段内。具体而言，杆体100内可以设有走线槽。这样可以便于倾转传动机构120和压电组件110的轴向移动，使外套杆段和内套杆段可在杆体100内部沿轴向同轴伸缩。
更为具体地，如图5所示，所述外套杆段与杆体100之间配合有密封圈134。这样可以进一步提高杆体100内的密封性。
具体而言，密封圈134可以为橡胶圈。
可选地，芯片样品3可以是加热型芯片、电学芯片或热电一体芯片。
具体而言，样品部200和驱动部400分别位于杆体100的两端。
标准样品压片222和标准样品基座221可以通过定位螺钉安装在倾转座220上。
对于不同样品的加电方式，举例而言，芯片样品3和标准样品2可以采用两种不同的加电方式：芯片样品3可以利用FIB(聚焦离子束)把样品永久性的焊接在芯片两个电极之间的方法加电，标准样品2可以采用钨针300趋近或者接触的方式加电。
下面参考附图描述根据本发明实施例的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆1的操作方法。
首先根据样品类型确定样品装载方式，对于芯片样品3，直接将芯片样品3装载于倾转座220上，对于标准样品2首先加装标准样品基座221和标准样品压片222，将标准样品2装载于标准样品基座221上。
随后利用微分头450宏观调整压电组件110、钨针300和样品的轴向相对位置，使两者相互靠近至适当距离，然后即可将样品杆插入电镜内部。
实验开始后，首先利用双倾功能把目标样品倾转至特定取向，随后在电子束照明观察监控的条件下，通过压电驱动使钨针300在纳米量级的范围内趋近、接触或离开目标样品，完成各种原位功能性透射电镜实验。
以钨针电路板为例描述根据本发明的一些具体实施例。
下面描述根据本发明的一个具体实施例。
标准样品基座221、标准样品压片222装配固定在倾转座220上，松开电路板230上的可调节的所述螺纹紧固件，在所述压簧作用下电路板230及其上的4个钨针电极同时处于升起状态。
选择FIB金手指的标准样品2作为实验样品，将其装载在标准样品基座221上，并用标准样品压片222压紧。
用绝缘导线连接标准样品压片222上的定位螺钉和电路板230上与之最近的钨针电极，作为样品加电的第一极，钨针300作为样品加电的第二极；随后利用微分头450宏观调整压电组件110、钨针300和样品的轴向相对位置，使两者相互靠近至适当距离，然后即可插入电镜内部。
实验开始后，首先利用双倾功能把目标样品倾转至特定取向，随后在电子束照明观察监控的条件下，通过压电驱动使钨针300在纳米量级的范围内趋近、接触或离开目标样品，然后利用外部的电源与控制系统完成常规样品的电学原位透射电镜实验。
下面描述根据本发明的另一个具体实施例。
选择设有避让槽的芯片样品3作为实验样品，拆掉标准样品基座221和标准样品压片222，松开电路板230上的可调节的所述螺纹紧固件，在弹簧作用下电路板230及其上的4个钨针电极同时升起。
将芯片样品3直接装载于倾转座220的矩形槽内定位，并拧紧电路板230上的所述螺纹紧固件，此时电路板230降下，其上面的4根钨针电极随即压在芯片样品3上，其中的2根钨针电极压在芯片样品3上对应的2个特定电极上用于对样品加热，其中的1根钨针电极压在样品对应的电极上作为样品加电的第一极，钨针300作为样品加电的第二极，另外1根电路板230上的钨针电极压在芯片样品3的绝缘层上或者不给该钨针电极供电；随后利用微分头450宏观调整压电组件110、钨针300和样品的轴向相对位置，使两者相互靠近至适当距离，然后即可插入电镜内部。
实验开始后，首先利用双倾功能把目标样品倾转至特定取向，随后在电子束照明观察监控的条件下，通过压电驱动使钨针300在纳米量级的范围内趋近、接触或离开目标样品，然后利用外部的电源与控制系统完成热电一体原位透射电镜实验。
下面描述根据本发明的另一个具体实施例。
选择一端开口的芯片样品3作为实验样品，拆掉标准样品基座221和标准样品压片222，如果拆掉钨针300，芯片样品3也可以是不开口的，松开电路板230上的可调节的所述螺纹紧固件，在弹簧作用下电路板230及其上的4根钨针电极同时升起。
将芯片样品3直接装载于倾转座220的矩形槽内定位，并拧紧电路板230上的所述螺纹紧固件，此时电路板230降下，其上面的4根钨针随即压在芯片样品3的4个电极上，并压紧形成弹性电接触。芯片样品3为4电极热电一体芯片，其中2个电极用于加热，2个电极用于加电；然后即可插入电镜内部，利用外部的电源与控制系统完成热电一体原位透射电镜实验。
根据本发明实施例的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆1的其他构成以及操作对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。
Claims (8)
1.一种热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆，其特征在于，包括：
杆体，所述杆体内设有压电组件和倾转传动机构；
样品部，所述样品部包括基座、倾转座和电路板，所述基座安装在所述杆体上，所述基座具有两个沿所述杆体轴向延伸的平行段和连接两个平行段的连接段，每个所述平行段上设有转轴，所述倾转座可转动地设在两个所述转轴上，所述倾转座适于固定芯片样品，所述倾转座上可拆卸地设有标准样品基座，所述标准样品基座上设有标准样品压片，所述电路板安装在所述倾转座上，所述电路板上设有多个电极，所述电极在适于贴合样品的贴合位置和脱离样品的脱离位置之间可移动地设在所述电路板上；
钨针，所述钨针可沿所述杆体的轴向移动地且可拆卸地设在所述杆体上，所述压电组件与所述钨针相连以驱动所述钨针；
驱动部，所述驱动部设在所述杆体上，所述驱动部上设有驱动装置和微分头，所述驱动装置通过所述倾转传动机构与所述倾转座传动连接以驱动所述倾转座转动，所述微分头通过所述压电组件与所述钨针传动连接以驱动所述钨针，所述压电组件用于在纳米量级驱动所述钨针，所述微分头用于在微米和毫米量级驱动所述钨针，所述基座上设有复位扭簧，所述复位扭簧与所述倾转座相连，所述驱动装置包括电机、丝杠、主动齿轮和从动齿轮，所述电机设在所述驱动部内，所述主动齿轮设在所述电机的电机轴上，所述从动齿轮设在所述丝杠上且与所述主动齿轮啮合，所述丝杠适于将沿轴线的转动转化为沿轴向的移动，所述丝杠与通过所述倾转传动机构与所述倾转座传动连接。
2.根据权利要求1所述的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆，其特征在于，所述倾转座上设有用于避让所述钨针的避让槽。
3.根据权利要求1所述的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆，其特征在于，所述标准样品基座和所述标准样品压片上设有用于避让所述钨针的避让槽。
4.根据权利要求1所述的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆，其特征在于，所述电极为钨针电极或晶圆探针电极，所述电极通过可调的螺纹紧固件安装在所述电路板上，所述电极与所述电路板之间设有压簧。
5.根据权利要求1所述的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆，其特征在于，所述基座可拆卸地安装在所述杆体上。
6.根据权利要求1所述的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆，其特征在于，所述杆体内具有真空封装槽，所述真空封装槽内设有插头、绝缘导线组、真空绝缘胶、密封圈，所述真空绝缘胶设在所述插头外，所述密封圈设在所述真空绝缘胶外。
7.根据权利要求1所述的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆，其特征在于，所述倾转传动机构具有外套杆段，所述压电组件具有内套杆段，所述外套杆段沿所述杆体的轴向移动地配合在所述杆体内，所述内套杆段沿所述杆体的轴向可移动地配合在所述外套杆段内。
8.根据权利要求7所述的热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆，其特征在于，所述外套杆段与所述杆体之间配合有密封圈。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202111250037.6A CN114199903B (zh) | 2021-10-26 | 2021-10-26 | 热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202111250037.6A CN114199903B (zh) | 2021-10-26 | 2021-10-26 | 热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN114199903A CN114199903A (zh) | 2022-03-18 |
| CN114199903B true CN114199903B (zh) | 2024-04-05 |
Family
ID=80646362
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202111250037.6A Active CN114199903B (zh) | 2021-10-26 | 2021-10-26 | 热电力学一体化的透射电镜双倾原位样品杆 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN114199903B (zh) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114813795A (zh) * | 2022-05-06 | 2022-07-29 | 南开大学 | 一种应用于电池材料研究的透射电镜双倾原位样品杆 |
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| CN112834539A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-05-25 | 厦门超新芯科技有限公司 | 一种透射电镜力电热原位样品杆 |
-
2021
- 2021-10-26 CN CN202111250037.6A patent/CN114199903B/zh active Active
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| Title |
|---|
| 透射电子显微镜原位磁场双倾样品杆的研制;杨新安 等;电子显微学报;第32卷(第05期);第416-419页 * |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN114199903A (zh) | 2022-03-18 |
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
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