CN114034958A - 一种载体电性能参数的测试装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种载体电性能参数的测试装置，包括工作台、一设置在工作台上并可沿X轴向移动的载体承载机构、一设置于所述载体承载机构上方的滚轮测试机构以及一控制所述滚轮测试机构沿Y轴和Z轴方向移动的滚轮控制机构；所述滚轮控制机构控制滚轮测试机构分别沿Y轴和沿Z轴方向靠近承载于载体承载机构上的载体，并在与载体接触时通过移动载体承载机构实现对载体承载机构上载体的电性能参数的批量测试，可有效提高载体的测试效率，减少疲劳造成的误判，提高测试的质量，增加测试结果的精准度。

Description

一种载体电性能参数的测试装置

技术领域

本发明涉及载体电性能参数测试技术领域，特别是涉及一种载体电性能参数的测试装置。

背景技术

在光电耦合器的生产过程中，需要对完成贴片键合的载体进行电性能测试，测试合格的载体才能进入下一道工序。目前，对于载体的电性能测试通常是由人工完成，其具体为将待测试的载体放置在夹具上，测试人员连接好测试仪器，用探针逐一接触载体两端的金带部分，观察测试数据是否合格。

但是，在实际生产中，由于载体的体积较小、数量较多，并且载体的型号多、差异大，人工进行大批量载体测试时，使用探针方式逐一测试容易疲劳导致测试结果误判，不仅载体的合格率低，同时测试效率也较低。另外，在光电耦合器生成的前后道工序逐步自动化的背景下，人工探针测试方案不能够满足前后工序的衔接和效率要求。

发明内容

本发明的目的在于提供一种载体电性能参数的测试装置，以解决现有技术中传统的探针测试方式的合格率低、效率低以及与光电耦合器生产前后工序无法衔接的问题。

为解决上述问题，本发明提供一种载体电性能参数的测试装置，包括工作台，还包括一设置在工作台上并可沿X轴向移动的载体承载机构、一设置于所述载体承载机构上方的滚轮测试机构以及一控制所述滚轮测试机构沿Y轴和Z轴方向移动的滚轮控制机构；所述滚轮控制机构控制滚轮测试机构分别沿Y轴和沿Z轴方向靠近承载于载体承载机构上的载体，并在与载体接触时通过移动载体承载机构实现对载体承载机构上载体的电性能参数的批量测试。

进一步的，所述滚轮测试机构包括至少一组沿Y轴方向滑动设置在所述滚轮控制机构上的滚轮测试组，每一滚轮测试组均包括两个平行于Z轴设置的滚轮组件，测试时，两个所述滚轮组件的底部分别与所述载体的两端相接触。

进一步的，所述滚轮组件包括一与所述滚轮控制机构连接的滚轮连接座、一设于所述滚轮连接座下方的滚轮安装座以及一转动设置在所述滚轮安装座底部的滚轮，所述滚轮上电连接有测试线。

进一步的，所述滚轮控制机构包括一固定设置在工作台上的第一安装座、一沿Z轴方向滑动设置在所述第一安装座上的第二安装座以及固定安装在第二安装座上并与所述滚轮测试组一一对应设置的滚轮控制组，每一所述滚轮控制组均包括一一对应控制两个滚轮组件的Y轴控制组件，所述滚轮组件固定安装在对应的Y轴控制组件上。

进一步的，所述滚轮控制机构还包括一Z轴控制组件，所述Z轴控制组件包括一沿Z轴方向固定在所述第一安装座上的Z轴导向座、一滑动设置在所述Z轴导向座上的Z轴调节座以及一固定在所述Z轴导向座上的第一锁紧部，所述第二安装座固定安装在所述Z轴调节座上；所述第一锁紧部包括一固定安装在所述Z轴导向座上的第一固定板以及一穿设在所述第一固定板上并与Z轴调节座的对应位置螺接的第一锁定旋钮；所述第一固定板具有一与所述Z轴调节座的外壁重叠的第一贴合位置，在第一贴合位置上设有一与Z轴方向平行的第一调节槽，所述第一锁定旋钮穿设在所述第一调节槽内。

进一步的，所述Y轴控制组件包括一沿Y轴方向固定设置在所述第二安装座上的Y轴导向座、一滑动设置在所述Y轴导向座上的Y轴调节座以及一固定在Y轴导向座上的第二锁紧部，所述滚轮组件固定在所述Y轴调节座上；所述第二锁紧部包括一固定安装在所述Y轴导向座上的第二固定板以及一穿设在所述第二固定板上并与Y轴调节座的对应位置螺接的第二锁定旋钮；所述第二固定板具有一与所述Y轴导向座的外壁重叠的第二贴合位置，在第二贴合位置上设有一与Y轴方向平行的第二调节槽，所述第二锁定旋钮穿设在所述第二调节槽内。

进一步的，所述Y轴控制机构还包括固定在Y轴导向座上的调节部，所述调节部包括一固定在所述Y轴导向座上的安装块、一固定在所述Y轴调节座上并与所述安装块相对设置的固定块以及一螺旋测微仪，所述安装块上具有一安装孔，所述螺旋测微仪固定穿设在所述安装孔内，且在所述螺旋测微仪对应于所述固定块的一端均有一可伸缩的顶针，所述顶针与固定块的对应位置固定连接。

进一步的，所述工作台上沿X轴方向设置有一导轨，所述载体承载机构包括一滑动设置在所述导轨上的X轴控制组件、一固定设置在所述X轴控制组件上的吸附组件以及一可拆卸设置在所述吸附组件上的载具；所述载具的上表面具有若干间隔测试的测试位，每一所述测试位上均设有与载体尺寸适配的定位槽，所述定位槽内设有向下贯通所述载具并与所述吸附组件连通的真空通道。

进一步的，所述吸附组件包括一固定在所述X轴控制组件上的真空座以及以设置在所述真空座一端的真空接头，所述真空座内具有一与所述真空接头连通的内腔，所述载具可拆卸安装在所述真空座上，且所述真空通道与所述内腔连通。

进一步的，所述X轴控制组件包括一滑动设置在所述导轨上的X轴调节座以及一固定设置在所述X轴调节座上的真空安装座，所述吸附组件可拆卸安装在所述真空安装座上；所述X轴控制组件还包括一固定设置在所述X轴调节座一侧的把手。

本发明通过平行设置的两个滚轮组件与载具上承载的载体两端的金带接触，并通过X轴控制组件带动载具和载体沿导轨滑动，使滚轮可以对载具上承载的载体依次进行测试，可有效提高测试效率；并且设置的Y轴控制组件可调节两个滚轮组件之间的间距，仅需更换与载体尺寸适配的载具而无需更换滚轮组件即可实现不同尺寸载体的电性能参数测试，适用范围广、兼容性强。

附图说明

图1为本发明一种载体电性能参数的测试装置的结构示意图。

图2为图1中滚轮测试机构的结构示意图。

图3为图1中滚轮测试机构与滚轮测试机构的结构示意图。

图4为图3中A处的放大结构图。

图5为图3中滚轮组件与Y轴控制组件的结构示意图。

图6为图5的另一结构示意图。

图7为图1中载体承载机构的结构示意图。

图8为图7中载具的结构示意图。

图9为图7中吸附组件的结构示意图。

说明书附图说明如下：

载体100、工作台1、滚轮测试机构2、滚轮组件21、滚轮211、滚轮安装座212、滚轮连接座213、销钉214、缓冲弹簧215滚轮控制机构3、第一安装座31、第二安装座32、Z轴控制组件33、Z轴导向座331、Z轴调节座332、第一锁紧部333、第一固定板333a、第一锁定旋钮333b、第一贴合位置333c、第一调节槽333d、Y轴控制组件34、Y轴导向座341、Y轴调节座342、第二锁紧部343、第二固定板343a、第二锁定旋钮343b、第二贴合位置343c、第二调节槽343d、调节部344、安装块344a、固定块344b、螺旋测微仪344c、顶针344d、载体承载机构4、X轴控制组件41、真空安装座411、X轴调节座412、把手413、吸附组件42、真空座421、内腔421a、环形槽421b、真空接头422、载具43、定位槽431、真空通道432、限位突起433、导轨5。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步说明。

如图1所示，本发明的一种载体100电性能参数的测试装置包括工作台1、滚轮测试机构2、滚轮控制机构3和载体承载机构4，所述滚轮测试机构2具有沿Y轴和Z轴两个方向的平移自由度，用于对待测试的载体100进行电性能参数的测试。所述滚轮控制机构3固定设置在工作台1上，所述滚轮测试机构2固定在所述滚轮控制机构3上，所述滚轮控制机构3用于控制所述滚轮测试机构2相对于工作台1沿Y轴方向左右平移以及相对于工作台1沿Z轴方向上下移动。所述载体承载机构4沿X轴方向滑动设置在所述工作台1上并对应设置在滚轮测试机构2的下方；具体的，所述工作台1上沿X轴方向设置有一导轨5，所述载体承载机构4滑动设置在所述导轨5上；所述载体100承载并固定在所述载体承载机构4上。在本实施例中，所述X轴方向为与工作台1的长度方向平行的方向，所述Y轴方向为与工作台1的宽度方向平行的方向，所述Z轴方向为与工作台1所在平面垂直的方向。本实施例在具体实现时，将载体100固定在承台机构上，通过滚轮控制机构3控制所述滚轮测试机构2移动至载体100上方并与载体100两端的金带接触，然后移动载体承载机构4，在载体承载机构4移动的过程中实现对承载其上的载体100进行批量测试，以提高测试的效率。

如图2所示，所述滚轮测试机构2包括至少一组滚轮测试组，所述滚轮测试组沿Y轴方向滑动设置在所述滚轮控制机构3上，在本实施例中，设置有一组滚轮测试组，每一滚轮测试组均包括两个平行于Z轴设置的滚轮组件21，测试时，两个所述滚轮组件21的底部分别与所述载体100两端的金带接触，可对载体承载机构4上的一路载体100进行测试。可理解的，在其他可选的实施例中，可以沿Y轴方向设置多组相互平行的滚轮测试组(即多组滚轮组件21)，使得滚轮测试机构2可以同时对载体承载机构4上的多路载体100进行测试，以进一步提高测试效率。

所述滚轮组件21包括滚轮211、滚轮安装座212和滚轮连接座213，所述滚轮211转动安装在所述滚轮安装座212的底部，且所述滚轮211与载体100上对应端的金带接触，以对载体100的电性能参数进行测试；具体的，所述滚轮211由金属材料制成，并且在同一组的两个滚轮211上分别电连接有测试线(图中未示出)的阴极和阳极，使得在测试时，滚轮211与载体100上对应端的金带接触时产生的测试信号可经测试线向外传输，实现其载体100电性能参数的测试。在本实施例中，将滚轮211的转动安装在滚轮安装座212的底部的作用在于可减小载体100移动过程中与滚轮211表面的摩擦力，不仅可以减小对载体100表面的损伤还能进一步提高测试效率。所述滚轮连接座213的一端固定在所述滚轮安装座212的顶部，另一端沿Y轴方向滑动设置在所述滚轮测试机构2的对应位置，用于调节滚轮211与载体100的相对位置，使滚轮211与载体100两端的金带对准，以提高测试精度。

在本实施例中，为进一步减小滚轮211与载体100之间的相对摩擦，在所述滚轮安装座212的顶部浮动安装有销钉214，所述销钉214的两端分别与滚轮安装座212和滚轮连接座213的对应位置连接，且所述销钉214至少有一端与对应端的滚轮安装座212和滚轮连接座213为浮动连接，以避免滚轮211与载体100之间的压力过大而造成载体100表面的损坏。在所述滚轮安装座212和滚轮连接座213之间还固置有缓冲弹簧215，以便在滚轮211与载体100接触时，能够吸收滚轮211对载体100的冲击力，能够进一步避免滚轮100表面的损坏。

如图3和图4所示，所述滚轮控制机构3包括第一安装座31、第二安装座32、Z轴控制组件33和滚轮控制组，所述第一安装座31固定在工作台1上，所述第二安装座32沿Z轴方向滑动设置在所述第一安装座31上，所述Z轴控制组件33用于控制第二安装座32在Z轴方向上的运动。所述滚轮控制组固定安装在第二安装座32上，使得第二安装座32沿Z轴方向运动时，能带动滚轮控制组同步运动。所述滚轮测试组一一对应安装在所述滚轮控制组上，所述滚轮控制组用于控制滚轮测试组在Y轴方向上的运动，并且还能在随着第二安装座32运动时带动滚轮测试组同步运动，实现滚轮测试组相对于工作台1在Y轴和Z轴两个方向的运动。

所述Z轴控制组件33包括Z轴导向座331、Z轴调节座332和第一锁紧部333，所述Z轴导向座331沿Z轴方向固定安装在第一安装座31上，所述Z轴调节座332滑动设置在Z轴导向座331上，所述第二安装座32固定安装在所述Z轴调节座332上，使所述Z轴调节座332沿Z轴导向座331滑动时，可带动第二安装座32及安装其上的滚轮控制组同步移动。所述第一锁紧部333固定安装在Z轴导向座331上，用于实现Z轴控制组件33的锁定。所述第一锁紧部333第一固定板333a和第一锁定旋钮333b，所述第一固定板333a固定安装在Z轴导向座331上，所述第一锁定旋钮333b穿设在第一固定板333a上并与Z轴调节座332的对应位置螺接，以对Z轴导向座331和Z轴调节座332的相对位置进行固定。具体的，所述第一固定板333a具有一延伸至所述Z轴调节座332一侧并与Z轴调节座332的外壁重叠的第一贴合位置333c，在第一贴合位置333c上设有一与Z轴方向平行的第一调节槽333d，所述第一锁定旋钮333b穿设在第一调节槽333d内，通过将第一锁定旋钮333b拧松后可对Z轴调节座332进行移动，随着Z轴调节座332的移动，第一锁定旋钮333b也将沿第一调节槽333d移动，移动到位后，再将第一锁定旋钮333b拧紧，以对Z轴调节座332的位置进行锁定。在本实施例中，所述Z轴调节座332的移动可通过现有的螺旋测微器件、螺杆等方式实现，在此，对Z轴调节座332的移动方式不一一赘述。

如图5和图6所示，每一所述滚轮控制组均包括一一对应控制两个滚轮组件21的两个Y轴控制组件34，所述滚轮组件21固定安装在对应的Y轴控制组件34上，所述Y轴控制组件34用于控制所述对应的滚轮组件21在Y轴方向上的移动，以便调节滚轮组件21与载体100的相对位置；并且，所述Y轴控制组件34可对安装其上的滚轮组件21进行独立控制，以便改变同组的两个滚轮组件21之间的距离，使其能够适应不同尺寸载体100的测试。

所述Y轴控制组件34包括Y轴导向座341、Y轴调节座342、第二锁紧部343和调节部344，所述Y轴导向座341沿Y轴方向固定安装在所述第二安装座32上，所述Y轴调节座342滑动设置在Y轴导向座341上，所述滚轮组件21固定在Y轴调节座342上，使Y轴调节座342沿Y轴导向座341滑动时，可带动滚轮组件21同步移动。所述第二锁紧部343和调节部344相对固置在Y轴导向座341的两侧，所述第二锁紧部343用于实现Y轴控制组件34的锁定；所述调节部344用于对Y轴调节座342的位置进行微调。

所述第二锁紧部343包括第二固定板343a和第二锁定旋钮343b，所述第二固定板343a固定安装在Y轴导向座341上，所述第二锁定旋钮343b穿设在第二固定板343a上并与Y轴调节座342的对应位置螺接，以对Y轴导向座341和Y轴调节座342的相对位置进行固定。具体的，所述第二固定板343a具有一延伸至所述Y轴调节座342一侧并与Y轴调节座342的外壁重叠的第二贴合位置343c，在第二贴合位置343c上设有一与Y轴方向平行的第二调节槽343d，所述第二锁定旋钮343b穿设在第二调节槽343d内，通过将第二锁定旋钮343b拧松后可对Y轴调节座342进行移动，随着Y轴调节座342的移动，第二锁定旋钮343b也将沿第二调节槽343d移动，移动到位后，再将第二锁定旋钮343b拧紧，以对Y轴调节座342的位置进行锁定。

在本实施例中，所述调节部344包括安装块344a、固定块344b和螺旋测微仪344c，所述安装块344a固定安装在Y轴导向座341上，所述固定块344b固定安装在Y轴调节座342上并与所述安装块344a相对，所述螺旋测微仪344c固定安装在所述安装块344a上并与固定座的对应位置固定连接。具体的，所述安装块344a上设有一安装孔(图中未标示)，所述螺旋测微仪344c的主体部分固定穿设在该安装孔内，在所述螺旋测微仪344c的穿出端(与所述固定块344b相对的一端)具有一可伸缩的顶针344d，所述顶针344d与固定板的对应位置固定连接，使得通过顶针344d的伸缩可对Y轴调节座342的位置进行微调，进而调节两个滚轮211之间的距离，而无需更换滚轮211，方便快捷。可理解的，在其他可选的实施例中，所述螺旋测微仪344c也可采用微调螺杆等器件代替，只需能够实现Y轴调节座342的微调即可。

如图7、图8和图9所示，所述载体承载机构4包括X轴控制组件41、吸附组件42和载具43，所述载具43相对设置在滚轮211的下方，所述载具43用于承载待测试的载体100。所述载具43通过螺栓或插销可拆卸安装在所述吸附组件42上，所述吸附组件42可将承载于载具43上的载体100进行吸附并固定。所述X轴控制组件41滑动设置在导轨5上，且所述吸附组件42固定设置在所述X轴控制组件41上，使得X轴控制组件41沿导轨5移动时，能带动吸附组件42及设置其上并承载有载体100的载具43同步移动，进而使滚轮211能够对载体100进行批量测试。

在本实施例中，所述载具43的上表面具有若干间隔测试的测试位，每一测试位中可对应放置一个载体100。具体的，每一所述测试位上均设有与载体100尺寸适配的定位槽431，所述定位槽431内设有向下贯通所述载具43并与所述吸附组件42连通的真空通道432，以对载体100进行吸附。在另一可选的实施例中，所述载具43的上表面沿其长度方向设置的放置槽，所述放置槽的宽度与待测试的载体100的尺寸适配，在所述放置槽内间隔设有若干限位突起433，真空通道432设置在相邻的两个限位突起433之间，所述载体100放置于两个限位突起433所限定的空间内形成所述定位槽431。

所述吸附组件42包括一固定在所述X轴控制组件41上的真空座421以及以设置在所述真空座421一端的真空接头422，所述真空座421内具有一与所述真空接头422连通的内腔421a，所述载具43可拆卸安装在所述真空座421上，且所述真空通道432与所述内腔421a连通，所述真空接头422用于外接真空泵，工作时，可在所述内腔421a与真空通道432内形成真空，以吸附载体100。在本实施例中，为实现对载体100的稳定吸附，在所述真空座421上对应载具43的一面设有一环形槽421b，在所述载具43上对应所述环形槽421b的位置处固置有一与所述环形槽421b适配的密封圈(图中未示出)，以便于在载具43安装后，能够实现内腔421a的密封。

所述X轴控制组件41包括真空安装座411、X轴调节座412和把手413，所述吸附组件42可拆卸安装在所述真空安装座411上，便于根据载体100尺寸更换不同规格的吸附组件42。所述X轴调节座412滑动安装在所述导轨5上，所述真空安装座411固定安装在所述X轴调节座412上，以便于通过X轴调节座412的滑动带动吸附组件42以及其上的载具43移动。所述把手413固定安装在X轴调节座412的一侧，以用于辅助X轴调节座412的移动。

本发明在使用时，首先，根据载体100的尺寸选择合适的载具43，将载体100一一对应放置在载具43上的定位槽431内，并将载具43安装至吸附组件42的对应位置，启动真空泵，将载体100固定至当前位置。然后，根据载体100的位置，将其中一个Y轴控制组件34的第二锁定旋钮343b拧松，旋转其上的螺旋测微仪344c，调节顶针344d伸出的长度，使顶针344d带动固定块344b和Y轴调节座342移动，进而移动对应的滚轮组件21，使其带动滚轮211移动至载体100对应端的金带上方后，拧紧其第二锁定旋钮343b；再根据载体100的尺寸，将另一个Y轴控制组件34的第二锁定旋钮343b拧松，旋转其上的螺旋测微仪344c，调节顶针344d伸出的长度，使顶针344d带动固定块344b和Y轴调节座342移动，进而带动对应的滚轮组件21向已调节好位置的滚轮组件21靠近或远离，直至两个滚轮211之间的宽度与载体100的尺寸适配后，将第二锁定旋钮343b拧紧，完成滚轮组件21在Y轴方向上相对位置的调节。接着，将Z轴控制组件33的第一锁定旋钮333b拧松，向下移动Z轴调节座332，使Z轴调节座332带动第二安装座32和滚轮控制组同步移动，进而带动滚轮组件21下降，直至滚轮211的表面与载体100的金带接触后，拧紧第一锁定旋钮333b，完成滚轮组件21在Z轴方向上相对位置的调节。最后，握住把手413，沿X轴方向移动X轴控制组件41，使X轴控制组件41带动吸附机构和载具43同步移动，进而使载体100依次与滚轮211接触，实现对载体100的批量测试，能够明显提高测试效率，并且相较于人工操作来说，还能减少因疲劳造成的误判，使得载体100的成品率明显提高。

本发明通过采用载体承载机构4在导轨5上的滑动来实现载体100与滚轮211之间的相对移动，进而实现载体100的电性能参数的测试，相较于采用滚轮211的移动来实现二者的相对移动来说，本发明的测试线在测试时无需跟随移动，能够有效避免测试线缠绕，进而防止载体100的漏测、错测等，从而能够提高检测的全面性，测试结构更加稳定。

在本发明中，由于载具43是可拆卸设置在吸附机构上的，在进行测试的同时，可使用另一载具43进行备料，以便在上一批次载具43测试完成后能够立即衔接进行下一批次的测试，缩短了中间备料的时间，可进一步提高测试效率；并且，还可根据待测试载体100的尺寸不同而更换不同规格的载具43，使本发明的使用更具灵活性。另，拆卸下来的载具43还可作为载体100的转运托盘使用，能够进一步增加使用的灵活性。

本发明在使用时，还可将Z轴控制组件33、Y轴控制组件34和/或X轴控制组件41嵌入自动化设备中，使本发明的使用更加方便、快捷，有利于进一步提高测试效率。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。以上仅为本发明的实施方式，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构，直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理在本发明的专利保护范围之内。

Claims (10)

1.一种载体电性能参数的测试装置，包括工作台，其特征在于：还包括一设置在工作台上并可沿X轴向移动的载体承载机构、一设置于所述载体承载机构上方的滚轮测试机构以及一控制所述滚轮测试机构沿Y轴和Z轴方向移动的滚轮控制机构；所述滚轮控制机构控制滚轮测试机构分别沿Y轴和沿Z轴方向靠近承载于载体承载机构上的载体，并在与载体接触时通过移动载体承载机构实现对载体承载机构上载体的电性能参数的批量测试。

2.根据权利要求1所述的一种载体电性能参数的测试装置，其特征在于：所述滚轮测试机构包括至少一组沿Y轴方向滑动设置在所述滚轮控制机构上的滚轮测试组，每一滚轮测试组均包括两个平行于Z轴设置的滚轮组件，测试时，两个所述滚轮组件的底部分别与所述载体的两端相接触。

3.根据权利要求2所述的一种载体电性能参数的测试装置，其特征在于：所述滚轮组件包括一与所述滚轮控制机构连接的滚轮连接座、一设于所述滚轮连接座下方的滚轮安装座以及一转动设置在所述滚轮安装座底部的滚轮，所述滚轮上电连接有测试线。

4.根据权利要求2所述的一种载体电性能参数的测试装置，其特征在于：所述滚轮控制机构包括一固定设置在工作台上的第一安装座、一沿Z轴方向滑动设置在所述第一安装座上的第二安装座以及固定安装在第二安装座上并与所述滚轮测试组一一对应设置的滚轮控制组，每一所述滚轮控制组均包括一一对应控制两个滚轮组件的Y轴控制组件，所述滚轮组件固定安装在对应的Y轴控制组件上。

5.根据权利要求4所述的一种载体电性能参数的测试装置，其特征在于：所述滚轮控制机构还包括一Z轴控制组件，所述Z轴控制组件包括一沿Z轴方向固定在所述第一安装座上的Z轴导向座、一滑动设置在所述Z轴导向座上的Z轴调节座以及一固定在所述Z轴导向座上的第一锁紧部，所述第二安装座固定安装在所述Z轴调节座上；所述第一锁紧部包括一固定安装在所述Z轴导向座上的第一固定板以及一穿设在所述第一固定板上并与Z轴调节座的对应位置螺接的第一锁定旋钮；所述第一固定板具有一与所述Z轴调节座的外壁重叠的第一贴合位置，在第一贴合位置上设有一与Z轴方向平行的第一调节槽，所述第一锁定旋钮穿设在所述第一调节槽内。

6.根据权利要求4所述的一种载体电性能参数的测试装置，其特征在于：所述Y轴控制组件包括一沿Y轴方向固定设置在所述第二安装座上的Y轴导向座、一滑动设置在所述Y轴导向座上的Y轴调节座以及一固定在Y轴导向座上的第二锁紧部，所述滚轮组件固定在所述Y轴调节座上；所述第二锁紧部包括一固定安装在所述Y轴导向座上的第二固定板以及一穿设在所述第二固定板上并与Y轴调节座的对应位置螺接的第二锁定旋钮；所述第二固定板具有一与所述Y轴导向座的外壁重叠的第二贴合位置，在第二贴合位置上设有一与Y轴方向平行的第二调节槽，所述第二锁定旋钮穿设在所述第二调节槽内。

7.根据权利要求5所述的一种载体电性能参数的测试装置，其特征在于：所述Y轴控制机构还包括固定在Y轴导向座上的调节部，所述调节部包括一固定在所述Y轴导向座上的安装块、一固定在所述Y轴调节座上并与所述安装块相对设置的固定块以及一螺旋测微仪，所述安装块上具有一安装孔，所述螺旋测微仪固定穿设在所述安装孔内，且在所述螺旋测微仪对应于所述固定块的一端均有一可伸缩的顶针，所述顶针与固定块的对应位置固定连接。

8.根据权利要求2所述的一种载体电性能参数的测试装置，其特征在于：所述工作台上沿X轴方向设置有一导轨，所述载体承载机构包括一滑动设置在所述导轨上的X轴控制组件、一固定设置在所述X轴控制组件上的吸附组件以及一可拆卸设置在所述吸附组件上的载具；所述载具的上表面具有若干间隔测试的测试位，每一所述测试位上均设有与载体尺寸适配的定位槽，所述定位槽内设有向下贯通所述载具并与所述吸附组件连通的真空通道。

9.根据权利要求8所述的一种载体电性能参数的测试装置，其特征在于：所述吸附组件包括一固定在所述X轴控制组件上的真空座以及以设置在所述真空座一端的真空接头，所述真空座内具有一与所述真空接头连通的内腔，所述载具可拆卸安装在所述真空座上，且所述真空通道与所述内腔连通。

10.根据权利要求8所述的一种载体电性能参数的测试装置，其特征在于：所述X轴控制组件包括一滑动设置在所述导轨上的X轴调节座以及一固定设置在所述X轴调节座上的真空安装座，所述吸附组件可拆卸安装在所述真空安装座上；所述X轴控制组件还包括一固定设置在所述X轴调节座一侧的把手。

Images