CN114171472B - 横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管及其制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管及其制造方法，利用接触蚀刻停止层做为端点对层间电介质层进行化学机械抛光工艺平坦化；利用化学气相沉积工艺沉积附加的层间介电层；用掩模在多晶硅栅极和漏极延伸区域上方的层间电介质层中打开缺口空间；沉积低电阻率金属在填充层间电介质层中打开的缺口空间获得栅极接触插塞和漏极延伸区域接触插塞。本发明提供的横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管具有完全耗尽的绝缘体上硅横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管的功率放大器通常由于热传导问题而遭遇稳定性和可靠性问题。
Description
技术领域
本申请属于半导体制造的技术领域，更具体地，本申请涉及绝缘体上硅的横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管及其制造方法。
背景技术
由于无线通信部门的蓬勃发展，射频应用的市场需求越来越大。射频绝缘体上硅工艺在这个快节奏的领域中发挥着越来越重要的作用。无线通信应用中的关键模块之一是前端模块。由于通信协议变得更加复杂，前端模块市场规模一直在增大。在无线前端模块中，有三个组件处于天线和收发器之间的关键路径上。这三个组件分别为射频开关，低噪声放大器和功率放大器。 射频绝缘体上硅工艺已经拥有超过90％的射频开关市场。利用射频绝缘体上硅工艺制造的低噪声放大器在商业通信市场中也稳健地占有一席之地。然而，功率放大器仍然是射频绝缘体上硅工艺需要攻克的最后一个同时也是更重要的前端部件。
图1〜图3示出了制造横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管常规工艺的横截面视图。如图1所示，半导体衬底100上由隔离带105分成各个有源区。隔离带105可以是PN结，浅沟槽隔离（STI）或硅的局部氧化（LOCOS）。硅化物在绝缘栅极电介质层115上形成MOS器件多晶硅栅极110。绝缘栅极电介质层115通常是热生长二氧化硅。从顶部将杂质注入到半导体衬底中产生轻掺杂的扩展区。使用栅极作为自对准掩模来产生轻掺杂扩展区域120，以确保连接到栅极下方的沟道区域。通过低压化学气相沉积（LPCVD），在多晶硅栅极110的侧壁上形成间隔物125。
随后是反应离子蚀刻（RIE）。利用漏极侧间隔物来对准，使用一个附加掩模来选择性地植入高电压操作的漏极延伸区域130。如图2所示，源极200通过使用源极间隔物作为掩模从顶部注入杂质到半导体衬底中而形成。同时在多晶硅栅极110的漏极延伸区域130的远端也产生漏极区域205。如图3所示，为了完成后端互连，先沉积层间电介质（ILD）300，然后使用化学机械抛光（CMP）工艺平坦化。使用接触掩模来开孔，然后沉积钨接触插塞305，随后是另一次化学机械抛光平坦化工艺。沉积金属层，然后使用金属层掩模蚀刻，这样第一金属层互连就完成了。这种后端处理通常重复以创建多层互连。
常规的横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管面临着无线通信应用的多重挑战，包括绝缘体上硅工艺中的击穿电压、增益和散热。
发明内容
本发明旨在针对现有横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管存在的热传导问题，提供一种横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管和制备方法。具体实现方案如下。
横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管，包括：半导体衬底和隔离带，所述隔离带限定半导体衬底的有源区域，所述有源区域上方设置绝缘栅极介电层，所述绝缘栅极介电层上形成多晶硅栅极；
所述有源区域的表面设置源极区域和漏极延伸区域，所述源极区域和漏极延伸区域分布在所述多晶硅栅极的相对侧上；在所述漏极延伸区域远离多晶硅栅极的一侧设置漏极区域，漏极延伸区域与漏极区域相邻；
除去多晶硅栅极的顶部，所述绝缘栅极介电层的上部设置接触蚀刻停止层，所述接触蚀刻停止层上部设置层间电介质层；
漏极区域顶部设置与其电连接的漏极接触插塞；源极区域顶部设置与其电连接的源极接触插塞；
多晶硅栅极的顶部设置第一金属片，所述第一金属片与多晶硅栅极接触，在漏极延伸区域的顶部设置第二金属片；
多晶硅栅极上方形成与所述第一金属片接触的栅极接触插塞；漏极延伸区域上方形成与所述第二金属片接触的漏极延伸区域接触插塞；
漏极接触插塞和源极接触插塞都穿过层间电介质层、接触蚀刻停止层和绝缘栅极介电层；
栅极接触插塞和漏极延伸区域接触插塞都穿过层间电介质层。
进一步地，有源区域通过掩埋的氧化硅层与半导体衬底分离。
第二方面，本发明提供横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管的制备工艺，其特征在于，所述横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管为以上技术方案任意一种可能的实施方式所提供的晶体管；所述制备工艺包括：包括:
步骤一、通过热生长二氧化硅方式在半导体衬底上形成绝缘栅极介电层；在绝缘栅极介电层绝上形成多晶硅栅极；从顶部将杂质注入到半导体衬底中产生轻掺杂的扩展区；
采用反应离子蚀刻工艺，利用多晶硅栅极侧间隔物来对准，使用一个附加掩模来选择性地植入高电压操作的漏极延伸区域；通过使用源极间隔物作为掩模从顶部注入杂质到半导体衬底中形成源极；在多晶硅栅极的漏极延伸区域的远端也产生漏极区域；
沉积接触蚀刻停止层；随后沉积层间电介质层，层间电介质层的厚度比刻蚀停止层厚；
步骤二、利用接触蚀刻停止层做为端点对层间电介质层进行化学机械抛光工艺平坦化；利用化学气相沉积工艺沉积附加的层间介电层；
步骤三、用掩模在多晶硅栅极和漏极延伸区域上方的层间电介质层中打开缺口空间；沉积低电阻率金属在填充层间电介质层中打开的缺口空间获得栅极接触插塞和漏极延伸区域接触插塞；
在漏极区域和源极区域上方使用接触掩模来开孔，然后沉积钨接触插塞；
步骤四、应用化学机械抛光工艺来平面化和去除层间电介质之上的金属；进行后端互连处理。
本发明所取得的有益技术效果：本发明提供的横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管具有完全耗尽的绝缘体上硅横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管的功率放大器通常由于热传导问题而遭遇稳定性和可靠性问题。本发明的LDMOS结构在工作期间产生大多数热量的漏极延伸区域上方集成了理想的热导管。在本发明中引入的金属片都会使用高导热性和低电阻率金属材料。
本发明不仅提高了LDMOS 射频性能并减轻了散热问题，而且以最小的额外工艺复杂度实现了目标。
附图说明
图1为现有横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管常规工艺步骤一后的横截面视图；
图2为现有横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管常规工艺步骤二后的横截面视图；
图3为现有横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管常规工艺步骤三后的横截面视图；
图4为本发明具体实施例提供的工艺中步骤一后的横截面图结构示意图；
图5为本发明具体实施例提供的工艺中步骤二后的横截面图结构示意图；
图6为本发明具体实施例提供的工艺中步骤三后的横截面图结构示意图；
图7为本发明具体实施例提供的工艺中步骤四后的横截面图结构示意图。
具体实施方式
在下文中，将参考附图详细讨论绝金属氧化物半导体晶体管低电阻低电容和高可靠性的掺杂方法的实施例。然而，应当理解，所提供的附图仅仅是优选实施例。本发明提供了许多可应用于各种半导体器件制造工艺的发明概念。所讨论的具体实施例仅用于说明，并不以任何方式限制本公开的范围。
实施例：如图7所示，横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管，包括：半导体衬底400和隔离带，所述隔离带限定半导体衬底405的有源区域，所述有源区域上方设置绝缘栅极介电层415，所述绝缘栅极介电层415上形成多晶硅栅极410；
所述有源区域的表面设置源极区域600和漏极延伸区域425，所述源极区域600和漏极延伸区域425分布在所述多晶硅栅极410的相对侧上；在所述漏极延伸区域425远离多晶硅栅极410的一侧设置漏极区域605，漏极延伸区域425与漏极区域605相邻；
除去多晶硅栅极410的顶部位置，所述绝缘栅极介电层415的上部其他位置设置接触蚀刻停止层430，所述接触蚀刻停止层430上部设置层间电介质层435；
漏极区域605顶部设置与其电连接的漏极接触插塞；源极区域600顶部设置与其电连接的源极接触插塞；
多晶硅栅极410的顶部设置第一金属片700，所述第一金属片700与多晶硅栅极410接触，在漏极延伸区域425的顶部设置第二金属片705；
多晶硅栅极410上方形成与所述第一金属片700接触的栅极接触插塞；漏极延伸区域425上方形成与所述第二金属片705接触的漏极延伸区域接触插塞；
漏极接触插塞和源极接触插塞都穿过层间电介质层500、接触蚀刻停止层430和绝缘栅极介电层415；
栅极接触插塞和漏极延伸区域接触插塞都穿过层间电介质层500。
所述横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管的制备工艺包括：如图4所示，步骤一、有源区域通过掩埋的氧化硅层405与半导体衬底400分离。在绝缘栅极介电层415上的多晶硅栅极410是横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管栅极。绝缘栅极介电层415通常是热生长二氧化硅。从顶部将杂质注入到半导体衬底中产生轻掺杂扩展区域 420；采用反应离子蚀刻工艺，利用多晶硅栅极侧间隔物来对准，使用一个附加掩模来选择性地植入高电压操作的漏极延伸区域425。
通过使用源极间隔物作为掩模从顶部注入杂质到半导体衬底400中形成源极区域600；在多晶硅栅极410的漏极延伸区425域的远端也产生漏极区域605；
在轻掺杂扩展区域 420和漏极延伸区域425植入完成之后，沉积接触蚀刻停止层（CESL）430，随后是沉积厚的层间电介质层435。
如图5所示，步骤二、利用接触蚀刻停止层430做为端点对层间电介质层435进行化学机械抛光工艺平坦化。然后用化学气相沉积（CVD）工艺沉积附加的层间介电层500。 附加的层间电介质层500的厚度用于确定随后的栅极金属厚度。 CMP和CVD工艺步骤允许在多晶硅栅极410上精确地对最终金属片进行厚度控制。
步骤三、如图6所示，用掩模在多晶硅栅极410和漏极延伸区域425上方的附加的层间电介质层500中打开缺口空间。沉积低电阻率金属在填充的附加的层间电介质层500中打开的缺口空间。
步骤四、如图7所示，应用化学机械抛光工艺来平面化和去除附加的层间电介质层500之上的金属，这样只剩下先前蚀刻步骤打开的空缺里的金属。在多晶硅栅极410的顶部上会形成残余金属片即第一金属片700。在漏极延伸区域425的顶部也会形成用作栅极屏蔽610的另一金属片即第二金属片705。继续进行后端互连处理，完成本发明的横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管结构。
具体实施例中，第一金属片700的厚度可以是多晶硅栅极20%到100%之间；第一金属片的宽度可以是多晶硅栅极20%到120%之间。第一金属片和第二金属片的材料可以是铝或者铜。第一金属片的作用是降低栅极电阻。
第二金属片705宽度占多晶硅栅极410到漏极电极之间距离的20%到80%。第二金属片705的作用是提供散热途径和降低漏极到栅极电容。
本发明的基于绝缘体上硅的横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管结构可以显著地提高射频性能。本发明通过降低栅极电阻（Rg）来提高最大振荡频率，从而增加器件工作频率范围并提高功率增益。本发明的栅极屏蔽还可以减少漏极和栅极之间的反馈，这表现为减低栅极漏极电容Cgd或称米勒电容。 栅极漏极电容Cgd还进一步提高最大工作频率。 绝缘体上硅工艺中的掩埋氧化层导热性很差，这切断了通过晶片背面的散热路径。在完全耗尽的绝缘体硅上，硅层通常小于0.1um厚，这进一步加剧了热导问题。因此，设计具有完全耗尽的绝缘体上硅横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管的功率放大器通常由于热传导问题而遭遇稳定性和可靠性问题。本发明的LDMOS结构在工作期间产生大多数热量的漏极延伸区域上方集成了理想的热导管。在本发明中引入的金属片都会使用高导热性和低电阻率金属材料。
本发明不仅提高了LDMOS 射频性能并减轻了散热问题，而且以最小的额外工艺复杂度实现了目标。
虽然上述描述包含关于某些元件，尺寸和其他教导的特定细节，但是应当理解，可以在没有这些具体细节的情况下实践本发明的实施例或它们的任何组合。这些细节不应被解释为对任何实施例的范围的限制，而仅仅是当前优选实施例的示例。在其他情况下，未示出众所周知的结构，元件和技术以清楚地解释本发明的细节。
Claims (8)
1.横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管，其特征在于，包括：半导体衬底和隔离带，所述隔离带限定半导体衬底的有源区域，所述有源区域上方设置绝缘栅极介电层，所述绝缘栅极介电层上形成多晶硅栅极；
所述有源区域的表面设置源极区域和漏极延伸区域，所述源极区域和漏极延伸区域分布在所述多晶硅栅极的相对侧上；在所述漏极延伸区域远离多晶硅栅极的一侧设置漏极区域，漏极延伸区域与漏极区域相邻；
除去多晶硅栅极的顶部，所述绝缘栅极介电层的上部设置接触蚀刻停止层，所述接触蚀刻停止层上部设置层间电介质层；
漏极区域顶部设置与其电连接的漏极接触插塞；源极区域顶部设置与其电连接的源极接触插塞；
多晶硅栅极的顶部设置第一金属片，所述第一金属片与多晶硅栅极接触，在漏极延伸区域的顶部设置第二金属片；
多晶硅栅极上方形成与所述第一金属片接触的栅极接触插塞；漏极延伸区域上方形成与所述第二金属片接触的漏极延伸区域接触插塞；
漏极接触插塞和源极接触插塞都穿过层间电介质层、接触蚀刻停止层和绝缘栅极介电层；
栅极接触插塞和漏极延伸区域接触插塞都穿过层间电介质层。
2.根据权利要求1所述的横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管，其特征在于，有源区域通过掩埋的氧化硅层与半导体衬底分离。
3.根据权利要求1所述的横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管，第一金属片的厚度是多晶硅栅极20%到100%之间。
4.根据权利要求1所述的横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管，第一金属片的宽度是多晶硅栅极20%到120%之间。
5.根据权利要求1所述的横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管，第一金属片的材料是铝或者铜。
6.根据权利要求1所述的横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管，第二金属片的材料是铝或者铜。
7.根据权利要求1所述的横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管，第二金属片宽度占栅极到漏极电极之间距离的20%到80%。
8.横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管的制备工艺，其特征在于，所述横向双扩散金属氧化物半导体场效应晶体管为权利要求1~7任意一项权利要求所述的晶体管；所述制备工艺包括：包括:
步骤一、通过热生长二氧化硅方式在半导体衬底上形成绝缘栅极介电层；在绝缘栅极介电层上形成多晶硅栅极；从顶部将杂质注入到半导体衬底中产生轻掺杂扩展区；
采用反应离子蚀刻工艺，利用多晶硅栅极侧间隔物来对准，使用一个附加掩模来选择性地植入高电压操作的漏极延伸区域；通过使用源极间隔物作为掩模从顶部注入杂质到半导体衬底中形成源极；在多晶硅栅极的漏极延伸区域的远端也产生漏极区域；
沉积接触蚀刻停止层；随后沉积层间电介质层，层间电介质层的厚度比刻蚀停止层厚；
步骤二、利用接触蚀刻停止层做为端点对层间电介质层进行化学机械抛光工艺平坦化；利用化学气相沉积工艺沉积附加的层间介电层；
步骤三、用掩模在多晶硅栅极和漏极延伸区域上方的层间电介质层中打开缺口空间；沉积低电阻率金属在填充层间电介质层中打开的缺口空间获得栅极接触插塞和漏极延伸区域接触插塞；
在漏极区域和源极区域上方使用接触掩模来开孔，然后沉积钨接触插塞；
步骤四、应用化学机械抛光工艺来平面化和去除层间电介质之上的金属；进行后端互连处理。
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