CN104516131A - 一种贴膜治具 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种贴膜治具,包括:基台;用于承载基板的基板承载部;用于承载膜片的膜片承载部;膜片承载部铰接于基台上,能够相对基台旋转至闭合工位和开启工位,当膜片承载部处于闭合工位时,膜片承载部的承载面与基板承载部的承载面相对,以使膜片的第一部分与基板的第一部分接触;基板承载部可移动地设置于基台上,并能够在膜片承载部处于闭合工位之后,沿基板承载部的承载面方向平移,使基板承载部的承载面与膜片承载部的承载面发生相对运动,以使膜片的第二部分贴附于基板的第二部分。该贴膜治具的结构简单,操作方便,与采用全自动设备贴膜方式相比,节省成本,不会占用生产能力,与人手工贴膜相比,可以提高作业速度和贴附精度。

Description

一种贴膜治具
技术领域
本发明涉及贴膜加工设备技术领域,尤其涉及一种贴膜治具。
背景技术
在显示技术领域,液晶显示面板以其体积小、功耗低、无辐射、分辨率高等优点而被广泛应用。液晶显示面板在制作过程中,有一道贴膜工序,用于在显示面板上贴保护膜。目前显示面板上贴保护膜存在两种办法,一种是采用全自动设备贴附,另一种是人手工贴附。
其中,采用全自动设备进行贴膜,设备成本高,并且一般是采用贴偏光片(POL)的设备来贴保护膜,占用了正常生产能力;而采用人手工贴附的方式进行贴膜,人工成本高,且作业速度和贴附精度不能得到有效保证。
发明内容
本发明的目的是提供一种贴膜治具,结构简单,可以解决现有技术中采用全自动设备贴膜成本高,影响生产能力,而人工贴膜作业速度和贴附精度低的技术问题。
本发明所提供的技术方案如下:
一种贴膜治具,用于将膜片贴附于基板上;包括:
基台;
用于承载基板的基板承载部;
以及,用于承载膜片的膜片承载部;其中,
所述膜片承载部铰接于所述基台上,能够相对所述基台旋转至闭合工位和开启工位,其中当所述膜片承载部处于所述闭合工位时,所述膜片承载部的承载面与所述基板承载部的承载面相对,以使膜片的第一部分与基板的第一部分接触;
所述基板承载部可移动地设置于所述基台上,并能够在所述膜片承载部处于所述闭合工位之后,沿所述基板承载部的承载面方向平移,使所述基板承载部的承载面与所述膜片承载部的承载面发生相对运动,以使膜片的第二部分贴附于基板的第二部分。
进一步的,所述膜片承载部包括:
用于吸附膜片的第一部分的膜片吸附平面,所述膜片吸附平面上均匀分布有多个第一真空吸孔,所述第一真空吸孔与真空装置连接;
以及,用于收容膜片的第二部分,并在膜片的第一部分与基板的第一部分接触之后,在基板承载部沿基台平移过程中逐渐释放膜片的第二部分的供膜装置,所述供膜装置设置于所述膜片吸附平面的一侧。
进一步的,所述供膜装置包括:能够收放膜片的收放卷轴。
进一步的,所述膜片承载部还包括:设置于所述膜片吸附平面上,用于对膜片进行定位的第一定位模块。
进一步的,所述第一定位模块包括:用于对膜片的第一部分的第一侧边进行限位的第一限位尺;以及用于对膜片的第一部分的与所述第一侧边相邻接的第二侧边进行限位的第二限位尺。
进一步的,所述基板承载部包括:
用于吸附基板的基板吸附平面,所述基板吸附平面上均匀分布有多个第二真空吸孔,所述第二真空吸孔与真空装置连接。
进一步的,所述基板承载部还包括:设置于所述膜片吸附平面上,用于对膜片进行定位的第二定位模块。
进一步的,所述第二定位模块包括:
用于对基板的第一侧边进行限位的第三限位尺;以及用于对基板的与所述第一侧边相邻接的第二侧边进行限位的第四限位尺。
进一步的,所述基台包括:
与所述基板承载部的承载面平行设置的基底板,所述基底板上具有沿与所述基板承载部的承载面平行的第一方向延伸的轨道,所述基板承载部设置在所述轨道上,并可沿所述轨道移动;
以及,垂直设置于所述基底板上,并位于所述轨道的一端的侧板,所述膜片承载部铰接于所述侧板上。
进一步的,所述贴膜治具还包括用于使所述基板承载部上的基板与所述膜片承载部上的膜片进行对位的对位机构。
进一步的,所述对位机构包括:
一支撑台面,所述基板承载部可移动地设置所述支撑台面上;
一容置框架,所述容置框架设置在所述支撑台面上,围设于所述基板承载部的外周,并与所述基板承载部之间具有预留距离,所述容置框架包括沿第一方向设置的第一边框和第二边框以及沿所述第三方向设置的第三边框和第四边框,其中所述第三边框和/或所述第四边框上设置有第一通孔;
以及,用于在与所述基板承载部的承载面平行的第一方向上调整所述基板承载部的位置的第一调整组件,其中所述第一调整组件包括:
沿所述第一方向设置的第一推进杆,所述第一推进杆的一端固定于所述基板承载部,另一端穿设于所述第一通孔之外,其中所述第一推进杆沿所述第一方向在所述第一通孔内移动,以推动所述基板承载部在所述第一方向上移动;
和,用于对所述第一推进杆进行限位的第一限位件。
进一步的,所述第一推进杆的杆身上设置有刻度,用于精确测量所述第一推进杆的移动量,以在所述第一方向上精确调整所述基板承载部的位置。
进一步的,所述容置框架的第一边框和/或第二边框上设置有第二通孔;
所述对位机构还包括用于在与所述基板承载部的承载面平行并与所述第一方向垂直的第二方向上调整所述基板承载部的位置的第二调整组件,其中所述第二调整组件包括:
沿所述第二方向设置的第二推进杆,所述第二推进杆的一端固定于所述基板承载部,另一端穿设于所述第二通孔之外,其中所述第二推进杆沿所述第二方向在所述第二通孔内移动,以推动所述基板承载部在所述第二方向上移动;
和,用于对所述第二推进杆进行限位的第二限位件。
进一步的,所述第二推进杆的杆身上设置有刻度,用于精确测量所述第二推进杆的移动量,以在所述第三方向上精确调整所述基板承载部的位置。
进一步的,所述对位机构包括用于在垂直于所述基板承载部的承载面的第三方向上调整所述基板承载部的位置的第三调整组件,所述第三调整组件包括:
轴心方向与所述基板承载部平移方向一致的转轴,所述转轴与所述基板承载部连接,其中所述转轴沿其轴心自转,带动所述基板承载部在垂直于所述基板承载部的承载面的平面内旋转,以在所述第三方向上调整所述基板承载部的位置;以及,用于对所述转轴的旋转角度进行限定的第三限位件。
进一步的,所述第三调整组件还包括:用于测量所述转轴的旋转角度的角度测量装置。
本发明的有益效果如下:
本发明所提供的贴膜治具,可以将基板放置于基板承载部,膜片放置于膜片承载部之后,通过旋转膜片承载部,使得膜片与基板部分接触,再平移基板,使得膜片随基板平移而逐渐贴附于基板上。该贴膜治具的结构简单,操作方便,与现有技术中采用全自动设备贴膜方式相比,节省成本,不会占用生产能力,并且与现有技术中人手工贴膜相比,可以提高作业速度和贴附精度。
附图说明
图1为本发明实施例中所提供的贴膜治具的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述,所举实例只用于解释本发明,并非用于限定本发明的范围。
针对现有技术中面板贴保护膜工序采用全自动设备贴膜时会占用生产能力,而人手工贴膜时作业速度和贴附精度不能保证等技术问题,本发明提供了一种贴膜治具,可以解决现有技术中采用全自动设备贴膜成本高,影响生产能力,而人手工贴膜作业速度和贴附精度低的技术问题。
图1所示为本发明所提供的一种贴膜治具的结构示意图,该贴膜治具用于将膜片贴附于基板上。如图1所示,所述贴膜治具包括:
基台100;
用于承载基板20的基板承载部200;
以及,用于承载膜片30的膜片承载部300;其中,
所述膜片承载部300铰接于所述基台100上,能够相对所述基台100旋转至闭合工位和开启工位,其中当所述膜片承载部300处于所述闭合工位时,所述膜片承载部300的承载面与所述基板承载部200的承载面相对,以使膜片30的第一部分与基板20的第一部分接触;
所述基板承载部200可移动地设置于所述基台100上,并能够在所述膜片承载部300处于所述闭合工位之后,沿所述基板承载部200的承载面方向平移,使所述基板承载部200的承载面与所述膜片承载部300的承载面发生相对运动,以使膜片30的第二部分贴附于基板20的第二部分。
本发明所提供的贴膜治具进行贴膜时,可以将基板20放置于基板承载部200,膜片30放置于膜片承载部300之后,通过旋转膜片承载部300,使得膜片承载部300处于闭合工位,此时膜片30的第一部分与基板20的第一部分接触,然后再沿所述基板承载部200的承载面方向平移基板20,使得所述基板承载部200的承载面与所述膜片承载部300的承载面发生相对运动,膜片30的第二部分即随着基板20平移而逐渐贴附于基板20上,贴膜完成后,旋转膜片承载部300至开启工位,开始下一次贴膜。该贴膜治具的结构简单,操作方便,不会产生气泡,与现有技术中采用全自动设备贴膜方式相比,节省成本,不会占用生产能力,并且与现有技术中人手工贴膜相比,可以提高作业速度和贴附精度。
以下说明本发明的优选实施例。
本发明所提供的实施例中,优选的,如图1所示,所述膜片承载部300包括:
用于吸附膜片30的第一部分的膜片吸附平面301,所述膜片吸附平面301上均匀分布有多个第一真空吸孔(图中未示出),所述第一真空吸孔与真空装置连接;
以及,用于收容膜片30的第二部分,并在膜片30的第一部分与基板20的第一部分接触之后,在基板承载部200沿基台100平移过程中逐渐释放膜片30的第二部分的供膜装置302,所述供膜装置302设置于所述膜片吸附平面301的一侧。
上述方案中,膜片吸附平面301可以使得膜片30平整地展开,并且膜片30的第二部分会超出所述膜片吸附平面301之外而收容于供膜装置302内,当膜片承载部300旋转至闭合工位时,膜片吸附平面301吸附的膜片30的第一部分即平整的与基材承载部的基板20的第一部分进行面接触而贴合于基板20的第一部分上,而随着基板承载部200的平移,膜片30的第二部分逐渐被供膜装置302释放,已贴合于基板20上的膜片30的第一部分被膜片吸附平面301释放,由于膜片30的第一部分贴合于基板20上,释放的膜片30的第二部分即会被膜片吸附平面301压在平移的基板20上,从而随着基板20的平移逐渐贴附在基板20上,完成整个贴膜过程。这种贴膜过程膜片30在膜片吸附平面301挤压下逐渐贴合于基板20上,不会产生气泡,保证贴膜质量。
并且,上述方案中,膜片30通过真空吸附方式固定,在贴膜开始时,打开真空开关,膜片30吸附于膜片吸附平面301,而当膜片30的第一部分与基板20接触之后,关闭真空开关,膜片30的第一部分即从膜片吸附平面301释放,操作简单。当然可以理解的是,在实际应用中,膜片30也可以通过其他方式放置于膜片承载部300上。
本发明所提供的实施例中,优选的,如图1所示,所述供膜装置302包括:能够收放膜片30的收放卷轴。采用上述方案,所述供膜装置302可以利用收放卷轴实现,结构简单,同时收放卷轴可以对膜片30起到一个使膜片30保持平整的作用。应当理解的是,在实际应用中,所述供膜装置302也可以是采用其他结构,在此不再一一列举。
此外,本发明所提供的实施例中,进一步优选的,所述膜片承载部300还包括:设置于所述膜片吸附平面301上,用于对膜片30进行定位的第一定位模块。通过第一定位模块的设置对膜片30进行定位,以保证贴膜精度。
进一步优选的,如图1所示,所述第一定位模块包括:用于对膜片30的第一部分的第一侧边进行限位的第一限位尺303;以及用于对膜片30的第一部分的与所述第一侧边相邻接的第二侧边进行限位的第二限位尺304。上述方案,通过第一限位尺303和第二限位尺304可以对膜片30的相邻两侧边进行限位,应当理解的是,在实际应用中,所示第一定位模块的结构还可以有其他方式,在此不再列举。
本发明所提供的实施例中,优选的,如图1所示,所述基板承载部200包括:
用于吸附基板20的基板吸附平面(图中未示出),所述基板吸附平面上均匀分布有多个第二真空吸孔(图中未示出),所述第二真空吸孔与真空装置连接。
上述方案中,通过真空吸附的方式来固定基板20,贴膜时打开真空开关,基板20吸附固定于基板吸附平面,贴膜完成后,关闭真空开关,从基板吸附平面取下基板20,操作简单方便。当然,在实际应用中,所述基板承载部200的基板20固定方式并不仅局限于此。
本发明所提供的实施例中,优选的,所述基板承载部200还包括:设置于所述膜片吸附平面301上,用于对膜片30进行定位的第二定位模块。通过第二定位模块的设置对基板20进行定位,以保证贴膜精度。
进一步优选的,如图1所示,所述第二定位模块包括:
用于对基板20的第一侧边进行限位的第三限位尺203;以及用于对基板20的与所述第一侧边相邻接的第二侧边进行限位的第四限位尺204。上述方案,通过第三限位尺和第四限位尺可以对基板20的相邻两侧边进行限位,应当理解的是,在实际应用中,所示第二定位模块的结构还可以有其他方式,在此不再列举。
本发明所提供的实施例中,优选的,如图1所示,所述基台100包括:
与所述基板承载部200的承载面平行设置的基底板101,所述基底板101上具有沿与所述基板承载部200的承载面平行的第一方向延伸的轨道102,所述基板承载部200设置在所述轨道102上,并可沿所述轨道移动;
以及,垂直设置于所述基底板101上,并位于所述轨道102的一端的侧板103,所述膜片承载部300铰接于所述侧板103上。
上述方案中,所述基板承载部200通过轨道可移动地设置于基台100上,在所述膜片承载部300处于闭合工位时,实现基板承载部200沿基板承载部200的承载面方向平移,需要说明的是,轨道的具体结构在此并不进行局限。
此外,如图1所示,在轨道102的设置侧板103的一端相对的另一端可以设置一限位模块104,用于防止基板承载部200从轨道脱出。
此外,为了进一步保证贴膜精度,本发明所提供的实施例中,优选的,所述贴膜治具还包括用于使所述基板承载部200上的基板20与所述膜片承载部300上的膜片30进行对位的对位机构。
以下说明本发明优选实施例中的贴膜治具的对位机构的优选装配方式。
本发明所提供的实施例中,优选的,所述对位机构包括:
用于在与所述基板承载部200的承载面平行的第一方向上调整所述基板承载部200的位置的第一调整组件;
用于在与所述基板承载部200的承载面平行并与所述第一方向垂直的第二方向上调整所述基板承载部200的位置的第二调整组件;
以及用于在垂直于所述基板承载部200的承载面的第三方向上调整所述基板承载部200的位置的第三调整组件。
通过上述第一调整组件、第二调整组件和第三调整组件的设置,对基板20在第一方向、第二方向、第三方向这三个方向上进行位置的调整,以与膜片30进行精确对位。
如图1所示,本实施例中,优选的,所述对位机构包括:
一支撑台面,所述基板承载部200可移动地设置所述支撑台面上;
一容置框架401,所述容置框架401设置在所述支撑台面上,围设于所述基板承载部200的外周,并与所述基板承载部200的基板吸附平面之间具有预留距离,所述容置框架401包括沿第一方向设置的第一边框和第二边框以及沿所述第二方向设置的第三边框和第四边框,其中,所述第三边框和/或所述第四边框上设置有第一通孔;
所述第一调整组件包括:
沿所述第一方向设置的第一推进杆405,所述第一推进杆405的一端固定于所述基板吸附平面,另一端穿设于所述第一通孔之外,其中所述第一推进杆405沿所述第一方向在所述第一通孔内移动,以推动所述基板吸附平面在所述第一方向上移动;和,用于对所述第一推进杆405进行限位的第一限位件。
采用上述方案,在第一方向上对基板20与膜片30进行对位时,可以通过在第一方向上推动第一推进杆405,第一推进杆405即会推动与之连接的基板吸附平面沿第一方向移动,完成基板20在第一方向上的对位;当对位完成后,通过第一限位件对第一推进杆405进行限位,使得基材不会再发生偏移。采用推进杆的结构对基板20位置进行精确调整,操作方便,精度高。
进一步优选的,所述第一推进杆405的杆身上设置有刻度,用于精确测量所述第一推进杆405的移动量,以在所述第一方向上精确调整所述基板承载部200的位置。
需要说明的是,在实际应用中,所述第一调整组件的结构并不仅局限于此,还可以采用其他结构,例如:所述第一调整组件可以为一沿第一方向伸缩的伸缩液压杆等,在此不再一一列举。
此外,本实施例中,优选的,如图1所示,所述容置框架401的第一边框和/或第二边框上还设置有第二通孔;
所述第二调整组件包括:
沿所述第二方向设置的第二推进杆406,所述第二推进杆406的一端固定于所述基板承载部200,另一端穿设于所述第二通孔之外,其中所述第二推进杆406沿所述第二方向在所述第二通孔内移动,以推动所述基板承载部200在所述第二方向上移动;
和,用于对所述第二推进杆406进行限位的第二限位件。
采用上述方案,在第二方向上对基板20与膜片30进行对位时,可以通过在第二方向上推动第二推进杆406,第二推进杆406即会推动与之连接的基板吸附平面沿第二方向移动,完成基板20在第二方向上的对位;当对位完成后,通过第二限位件对第二推进杆406进行限位,使得基材不会再发生偏移。采用推进杆的结构对基板20位置进行精确调整,操作方便,精度高。
进一步优选的,所述第二推进杆406的杆身上设置有刻度,用于精确测量所述第二推进杆406的移动量,以在所述第二方向上精确调整所述基板承载部200的位置。
当然可以理解的是,在实际应用中,所述第二调整组件的结构也并不仅局限于此,还可以采用其他结构,例如:所述第二调整组件可以为一沿第二方向伸缩的伸缩液压杆等,在此不再一一列举。
进一步优选的,所述第二推进杆406的杆身上设置有刻度,用于精确测量所述第二推进杆406的移动量,以在所述第三方向上精确调整所述基板承载部200的位置。
此外,本实施例中,如图1所示,优选的,所述第三调整组件包括:
轴心方向与所述基板承载部200平移方向一致的转轴407,所述转轴407与所述基板承载部200连接,其中所述转轴407沿其轴心自转,带动所述基板承载部200在垂直于所述基板承载部200的承载面的平面内旋转,以在所述第三方向上调整所述基板承载部200的位置;以及,用于对所述转轴407的旋转角度进行限定的第三限位件。
优选的,所述转轴407与所述支撑台面连接,进而与所述基板承载部200连接。
上述方案中,为了避免基板20与膜片30不平行,本发明中通过第三调整组件可以对基板20的平面水平度进行调整,在对基板20的水平度进行调整时,可以旋转转轴407,与转轴407连接的基板承载部200即在所述第二方向和所述第三方向所在平面内进行旋转,从而实现调整基板20的水平度;当调整完毕后,通过第三限位件对转轴407进行限位,使得基材不会再发生偏移。
进一步优选的,所述第三调整组件还包括:用于测量所述转轴407的旋转角度的角度测量装置。通过设置角度测量装置来精确测量转轴407的旋转角度,进而精确调整基板20的旋转角度,保证贴膜精度。该角度测量装置可以是固定设置于支撑台面上的量角器,转轴407设置于量角器的中心,转轴407上可以设置一指针,通过指针确定转轴407的旋转角度。当然,对于该角度测量装置的具体结构在此并不进行局限,还可以采用其他结构。
此外,如图所示,本发明所提供的实施例中,为了便于操作,该贴膜治具上还可以在膜片吸附平面301以及基板吸附平面上分别设置有操作手柄500。
以上所述是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明所述原理的前提下,还可以作出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (16)

1.一种贴膜治具,用于将膜片贴附于基板上;其特征在于,包括:
基台;
用于承载基板的基板承载部;
以及,用于承载膜片的膜片承载部;其中,
所述膜片承载部铰接于所述基台上,能够相对所述基台旋转至闭合工位和开启工位,其中当所述膜片承载部处于所述闭合工位时,所述膜片承载部的承载面与所述基板承载部的承载面相对,以使膜片的第一部分与基板的第一部分接触;
所述基板承载部可移动地设置于所述基台上,并能够在所述膜片承载部处于所述闭合工位之后,沿所述基板承载部的承载面方向平移,使所述基板承载部的承载面与所述膜片承载部的承载面发生相对运动,以使膜片的第二部分贴附于基板的第二部分。
2.根据权利要求1所述的贴膜治具,其特征在于,
所述膜片承载部包括:
用于吸附膜片的第一部分的膜片吸附平面,所述膜片吸附平面上均匀分布有多个第一真空吸孔,所述第一真空吸孔与真空装置连接;
以及,用于收容膜片的第二部分,并在膜片的第一部分与基板的第一部分接触之后,在基板承载部沿基台平移过程中逐渐释放膜片的第二部分的供膜装置,所述供膜装置设置于所述膜片吸附平面的一侧。
3.根据权利要求2所述的贴膜治具,其特征在于,
所述供膜装置包括:能够收放膜片的收放卷轴。
4.根据权利要求2所述的贴膜治具,其特征在于,
所述膜片承载部还包括:设置于所述膜片吸附平面上,用于对膜片进行定位的第一定位模块。
5.根据权利要求4所述的贴膜治具,其特征在于,
所述第一定位模块包括:用于对膜片的第一部分的第一侧边进行限位的第一限位尺;以及用于对膜片的第一部分的与所述第一侧边相邻接的第二侧边进行限位的第二限位尺。
6.根据权利要求1所述贴膜治具,其特征在于,
所述基板承载部包括:
用于吸附基板的基板吸附平面,所述基板吸附平面上均匀分布有多个第二真空吸孔,所述第二真空吸孔与真空装置连接。
7.根据权利要求6所述的贴膜治具,其特征在于,
所述基板承载部还包括:设置于所述膜片吸附平面上,用于对膜片进行定位的第二定位模块。
8.根据权利要求7所述的贴膜治具,其特征在于,
所述第二定位模块包括:
用于对基板的第一侧边进行限位的第三限位尺;以及用于对基板的与所述第一侧边相邻接的第二侧边进行限位的第四限位尺。
9.根据权利要求1所述的贴膜治具,其特征在于,
所述基台包括:
与所述基板承载部的承载面平行设置的基底板,所述基底板上具有沿与所述基板承载部的承载面平行的第一方向延伸的轨道,所述基板承载部设置在所述轨道上,并可沿所述轨道移动;
以及,垂直设置于所述基底板上,并位于所述轨道的一端的侧板,所述膜片承载部铰接于所述侧板上。
10.根据权利要求1所述的贴膜治具,其特征在于,
所述贴膜治具还包括用于使所述基板承载部上的基板与所述膜片承载部上的膜片进行对位的对位机构。
11.根据权利要求10所述的贴膜治具,其特征在于,
所述对位机构包括:
一支撑台面,所述基板承载部可移动地设置所述支撑台面上;
一容置框架,所述容置框架设置在所述支撑台面上,围设于所述基板承载部的外周,并与所述基板承载部之间具有预留距离,所述容置框架包括沿第一方向设置的第一边框和第二边框以及沿所述第三方向设置的第三边框和第四边框,其中所述第三边框和/或所述第四边框上设置有第一通孔;
以及,用于在与所述基板承载部的承载面平行的第一方向上调整所述基板承载部的位置的第一调整组件,其中所述第一调整组件包括:
沿所述第一方向设置的第一推进杆,所述第一推进杆的一端固定于所述基板承载部,另一端穿设于所述第一通孔之外,其中所述第一推进杆沿所述第一方向在所述第一通孔内移动,以推动所述基板承载部在所述第一方向上移动;
和,用于对所述第一推进杆进行限位的第一限位件。
12.根据权利要求11所述的贴膜治具,其特征在于,所述
所述第一推进杆的杆身上设置有刻度,用于精确测量所述第一推进杆的移动量,以在所述第一方向上精确调整所述基板承载部的位置。
13.根据权利要求11所述的贴膜治具,其特征在于,
所述容置框架的第一边框和/或第二边框上设置有第二通孔;
所述对位机构还包括用于在与所述基板承载部的承载面平行并与所述第一方向垂直的第二方向上调整所述基板承载部的位置的第二调整组件,其中所述第二调整组件包括:
沿所述第二方向设置的第二推进杆,所述第二推进杆的一端固定于所述基板承载部,另一端穿设于所述第二通孔之外,其中所述第二推进杆沿所述第二方向在所述第二通孔内移动,以推动所述基板承载部在所述第二方向上移动;
和,用于对所述第二推进杆进行限位的第二限位件。
14.根据权利要求13所述的贴膜治具,其特征在于,
所述第二推进杆的杆身上设置有刻度,用于精确测量所述第二推进杆的移动量,以在所述第三方向上精确调整所述基板承载部的位置。
15.根据权利要求10所述的贴膜治具,其特征在于,
所述对位机构包括用于在垂直于所述基板承载部的承载面的第三方向上调整所述基板承载部的位置的第三调整组件,所述第三调整组件包括:
轴心方向与所述基板承载部平移方向一致的转轴,所述转轴与所述基板承载部连接,其中所述转轴沿其轴心自转,带动所述基板承载部在垂直于所述基板承载部的承载面的平面内旋转,以在所述第三方向上调整所述基板承载部的位置;以及,用于对所述转轴的旋转角度进行限定的第三限位件。
16.根据权利要求15所述的贴膜治具,其特征在于,
所述第三调整组件还包括:用于测量所述转轴的旋转角度的角度测量装置。
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