CN113984278A - 一种便携式真空计校准装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及真空校准技术领域，且公开了一种便携式真空计校准装置，所述阀门V5的表面开设有小孔C1，所述校准室VC1的输出端电连接有阀门V6，所述阀门V6的表面开设有小孔C2，所述阀门V11的输出端电连接有电容薄膜真空计G3，所述阀门V11与电容薄膜真空计G3的输出端电连接有阀门V9，所述阀门V9的输出端电连接有电容薄膜真空计G2，所述阀门V5同一阀门V6的输出端电连接有阀门V7，采用静态比对法和静态膨胀法校准时，关闭阀门V8、V9后通过V7及V5(或V6)直接进气；采用动态流量法校准时，先通过阀门V7、V8向VC2中引入一定压力的气体，然后关闭V7并打开V5(或V6)后，通过V8调节由VC2引入VC1中的气体压力，从而解决了真空计无法现场校准的问题。
Description
技术领域
本发明涉及真空校准技术领域，具体为一种便携式真空计校准装置。
背景技术
目前行业中对真空度的要求普遍已达到10-3Pa。真空计校准装置是包含标准器、真空泵、真空阀门及连接管道在内的一套完整的测量系统，一般体积较大，不便移动，多在实验室内固定使用。传统的真空计校准方式是先将现场使用的真空计拆下来，再送实验室校准，而在实际工作中，多数真空设备使用的真空计固定在装置上无法拆卸，有的需要与集控室连接，不便送检，一些真空计没有控制单元，直接通过计算机采集数据，无法送检。为应对企业对于真空计现场校准的需求，我们研制了这套装置。
1、解决了真空计无法现场校准的问题；
2、解决了现有装置体积及重量较大，无法便携的问题；
3、解决了现有装置所采用的磁悬浮转子真空计、流量计等设备比较昂贵，本装置使用两台电容薄膜真空计作为参考标准，节约成本。
发明内容
本发明的目的在于针对现有技术的不足之处，提供一种便携式真空计校准装置，以解决背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种便携式真空计校准装置，包括校准室VC1，所述校准室VC1的表面开设有小孔C3，所述校准室VC1的输出端电连接有阀门V5，所述阀门V5的表面开设有小孔C1，所述校准室VC1的输出端电连接有阀门V6，所述阀门V6的表面开设有小孔C2，所述校准室VC1的输出端电连接有阀门V4，所述阀门V4的输出端电连接有阀门V11，所述阀门V11的输出端电连接有电容薄膜真空计G3，所述阀门V11与电容薄膜真空计G3的输出端电连接有阀门V9，所述阀门V9的输出端电连接有电容薄膜真空计G2，所述阀门V5同一阀门V6的输出端电连接有阀门V7，所述阀门V7的输出端电连接有阀门V8，所述阀门V8的输出端电连接有皮拉尼真空计G1，所述阀门V8的输出端电连接有稳压室VC2，所述稳压室VC2的输出端电连接有阀门V10，所述校准室VC1的输出端电连接有阀门V2，所述阀门V2的输出端电连接有阀门V3，所述阀门V3的输出端电连接有阀门V1。
作为本发明的优选技术方案，所述稳压室VC2是体积为2L的不锈钢容器，其上安装了皮拉尼真空计G1，最大限度加强了对整体装置的控制能力，保证了整体装置的实用性。
作为本发明的优选技术方案，所述校准室VC1是直径为200mm的球形容器，球形结构是真空计量标准的理想结构形式，气体分子可在球内容易达到均匀分布，有效的加强了对各个构件的稳定性，同时加强了对整体装置的支撑力度。
作为本发明的优选技术方案，所述阀门V2是全金属角阀，阀门V3是旁通抽气阀门，小孔C3为直径约为11mm的圆形薄壁限流抽气小孔，小孔C3开设在阀门V2和校准室VC1之间，更好的保护了整体装置的使用不受影响，加强了对整体装置操纵的实际性。
与现有技术相比，本发明提供了一种便携式真空计校准装置，具备以下有益效果：
1、该便携式真空计校准装置，采用静态比对法和静态膨胀法校准时，关闭阀门V8、V9后通过V7及V5(或V6)直接进气；采用动态流量法校准时，先通过阀门V7、V8向VC2中引入一定压力的气体，然后关闭V7并打开V5(或V6)后，通过V8调节由VC2引入VC1中的气体压力，从而解决了真空计无法现场校准的问题；
2、该便携式真空计校准装置，分子泵前级采用标称抽速为2L/s的机械泵，在机械泵和分子泵之问安装了隔断阀Vl，用于旁通抽气阀门V3打开时隔离分子泵和机械泵，从而解决了现有装置所采用的磁悬浮转子真空计、、流量计等设备比较昂贵。本装置使用两台电容薄膜真空计作为参考标准，节约成本。
附图说明
图1为本发明整体结构系统原理示意图。
图中：校准室VC1；稳压室VC2；小孔C1；小孔C2；小孔C3、皮拉尼真空计G1；电容薄膜真空计G2；电容薄膜真空计G3；阀门V1；1阀门V2；1阀门V3；阀门V4；阀门V5；阀门V6；阀门V7；阀门V8；阀门V9；阀门V10；阀门V11。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1，本实施方案中：一种便携式真空计校准装置，包括校准室VC1，校准室VC1的表面开设有小孔C3，加强了对整体装置的控制能力，校准室VC1的输出端电连接有阀门V5，加强了对各个构件的稳定性，阀门V5的表面开设有小孔C1，加强了整体装置的灵活性，校准室VC1的输出端电连接有阀门V6，加强了整体装置的平衡性，阀门V6的表面开设有小孔C2，保护了整体装置的使用不受影响，校准室VC1的输出端电连接有阀门V4，增强了整体装置的可操作性，阀门V4的输出端电连接有阀门V11，增加了工作人员对于整体装置的控制性，阀门V11的输出端电连接有电容薄膜真空计G3，加强了整体装置的平衡效果，阀门V11与电容薄膜真空计G3的输出端电连接有阀门V9，保持了整体装置在工作时的平衡性，阀门V9的输出端电连接有电容薄膜真空计G2，加强了整体运行时的使用效果，阀门V5同一阀门V6的输出端电连接有阀门V7，增强了整体装置的灵活性，阀门V7的输出端电连接有阀门V8，保证了整体装置的实用性，阀门V8的输出端电连接有皮拉尼真空计G1，加强了对整体装置的支撑力度，阀门V8的输出端电连接有稳压室VC2，加强了对整体装置操纵的实际性，稳压室VC2的输出端电连接有阀门V10，增强了整体装置的使用灵活性，校准室VC1的输出端电连接有阀门V2，在使用过程的牢固与稳定性能，阀门V2的输出端电连接有阀门V3，提高了整体装置使用的体验感，阀门V3的输出端电连接有阀门V1，增加了使用的便捷性。
本实施例中，稳压室VC2是体积为2L的不锈钢容器，其上安装了皮拉尼真空计G1，更好的增强了整体装置的灵活性，保证了在拆卸后再次安装时仍然能够正常使用；校准室VC1是直径为200mm的球形容器，球形结构是真空计量标准的理想结构形式，气体分子可在球内容易达到均匀分布，加强了整体运行时的使用效果，最大限度的避免了可能在使用过程中所发生的意外事故；阀门V2是全金属角阀，阀门V3是旁通抽气阀门，小孔C3为直径约为11mm的圆形薄壁限流抽气小孔，小孔C3开设在阀门V2和校准室VC1之间，更好的保持了整体装置在工作时的平衡性，加强了整体装置的实用效果。
本发明的工作原理及使用流程：在使用时，请参阅图1,进气系统主要由稳压室VC2和阀门V5、V6、V7、V8、V11以及小孔C1、C2等组成，其中阀门V7与气源连接。采用静态比对法和静态膨胀法校准时，关闭阀门V8、V9后通过V7及V5(或V6)直接进气；采用动态流量法校准时，先通过阀门V7、V8向VC2中引入一定压力的气体，然后关闭V7并打开V5(或V6)后，通过V8调节由VC2引入VC1中的气体压力。校准室的赤道上设计了5个CF35法兰和2个8VCR接口，用于安装被校准真空计和参考标准。校准室及法兰均采用SUS316L钢材制成，内表面进行了电抛光和化学清洗，通过高温除气去除了材料内部的气体。校准室上安装了美国INFICON公司生产的电容薄膜真空计G2和G3作为参考标准。抽气系统由主抽气爱德华分子泵和机械泵、阀门V2、阀门V3、小孔C3及阀门V10等组成。分子泵对氮气的标称抽速为80L/s，通过全金属角阀和校准室连接。在全金属角阀和校准室之间安装了直径约为11mm的圆形薄壁限流抽气小孔C3，它对氮气的流导约为10L/s。分子泵前级采用标称抽速为2L/s的机械泵，在机械泵和分子泵之问安装了隔断阀Vl，用于旁通抽气阀门V3打开时隔离分子泵和机械泵。
以上，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种便携式真空计校准装置，包括校准室VC1，其特征在于：所述校准室VC1的表面开设有小孔C3，所述校准室VC1的输出端电连接有阀门V5，所述阀门V5的表面开设有小孔C1，所述校准室VC1的输出端电连接有阀门V6，所述阀门V6的表面开设有小孔C2，所述校准室VC1的输出端电连接有阀门V4，所述阀门V4的输出端电连接有阀门V11，所述阀门V11的输出端电连接有电容薄膜真空计G3，所述阀门V11与电容薄膜真空计G3的输出端电连接有阀门V9，所述阀门V9的输出端电连接有电容薄膜真空计G2，所述阀门V5同一阀门V6的输出端电连接有阀门V7，所述阀门V7的输出端电连接有阀门V8，所述阀门V8的输出端电连接有皮拉尼真空计G1，所述阀门V8的输出端电连接有稳压室VC2，所述稳压室VC2的输出端电连接有阀门V10，所述校准室VC1的输出端电连接有阀门V2，所述阀门V2的输出端电连接有阀门V3，所述阀门V3的输出端电连接有阀门V1。
2.根据权利要求1所述的一种便携式真空计校准装置，其特征在于：所述稳压室VC2是体积为2L的不锈钢容器，其上安装了皮拉尼真空计G1。
3.根据权利要求1所述的一种便携式真空计校准装置，其特征在于：所述校准室VC1是直径为200mm的球形容器，球形结构是真空计量标准的理想结构形式，气体分子可在球内容易达到均匀分布。
4.根据权利要求1所述的一种便携式真空计校准装置，其特征在于：所述阀门V2是全金属角阀，阀门V3是旁通抽气阀门，小孔C3为直径约为11mm的圆形薄壁限流抽气小孔，小孔C3开设在阀门V2和校准室VC1之间。
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Cited By (2)
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| CN114674489A (zh) * | 2022-03-25 | 2022-06-28 | 中国工程物理研究院材料研究所 | 一种多功能高真空测量比对校准装置及其校准方法 |
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