CN213516169U - 一种复合型真空校准装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种复合型真空校准装置，包括稳压室、校准室和底座，所述底座顶端的一侧设置有稳压室，所述第四管道顶端的一侧设置有第二管道。本实用新型通过检测分为静态检测和动态检测，静态比对法采用电容薄膜真空计作为参考标准，1x105～100Pa使用1000Torr的电容薄膜规做参考标准，100～1x101a使用1Trr的电容薄膜规做参考标准，所以装置采用静态比对法的校准范围为1x105～1x101pa，动态比对法动态比对法是通过向校准室中引入一定量的气体，同时通过校准室下方的限流抽气小孔对校准室连续抽气，在校准室形成动态稳定的气体压力，通过待检测规和IE414，做参考标准同时测量校准室压力，从而加强了该真空校准装置的检测效果。

Description

一种复合型真空校准装置

技术领域

本实用新型涉及真空校准装置技术领域，具体为一种复合型真空校准装置。

背景技术

比较法真空校准装置用于真空计的校准，装置采用静态比对法、动态比对法两种方法，实现的校准范围为105～10+Pa，校准装置采用电容薄膜真空计(CDG)和电离真空计(IE414)作为参考标准，可对热偶真空计、压阻真空计、电阻真空计、电离真空计和真空表等工作用真空计进行校准；

传统的真空校准装置一般难以在检测的时候进行对比，且检测方式比较单一，因此需要对其进行改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种复合型真空校准装置，以解决上述背景技术中提出传统的真空校准装置检测方式单一的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种复合型真空校准装置，包括稳压室、校准室和底座，所述底座顶端的一侧设置有稳压室，所述稳压室一侧的底端设置有进气管，所述稳压室的一侧设置有抽气机构，所述稳压室的一侧设置有第三管道，所述第三管道的一侧设置有校准室，所述校准室的表面设置有加热带，所述校准室的一侧设置有测量机构，所述测量机构包括第一真空规、待检测规、真空计、第一管道、第二真空规以及第二真空规，所述第一真空规设置于稳压室的一侧，所述待检测规设置于第三管道的顶端，所述真空计设置于第三管道的底端，所述第一管道设置于加热带的一侧，所述第一管道一侧的顶端设置有第二真空规，所述第一管道一侧的底端设置有第三真空规，所述测量机构的底端设置有第四管道，所述第四管道的一侧设置有氮气罐，所述第四管道顶端的一侧设置有第二管道。

优选的，所述第二真空规与第三真空规大小相同，所述第二真空规与第三真空规相互平行。

优选的，所述稳压室与校准室的大小相同，所述稳压室与校准室呈对称分布。

优选的，所述加热带在校准室的表面设置有四组，所述加热带呈等间距分布。

优选的，所述抽气机构包括干泵、支管、分子泵以及连接管，所述干泵设置于底座的顶端，所述干泵的一侧设置有连接管，所述连接管的一侧设置有分子泵，所述分子泵的顶端设置有支管。

优选的，所述支管与连接管大小相同，所述支管与连接管相互垂直。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该复合型真空校准装置不仅加强了该真空校准装置的检测效果，实现了该真空校准装置对内部进行抽气，而且实现了该真空校准装置对校准室的加热性；

(1)检测分为静态检测和动态检测，静态比对法采用电容薄膜真空计作为参考标准，在关闭校准室下方插板阀后通过待检测规和参考标准同时测量校准室压力实现校准，1x105～100Pa使用1000Torr的电容薄膜规做参考标准， 100～1x101a使用1Trr的电容薄膜规做参考标准，所以装置采用静态比对法的校准范围为1x105～1x101pa，动态比对法动态比对法是通过向校准室中引入一定量的气体，同时通过校准室下方的限流抽气小孔对校准室连续抽气，在校准室形成动态稳定的气体压力，通过待检测规和IE414，做参考标准同时测量校准室压力，进行比对从而实现校准，其校准范围为101～104Pa，从而加强了该真空校准装置的检测效果；

(2)通过抽气系统由主抽气分子泵、干泵、连接管和支管组成，分子泵对氮气的标称抽速为350L/s，分子泵前级采用标称抽速为5L/s的干泵，抽气，在干泵和分子泵之间安装了电磁隔断阀，用于旁通阀门打开时隔离分子泵和干泵，从而实现了该真空校准装置对内部进行抽气；

(3)校准室采用SUS316L钢材制成，内表面进行了电抛光和化学清洗，通过高温除气去除了材料内部的气体，在校准室外缠绕加热带，用于获得极限真空时对校准室加热，从而实现了该真空校准装置对校准室的加热性。

附图说明

图1为本实用新型的正视剖面结构示意图；

图2为本实用新型的侧视结构示意图；

图3为本实用新型的抽气机构正视剖面结构示意图；

图4为本实用新型的图1中A处放大结构示意图。

图中：1、测量机构；101、第一真空规；102、待检测规；103、真空计； 104、第一管道；105、第二真空规；106、第三真空规；2、稳压室；3、第二管道；4、第三管道；5、校准室；6、加热带；7、氮气罐；8、第四管道；9、抽气机构；901、干泵；902、支管；903、分子泵；904、连接管；10、进气管；11、底座。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种复合型真空校准装置，包括稳压室2、校准室5和底座11，底座11顶端的一侧设置有稳压室2，稳压室2一侧的底端设置有进气管10，稳压室2的一侧设置有抽气机构9，抽气机构9包括干泵901、支管902、分子泵903以及连接管904，干泵901设置于底座11的顶端，干泵901的一侧设置有连接管904，连接管904的一侧设置有分子泵903，分子泵903的顶端设置有支管902，支管902与连接管904 大小相同，支管902与连接管904相互垂直；

具体地，如图1和图3所示，使用该机构时，抽气系统由主抽气分子泵 903、干泵901、连接管904和支管902组成，分子泵903对氮气的标称抽速为350L/s，分子泵903前级采用标称抽速为5L/s的干泵901抽气，在干泵 901和分子泵903之间安装了电磁隔断阀，用于旁通阀门打开时隔离分子泵 903和干泵901；

稳压室2的一侧设置有第三管道4，第三管道4的一侧设置有校准室5，稳压室2与校准室5的大小相同，稳压室2与校准室5呈对称分布，校准室5 的表面设置有加热带6，加热带6在校准室5的表面设置有四组，加热带6呈等间距分布；

具体地，如图1所示，使用时，校准室5采用SUS316L钢材制成，内表面进行了电抛光和化学清洗，通过高温除气去除了材料内部的气体，在校准室5外缠绕加热带6，用于获得极限真空时对校准室5加热；

校准室5的一侧设置有测量机构1，测量机构1包括第一真空规101、待检测规102、真空计103、第一管道104、第二真空规105以及第二真空规105，第一真空规101设置于稳压室2的一侧，待检测规102设置于第三管道4的顶端，真空计103设置于第三管道4的底端，第一管道104设置于加热带6 的一侧，第一管道104一侧的顶端设置有第二真空规105，第一管道104一侧的底端设置有第三真空规106，第二真空规105与第三真空规106大小相同，第二真空规105与第三真空规106相互平行，测量机构1的底端设置有第四管道8，第四管道8的一侧设置有氮气罐7，第四管道8顶端的一侧设置有第二管道3；

具体地，如图1和图4所示，使用该机构时，静态检测时，打开真空计 103，向校准室5中引入50000Pa左右的氮气，将待检测规102安装在校准室 5的赤道法兰上，打开干泵901，对校准室5抽真空，当真空计103示值小于 100Pa，后启动分子泵903对校准室5抽真空，当第二真空规105、第三真空规106预热24h以上，并且校准室5中压力小于103Pa后，对第二真空规105、第三真空规106进行调零，接着向稳压室2中引入一定压力的氮气，压力过大可通过干泵901抽走，接着通过氮气罐7抽取一定压力的氮气，将标准体积中的氮气膨胀至校准室5中，参考第二真空规105与待检测规102同时读数，通过比对实现校准，重复此步骤校准100～1x101，Pa，每个量级3个点，接着向校准室5引入一定压力，参考第三真空规106与待检测规102同时读数，通过比对实现校准重复此步骤校准1x105～100Pa，每个量级3个点，校准结束后，关闭设备，动态检测时，打开真空计103，向校准室5中引入50000Pa 左右的氮气，将待检测规102安装在校准室5的赤道法兰上，打开干泵901，对校准室5抽真空，当真空计103示值小于100Pa启动分子泵903对校准室5 抽真空，当真空计103示值小于10-Pa后，启动待检测规102，当校准室中压力小于1x104Pa后，向稳压室2中引入一定压力的氮气，真空计103与被测真空计同时读数，通过比较实现校准，通过调节稳压室2中压力的大小，依次校准10-3Pa和10-2Pa，两个量级，每个量级3个点，校准结束后，关闭设备，向校准室5中充入50000Pa氮气，取下待检测规102，将校准室5中抽成真空状态。

工作原理：在使用时，首先，该真空校准装置外接电源，校准室5采用 SUS316L钢材制成，内表面进行了电抛光和化学清洗，通过高温除气去除了材料内部的气体，在校准室5外缠绕加热带6，用于获得极限真空时对校准室5 加热；

之后，静态检测时，打开真空计103，向校准室5中引入50000Pa左右的氮气，将待检测规102安装在校准室5的赤道法兰上，打开干泵901，对校准室5抽真空，当真空计103示值小于100Pa，后启动分子泵903对校准室5抽真空，当第二真空规105、第三真空规106预热24h以上，并且校准室5中压力小于103Pa后，对第二真空规105、第三真空规106进行调零，接着向稳压室2中引入一定压力的氮气，压力过大可通过干泵901抽走，接着通过氮气罐7抽取一定压力的氮气，将标准体积中的氮气膨胀至校准室5中，参考第二真空规105与待检测规102同时读数，通过比对实现校准，重复此步骤校准100～1x101，Pa，每个量级3个点，接着向校准室5引入一定压力，参考第三真空规106与待检测规102同时读数，通过比对实现校准重复此步骤校准1x105～100Pa，每个量级3个点，校准结束后，关闭设备；

最后，动态检测时，打开真空计103，向校准室5中引入50000Pa左右的氮气，将待检测规102安装在校准室5的赤道法兰上，打开干泵901，对校准室5抽真空，当真空计103示值小于100Pa启动分子泵903对校准室5抽真空，当真空计103示值小于10-Pa后，启动待检测规102，当校准室中压力小于1x104Pa后，向稳压室2中引入一定压力的氮气，真空计103与被测真空计同时读数，通过比较实现校准，通过调节稳压室2中压力的大小，依次校准10-3Pa和10-2Pa，两个量级，每个量级3个点，校准结束后，关闭设备，向校准室5中充入50000Pa氮气，取下待检测规102，将校准室5中抽成真空状态，最终完成该真空校准装置全部的使用过程。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种复合型真空校准装置，包括稳压室(2)、校准室(5)和底座(11)，其特征在于：所述底座(11)顶端的一侧设置有稳压室(2)，所述稳压室(2)一侧的底端设置有进气管(10)，所述稳压室(2)的一侧设置有抽气机构(9)，所述稳压室(2)的一侧设置有第三管道(4)，所述第三管道(4)的一侧设置有校准室(5)，所述校准室(5)的表面设置有加热带(6)，所述校准室(5)的一侧设置有测量机构(1)，所述测量机构(1)包括第一真空规(101)、待检测规(102)、真空计(103)、第一管道(104)、第二真空规(105)以及第二真空规(105)，所述第一真空规(101)设置于稳压室(2)的一侧，所述待检测规(102)设置于第三管道(4)的顶端，所述真空计(103)设置于第三管道(4)的底端，所述第一管道(104)设置于加热带(6)的一侧，所述第一管道(104)一侧的顶端设置有第二真空规(105)，所述第一管道(104)一侧的底端设置有第三真空规(106)，所述测量机构(1)的底端设置有第四管道(8)，所述第四管道(8)的一侧设置有氮气罐(7)，所述第四管道(8)顶端的一侧设置有第二管道(3)。

2.根据权利要求1所述的一种复合型真空校准装置，其特征在于：所述第二真空规(105)与第三真空规(106)大小相同，所述第二真空规(105)与第三真空规(106)相互平行。

3.根据权利要求1所述的一种复合型真空校准装置，其特征在于：所述稳压室(2)与校准室(5)的大小相同，所述稳压室(2)与校准室(5)呈对称分布。

4.根据权利要求1所述的一种复合型真空校准装置，其特征在于：所述加热带(6)在校准室(5)的表面设置有四组，所述加热带(6)呈等间距分布。

5.根据权利要求1所述的一种复合型真空校准装置，其特征在于：所述抽气机构(9)包括干泵(901)、支管(902)、分子泵(903)以及连接管(904)，所述干泵(901)设置于底座(11)的顶端，所述干泵(901)的一侧设置有连接管(904)，所述连接管(904)的一侧设置有分子泵(903)，所述分子泵(903)的顶端设置有支管(902)。

6.根据权利要求5所述的一种复合型真空校准装置，其特征在于：所述支管(902)与连接管(904)大小相同，所述支管(902)与连接管(904)相互垂直。

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