CN114171362B - 微粒转移装置以及应用 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种微粒转移装置以及应用。微粒转移装置，包括试验平台、保护外罩、外罩移门、微粒转移结构、托盘移动结构、光阱结构、面包板、显微镜、支撑柱、微粒粘接杆。利用2体6自由度的微粒转移结构和托盘移动结构可方便的进行微粒的抓取。将微粒粘接杆固定在微粒粘接杆支撑件上，通过三轴精密位移台和转台调节微粒粘接杆粘和微粒托盘的6自由度位置粘接微粒，再通过三轴精密位移台和转台将微粒精准转移至有效区域，在转移过程中，保护外罩防止微粒在移动运输中送空气气流干扰掉落。本发明可以转移中微米微粒、细胞、材料、粉尘等，可以应用在量子传感、生物、化工、环境监测等领域。

Description

微粒转移装置以及应用
技术领域
本发明涉及一种微粒转移装置以及应用。
背景技术
微粒转移装置的主要作用是便于试验技术人员对微米级或纳米级尺寸的微粒进行转移，可对微粒进行表征或转移至所需要的位置。现有的技术有在手套箱进行手动人工转移；有在扫描电子显微镜材料检测领域对样品进行在真空转移的小型化装置，可对样品托盘进行单自由度转移（CN111721793A，一种适用于小型化扫描电镜的样品真空转移装置）；在电镜实验中，有对样品托在真空或惰性气体下进行平移或转动的转移装置（CN212083474U，一种真空样品转移装置）；微粒转移装置可以应用在量子传感领域的中微粒敏感材料的转移，化工领域各种微粒转移，生物领域的细胞转移，环境监测领域的微粒的转移（如雾霾粉尘等微粒转移）等。
现有的转移装置中都是对样品托（含样品）进行单体移动，不能在显微系统下做多体的微操纵。同时应用的领域也相对单一，并不是通用化的装置。在样品托中含有大量的微粒，并不能实现单个微粒的转移。同时多微米球可能会粘附在设备表面，污染设备。
发明内容
为了克服现有技术的不足，本发明的目的是提出一种微粒转移装置以及应用。
一种微粒转移装置，包括试验平台、保护外罩、外罩移门、微粒转移结构、托盘移动结构、光阱结构、面包板、显微镜、支撑柱、微粒粘接杆；其中所述的微粒转移结构依次包括微粒大粗调支撑底座、微粒小粗调支撑底座、微粒Y轴精密调节位移台、微粒X轴精密调节位移台、微粒Z轴精密转台、微粒L型转台位移台转接件、微粒Z轴精密调节位移台、微粒Y轴精密转台、微粒T型转台转接件、微粒X轴精密转台、微粒调节固定板和微粒粘接杆支撑件；
所述的微粒托盘移动结构依次包括托盘大粗调支撑底座、托盘小粗调支撑底座、托盘Y轴精密调节位移台、托盘X轴精密调节位移台、托盘Z轴精密转台、托盘L型转台位移台转接件、托盘Z轴精密调节位移台、托盘Y轴精密转台、托盘T型转台转接件、托盘X轴精密转台、托盘调节支撑件和托盘；
所述的显微镜通过螺钉固定在试验平台上，4个支撑柱通过压块固定在试验平台，面包板通过螺钉固定支撑柱，光阱结构通过螺钉固定在面包板上，微粒转移结构、托盘移动结构、光阱结构固定在试验平台，微粒粘接杆在托盘上方，将微粒洒在托盘上，用保护外罩将整体罩住，移动外罩移门可对微粒转移结构、托盘移动结构进行调节。
所述的微粒大粗调支撑底座通过螺钉固定在试验平台上，微粒小粗调支撑底座通过螺钉固定在微粒大粗调支撑底座上，微粒Y轴精密调节位移台通过4颗螺钉固定在微粒小粗调支撑底座上，调节微粒Y轴精密调节位移台可以调节微粒粘接杆沿Y轴移动，微粒X轴精密调节位移台固结在微粒Y轴精密调节位移台上，调节微粒X轴精密调节位移台可以调节微粒粘接杆沿X轴移动，微粒Z轴精密转台固结微粒X轴精密调节位移台，调节微粒Z轴精密转台可以调节微粒粘接杆沿Z轴转动，微粒L型转台位移台转接件通过紧固螺钉固定在微粒Z轴精密转台上，微粒Z轴精密调节位移台固结在微粒L型转台位移台转接件上，调节微粒Z轴精密调节位移台可以调节微粒粘接杆沿Z轴移动，微粒Y轴精密转台固结在微粒Z轴精密调节位移台上，调节微粒Y轴精密转台可以调节微粒粘接杆沿Y轴转动，微粒T型转台转接件紧固在微粒Y轴精密转台上，微粒X轴精密转台通过紧固螺钉固结在微粒T型转台转接件上，调节微粒X轴精密转台可以调节微粒粘接杆沿X轴转动，微粒调节固定板通过调节固定板紧固螺钉固定在微粒X轴精密转台上，微粒调节固定板含有多个螺孔用于调节微粒粘接杆支撑件的位置，微粒粘接杆支撑件通过调节螺钉固定在微粒调节固定板上，调节螺钉为非金属材料，微粒粘接杆通过胶结固定在粘接杆支撑件的V型槽上。
所述的微粒转移装置，托盘大粗调支撑底座通过螺钉固定在试验平台上，托盘小粗调支撑底座通过螺钉固定在托盘大粗调支撑底座上，托盘Y轴精密调节位移台通过4颗螺钉固定在托盘小粗调支撑底座上，调节托盘Y轴精密调节位移台可以调节托盘沿Y轴移动，托盘X轴精密调节位移台固结在托盘Y轴精密调节位移台上，调节托盘X轴精密调节位移台可以调节托盘沿X轴移动，托盘Z轴精密转台固结托盘X轴精密调节位移台，调节托盘Z轴精密转台可以调节托盘沿Z轴转动，托盘L型转台位移台转接件通过紧固螺钉固定在托盘Z轴精密转台上，托盘Z轴精密调节位移台固结在托盘L型转台位移台转接件上，调节托盘Z轴精密调节位移台可以调节托盘沿Z轴移动，托盘Y轴精密转台固结在托盘Z轴精密调节位移台上，调节托盘Y轴精密转台可以调节托盘沿Y轴转动，托盘T型转台转接件紧固在托盘Y轴精密转台上，托盘X轴精密转台通过紧固螺钉固结在托盘T型转台转接件上，调节托盘X轴精密转台可以调节托盘沿X轴转动，托盘调节支撑件通过调节固定板紧固螺钉固定在托盘X轴精密转台上，托盘调节支撑件含有多个螺孔用于调节托盘的位置，托盘通过调节螺钉固定在托盘调节支撑件上，调节螺钉为非金属材料，防止静电的产生。
所述的光阱结构包括透镜、透镜架、透镜架支撑。
一种根据所述的微粒转移装置的应用方法，步骤如下：
将微粒粘接杆进行拉丝处理；拉好的微粒粘接杆截取合适的长度胶接固定在粘接杆支撑件的V型槽上，微粒均匀洒在托盘上，通过显微镜或CCD观测，调节托盘Y轴精密调节位移台、托盘X轴精密调节位移台、托盘Z轴精密调节位移台，将托盘慢慢移动至可观察区域；
调节微粒Y轴精密调节位移台、微粒X轴精密调节位移台、微粒Z轴精密调节位移台，将微粒粘接杆慢慢移动至所要转移的微粒附近，接近微粒后，通过调节微粒Z轴精密转台、微粒Y轴精密转台、微粒X轴精密转台转动微粒粘接杆将微粒挑起；
挑起后通过调节托盘Y轴精密调节位移台、托盘X轴精密调节位移台、托盘Z轴精密调节位移台、托盘Z轴精密转台、托盘Y轴精密转台、托盘X轴精密转台将托盘移走，通过调节微粒Y轴精密调节位移台、微粒X轴精密调节位移台、微粒Z轴精密调节位移台，将粘接好微粒转移至所需的光阱结构位置附近，调整微粒Z轴精密转台、微粒Y轴精密转台、微粒X轴精密转台将微粒放置在所需位置处，微粒稳定捕获后，完成微粒成功转移，实现微粒精准转移。
本发明的有益效果是：
本发明可以转移中微米微粒、细胞、材料、粉尘等，可以应用在量子传感、生物、化工、环境监测等领域。微粒转移结构和托盘移动结构都拥有2体6自由度可方便的进行微粒的抓取，可在空气或真空环境对单微粒进行转移，也可在显微镜或CCD下观测转移状态。本装置提供一种通用转移平台，可对各种微粒进行精准转移。
附图说明
图1.1是微粒转移装置的一种结构示意图（具有保护外罩）。
图1.2 是微粒转移装置另一种结构示意图（撤去保护外罩）。
图2是光阱的一种结构示意图。
图3是微粒转移结构与托盘移动结构的一种结构示意图。
图4是微粒粘接杆支撑件的一种结构示意图。
图中，试验平台1、保护外罩2、外罩移门3、微粒转移结构4、托盘移动结构5、光阱结构6、面包板7、显微镜8、支撑柱9、微粒粘接杆11、V型槽10、微粒12 ；
微粒转移结构4：微粒大粗调支撑底座4.1、微粒小粗调支撑底座4.2、微粒Y轴精密调节位移台4.3、微粒X轴精密调节位移台4.4、微粒Z轴精密转台4.5、微粒L型转台位移台转接件4.6、微粒Z轴精密调节位移台4.7、微粒Y轴精密转台4.8、微粒T型转台转接件4.9、微粒X轴精密转台4.10、微粒调节固定板4.11、微粒粘接杆支撑件4.12；
微粒托盘移动结构5：托盘大粗调支撑底座5.1、托盘小粗调支撑底座5.2、托盘Y轴精密调节位移台5.3、托盘X轴精密调节位移台5.4、托盘Z轴精密转台5.5、托盘L型转台位移台转接件5.6、托盘Z轴精密调节位移台5.7、托盘Y轴精密转台5.8、托盘T型转台转接件5.9、托盘X轴精密转台5.10、托盘调节支撑件5.11、托盘5.12；
光阱结构6：透镜架支撑6.1、透镜架6.2、透镜6.3。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。
如图1.1、图1.2、图2、图3及图4所示，微粒转移装置包括试验平台1、保护外罩2、外罩移门3、微粒转移结构4、托盘移动结构5、光阱结构6、面包板7、显微镜8、支撑柱9、微粒粘接杆11、V型槽10、微粒12。
其中微粒转移结构4由微粒大粗调支撑底座4.1、微粒小粗调支撑底座4.2、微粒Y轴精密调节位移台4.3、微粒X轴精密调节位移台4.4、微粒Z轴精密转台4.5、微粒L型转台位移台转接件4.6、微粒Z轴精密调节位移台4.7、微粒Y轴精密转台4.8、微粒T型转台转接件4.9、微粒X轴精密转台4.10、微粒调节固定板4.11、微粒粘接杆支撑件4.12等组成。微粒托盘移动结构5由托盘大粗调支撑底座5.1、托盘小粗调支撑底座5.2、托盘Y轴精密调节位移台5.3、托盘X轴精密调节位移台5.4、托盘Z轴精密转台5.5、托盘L型转台位移台转接件5.6、托盘Z轴精密调节位移台5.7、托盘Y轴精密转台5.8、托盘T型转台转接件5.9、托盘X轴精密转台5.10、托盘调节支撑件5.11、托盘5.12等组成。光阱结构6主要由透镜6.3、透镜架6.2、透镜架支撑6.1等组成。
显微镜8通过螺钉固定在试验平台1上，4个支撑柱9通过压块固定在试验平台1，面包板7通过螺钉固定支撑柱9，光阱结构6通过螺钉固定在面包板7上，将微粒转移结构4、托盘移动结构5、光阱结构6移至合适的位置固定在试验平台1，保证微粒粘接杆11在托盘5.12上方，将微粒12洒在托盘5.12上，用保护外罩2将整体罩住，移动外罩移门3可对微粒转移结构4、托盘移动结构5进行调节。
微粒大粗调支撑底座4.1通过螺钉固定在试验平台1上，微粒小粗调支撑底座4.2通过螺钉固定在微粒大粗调支撑底座4.1上，微粒Y轴精密调节位移台4.3通过4颗螺钉固定在微粒小粗调支撑底座4.2上，调节微粒Y轴精密调节位移台4.3可以调节微粒粘接杆11沿Y轴移动，微粒X轴精密调节位移台4.4固结在微粒Y轴精密调节位移台4.3上，调节微粒X轴精密调节位移台4.4可以调节微粒粘接杆11沿X轴移动，微粒Z轴精密转台4.5固结微粒X轴精密调节位移台4.4，调节微粒Z轴精密转台4.5可以调节微粒粘接杆11沿Z轴转动，微粒L型转台位移台转接件4.6通过紧固螺钉固定在微粒Z轴精密转台4.5上，微粒Z轴精密调节位移台4.7固结在微粒L型转台位移台转接件4.6上，调节微粒Z轴精密调节位移台4.7可以调节微粒粘接杆11沿Z轴移动，微粒Y轴精密转台4.8固结在微粒Z轴精密调节位移台4.7上，调节微粒Y轴精密转台4.8可以调节微粒粘接杆11沿Y轴转动，微粒T型转台转接件4.9紧固在微粒Y轴精密转台4.8上，微粒X轴精密转台4.10通过紧固螺钉固结在微粒T型转台转接件4.9上，调节微粒X轴精密转台4.10可以调节微粒粘接杆11沿X轴转动，微粒调节固定板4.11通过调节固定板紧固螺钉固定在微粒X轴精密转台4.10上，微粒调节固定板4.11含有多个螺孔用于调节微粒粘接杆支撑件4.12的位置，微粒粘接杆支撑件4.12通过调节螺钉固定在微粒调节固定板4.11上，调节螺钉为非金属材料，防止静电的产生，影响微粒12的转移，微粒粘接杆11通过胶结固定在粘接杆支撑件4.12的V型槽10上。
托盘大粗调支撑底座5.1通过螺钉固定在试验平台1上，托盘小粗调支撑底座5.2通过螺钉固定在托盘大粗调支撑底座5.1上，托盘Y轴精密调节位移台5.3通过4颗螺钉固定在托盘小粗调支撑底座5.2上，调节托盘Y轴精密调节位移台5.3可以调节托盘5.12沿Y轴移动，托盘X轴精密调节位移台5.4固结在托盘Y轴精密调节位移台5.3上，调节托盘X轴精密调节位移台5.4可以调节托盘5.12沿X轴移动，托盘Z轴精密转台5.5固结托盘X轴精密调节位移台5.4，调节托盘Z轴精密转台5.5可以调节托盘5.12沿Z轴转动，托盘L型转台位移台转接件5.6通过紧固螺钉固定在托盘Z轴精密转台5.5上，托盘Z轴精密调节位移台5.7固结在托盘L型转台位移台转接件5.6上，调节托盘Z轴精密调节位移台5.7可以调节托盘5.12沿Z轴移动，托盘Y轴精密转台5.8固结在托盘Z轴精密调节位移台5.7上，调节托盘Y轴精密转台5.8可以调节托盘5.12沿Y轴转动，托盘T型转台转接件5.9紧固在托盘Y轴精密转台5.8上，托盘X轴精密转台5.10通过紧固螺钉固结在托盘T型转台转接件5.9上，调节托盘X轴精密转台5.10可以调节托盘5.12沿X轴转动，托盘调节支撑件5.11通过调节固定板紧固螺钉固定在托盘X轴精密转台5.10上，托盘调节支撑件5.11含有多个螺孔用于调节托盘5.12的位置，托盘5.12通过调节螺钉固定在托盘调节支撑件5.11上，调节螺钉为非金属材料，防止静电的产生。
保护外罩2可防止因气流扰动影响微粒12转移，将微粒粘接杆11进行拉丝处理；拉好的微粒粘接杆11截取合适的长度胶接固定在粘接杆支撑件4.12的V型槽10上，微粒12均匀洒在托盘5.12上，通过显微镜或CCD观测，调节托盘Y轴精密调节位移台5.3、托盘X轴精密调节位移台5.4、托盘Z轴精密调节位移台5.7，将托盘5.12慢慢移动至可观察区域。
调节微粒Y轴精密调节位移台4.3、微粒X轴精密调节位移台4.4、微粒Z轴精密调节位移台4.7，将微粒粘接杆11慢慢移动至所要转移的微粒12附近，接近微粒12后，通过调节微粒Z轴精密转台4.5、微粒Y轴精密转台4.8、微粒X轴精密转台4.10转动微粒粘接杆11将微粒12挑起。
挑起后通过调节托盘Y轴精密调节位移台5.3、托盘X轴精密调节位移台5.4、托盘Z轴精密调节位移台5.7、托盘Z轴精密转台4.5、托盘Y轴精密转台4.8、托盘X轴精密转台4.10将托盘移走，通过调节微粒Y轴精密调节位移台4.3、微粒X轴精密调节位移台4.4、微粒Z轴精密调节位移台4.7，将粘接好微粒12转移至所需的光阱结构6位置附近，调整微粒Z轴精密转台4.5、微粒Y轴精密转台4.8、微粒X轴精密转台4.10将微粒12放置在所需位置处，微粒12稳定捕获后，完成微粒12成功转移，实现微粒12精准转移。
应用实施例
本应用实施例中选用的微粒选用直径为50 μm的二氧化硅微球，洒落在微粒托盘5.12上，显微镜可观测微米级别，微粒粘接杆11为锥形光纤，尖端直径为10um，三轴精密调节位移台调节精度为微米级别，三轴精密调节转台调节精度为微弧度级别。
操作步骤如下：
1）将微粒粘接杆11拉丝成锥形光纤；
2）拉好的微粒粘接杆11截取合适的长度胶接固定在粘接杆支撑件12的V型槽21上；
3）粘接杆支撑件4.12通过调节螺钉固结在微粒调节固定板4.11上；
4）通过显微镜观测，调整调节微粒Y轴精密调节位移台4.3、微粒X轴精密调节位移台4.4、微粒Z轴精密调节位移台4.7，微粒粘接杆11先从Y、X方向靠近微粒12，在从Z方向靠近微粒12；
5）接近微粒12后，通过调节微粒Z轴精密转台4.5、微粒Y轴精密转台4.8、微粒X轴精密转台4.10转动粒粘接杆11将微粒12挑起；
6）挑起后通过调节托盘Y轴精密调节位移台5.3、托盘X轴精密调节位移台5.4、托盘Z轴精密调节位移台5.7、托盘Z轴精密转台4.5、托盘Y轴精密转台4.8、托盘X轴精密转台4.10将托盘移走，
7）通过调节微粒Y轴精密调节位移台4.3、微粒X轴精密调节位移台4.4、微粒Z轴精密调节位移台4.7，将粘接好微粒12转移至所需的光阱结构6位置附近，
8）调整微粒Z轴精密转台4.5、微粒Y轴精密转台4.8、微粒X轴精密转台4.10将微粒12放置在所需位置处，
9）通过振动或静电脱附，将微粒12稳定释放后，完成微粒12成功转移，实现微粒12精准转移。
上述描述中的实施方案可以进一步组合或者替换，且实施方案仅仅是对本发明的优选实施例进行描述，并非对本发明的构思和范围进行限定。
本微粒转移装置可直接将单微粒精准投送到所需的位置，微粒转移结构和托盘移动结构都拥有6自由度可调的方向，便于微粒抓取、转移、释放。微粒是已知尺寸、密度和散射特性的光学均匀介质微粒，尺寸为纳米到微米量级。
本微粒转移装置可以对单个微粒进行转移至有效区域。
本微粒转移装置的微粒粘接棒可以是光纤、钢棒、PEEK棒等。
本微粒转移装置的粘接杆支撑件铣有V型槽结构，用于微粒粘接棒胶结和定位。
本微粒转移装置的调节固定板还有多个调节位置，便于粘接杆支撑件位置调整。
本微粒转移装置的保护外罩防护防止微粒因气流干扰而掉落，保护外罩为透明亚克力材质，方便观测微粒转移情况。
本微粒转移装置的微粒托盘涂敷特氟龙材料，减少微粒与微粒托盘的范德华力。
本微粒转移装置可以应用于空气和真空中微粒转移。
本微粒转移装置也可以应用于多种领域的微粒转移，如二氧化硅、细胞、化学材料、雾霾等。
在不脱离本发明设计思想的前提下，本领域普通技术人员对本发明的技术方案做出的各种变化和改进，均属于本发明的保护范围。本发明的保护范围由所附权利要求及其任何等同物给出。

Claims (4)

1.一种微粒转移装置，其特征是：包括试验平台（1）、保护外罩（2）、外罩移门（3）、微粒转移结构（4）、托盘移动结构（5）、光阱结构（6）、面包板（7）、显微镜（8）、支撑柱（9）、微粒粘接杆（11）；
其中所述的微粒转移结构（4）依次包括微粒大粗调支撑底座（4.1）、微粒小粗调支撑底座（4.2）、微粒Y轴精密调节位移台（4.3）、微粒X轴精密调节位移台（4.4）、微粒Z轴精密转台（4.5）、微粒L型转台位移台转接件（4.6）、微粒Z轴精密调节位移台（4.7）、微粒Y轴精密转台（4.8）、微粒T型转台转接件（4.9）、微粒X轴精密转台（4.10）、微粒调节固定板（4.11）和微粒粘接杆支撑件（4.12）；
所述的微粒托盘移动结构（5）依次包括托盘大粗调支撑底座（5.1）、托盘小粗调支撑底座（5.2）、托盘Y轴精密调节位移台（5.3）、托盘X轴精密调节位移台（5.4）、托盘Z轴精密转台（5.5）、托盘L型转台位移台转接件（5.6）、托盘Z轴精密调节位移台（5.7）、托盘Y轴精密转台（5.8）、托盘T型转台转接件（5.9）、托盘X轴精密转台（5.10）、托盘调节支撑件（5.11）和托盘（5.12）；
所述的显微镜（8）通过螺钉固定在试验平台（1）上，4个支撑柱（9）通过压块固定在试验平台（1），面包板（7）通过螺钉固定支撑柱（9），光阱结构（6）通过螺钉固定在面包板（7）上，微粒转移结构（4）、托盘移动结构（5）、光阱结构（6）固定在试验平台（1），微粒粘接杆（11）在托盘（5.12）上方，将微粒（12）洒在托盘（5.12）上，用保护外罩（2）将整体罩住，移动外罩移门（3）可对微粒转移结构（4）、托盘移动结构（5）进行调节。
2.根据权利要求1所述的微粒转移装置，其特征是：所述的微粒大粗调支撑底座（4.1）通过螺钉固定在试验平台（1）上，微粒小粗调支撑底座（4.2）通过螺钉固定在微粒大粗调支撑底座（4.1）上，微粒Y轴精密调节位移台（4.3）通过4颗螺钉固定在微粒小粗调支撑底座（4.2）上，调节微粒Y轴精密调节位移台（4.3）可以调节微粒粘接杆（11）沿Y轴移动，微粒X轴精密调节位移台（4.4）固结在微粒Y轴精密调节位移台（4.3）上，调节微粒X轴精密调节位移台（4.4）可以调节微粒粘接杆（11）沿X轴移动，微粒Z轴精密转台（4.5）固结微粒X轴精密调节位移台（4.4），调节微粒Z轴精密转台（4.5）可以调节微粒粘接杆（11）沿Z轴转动，微粒L型转台位移台转接件（4.6）通过紧固螺钉固定在微粒Z轴精密转台（4.5）上，微粒Z轴精密调节位移台（4.7）固结在微粒L型转台位移台转接件（4.6）上，调节微粒Z轴精密调节位移台（4.7）可以调节微粒粘接杆（11）沿Z轴移动，微粒Y轴精密转台（4.8）固结在微粒Z轴精密调节位移台（4.7）上，调节微粒Y轴精密转台（4.8）可以调节微粒粘接杆（11）沿Y轴转动，微粒T型转台转接件（4.9）紧固在微粒Y轴精密转台（4.8）上，微粒X轴精密转台（4.10）通过紧固螺钉固结在微粒T型转台转接件（4.9）上，调节微粒X轴精密转台（4.10）可以调节微粒粘接杆（11）沿X轴转动，微粒调节固定板（4.11）通过调节固定板紧固螺钉固定在微粒X轴精密转台（4.10）上，微粒调节固定板（4.11）含有多个螺孔用于调节微粒粘接杆支撑件（4.12）的位置，微粒粘接杆支撑件（4.12）通过调节螺钉固定在微粒调节固定板（4.11）上，调节螺钉为非金属材料，微粒粘接杆（11）通过胶结固定在粘接杆支撑件（4.12）的V型槽（10）上。
3.根据权利要求1所述的微粒转移装置，其特征是：托盘大粗调支撑底座（5.1）通过螺钉固定在试验平台（1）上，托盘小粗调支撑底座（5.2）通过螺钉固定在托盘大粗调支撑底座（5.1）上，托盘Y轴精密调节位移台（5.3）通过4颗螺钉固定在托盘小粗调支撑底座（5.2）上，调节托盘Y轴精密调节位移台（5.3）可以调节托盘（5.12）沿Y轴移动，托盘X轴精密调节位移台（5.4）固结在托盘Y轴精密调节位移台（5.3）上，调节托盘X轴精密调节位移台（5.4）可以调节托盘（5.12）沿X轴移动，托盘Z轴精密转台（5.5）固结托盘X轴精密调节位移台（5.4），调节托盘Z轴精密转台（5.5）可以调节托盘（5.12）沿Z轴转动，托盘L型转台位移台转接件（5.6）通过紧固螺钉固定在托盘Z轴精密转台（5.5）上，托盘Z轴精密调节位移台（5.7）固结在托盘L型转台位移台转接件（5.6）上，调节托盘Z轴精密调节位移台（5.7）可以调节托盘（5.12）沿Z轴移动，托盘Y轴精密转台（5.8）固结在托盘Z轴精密调节位移台（5.7）上，调节托盘Y轴精密转台（5.8）可以调节托盘（5.12）沿Y轴转动，托盘T型转台转接件（5.9）紧固在托盘Y轴精密转台（5.8）上，托盘X轴精密转台（5.10）通过紧固螺钉固结在托盘T型转台转接件（5.9）上，调节托盘X轴精密转台（5.10）可以调节托盘（5.12）沿X轴转动，托盘调节支撑件（5.11）通过调节固定板紧固螺钉固定在托盘X轴精密转台（5.10）上，托盘调节支撑件（5.11）含有多个螺孔用于调节托盘（5.12）的位置，托盘（5.12）通过调节螺钉固定在托盘调节支撑件（5.11）上，调节螺钉为非金属材料，防止静电的产生。
4.根据权利要求1所述的微粒转移装置，其特征是：所述的光阱结构（6）包括透镜（6.3）、透镜架（6.2）、透镜架支撑（6.1）。
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