CN114042710A - 一种用于cvd涂层反应腔体内壁自动清洁刷 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种用于CVD涂层反应腔体内壁自动清洁刷，包括安装在CVD床身上的冷却罩工位桌台板与固定板，所述固定板上固定连接有旋转电机，所述冷却罩工位桌台板上通过轴承安装有旋转轴，所述旋转轴上固定连接有框架，所述框架上通过螺栓连接有顶端圆弧固定座，所述顶端圆弧固定座上固定连接有支撑杆一，所述支撑杆一上固定连接有耐磨刷头一，所述框架的外侧固定连接有下部桶型固定座，所述下部桶型固定座上固定连接有支撑杆二，所述支撑杆二上固定连接有耐磨刷头二，所述冷却罩工位桌台板上接触有反应腔体。本发明涉及一种用于CVD涂层反应腔体内壁自动清洁刷，具有保护工人健康与清洗效果好的特点。
Description
技术领域
本发明属于CVD涂层反应腔体技术领域，具体为一种用于CVD涂层反应腔体内壁自动清洁刷。
背景技术
CVD是在其它材料(基材)的金属加工用工件例如模具、切削工具、耐磨损、耐腐蚀零件等的表面上成膜的方法，尤其是薄膜形成方法，化学气相沉积的特点是反应气体所含化合物的化学反应的进行，所期望的化学反应主要产物沉积在基材表面上并在那里形成涂层或者说覆膜，可能的反应副产物以气体形态出现并且必须从气体混合物中被除去以保证层膜性能，这通过排气管路来实现。但是目前清洁过程存在一些问题：
1、操作人员在刷反应腔体内壁的时候，内部的固体粉尘会掉落下来，容易掉入操作人员的眼睛里面，也会吸入口中，因而存在健康隐患。
2、人工刷内壁容易遗漏内壁的部分位置，不容易全部覆盖反应腔体内壁，因而在镀膜过程中，反应器内壁的遗留粉尘会掉在镀膜工件的表面，影响镀膜刀片的表面功能质量和外观质量。
3、操作人员人工刷内壁的时候，需要采用设备自带的起吊装置将反应腔体提升到一定的高度，在操作人员刷内壁的时候，反应腔体会有一定的晃动，同时，操作人员需要站立在反应腔体的下方进行作业，按照国家安全规定，人员不得站立在起吊物的下方，即操作人员洗刷反应腔体内壁的过程是违反安全规定的，存在一定的安全隐患
发明内容：
本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种用于CVD涂层反应腔体内壁自动清洁刷，解决了背景技术中提到的问题。
为了解决上述问题，本发明提供了一种用于CVD涂层反应腔体内壁自动清洁刷技术方案：
一种用于CVD涂层反应腔体内壁自动清洁刷，包括安装在CVD床身上的冷却罩工位桌台板与固定板，所述固定板上固定连接有旋转电机，所述冷却罩工位桌台板上通过轴承安装有旋转轴，所述旋转轴上固定连接有框架，所述框架上通过螺栓连接有顶端圆弧固定座，所述顶端圆弧固定座上固定连接有支撑杆一，所述支撑杆一上固定连接有耐磨刷头一，所述框架的外侧固定连接有下部桶型固定座，所述下部桶型固定座上固定连接有支撑杆二，所述支撑杆二上固定连接有耐磨刷头二，所述冷却罩工位桌台板上接触有反应腔体。
作为优选，所述支撑杆一的数量为多个，多个所述支撑杆一在所述顶端圆弧固定座上均匀分布。
作为优选，多个所述支撑杆一与所述顶端圆弧固定座形成半圆弧形状。
作为优选，所述支撑杆二的数量为多个，多个所述支撑杆二在所述下部桶型固定座上均匀分布。
作为优选，所述支撑杆二与所述下部桶型固定座形成圆柱状。
作为优选，所述耐磨刷头一与所述耐磨刷头二均为球型。
作为优选，所述耐磨刷头一与所述反应腔体的内壁接触，所述耐磨刷头二与所述反应腔体的内壁接触。
作为优选，所述旋转电机上设置有减速机，所述旋转轴与所述旋转电机的减速机输出端固定连接。
本发明的有益效果是：本发明涉及一种用于CVD涂层反应腔体内壁自动清洁刷，具有保护工人健康与清洗效果好的特点，在具体的使用中，与传统的用于CVD涂层反应腔体内壁自动清洁刷相比较而言，本用于CVD涂层反应腔体内壁自动清洁刷具有以下有益效果：
首先，通过在CVD床身上加设旋转电机，耐磨刷头与框架的等结构，在清洗时可以通过旋转电机带动框架外侧的耐磨刷头进行转动，耐磨刷头在传动的过程中可以有效的对反应腔体内壁进行清洗，从而可以避免人工登高清洗而造成危险，并且在清洗的过程中工人可以远离，可以避免清洗过程中粉尘落入到工人的眼部及呼吸道中，可以有效的保护了工人的工作环境健康。
其次，通过在框架的外侧加设顶端圆弧固定座与下部桶型固定座，通过顶端圆弧固定座与支撑杆一之间的配合形成一个圆弧型刷头使得刷头整体与反应腔体配合更加紧密，清理更加彻底，并且通过下部桶型固定座与支撑杆二组成桶型刷头，可以使得对反应腔体的内壁的各个位置均可以清洗到，从而可以避免在清洗时出现遗漏的位置，使得对腔体的内部清洗更加彻底。
附图说明：
为了易于说明，本发明由下述的具体实施及附图作以详细描述。
图1为本发明的整体结构示意图；
图2为本发明的图1的仰视图；
图3为本发明的图1的正视图；
图4为本发明的图1的左视图；
图5为本发明的图1的安装图；
图6为本发明的图5的正视剖视图；
图7为本发明的图3的A部结构放大图；
图中：1、冷却罩工位桌台板；2、固定板；3、旋转电机；4、旋转轴；5、框架；6、顶端圆弧固定座；7、支撑杆一；8、耐磨刷头一；9、下部桶型固定座；10、反应腔体；11、支撑杆二；12、耐磨刷头二。
具体实施方式：
如图1-7所示，本具体实施方式采用以下技术方案：
实施例：
一种用于CVD涂层反应腔体内壁自动清洁刷，包括安装在CVD床身上的冷却罩工位桌台板1与固定板 2，所述固定板2上固定连接有旋转电机 3，所述冷却罩工位桌台板1上通过轴承安装有旋转轴4，所述旋转轴4上固定连接有框架 5，所述框架5上通过螺栓连接有顶端圆弧固定座 6，所述顶端圆弧固定座6上固定连接有支撑杆一7，所述支撑杆一7上固定连接有耐磨刷头一8，所述框架5的外侧固定连接有下部桶型固定座9，所述下部桶型固定座9上固定连接有支撑杆二 11，所述支撑杆二11上固定连接有耐磨刷头二 12，所述冷却罩工位桌台板1上接触有反应腔体10。
其中，所述支撑杆一7的数量为多个，多个所述支撑杆一7在所述顶端圆弧固定座6上均匀分布，多个支撑杆一7可以支撑多个耐磨刷头一8。
其中，多个所述支撑杆一7与所述顶端圆弧固定座6形成半圆弧形状，半圆弧型可以使耐磨刷头一8与反应腔体10的内壁顶部更加贴合。
其中，所述支撑杆二11的数量为多个，多个所述支撑杆二11在所述下部桶型固定座9上均匀分布，多个支撑杆二11固定多个耐磨刷头二12。
其中，所述支撑杆二11与所述下部桶型固定座9形成圆柱状，圆柱形可以使得耐磨刷头二12与反应腔体10的内壁更加贴合。
其中，所述耐磨刷头一8与所述耐磨刷头二12均为球型，球型较为光滑可以减少刷头的磨损。
其中，所述耐磨刷头一8与所述反应腔体10的内壁接触，所述耐磨刷头二12与所述反应腔体10的内壁接触，耐磨刷头一8与耐磨刷头二12表面较为粗糙。
其中，所述旋转电机3上设置有减速机，所述旋转轴4与所述旋转电机3的减速机输出端固定连接，减速机可以对旋转电机3输出的转速进行减速，属于现有技术。
本发明的使用状态为：启动旋转电机3，旋转电机3通过减速机带动旋转轴4进行转动，旋转轴4通过框架5带动耐磨刷头一8与耐磨刷头二12进行转动，然后再将反应腔体10通过CVD设备自带的集成转运升降机提升至旋转轴4的正上放，然后下放使得耐磨刷头一8与耐磨刷头二12与反应腔体10的内壁旋转接触，再通过集成转运升降机提升反应腔体10上下移动，耐磨刷头一8和耐磨刷头二12与反应腔体10内壁旋转和上下摩擦，耐磨刷头一8与耐磨刷头二12的表面粗糙且坚硬，在与反应腔体10内壁摩擦的过程中会将反应腔体10内壁上的涂层残留物刷掉，残留从反应腔体10内壁掉落到桌台板上，最终达到清洁反应腔内壁的功能。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点，本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内，本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (8)
1.一种用于CVD涂层反应腔体内壁自动清洁刷，包括安装在CVD床身上的冷却罩工位桌台板(1)与固定板(2)，其特征在于：所述固定板(2)上固定连接有旋转电机(3)，所述冷却罩工位桌台板(1)上通过轴承安装有旋转轴(4)，所述旋转轴(4)上固定连接有框架(5)，所述框架(5)上通过螺栓连接有顶端圆弧固定座(6)，所述顶端圆弧固定座(6)上固定连接有支撑杆一(7)，所述支撑杆一(7)上固定连接有耐磨刷头一(8)，所述框架(5)的外侧固定连接有下部桶型固定座(9)，所述下部桶型固定座(9)上固定连接有支撑杆二(11)，所述支撑杆二(11)上固定连接有耐磨刷头二(12)，所述冷却罩工位桌台板(1)上接触有反应腔体(10)。
2.根据权利要求1所述的一种用于CVD涂层反应腔体内壁自动清洁刷，其特征在于：所述支撑杆一(7)的数量为多个，多个所述支撑杆一(7)在所述顶端圆弧固定座(6)上均匀分布。
3.根据权利要求1所述的一种用于CVD涂层反应腔体内壁自动清洁刷，其特征在于：多个所述支撑杆一(7)与所述顶端圆弧固定座(6)形成半圆弧形状。
4.根据权利要求1所述的一种用于CVD涂层反应腔体内壁自动清洁刷，其特征在于：所述支撑杆二(11)的数量为多个，多个所述支撑杆二(11)在所述下部桶型固定座(9)上均匀分布。
5.根据权利要求1所述的一种用于CVD涂层反应腔体内壁自动清洁刷，其特征在于：所述支撑杆二(11)与所述下部桶型固定座(9)形成圆柱状。
6.根据权利要求1所述的一种用于CVD涂层反应腔体内壁自动清洁刷，其特征在于：所述耐磨刷头一(8)与所述耐磨刷头二(12)均为球型。
7.根据权利要求1所述的一种用于CVD涂层反应腔体内壁自动清洁刷，其特征在于：所述耐磨刷头一(8)与所述反应腔体(10)的内壁接触，所述耐磨刷头二(12)与所述反应腔体(10)的内壁接触。
8.根据权利要求1所述的一种用于CVD涂层反应腔体内壁自动清洁刷，其特征在于：所述旋转电机(3)上设置有减速机，所述旋转轴(4)与所述旋转电机(3)的减速机输出端固定连接。
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