CN114042601A

CN114042601A - 一种半导体用点胶机

Info

Publication number: CN114042601A
Application number: CN202210025450.0A
Authority: CN
Inventors: 张新峰; 黄宏嘉; 帝玛; 陈善亮; 杨祚宝; 王霖; 龙安泽; 曹金星; 杜陈; 应艳阳
Original assignee: Jiangsu Zhuoyuan Semiconductor Co ltd
Current assignee: Jiangsu Zhuoyuan Semiconductor Co ltd
Priority date: 2022-01-11
Filing date: 2022-01-11
Publication date: 2022-02-15
Anticipated expiration: 2042-01-11
Also published as: CN114042601B

Abstract

本发明涉及半导体加工设备技术领域，具体涉及一种半导体用点胶机，包括机体，所述机体的顶面安装有输送器，所述机体的顶部固定连接有支架，所述支架一侧安装有点胶器，所述点胶器的底面固定连接有支撑套管，所述支撑套管的内部滑动连接有点胶柱，所述点胶柱的内部设置有多个点胶管，多个所述点胶管的底面连通有点胶嘴。本发明中，通过气压推注胶水通过点胶管移动到点胶嘴，点胶嘴移出支撑套管实现点胶，点胶结束后在复位机构的带动下使点胶柱带着点胶管及点胶嘴回到初始位置，此时传动机构带着动开合机构闭合实现将点胶嘴保护在支撑套管里面，保护了点胶嘴，也有利于减少点胶嘴直接与器件表面接触，减少胶水拉丝现象出现。

Description

一种半导体用点胶机

技术领域

本发明涉及半导体加工设备技术领域，具体涉及一种半导体用点胶机。

背景技术

在加工半导体器件时，将不同的半导体材料通过点胶机在材料表面涂覆胶水后粘合，现有技术中使用点胶机对半导体器件点滴胶水时，由于部分胶水为较黏稠的流体状，当点胶管上下移动时，滴落在半导体器件上的胶水与点胶管里面的胶水不易快速分断开，胶水受到重力往下滴落形成拉丝现象，易滴落在半导体器件非点胶位置，影响半导体器件的使用，增加半导体残次品，并且在点胶的过程中，点胶管里面容易渗进空气，使胶水里面含有气泡，影响点胶的质量，滴落在半导体器件上的胶水一般都是晾干凝固，而晾干凝固需要耗费大量的时间，影响半导体产品点胶加工的效率。

发明内容

为了克服上述的技术问题，本发明的目的在于提供一种半导体用点胶机，通过点胶器里面的气压推动胶筒里面的胶水，使胶水推注到点胶柱顶面，气压继续推注胶水使胶水沿着点胶管下移到点胶嘴里面，由于点胶柱不是内部镂空的管状结构，且点胶柱内部嵌入固定的点胶管中部多处弯折，便于胶水在挤压点胶柱顶面并往点胶管移动的过程中使点胶柱带着点胶嘴沿着支撑套管内壁下移，从而实现点胶嘴移出点胶，点胶管中部多处弯折也便于防止流体状的胶水在重力的作用下自行下落，污染输送器，通过在支撑套管的内侧壁固定连接有连接块，连接块位于点胶柱容纳腔里面的一端固定连接有圆形块一，圆形块一与容纳腔之间固定连接有复位弹簧，当点胶柱下移时复位弹簧处于压缩状态，随着点胶嘴里面的胶水滴落到半导体器件上点胶柱的重量减轻，在复位弹簧的弹力作用下使点胶柱带着点胶管及点胶嘴上移收纳到支撑套管里面，保护了点胶嘴，也有利于减少点胶嘴直接与器件表面接触，保持点胶嘴外壁干净整洁，减少胶水拉丝现象出现，且在点胶柱上移过程中，点胶柱顶面会挤压支撑套管顶部的胶水，使点胶柱顶面及点胶管里面的胶水处于充盈状态，防止空气直接渗进胶水，导致胶水鼓泡现象产生，保证了点胶的质量；

通过点胶柱带着插接轴下移，与插接轴转动连接的导向管沿着连接座带着齿轮下移，由于导向管与连接座旋合连接，使下移的导向管会伴随着转动，导向管转动带着齿轮转动使与齿轮啮合传动的环形齿转动，环形齿转动使定位环与转动环之间的多个切割叶片转动打开，方便点胶嘴移出支撑套管点胶，当点胶结束点胶嘴上移时，多个切割叶片在导向管的驱动下逐渐闭合，实现剪切点胶嘴下方的丝状胶水，进一步防止胶水拉丝现象出现，保证点胶质量，在不使用该点胶机时，切割叶片配合支撑套管也起到保护点胶嘴的作用，通过微型鼓风机向导向管里面送风，使风通过导向管底端吹向半导体器件上的点胶处，便于胶水快速晾干，且导风管的底面为斜面，便于配合圆形块二上通风孔将风吹到点胶位置。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

一种半导体用点胶机，包括机体，所述机体的顶面安装有输送器，所述机体的顶部固定连接有支架，所述支架一侧安装有点胶器，所述点胶器的底面固定连接有支撑套管，所述点胶器的内部安装有盛装胶水的胶筒，所述胶筒的底端与支撑套管的顶端可拆卸连通插接，所述支撑套管的内部滑动连接有点胶柱，所述点胶柱的内部设置有多个点胶管，多个所述点胶管的底面连通有点胶嘴，所述支撑套管的内侧壁与点胶柱的外侧壁之间设置有对称分布的两个复位机构，所述支撑套管的底面固定连接有用于剪切胶水的转动开合机构，所述支撑套管的外侧壁设置有驱动转动开合机构开合的传动机构，所述支撑套管的外侧壁固定连接有用于风干胶水的微型鼓风机，通过气压推注胶水通过点胶管移动到点胶嘴，点胶柱随着胶水的推注带着点胶管及点胶嘴移出支撑套管实现点胶，点胶结束后在复位机构的带动下使点胶柱带着点胶管及点胶嘴回到初始位置，此时传动机构带着动开合机构闭合实现将点胶嘴保护在支撑套管里面，保护了点胶嘴，也有利于减少点胶嘴直接与器件表面接触，保持点胶嘴外壁干净整洁，减少胶水拉丝现象出现。

进一步在于：多个所述点胶管呈环形等角度嵌入固定在点胶柱的内部，且所述点胶管的中部多处弯折90度，便于胶水在挤压点胶柱顶面并往点胶管移动的过程中使点胶柱带着点胶嘴沿着支撑套管内壁下移，从而实现点胶嘴移出点胶，点胶管中部多处弯折也便于防止流体状的胶水在重力的作用下自行下落，污染输送器。

进一步在于：所述点胶柱的外侧壁对称开设有两个用于容纳对应位置复位机构的容纳腔，所述容纳腔靠近支撑套管的一侧开设有长度小于容纳腔长度的滑动槽二，便于满足点胶柱在支撑套管里面上下移动。

进一步在于：所述复位机构包括与支撑套管插接固定连接的连接块，所述连接块的一端固定连接有与对应位置容纳腔滑动连接的圆形块一，所述圆形块一的顶面与对应位置容纳腔的内顶面之间固定连接有复位弹簧，从而使点胶后的点胶柱在复位弹簧的弹力作用下沿着支撑套管移动到初始位置。

进一步在于：所述转动环的外侧壁套接固定有与传动机构啮合传动的环形齿，所述切割叶片的顶面转动连接有与定位环滑动卡接的滑动块，所述切割叶片的底面转动连接有与转动环滑动连接的销轴，且销轴贯穿转动环的底面固定连接有限位块，从而使环形齿转动实现切割叶片的开合。

进一步在于：所述传动机构包括贯穿支撑套管且与点胶柱固定连接的插接轴，所述插接轴的底部转动连接有导向管，所述导向管的外侧壁旋合连接有与支撑套管固定连接的连接座，所述导向管的底不套接固定有与环形齿啮合传动的齿轮，便于导向管在上下移动的同时能够带着齿轮同步转动，实现转动开合机构的运作。

进一步在于：所述支撑套管的外侧壁开设有与插接轴滑动连接的滑动槽一，所述导向管中部的外侧壁开设有与连接座旋合连接的外螺纹，从而使导向管沿着连接座上下移动过程中会发生转动。

进一步在于：所述微型鼓风机的输出端连通有软管，所述软管背离微型鼓风机的一端与导向管的顶部插接连通，便于向导向管底端送风，快速晾干胶水。

进一步在于：所述导向管的底面为斜面，且斜面朝向支撑套管的方向，所述导向管斜面位置的内部固定连接有圆形块二，且圆形块二外侧开设有多个通风孔，便于导向管底端的风能够集中吹到点胶位置。

本发明的有益效果：

1、通过点胶器里面的气压推动胶筒里面的胶水，使胶水推注到点胶柱顶面，气压继续推注胶水使胶水沿着点胶管下移到点胶嘴里面，由于点胶柱不是内部镂空的管状结构，且点胶柱内部嵌入固定的点胶管中部多处弯折，便于胶水在挤压点胶柱顶面并往点胶管移动的过程中使点胶柱带着点胶嘴沿着支撑套管内壁下移，从而实现点胶嘴移出点胶，点胶管中部多处弯折也便于防止流体状的胶水在重力的作用下自行下落，污染输送器；

2、通过在支撑套管的内侧壁固定连接有连接块，连接块位于点胶柱容纳腔里面的一端固定连接有圆形块一，圆形块一与容纳腔之间固定连接有复位弹簧，当点胶柱下移时复位弹簧处于压缩状态，随着点胶嘴里面的胶水滴落到半导体器件上点胶柱的重量减轻，在复位弹簧的弹力作用下使点胶柱带着点胶管及点胶嘴上移收纳到支撑套管里面，保护了点胶嘴，也有利于减少点胶嘴直接与器件表面接触，保持点胶嘴外壁干净整洁，减少胶水拉丝现象出现，且在点胶柱上移过程中，点胶柱顶面会挤压支撑套管顶部的胶水，使点胶柱顶面及点胶管里面的胶水处于充盈状态，防止空气直接渗进胶水，导致胶水鼓泡现象产生，保证了点胶的质量；

3、通过点胶柱带着插接轴下移，与插接轴转动连接的导向管沿着连接座带着齿轮下移，由于导向管与连接座旋合连接，使下移的导向管会伴随着转动，导向管转动带着齿轮转动使与齿轮啮合传动的环形齿转动，环形齿转动使定位环与转动环之间的多个切割叶片转动打开，方便点胶嘴移出支撑套管点胶，当点胶结束点胶嘴上移时，多个切割叶片在导向管的驱动下逐渐闭合，实现剪切点胶嘴下方的丝状胶水，进一步防止胶水拉丝现象出现，保证点胶质量，在不使用该点胶机时，切割叶片配合支撑套管也起到保护点胶嘴的作用，通过微型鼓风机向导向管里面送风，使风通过导向管底端吹向半导体器件上的点胶处，便于胶水快速晾干，且导风管的底面为斜面，便于配合圆形块二上通风孔将风吹到点胶位置。

附图说明

下面结合附图对本发明作进一步的说明。

图1是本发明整体结构示意图；

图2是本发明图1中A处局部放大结构示意图；

图3是本发明中支撑套管内部结构示意图；

图4是本发明中支撑套管与点胶柱剖视图；

图5是本发明图4中B处局部放大结构示意图；

图6是本发明中传动机构结构示意图；

图7是本发明中转动开合机构结构示意图；

图8是本发明中转动开合机构爆炸图；

图9是本发明中微型鼓风机与导向管结构示意图。

图中：100、机体；110、输送器；120、支架；200、点胶器；300、支撑套管；310、滑动槽一；400、点胶柱；410、点胶管；420、点胶嘴；430、容纳腔；431、滑动槽二；500、复位机构；510、连接块；520、圆形块一；530、复位弹簧；600、转动开合机构；610、定位环；620、转动环；621、环形齿；630、切割叶片；700、传动机构；710、插接轴；720、导向管；721、圆形块二；730、连接座；740、齿轮；800、微型鼓风机。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-9所示，一种半导体用点胶机，包括机体100，机体100的顶面安装有输送器110，机体100的顶部固定连接有支架120，支架120一侧安装有点胶器200，点胶器200的底面固定连接有支撑套管300，点胶器200的内部安装有盛装胶水的胶筒，胶筒的底端与支撑套管300的顶端可拆卸连通插接，支撑套管300的内部滑动连接有点胶柱400，点胶柱400的内部设置有多个点胶管410，多个点胶管410的底面连通有点胶嘴420，支撑套管300的内侧壁与点胶柱400的外侧壁之间设置有对称分布的两个复位机构500，支撑套管300的底面固定连接有用于剪切胶水的转动开合机构600，转动开合机构600包括与支撑套管300底面固定连接的定位环610，定位环610的下方设置有转动环620，定位环610与转动环620之间滑动卡接有多个呈环形等角度排列的切割叶片630，通过切割叶片630的开合实现剪切丝状胶水，也便于保护点胶嘴420，支撑套管300的外侧壁设置有驱动转动开合机构600开合的传动机构700，支撑套管300的外侧壁固定连接有用于风干胶水的微型鼓风机800，通过气压推注胶水通过点胶管410移动到点胶嘴420，点胶柱400随着胶水的推注带着点胶管410及点胶嘴420移出支撑套管300实现点胶，点胶结束后在复位机构500的带动下使点胶柱400带着点胶管410及点胶嘴420回到初始位置，此时传动机构700带着转动开合机构600闭合实现将点胶嘴420保护在支撑套管300里面，保护了点胶嘴420，也有利于减少点胶嘴420直接与器件表面接触，保持点胶嘴420外壁干净整洁，减少胶水拉丝现象出现。

多个点胶管410呈环形等角度嵌入固定在点胶柱400的内部，且点胶管410的中部多处弯折90度，便于胶水在挤压点胶柱400顶面并往点胶管410移动的过程中使点胶柱400带着点胶嘴420沿着支撑套管300内壁下移，从而实现点胶嘴420移出点胶，点胶管410中部多处弯折也便于防止流体状的胶水在重力的作用下自行下落，污染输送器110；点胶柱400的外侧壁对称开设有两个用于容纳对应位置复位机构500的容纳腔430，容纳腔430靠近支撑套管300的一侧开设有长度小于容纳腔430长度的滑动槽二431，便于满足点胶柱400在支撑套管300里面上下移动；复位机构500包括与支撑套管300插接固定连接的连接块510，连接块510的一端固定连接有与对应位置容纳腔430滑动连接的圆形块一520，圆形块一520的顶面与对应位置容纳腔430的内顶面之间固定连接有复位弹簧530，从而使点胶后的点胶柱400在复位弹簧530的弹力作用下沿着支撑套管300移动到初始位置。

转动环620的外侧壁套接固定有与传动机构700啮合传动的环形齿621，切割叶片630的顶面转动连接有与定位环610滑动卡接的滑动块，切割叶片630的底面转动连接有与转动环620滑动连接的销轴，且销轴贯穿转动环620的底面固定连接有限位块，从而使环形齿621转动实现切割叶片630的开合；传动机构700包括贯穿支撑套管300且与点胶柱400固定连接的插接轴710，插接轴710的底部转动连接有导向管720，导向管720的外侧壁旋合连接有与支撑套管300固定连接的连接座730，导向管720的底不套接固定有与环形齿621啮合传动的齿轮740，便于导向管720在上下移动的同时能够带着齿轮740同步转动，实现转动开合机构600的运作。

支撑套管300的外侧壁开设有与插接轴710滑动连接的滑动槽一310，导向管720中部的外侧壁开设有与连接座730旋合连接的外螺纹，从而使导向管720沿着连接座730上下移动过程中会发生转动；微型鼓风机800的输出端连通有软管，软管背离微型鼓风机800的一端与导向管720的顶部插接连通，便于向导向管720底端送风，快速晾干胶水；导向管720的底面为斜面，且斜面朝向支撑套管300的方向，导向管720斜面位置的内部固定连接有圆形块二721，且圆形块二721外侧开设有多个通风孔，便于导向管720底端的风能够集中吹到点胶位置。

工作原理：使用时，开启点胶器200使气压推动胶筒里面的胶水推注到支撑套管300与点胶柱400顶面之间，继续推动胶水，使胶水通过点胶管410移动到点胶嘴420里面，在胶水通过点胶管410抵达点胶嘴420的过程中，点胶柱400带着点胶嘴420沿着支撑套管300的内侧壁下移，支撑套管300与点胶柱400之间的复位弹簧530逐渐处于拉伸状态，点胶柱400上滑动槽二431逐渐向连接块510的方向移动，点胶柱400沿着支撑套管300下移使插接轴710带着齿轮740同时下移，由于插接轴710与连接座730旋合连接，在插接轴710下移的过程中并伴随着转动，从而使齿轮740带着环形齿621转动，环形齿621转动使定位环610与转动环620之间的多个切割叶片630转动打开，方便点胶嘴420移出支撑套管300往半导体器件表面点胶；

点胶结束后，由于点胶嘴420里面的胶水已经滴落，导致点胶柱400整体重量减轻，在复位弹簧530的弹力作用下使点胶柱400带着点胶管410及点胶嘴420沿着支撑套管300的内侧壁向上移动到初始位置，在该移动过程中，气压不推注胶水，点胶柱400顶面会挤压支撑套管300顶部的胶水，使点胶柱400顶面及点胶管410里面的胶水处于充盈状态，防止空气直接渗进胶水，导致胶水鼓泡现象产生，与此同时点胶柱400带着插接轴710上移，使插接轴710带着齿轮740反向转动，从而使环形齿621转动闭合多个切割叶片630，切割叶片630闭合过程能够将点胶嘴420下方的丝状胶水切断，且配合支撑套管300便于将点胶嘴420保护起来，减少点胶嘴420直接与器件表面接触，在点胶嘴420点胶时，开启微型鼓风机800，使风通过导向管720输送到点胶位置，便于快速晾干胶水，在向点胶处吹风时，导向管720底端的斜面朝向点胶处，且圆形块二721上的通风孔倾斜对着点胶处，实现将风集中吹向点胶后的胶水。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上内容仅仅是对本发明所作的举例和说明，所属本技术领域的技术人员对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离发明或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本发明的保护范围。

Claims

1.一种半导体用点胶机，包括机体（100），其特征在于，所述机体（100）的顶面安装有输送器（110），所述机体（100）的顶部固定连接有支架（120），所述支架（120）一侧安装有点胶器（200），所述点胶器（200）的底面固定连接有支撑套管（300），所述点胶器（200）的内部安装有盛装胶水的胶筒，所述胶筒的底端与支撑套管（300）的顶端可拆卸连通插接；

所述支撑套管（300）的内部滑动连接有点胶柱（400），所述点胶柱（400）的内部设置有多个点胶管（410），多个所述点胶管（410）的底面连通有点胶嘴（420），所述支撑套管（300）的内侧壁与点胶柱（400）的外侧壁之间设置有对称分布的两个复位机构（500），所述支撑套管（300）的底面固定连接有用于剪切胶水的转动开合机构（600），所述转动开合机构（600）包括与支撑套管（300）底面固定连接的定位环（610），所述定位环（610）的下方设置有转动环（620），所述定位环（610）与转动环（620）之间滑动卡接有多个呈环形等角度排列的切割叶片（630），所述支撑套管（300）的外侧壁设置有驱动转动开合机构（600）开合的传动机构（700），所述支撑套管（300）的外侧壁固定连接有用于风干胶水的微型鼓风机（800）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体用点胶机,其特征在于，多个所述点胶管（410）呈环形等角度嵌入固定在点胶柱（400）的内部，且所述点胶管（410）的中部多处弯折90度。

3.根据权利要求1所述的一种半导体用点胶机,其特征在于，所述点胶柱（400）的外侧壁对称开设有两个用于容纳对应位置复位机构（500）的容纳腔（430），所述容纳腔（430）靠近支撑套管（300）的一侧开设有长度小于容纳腔（430）长度的滑动槽二（431）。

4.根据权利要求1所述的一种半导体用点胶机,其特征在于，所述复位机构（500）包括与支撑套管（300）插接固定连接的连接块（510），所述连接块（510）的一端固定连接有与对应位置容纳腔（430）滑动连接的圆形块一（520），所述圆形块一（520）的顶面与对应位置容纳腔（430）的内顶面之间固定连接有复位弹簧（530）。

5.根据权利要求1所述的一种半导体用点胶机,其特征在于，所述转动环（620）的外侧壁套接固定有与传动机构（700）啮合传动的环形齿（621），所述切割叶片（630）的顶面转动连接有与定位环（610）滑动卡接的滑动块，所述切割叶片（630）的底面转动连接有与转动环（620）滑动连接的销轴，且销轴贯穿转动环（620）的底面固定连接有限位块。

6.根据权利要求1所述的一种半导体用点胶机,其特征在于，所述传动机构（700）包括贯穿支撑套管（300）且与点胶柱（400）固定连接的插接轴（710），所述插接轴（710）的底部转动连接有导向管（720），所述导向管（720）的外侧壁旋合连接有与支撑套管（300）固定连接的连接座（730），所述导向管（720）的底不套接固定有与环形齿（621）啮合传动的齿轮（740）。

7.根据权利要求6所述的一种半导体用点胶机,其特征在于，所述支撑套管（300）的外侧壁开设有与插接轴（710）滑动连接的滑动槽一（310），所述导向管（720）中部的外侧壁开设有与连接座（730）旋合连接的外螺纹。

8.根据权利要求1所述的一种半导体用点胶机,其特征在于，所述微型鼓风机（800）的输出端连通有软管，所述软管背离微型鼓风机（800）的一端与导向管（720）的顶部插接连通。

9.根据权利要求8所述的一种半导体用点胶机,其特征在于，所述导向管（720）的底面为斜面，且斜面朝向支撑套管（300）的方向，所述导向管（720）斜面位置的内部固定连接有圆形块二（721），且圆形块二（721）外侧开设有多个通风孔。