CN1141433A - 气体检测仪及其方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种气体检测仪，该检测仪包括一个通过施加电压而进行自加热的气敏器件，通过该气敏器件电阻的变化值的改变来进行气体检测；一个用于供给气敏器件可变电压的电压源；一个用于检测随气敏器件检测的气体变化的电流的电流检测器；和一个用于控制电压源，以便控制向气敏器件提供可变电压的控制判断部分，该部分接收来自电流检测器的电流值，根据伏安特性数据判断气体的种类和浓度。

Description

气体检测仪及其方法
本发明涉及一种气体检测仪，特别是涉及一种低功率常温型的气体检测仪及其方法，该方法是利用无独立加热器的气敏层的伏安特性来进行检测操作的。
通常的气体检测仪是通过将加热器安装在直接检测气体的气敏器件上构成的。因此，当电压加到该加热器上时，从加热器中产生的热使检测仪的气敏层升高到一个较高的温度(200-500℃)上。关于利用气敏器件的加热器来加热气敏层的理由将在下面说明。
气敏器件的气敏层是以半导体氧化物为主要材料制成的，其中掺有金属催化剂Pt、Au或Ag。在检测操作过程中，气敏层测量半导体氧化物的电导率随气体变化情况。上述半导体氧化物在室温下具有相对高的电阻(超过几MΩ)，然而，当温度升高到200℃以上的较高温度时，该半导体氧化物的电阻降到几十或几百KΩ，这便使该半导体氧化物较易与存在于周围环境中的各种还原气体发生反应。
如上所述，为了使气敏层能够较敏感地与气体发生反应，从而提高电导的变化率，需要采用加热器。
参考附图下文将说明上述常规气敏器件和检测仪器。图1是一个常规气敏器件的剖视图，图2是一个常规气敏器件的平面图。
常规的气敏器件按下述方式构成：采用网板印刷方法在氧化铝(Al2O3)基片1上形成一个用于加热气敏层的加热器3和两个用于测量气敏层电导率变化的电极2。在电极2上面形成用于检测气体的气敏层4。此时，气敏层4是由SnO2和金属催化剂(如Pt、Au或Ag)混合而成的半导体氧化物组成的。其中加热器3位于氧化铝基片1的后表面上，如图1所示，或者位于形成有电极的基片1的前表面上，如图2所示。
下文将描述采用上述气敏器件进行气体检测的常规气体检测仪。图3为常规气体检测仪的方框图。
如图1和2所示，常规的由气敏器件11构成的气体检测仪包括：一个用于驱动气敏器件11的加热器3的加热驱动器12；一个用于向气敏器件11的电极提供电压的电压源13；一个用于检测随气敏器件11检测的气体变化的电流的电流检测器14；以及一个控制电压源13和加热驱动器12和接收来自电流检测器14检测到的电流，并据此对气体进行判断的控制判断部分15。
下文将说明常规气体检测仪的操作：首先，通过控制判断部分15控制电压源13和加热驱动器12，以便使电压源13向气敏器件11的电极2提供电压，并且使加热驱动器12向气敏器件11的加热器3提供电源，借此将气敏层4加热到一个高于200℃的温度。在这种状态下，当气敏器件检测气体时，气敏层4的电阻将发生变化。
此时，如果气敏层4暴露在气体中并与其发生反应，气敏层4的电阻值将变得比气敏层在空气中时的电阻值低。所以，即使电压源13向气敏器件11提供恒定的电压，也将有一个大的电流输出。相应地，电流检测器14检测流过气敏层的电流，并将此电流加到控制判断部分15上。
进行气体检测操作时，控制和判断部分15比较从电流检测器14输入的电流从而测量气敏器件11的气敏层的电导率。也就是说，在常规的气体检测仪中，电压源13提供一个恒定电压，气体检测是根据电流检测器14检测到的电流值来进行判断的。
然而，常规的气体检测仪存在下述几个问题：第一，用于使气敏层加热至一个合适温度的加热器和加热驱动器需要彼此分开，这便使气体检测仪复杂化，不仅降低了效率，也增加了成本。
第二，由于器件被加热到一个比较高的温度，这就增加了功率消耗。此外，由于热冲击(thermal shock)，使气敏器件断裂，因而损害了该气敏器件的可靠性。
第三，常规的气体检测仪虽然可以检测气体的温度，但不能判断气体的种类。
本发明的目的在于：提供一种气体检测仪和一种气体检测方法，采用该仪器和方法可以在常温低功率状态下，利用无独立加热器的与气体反应的气敏层的伏安特性来进行气体检测。
为了达到本发明的目的，提供一种包括下述元件的气体检测仪：一个依靠施加的电压进行自加热的气敏器件，该器件的电阻变化量随其周围的气体而变化；一个给气敏器件提供可变化电压的电压源；一个用于检测随气敏器件检测的气体变化的电流的电流检测器；一个用于控制电压源以便控供给气敏器件的电压变化值的控制判断部分，该部分接收来自电流检测器的电流值并根据伏安特性来判断气体的种类和浓度。
为了实现本发明的目的，还提供了一种利用具有气敏层的气敏器件来检测气体的方法，其中气敏层可以通过电压进行自加热，从而与气体发生反应，该方法包括以下步骤：根据气体的种类和浓度存储伏安特性数据；使一个电压线性变化，并将该电压提供给气敏器件，然后检测气敏器件的电流值，从提供的电压和所检测的电流值获得伏安特性数据，并且将获得的伏安特性数据与事先存储的数据进行比较，据此来检测气体。
图1是常规气敏器件的剖视图；
图2是常规气敏器件的平面图；
图3是常规气敏器件的方框图；
图4是根据本发明的气敏器件的设计图；
图5是图4中沿A-A′线的剖视图；
图6是根据本发明的气体检测仪器的方框图；
图7A、7B、7C是根据本发明的气体检测仪的操作特性曲线。
下文将结合附图说明本发明的一个优选实施例。图4是根据本发明的气敏器件的设计图，图5是沿图4中A-A′线的剖视图。
在本发明的气敏器件中，为了在不用外部加热器加热一种敏感材料的半导体氧化物的条件下测量气敏层电导率的变化，气敏层靠提供的电压进行自加热，这样便使气敏层被加热的部分灵敏地与气体发生反应。
本发明的气敏器件包括两个形成在氧化铝基片20的预定部分上的电极21和形成在两电极21上面的用于与外界气体反应的气敏层。
下文将说明本发明上述结构中气敏器件的制造方法。首先，用Pt涂料通过网板印刷的方法在氧化铝基片20上形成两个电极21，这样对于待检测的完全氧化气体，气敏层表面被活化，从而提高了检测的灵敏度。
在1100℃的温度下保温一小时，烧结形成两个定形的电极21，然后把由混合比为95∶5wt％的SnO2和WO3粉末和一种有机化合物组成的气敏层涂料采用网板印刷的方法涂在电极21上，这样便形成了气敏层22。将气敏层22在600℃温度下烧结一小时后，将导线连接到电极21底座上，最后封装该器件。
下文将描述利用本发明的上述气敏器件的气体检测仪。图6是本发明的气体检测仪的方框图。
本发明的气体检测仪包括：一个无加热器的气敏器件，如图6所示，一个向气敏器件提供可变电压的电压源；一个用于检测随气敏器件检测的气体变化的电流的电流检测器；和一个用于控制电压以便控制提供给该气敏器件的电压变化值的控制和判断部分，该部分接收来自电流检测器的电流值，根据伏安特性判断气体的种类和浓度。
下面说明本发明气体检测仪的操作。图7A到图7C示出了本发明气体检测仪的操作特性。图7A示出了在将气敏器件分别暴露在空气以及浓度为200PPM的C2H5OH气体和浓度为300PPM的C2H5OH气体中，改变供给气敏器件的电压时所检测的电流值。图7B示出了当气敏器件暴露在乙醇(200PPM)中并向气敏器件提供30V电压的状态下，时间与检测电流值之间的关系。图7C示出了检测气体为CO时的伏安特性。
现在说明采用无加热器的气敏器件检测气体的方法。控制和判断单元34控制电压源32，以便在改变供给气敏器件的电压的同时，判断所检测的电流。
如上所述，为了根据电流变化量/电压变化量的值来判断气体的种类和温度，在改变提供给气敏器件的电压的同时进行电流检测。也就是，所加的电压越高，气敏层22产生的热就越多。这便减少了气敏层22的电阻，于是使检测的电流随提供的电压成正比地增加。
于是，在空气中，上述电压和电流值的变化量几乎相同，而在乙醇(C2H5OH)的环境下，此特性却与在空气中相反，具体地讲，伏安特性在低电压(0-15V)对与空气中近似，而当电压高于20V时，电流突然增加。
在相对低的电压下，由于气敏层自加热量很小，气敏层与乙醇气体的反应能力很弱。而在相对高的电压下，由于气敏层自加热量的增加，气敏层与乙醇气体的反应能力也变高。即使在相同气体中，电流也将随气体浓度变化而增加。即如果气敏层与浓度为200PPM的乙醇反应时，其电流增量将大于与浓度为300PPM的乙醇反应时的电流增量，根据上述的伏安特性可以进行气体检测。
下面，如图7B所示，将描述电压源恒为30V时，气敏器件暴露于空气或气体中时的伏安特性。气敏器件暴露于空气中时，电流约为5mA，而在暴露于200PPM的乙醇中时，电流骤增到30mA。如果除去乙醇，检测器件将恢复到其正常状态，气敏器件也恢复正常操作。
如上所述，不论气敏器件31的气敏层22的厚度及电极的间距如何(只有当所提供的电压和电流的绝对值改变时)气敏器件的伏安特性总是相同的。
图7C示出了本发明气敏器件暴露于还原气体中时的伏安特性。这里所用的还原气体为CO。在此条件下，与暴露在乙醇中的情况不同，电流在电压为15V附近时突增，而在电压高于20V的一个狭窄范围内，电流将减少。这是因为，在低电压条件下，由于电压的增加而使热量增加，因此，温度和与CO的反应能力提高，从而使电流急骤增加，但当电压大于20V时，热量却增加到使气敏层与CO的反应能力降低的程度。
上述特性曲线符合在低温下(低于300℃时)气敏层与CO气体反应能力随温度成正比例增长，而在高温下反应能力反而减弱这一基本原理。
为了判断气体的种类和浓度，将上述模拟结果数据预先存储在控制判断单元34中，然后识别提供给气敏器件的电压的变化值，并同时识别气敏器件检测的电流变化值，并将这些检测值与先前存储的模拟数据进行比较。
根据本发明，上述气体检测仪器和气敏器件制造方法具有如下效果：
第一，本发明的气敏器件具有利用提供给该气敏层的电压进行自加热的气敏层，从而不需用加热器和加热驱动器。于是简化了系统设计并提供了一种低功率的检测器件，还提高了效率，降低了生产成本。
第二，由于不采用加热器从而消除了热冲击产生的误差，提高了器件的可靠性。
第三，根据随气体种类和浓度的变化而变化的气敏层的伏安特性数据，可以对各种气体进行检测。

Claims (6)

1、一种气体检测仪包括：
一个通过施加的电压进行自加热的气敏器件，通过该器件的电阻值变化量的改变来进行气体检测；
一个用于向上述气敏器件提供可变电压的电压源；
一个用于检测随着上述气敏器件检测气体而变化的电流的电流检测器；
一个用于控制上述电压源以便控制向上述气敏器件提供变化的电压的控制判断部分，该部分接收来自上述的电流检测器的电流，根据伏安特性数据判断气体的种类和浓度。
2、根据权利要求1所述的气体检测器，其中该气敏器件包括：
一个基片；
一个在该基片上形成的气敏层，该气敏层可通过施加电压进行自加热以便与气体发生反应；以及
在所述气敏层的两侧安装电极，用来向所述气敏层提供电压并输出电流。
3、根据权利要求1所述的气体检测仪，其中该气敏器件包括两个以Pt涂料形成在基片上的电极，和一个在所述两个电极上由SnO2、WO3粉末和一种有机化合物形成的气敏层。
4、根据权利要求3所述的气体检测仪，其中所述气敏层的SnO2和WO3粉末的混合比为95∶5wt％。
5、根据权利要求1所述的气体检测仪，其中所述气敏器件具有一个通过所述电压源提供的电压而进行自加热的气敏层。
6、一种利用气敏器件检测气体的方法，为了与气体反应该气敏器件有一个依靠电压自加热的气敏层，该方法包括以下步骤：
根据气体的种类和浓度存储伏安特性数据；
使电压线性改变，并将该电压提供给所述气敏器件，然后检测其电流值；和
从所提供的电压及所检测的电流值得到伏安特性数据，将该特性数据与该预先存储的数据进行比较，以便进行气体检测。
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102822667A (zh) * 2010-02-05 2012-12-12 罗伯特·博世有限公司 用于检测两种或更多气体种类的方法
CN103245698A (zh) * 2012-02-09 2013-08-14 财团法人工业技术研究院 气体检测系统、装置及方法
CN104049002A (zh) * 2013-03-15 2014-09-17 英飞凌科技股份有限公司 传感器和感测方法
CN105784786A (zh) * 2015-01-09 2016-07-20 罗伯特·博世有限公司 用于检测气态分析物的方法和传感器设备及其制造方法
CN105928981A (zh) * 2016-04-27 2016-09-07 上海翰临电子科技有限公司 一种全天候空气质量监测方法及监测设备
CN106018497A (zh) * 2016-07-18 2016-10-12 哈尔滨理工大学 一种半导体气体传感器低频温度调制检测方法
CN107941895A (zh) * 2017-11-10 2018-04-20 中国人民解放军陆军防化学院 离子迁移谱检测仪
CN109682858A (zh) * 2018-12-19 2019-04-26 苏州慧闻纳米科技有限公司 一种利用气体传感器实时检测气体浓度的方法
WO2021203804A1 (zh) * 2020-04-10 2021-10-14 中国石油化工股份有限公司 自加热气体传感器、气敏材料及其制备方法和应用
CN113614522A (zh) * 2019-03-26 2021-11-05 Lg电子株式会社 传感器模块

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB9802940D0 (en) * 1998-02-11 1998-04-08 Cbl Ceramics Ltd Gas sensor
KR20030021612A (ko) * 2001-09-07 2003-03-15 박진성 이종접합 후막센서 및 그의 제조 방법
US7193187B2 (en) * 2004-02-09 2007-03-20 Advanced Technology Materials, Inc. Feedback control system and method for maintaining constant resistance operation of electrically heated elements
US7737700B2 (en) * 2005-11-23 2010-06-15 Ust Umweltsensortechnik Gmbh Arrangement and method for detecting air ingredients
US7827852B2 (en) * 2007-12-20 2010-11-09 General Electric Company Gas sensor and method of making
GB2464516A (en) * 2008-10-17 2010-04-21 Alireza Salehi Self heated carbon monoxide sensor
DE102016201193A1 (de) * 2016-01-27 2017-07-27 Technische Universität München Gedruckte Sensorvorrichtung zum Detektieren von Medien
US10329022B2 (en) * 2016-10-31 2019-06-25 Honeywell International Inc. Adjustable sensor or sensor network to selectively enhance identification of select chemical species
TWI800751B (zh) * 2020-09-18 2023-05-01 國立陽明交通大學 氣體感測方法及氣體感測系統
US20240159700A1 (en) * 2022-11-10 2024-05-16 Tdk Corporation Metal oxide semiconductor gas sensor

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3310336A1 (de) * 1982-03-23 1983-10-06 Toyota Motor Co Ltd Verfahren zum messen einer sauerstoffkonzentration und verfahren zum regeln eines luft/brennstoff-verhaeltnisses aufgrund der gemessenen sauerstoffkonzentration
US4587104A (en) * 1983-12-21 1986-05-06 Westinghouse Electric Corp. Semiconductor oxide gas combustibles sensor
JPS62500955A (ja) * 1984-10-29 1987-04-16 コモンウエルス　サイエンテイフイツク　アンド　インダストリアル　リサ−チ　オ−ガニゼ−シヨン 熱気体中の酸素分圧の測定のための検知器および方法
US4706493A (en) * 1985-12-13 1987-11-17 General Motors Corporation Semiconductor gas sensor having thermally isolated site
US4770027A (en) * 1986-03-24 1988-09-13 Katuo Ehara Method of measuring concentrations of odors and a device therefor
US4911892A (en) * 1987-02-24 1990-03-27 American Intell-Sensors Corporation Apparatus for simultaneous detection of target gases
JP2542643B2 (ja) * 1987-10-31 1996-10-09 株式会社東芝 センサの製造方法
JPH01131444A (ja) * 1987-11-17 1989-05-24 Katsuo Ebara ニオイ識別装置
US5047214A (en) * 1989-03-08 1991-09-10 New Cosmos Electric Co., Ltd. Smell sensing element and smell sensing device
US5045285A (en) * 1989-09-05 1991-09-03 United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Gaseous component identification with polymeric film sensor
US5402665A (en) * 1993-05-11 1995-04-04 Hart; Russell F. Monitoring gaseous oxygen concentration

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102822667A (zh) * 2010-02-05 2012-12-12 罗伯特·博世有限公司 用于检测两种或更多气体种类的方法
CN103245698A (zh) * 2012-02-09 2013-08-14 财团法人工业技术研究院 气体检测系统、装置及方法
US9201035B2 (en) 2012-02-09 2015-12-01 Industrial Technology Research Institute Gas detecting system, device and method
CN104049002A (zh) * 2013-03-15 2014-09-17 英飞凌科技股份有限公司 传感器和感测方法
CN105784786A (zh) * 2015-01-09 2016-07-20 罗伯特·博世有限公司 用于检测气态分析物的方法和传感器设备及其制造方法
CN105928981A (zh) * 2016-04-27 2016-09-07 上海翰临电子科技有限公司 一种全天候空气质量监测方法及监测设备
CN106018497A (zh) * 2016-07-18 2016-10-12 哈尔滨理工大学 一种半导体气体传感器低频温度调制检测方法
CN106018497B (zh) * 2016-07-18 2019-02-19 哈尔滨理工大学 一种半导体气体传感器低频温度调制检测方法
CN107941895A (zh) * 2017-11-10 2018-04-20 中国人民解放军陆军防化学院 离子迁移谱检测仪
CN109682858A (zh) * 2018-12-19 2019-04-26 苏州慧闻纳米科技有限公司 一种利用气体传感器实时检测气体浓度的方法
CN109682858B (zh) * 2018-12-19 2021-09-17 苏州慧闻纳米科技有限公司 一种利用气体传感器实时检测气体浓度的方法
CN113614522A (zh) * 2019-03-26 2021-11-05 Lg电子株式会社 传感器模块
CN113614522B (zh) * 2019-03-26 2023-12-12 Lg电子株式会社 传感器模块
WO2021203804A1 (zh) * 2020-04-10 2021-10-14 中国石油化工股份有限公司 自加热气体传感器、气敏材料及其制备方法和应用

Also Published As

Publication number Publication date
KR960031987A (ko) 1996-09-17
US5627305A (en) 1997-05-06
JP2788888B2 (ja) 1998-08-20
JPH08261970A (ja) 1996-10-11

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