CN114001701A - 晶圆表面粗糙度检测装置 - Google Patents
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Abstract
本发明属于晶圆检测技术领域，尤其是晶圆表面粗糙度检测装置，包括底座，所述底座的顶部固定安装有支撑柱，支撑柱的顶部安装有顶板，顶板上安装有气缸一，所述支撑柱上滑动套设有水平板，水平板的底部转动安装有转轴，转轴的底部固定有圆盘，所述圆盘的底部滑动安装有安装板，安装板的底部固定有粗糙度仪，所述底座的顶部固定有两个支撑板；本发明实现对晶圆两端的固定，使得晶圆位置不会偏移，便于检测，实现晶圆的翻转，便于对晶圆不同面进行检测，实现粗糙度仪在平面的任一位置调节，便于对晶圆进行不同位置的检测，使得检测过程中粗糙度仪位置稳定不晃动，提升检测精度。
Description
技术领域
本发明涉及晶圆检测技术领域，尤其涉及晶圆表面粗糙度检测装置。
背景技术
现有的晶圆表面粗糙度检测装置通过人工拿着粗糙度仪进行检测，这样检测容易造成误差，手持粗糙仪不稳定，在检测时，没有对晶圆进行固定的措施，同时不便对晶圆进行翻转进行不同面的检测，人工手动翻转容易造成晶圆表面污染，为此我们提出晶圆表面粗糙度检测装置。
发明内容
本发明的目的在于提供晶圆表面粗糙度检测装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：晶圆表面粗糙度检测装置，包括底座，所述底座的顶部固定安装有支撑柱，支撑柱的顶部安装有顶板，顶板上安装有气缸一，所述支撑柱上滑动套设有水平板，水平板的底部转动安装有转轴，转轴的底部固定有圆盘，所述圆盘的底部滑动安装有安装板，安装板的底部固定有粗糙度仪，所述底座的顶部固定有两个支撑板，所述有粗糙度仪位于两个支撑板之间的上方，所述支撑板上转动安装有水平设置的横轴，所述横轴的一端固定有定位块，两个定位块相对立的一侧设有水平设置的放置板和收纳槽，收纳槽位于放置板的一侧上方，所述收纳槽内滑动安装有活动板，所述收纳槽内设有用于活动板移动的推杆电机，所述活动板的一侧滑动安装有升降块，升降块上固定连接有水平设置的L杆，L杆的一端固定连接有夹持块。
优选的，所述活动板靠近升降块的一侧开设有竖直设置的升降槽，升降槽内固定有导杆，升降块滑动套设于导杆上，升降槽内设有竖直设置的电动推杆，电动推杆的推杆与升降块固定连接。
优选的，所述支撑板上设有驱动腔，所述横轴贯穿驱动腔，驱动腔内设有减速电机，减速电机的输出轴固定有锥齿轮一，横轴上固定套设有锥齿轮二，锥齿轮一与锥齿轮二啮合。
优选的，所述水平板上设有空腔，所述转轴的顶部与空腔的顶部内壁转动连接，转轴上固定套设有齿轮，空腔内滑动安装有齿条，所述齿条与齿轮啮合，空腔内设有水平设置的电动伸缩杆，电动伸缩杆的活塞杆与齿条传动连接。
优选的，所述圆盘的底部开设有矩形槽，所述安装板与矩形槽的内壁滑动连接，矩形槽内设有水平设置的气缸二，气缸二的活塞杆与安装板传动连接。
优选的，所述矩形槽内固定安装有水平设置的滑杆，所述安装板滑动套设于滑杆上。
优选的，所述升降块靠近L杆的一侧固定有倾斜设置的加固杆，加固杆的一端与L杆固定连接。
优选的，所述夹持块的底部设有垫板，垫板由橡胶材质制成，夹持块的底部设有均匀分布份防滑纹。
本发明的有益效果：
把晶圆放在两个放置板之间，然后通过推杆电机带动活动板移动使得夹持块移动到放置板的正上方，然后通过电动推杆带动升降块下降使得L杆和夹持块下降，夹持块抵压在晶圆的顶部，实现对晶圆两端的固定，使得晶圆位置不会偏移，便于检测，同时通过减速电机带动锥齿轮一转动使得锥齿轮二转动，带动横轴转动，使得定位块转动，即可实现晶圆的翻转，便于对晶圆不同面进行检测。
通过气缸一带动水平板下降使得粗糙度仪下降与晶圆接触进行粗糙度检测，通过气缸二带动安装板水平移动，配合通过电动伸缩杆带动齿条移动使得齿轮转动使得转轴转动，带动圆盘转动，实现粗糙度仪在平面的任一位置调节，便于对晶圆进行不同位置的检测，无需人工，使得检测过程中粗糙度仪位置稳定不晃动，提升检测精度。
本发明实现对晶圆两端的固定，使得晶圆位置不会偏移，便于检测，实现晶圆的翻转，便于对晶圆不同面进行检测，实现粗糙度仪在平面的任一位置调节，便于对晶圆进行不同位置的检测，使得检测过程中粗糙度仪位置稳定不晃动，提升检测精度。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
图2为图1中A处的放大结构示意图；
图3为图2中B处的放大结构示意图；
图4为本发明的活动板剖视结构示意图；
图5为本发明的水平板部分结构剖视示意图；
图6为本发明的圆盘仰视结构示意图。
图中：1、底座；2、支撑柱；3、顶板；4、气缸一；5、水平板；6、转轴；7、圆盘；8、安装板；9、粗糙度仪；10、支撑板；11、横轴；12、定位块；13、放置板；14、收纳槽；15、推杆电机；16、活动板；17、升降块；18、L杆；19、夹持块；20、减速电机；21、电动推杆；22、空腔；23、齿轮；24、齿条；25、电动伸缩杆；26、矩形槽；27、气缸二。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-6，晶圆表面粗糙度检测装置，包括底座1，底座1的顶部固定安装有支撑柱2，支撑柱2的顶部安装有顶板3，顶板3上安装有气缸一4，支撑柱2上滑动套设有水平板5，水平板5的底部转动安装有转轴6，转轴6的底部固定有圆盘7，圆盘7的底部滑动安装有安装板8，安装板8的底部固定有粗糙度仪9，底座1的顶部固定有两个支撑板10，有粗糙度仪9位于两个支撑板10之间的上方，支撑板10上转动安装有水平设置的横轴11，横轴11的一端固定有定位块12，两个定位块12相对立的一侧设有水平设置的放置板13和收纳槽14，收纳槽14位于放置板13的一侧上方，收纳槽14内滑动安装有活动板16，收纳槽14内设有用于活动板16移动的推杆电机15，活动板16的一侧滑动安装有升降块17，升降块17上固定连接有水平设置的L杆18，L杆18的一端固定连接有夹持块19。
在本实施例中，活动板16靠近升降块17的一侧开设有竖直设置的升降槽，升降槽内固定有导杆，升降块17滑动套设于导杆上，升降槽内设有竖直设置的电动推杆21，电动推杆21的推杆与升降块17固定连接。
在本实施例中，支撑板10上设有驱动腔，横轴11贯穿驱动腔，驱动腔内设有减速电机20，减速电机20的输出轴固定有锥齿轮一，横轴11上固定套设有锥齿轮二，锥齿轮一与锥齿轮二啮合。
在本实施例中，水平板5上设有空腔22，转轴6的顶部与空腔22的顶部内壁转动连接，转轴6上固定套设有齿轮23，空腔22内滑动安装有齿条24，齿条24与齿轮23啮合，空腔22内设有水平设置的电动伸缩杆25，电动伸缩杆25的活塞杆与齿条24传动连接。
在本实施例中，圆盘7的底部开设有矩形槽26，安装板8与矩形槽26的内壁滑动连接，矩形槽26内设有水平设置的气缸二27，气缸二27的活塞杆与安装板8传动连接。
在本实施例中，矩形槽26内固定安装有水平设置的滑杆，安装板8滑动套设于滑杆上。
在本实施例中，升降块17靠近L杆18的一侧固定有倾斜设置的加固杆，加固杆的一端与L杆18固定连接。
在本实施例中，夹持块19的底部设有垫板，垫板由橡胶材质制成，夹持块19的底部设有均匀分布份防滑纹。
工作原理：把晶圆放在两个放置板13之间，然后通过推杆电机15带动活动板16移动使得夹持块19移动到放置板13的正上方，然后通过电动推杆21带动升降块17下降使得L杆18和夹持块19下降，夹持块19抵压在晶圆的顶部，实现对晶圆两端的固定，使得晶圆位置不会偏移，便于检测，同时通过减速电机20带动锥齿轮一转动使得锥齿轮二转动，带动横轴11转动，使得定位块12转动，即可实现晶圆的翻转，便于对晶圆不同面进行检测。通过气缸一4带动水平板5下降使得粗糙度仪9下降与晶圆接触进行粗糙度检测，通过气缸二27带动安装板8水平移动，配合通过电动伸缩杆25带动齿条24移动使得齿轮23转动使得转轴6转动，带动圆盘7转动，实现粗糙度仪9在平面的任一位置调节，便于对晶圆进行不同位置的检测，无需人工，使得检测过程中粗糙度仪9位置稳定不晃动，提升检测精度。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (8)
1.晶圆表面粗糙度检测装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的顶部固定安装有支撑柱(2)，支撑柱(2)的顶部安装有顶板(3)，顶板(3)上安装有气缸一(4)，所述支撑柱(2)上滑动套设有水平板(5)，水平板(5)的底部转动安装有转轴(6)，转轴(6)的底部固定有圆盘(7)，所述圆盘(7)的底部滑动安装有安装板(8)，安装板(8)的底部固定有粗糙度仪(9)，所述底座(1)的顶部固定有两个支撑板(10)，所述有粗糙度仪(9)位于两个支撑板(10)之间的上方，所述支撑板(10)上转动安装有水平设置的横轴(11)，所述横轴(11)的一端固定有定位块(12)，两个定位块(12)相对立的一侧设有水平设置的放置板(13)和收纳槽(14)，收纳槽(14)位于放置板(13)的一侧上方，所述收纳槽(14)内滑动安装有活动板(16)，所述收纳槽(14)内设有用于活动板(16)移动的推杆电机(15)，所述活动板(16)的一侧滑动安装有升降块(17)，升降块(17)上固定连接有水平设置的L杆(18)，L杆(18)的一端固定连接有夹持块(19)。
2.根据权利要求1所述的晶圆表面粗糙度检测装置，其特征在于，所述活动板(16)靠近升降块(17)的一侧开设有竖直设置的升降槽，升降槽内固定有导杆，升降块(17)滑动套设于导杆上，升降槽内设有竖直设置的电动推杆(21)，电动推杆(21)的推杆与升降块(17)固定连接。
3.根据权利要求1所述的晶圆表面粗糙度检测装置，其特征在于，所述支撑板(10)上设有驱动腔，所述横轴(11)贯穿驱动腔，驱动腔内设有减速电机(20)，减速电机(20)的输出轴固定有锥齿轮一，横轴(11)上固定套设有锥齿轮二，锥齿轮一与锥齿轮二啮合。
4.根据权利要求1所述的晶圆表面粗糙度检测装置，其特征在于，所述水平板(5)上设有空腔(22)，所述转轴(6)的顶部与空腔(22)的顶部内壁转动连接，转轴(6)上固定套设有齿轮(23)，空腔(22)内滑动安装有齿条(24)，所述齿条(24)与齿轮(23)啮合，空腔(22)内设有水平设置的电动伸缩杆(25)，电动伸缩杆(25)的活塞杆与齿条(24)传动连接。
5.根据权利要求1所述的晶圆表面粗糙度检测装置，其特征在于，所述圆盘(7)的底部开设有矩形槽(26)，所述安装板(8)与矩形槽(26)的内壁滑动连接，矩形槽(26)内设有水平设置的气缸二(27)，气缸二(27)的活塞杆与安装板(8)传动连接。
6.根据权利要求5所述的晶圆表面粗糙度检测装置，其特征在于，所述矩形槽(26)内固定安装有水平设置的滑杆，所述安装板(8)滑动套设于滑杆上。
7.根据权利要求1所述的晶圆表面粗糙度检测装置，其特征在于，所述升降块(17)靠近L杆(18)的一侧固定有倾斜设置的加固杆，加固杆的一端与L杆(18)固定连接。
8.根据权利要求1所述的晶圆表面粗糙度检测装置，其特征在于，所述夹持块(19)的底部设有垫板，垫板由橡胶材质制成，夹持块(19)的底部设有均匀分布份防滑纹。
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| CN202111263869.1A CN114001701A (zh) | 2021-10-27 | 2021-10-27 | 晶圆表面粗糙度检测装置 |
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| CN202111263869.1A CN114001701A (zh) | 2021-10-27 | 2021-10-27 | 晶圆表面粗糙度检测装置 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114695160A (zh) * | 2022-06-02 | 2022-07-01 | 江苏希太芯科技有限公司 | 一种晶圆表面粗糙度测量装置及方法 |
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2021
- 2021-10-27 CN CN202111263869.1A patent/CN114001701A/zh active Pending
Cited By (2)
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| CN114695160A (zh) * | 2022-06-02 | 2022-07-01 | 江苏希太芯科技有限公司 | 一种晶圆表面粗糙度测量装置及方法 |
| CN114695160B (zh) * | 2022-06-02 | 2022-08-02 | 江苏希太芯科技有限公司 | 一种晶圆表面粗糙度测量装置及方法 |
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Legal Events
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