CN113977062A - 一种电子束焊装置及其控制方法 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种电子束焊装置及其控制方法，包括焊接室以及位于焊接室上的电子枪，焊接室内设置有第一移位机构、第一转动机构、第二转动机构，焊接室上还设置有第二移位机构，其中，第一移位机构用于带动工件沿第一方向运动；第二移位机构用于带动电子枪沿第二方向运动，第一方向与第二方向垂直；第一移位机构上设置有多个工位，每一工位上设置有用于夹持工件的夹具；第一转动机构用于带动夹具绕夹具的轴线转动；第二转动机构用于带动夹具沿第三方向转动。本申请实施例提供的电子束焊装置，通过在焊接室内设置多个工位，对于不同工位的待焊件，焊接姿态可同步调整，同时待焊件可进行同步回转运动，且转速与输出轴一致等特点，提高焊接效率。

Description

一种电子束焊装置及其控制方法

技术领域

本申请一般涉及电子束焊技术领域，具体涉及一种电子束焊装置及其控制方法。

背景技术

电子束焊是指利用加速和聚焦的电子束轰击置于真空或非真空中的焊接面，使被焊工件融化实现焊接。真空电子束焊时应用最广泛的电子束焊。电子束焊接因具有不用焊料、不易氧化、工艺重复性好及热变形量小的优点而广泛应用于航空航天、原子能、国防及军工、汽车等众多行业。

在焊接一些焊缝要求高或特殊材料的焊缝时（例如低温超导设备等），需要较严格的真空环境，而满足此真空环境所需的抽真空时间也会较长。在这种情况下，若每次抽真空只能够焊一套待焊件，导致焊接效率较低。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种电子束焊装置及其控制方法，可以提高焊接效率。

第一方面，本申请提供了一种电子束焊装置，包括焊接室以及位于所述焊接室上的电子枪，所述焊接室内设置有第一移位机构、第一转动机构、第二转动机构，所述焊接室上还设置有第二移位机构，其中，

所述第一移位机构用于带动工件沿第一方向运动；

所述第二移位机构用于带动所述电子枪沿第二方向运动，所述第一方向与所述第二方向垂直；

所述第一移位机构上设置有多个工位，每一工位上设置有用于夹持所述工件的夹具；

所述第一转动机构用于带动所述夹具绕所述夹具的轴线转动；

所述第二转动机构用于带动所述夹具沿第三方向转动。

可选地，所述焊接室内还设置有与所述第一移位机构固定连接的固定座以及设置在所述固定座上并与所述固定座枢转连接的俯仰转台，所述俯仰转台通过所述第二转动机构驱动实现沿所述第三方向转动。

可选地，多个所述夹具设置在所述俯仰转台上，所述俯仰状态上还设置有与所述夹具配合的传送机构，所述传动机构通过所述第一转动机构驱动，实现各个所述夹具绕所述夹具的轴线转动。

可选地，所述传动机构包括第一传动齿轮组和第二传动齿轮组，其中，所述第一传动齿轮组包括与所述夹具一一对应连接的第一齿轮，所述第二传动齿轮组包括设置在相邻两第一齿轮之间的第二齿轮。

可选地，所述第一齿轮中的一个为主动齿轮，其余为从动齿轮，所述主动齿轮通过与所述主动齿轮啮合的所述第二齿轮驱动所述从动齿轮。

可选地，所述传动机构包括第三传动齿轮组，所述第三传动齿轮组包括与所述主动齿轮连接的第三齿轮以及与所述第一转动机构连接的第四齿轮，所述第三齿轮与所述第四齿轮啮合，所述第一转动机构带动所述第四齿轮转动时推动所述第三齿轮转动，实现与所述第三齿轮连接的主动齿轮转动。

可选地，所述主动齿轮的轴线与所述电子枪的焊接行程范围的中线重叠。

可选地，所述俯仰转台包括第一支架以及与所述第一支架固定连接的第二支架，所述第一支架上设置有用于固定所述第一转动机构的容纳腔；所述第二支架用于固定所述传动机构和所述夹具。

可选地，所述焊接室上设置有抽气口和充气口，其中，所述充气口通过第一阀门与保护气管道连接，所述充气口通过第二阀门与大气管道连接；所述抽气口通过第三阀门与抽气泵连接。

第二方面，本申请提供了一种电子束焊装置的控制方法，采用如以上任一所述的电子束焊装置，所述方法包括焊接阶段以及焊后阶段，所述焊后阶段包括连续设置的第一阶段、第二阶段、第三阶段、第四阶段、第五阶段，其中，

在所述焊接阶段，第三阀门维持打开状态，第一阀门、第二阀门保持关闭状态，通过抽气泵持续抽气维持所述焊接室内的真空状态；

在所述第一阶段，所述第一阀门、第二阀门、第三阀门保持关闭状态，维持所述焊接室内的真空状态，使得所述焊接室内的工件整体温度均匀；

在所述第二阶段，所述第一阀门打开，所述第二阀门、第三阀门保持关闭，保护气进入所述焊接室内，在所述焊接室内的气压维持平衡后关闭所述第一阀门；

在所述第三阶段，所述第一阀门、第二阀门、第三阀门保持关闭状态，所述焊接室内的工件在此状态下静置冷却到预设温度；

在所述第四阶段，所述第三阀门打开，所述第一阀门、第二阀门保持关闭，所述焊接室内保护气通过所述抽气泵抽出，所述焊接室进入真空状态；

在所述第五阶段，所述第二阀门打开，所述第一阀门、第三阀门保持关闭，所述焊接室内充入大气解除真空状态，打开所述焊接室，所述工件进入自然冷却状态。

本申请的实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：

本申请实施例提供的电子束焊装置，通过在焊接室内设置多个工位，对于不同工位的待焊件，焊接姿态（焊接高度、焊接角度）可同步调整，同时待焊件可进行同步回转运动，且转速与输出轴一致等特点，使得连续焊接时编程工作量减小，从而进一步实现焊接工作效率的目的。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本申请的实施例提供的一种电子束焊装置的结构示意图；

图2为本申请的实施例提供的一种电子束焊装置（去掉焊接室外壳）的结构示意图；

图3为本申请的实施例提供的一种焊接室内部的主视图；

图4为本申请的实施例提供的一种俯仰转台的结构示意图；

图5为本申请的实施例提供的一种传动机构的结构示意图；

图6为本申请的实施例提供的一种焊接室内部的俯视图；

图7为本申请的实施例提供的另一种焊接室内部的俯视图；

图8为本申请的实施例提供的一种焊接室的抽真空装置的连接示意图；

图9为本申请的实施例提供的一种电子束焊装置的控制方法的流程图；

图10为本申请的实施例提供的另一种电子束焊装置的控制方法的流程图。

图中，

1、焊接室；2、第一移位机构；3、第一转动机构；4、第二转动机构；5、电子枪；6、第二移位机构；7、俯仰转台；8、传动机构；9、第一抽真空装置；10、第二抽真空装置；

101、夹具；102、固定座；103、第一传动齿轮组；104、第二传动齿轮组；105、第一齿轮；106、第二齿轮；107、主动齿轮；108、从动齿轮；109、第三传动齿轮组；110、第三齿轮；111、第四齿轮；112、第一支架；113、第二支架；114、容纳腔；

201、抽气口；202、充气口；203、第一阀门；204、保护气管道；205、储气罐；206、第二阀门；207、大气管道；208、第三阀门；209、抽气泵；

301、回形管道；302、冷阱；303、冷阱主机。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

请详见图1-3，本申请提供了一种电子束焊装置，包括焊接室1以及位于所述焊接室1上的电子枪5，所述焊接室1内设置有第一移位机构2、第一转动机构3、第二转动机构4，所述焊接室1上还设置有第二移位机构6。

所述第一移位机构2用于带动工件沿第一方向X运动；所述第二移位机构6用于带动所述电子枪5沿第二方向Y运动，所述第一方向X与所述第二方向Y垂直；所述第一移位机构2上设置有多个工位，每一工位上设置有用于夹持所述工件的夹具101；所述第一转动机构3用于带动所述夹具101绕所述夹具101的轴线转动；所述第二转动机构4用于带动所述夹具101沿第三方向Z转动。

在本申请实施例中，所述焊接室1内还设置有与所述第一移位机构2固定连接的固定座102以及设置在所述固定座102上并与所述固定座102枢转连接的俯仰转台7，所述俯仰转台7通过所述第二转动机构4驱动实现沿所述第三方向Z转动。

需要说明，在本申请实施例中，定义第一移位机构2的运动方向为第一方向X，定义第二移位机构6的运动方向为第二方向Y，第一方向X和第二方向Y垂直设置，在一些实施例中，第一方向X和第二方向Y可以互换。

本申请实施例中，通过将工件的加工方向分解第一移位机构2、第二移位机构6、第一转动机构3、第二转动机构4的运动方向。通过将第二移位机构6设置在焊接室1外部，可以减少焊接室1内部占用空间，同时，将第二移位机构6用于驱动电子枪5的运动，更加减小用于焊接室1内部的工件行程，提高空间利用率。

如图4所示，所述俯仰转台7上设置有多个所述夹具101以及与所述夹具101配合的传动机构8，所述传动机构8通过所述第一转动机构3驱动，实现各个所述夹具101绕所述夹具101的轴线转动。

如图5所示，所述传动机构8包括第一传动齿轮组103和第二传动齿轮组104，其中，所述第一传动齿轮组103包括与所述夹具101一一对应连接的第一齿轮105，所述第二传动齿轮组104包括设置在相邻两第一齿轮105之间的第二齿轮106。所述第一齿轮105中的一个为主动齿轮107，其余为从动齿轮108，所述主动齿轮107通过与所述主动齿轮107啮合的所述第二齿轮106驱动所述从动齿轮108。

所述传动机构8包括第三传动齿轮组109，所述第三传动齿轮组包括与所述主动齿轮107连接的第三齿轮110以及与所述第一转动机构3连接的第四齿轮111，所述第三齿轮110与所述第四齿轮111啮合，所述第一转动机构3带动所述第四齿轮111转动时推动所述第三齿轮110转动，实现与所述第三齿轮110连接的主动齿轮107转动。

需要说明的是，在本申请实施例中，根据传动机构的位置示出了包括两个齿轮的第三传动齿轮组，在设置时可以根据应用位置的不同，增加或减少第三传动齿轮组的齿轮个数，当偏置时，可以采用多个齿轮，当无偏置时，可以取消传动齿轮。

在本申请实施例中，当所述工位的数量为奇数个时，在本申请实施例中6示出了三个工位的结构示意图。第一移位机构2的中线与所述焊接室1的中线对齐，主动齿轮107的中线与第一移位机构2的中线对齐，同时，第二移位机构6的中点也位于焊接室1的中线（如图6中L1）上，因此，所述主动齿轮107的轴线与所述电子枪5的焊接行程范围的中线重叠。

本申请实施例中，通过设置中线对齐的方式，结合不同工位的待焊件的焊接姿态（焊接高度、焊接角度）可同步调整，同时待焊件可进行同步回转运动，且转速与输出轴一致等特点，使得连续焊接时编程工作量减小，从而进一步实现焊接工作效率的目的。

但由于同样设置在第一移位机构2上的俯仰转台7需要通过第一转动机构3驱动转动，第一转动机构3在设置时包括电机以及与电机配合的减速机构、轴承机构等。因此，在设置上第一转动机构3设置在俯仰转台7的一侧，在第一移位机构2上，俯仰转台7与第一转动机构3需要共同占用第一移位机构2的横向宽度，导致俯仰转台7的中心与第一移位机构2的中线并非一致，产生偏置的情况，第一转动机构的轴线如图6中L2所示。

在本申请实施例中，为了在俯仰转台7与第一移位机构2的中线偏置情况下驱动第一传动齿轮组103和第二传动齿轮组104，因此设置第三传动齿轮组109，通过第三传动齿轮组109与第二转动机构4进行配合，实现了在偏置情况下的精确驱动。从而使得本装置可跟随俯仰转台7进行倾角的调整，满足不同角度、不同高度的焊接，俯仰角度（约90°）与原转台一致，从而实现多个工位焊接姿态的一致。

在本申请实施例中，图7中示出了偶数个（例如四个）工位的示例性视图，随着工位数量的增加，偏置将更加明显，在本申请实施例中，第三传动齿轮组109的数量可以根据需要进行设置，本申请对此并不限制。通过第三传动齿轮组109有效解决空间不能重复利用的问题。

当设置偶数个工位时，第一移位机构2的中线与所述焊接室1的中线对齐，第二移位机构6的中点也位于焊接室1的中线上（如图7中的L1）；主动齿轮107的中线相对于焊接室1的中线偏置，在驱动主动齿轮转动时，第一转动机构的轴线（如图7中的L1）可以相对于焊接室1的中线偏置。

对于第三传动齿轮组109的设置，可以根据需要进行位置调整。从而使得本装置可跟随俯仰转台7进行倾角的调整，满足不同角度、不同高度的焊接，俯仰角度（约90°）与原转台一致，从而实现多个工位焊接姿态的一致。

本申请实施例中，通过设置中线对齐的方式，结合不同工位的待焊件的焊接姿态（焊接高度、焊接角度）可同步调整，同时待焊件可进行同步回转运动，且转速与输出轴一致等特点，使得连续焊接时编程工作量减小，从而进一步实现焊接工作效率的目的。

在本申请实施例中，为了提高空间利用率，所述俯仰转台7包括第一支架112以及与所述第一支架112固定连接的第二支架113，所述第一支架112上设置有用于固定所述第一转动机构3的容纳腔114；所述第二支架113用于固定所述传动机构8和所述夹具101。

如图8所示，在本申请实施例中，所述焊接室1上设置有抽气口201和充气口202，其中，所述充气口202通过第一阀门203与保护气管道204连接，所述保护气管道204连接有用于存储保护气体的储气罐205，所述充气口202通过第二阀门206与大气管道207连接；所述抽气口201上设置有第三抽真空装置通过第三阀门208与抽气泵209连接。

在本申请实施例中，所述第一阀门203、所述第二阀门206、所述第三阀门208、所述抽气泵209与控制装置电连接。另外，所述焊接室1内设置有与所述控制装置连接的温度传感器和压力传感器。

本申请实施例中，通过提供的电子束焊装置，可以实现一次安装、抽真空，多次连续焊接。使用此装置，可减少开闭真空室次数、减少安装次数、减少抽真空次数等，从而减少辅助焊接所用的工作时间，增加焊接时长所占比例，实现提高焊接工作效率的目的。

在应用时，不同工位的待焊件，焊接姿态（焊接高度、焊接角度）可同步调整，同时待焊件可进行同步回转运动，且转速与输出轴一致等特点，使得连续焊接时编程工作量减小，从而进一步实现焊接工作效率的目的。

在焊接一些焊缝要求高或材料特殊的焊缝时（例如低温超导设备等），焊缝局部的温度达到材料熔点，为防止材料在高温状态下产生不利变化，需要较严格的高真空环境下进行焊接，并且焊后需要工件冷却到规定温度以下后，才能连通大气与空气接触，尤其是氧气。

焊接后工件热量传导的方式包含三种，热对流、热传导、热辐射。在电子束真空环境下，气体稀薄，热对流传热效果可忽略，倘若可以在工件适当温度时通入保护气体（比如氮气），可大幅度增加热对流传热的效果；热传导可将部分热量传递给工装和转台等组件，但连续焊接时，工装和转台的余温长久积攒，导致热传导效果不理想；热辐射传热可不依靠介质将热量传导至真空室内壁等金属物体，所以真空与否对此方式影响有限。

现有焊后冷却方式，焊后需真空状态下静置等待（时长0.5h～2h），当温度低于规定值时，方可放气卸真空，使焊件充分冷却。现有技术焊后冷却时间过长，焊后散热效率低，导致整体焊接周期过长，生产效率低。

实施例一

为解决焊后等待时间过长的问题，如图9所示，本申请提供了一种电子束焊装置的控制方法，采用如以上任一所述的电子束焊装置，所述方法包括焊接阶段T0以及焊后阶段，所述焊后阶段包括连续设置的第一阶段T10、第二阶段T20、第三阶段T30、第四阶段T40、第五阶段T50。

在所述焊接阶段T0，第三阀门208维持打开状态，第一阀门203、第二阀门206保持关闭状态，通过抽气泵209持续抽气维持所述焊接室1内的真空状态；

在所述第一阶段T10，所述第一阀门203、第二阀门206、第三阀门208保持关闭状态，维持所述焊接室1内的真空状态，使得所述焊接室1内的工件整体温度均匀；

在所述第二阶段T20，所述第一阀门203打开，所述第二阀门206、第三阀门208保持关闭，保护气进入所述焊接室1内，在所述焊接室1内的气压维持平衡后关闭所述第一阀门203；

在所述第三阶段T30，所述第一阀门203、第二阀门206、第三阀门208保持关闭状态，所述焊接室1内的工件在此状态下静置冷却到预设温度；

在所述第四阶段T40，所述第三阀门208打开，所述第一阀门203、第二阀门206保持关闭，所述焊接室1内保护气通过所述抽气泵209抽出，所述焊接室1进入真空状态；

在所述第五阶段T50，所述第二阀门206打开，所述第一阀门203、第三阀门208保持关闭，所述焊接室1内充入大气解除真空状态，打开所述焊接室1，所述工件进入自然冷却状态。

在本申请实施例中，保护气体可根据需要使用氮气或惰性气体。在具体应用时，可按零件保护需要调整为其他气体。

焊后冷却时，由于电子束熔池局部高温，此时充入保护气体会产生对焊缝不利的影响，待3～5min的静置冷却后，工件整温度基本均匀。关闭第三阀门208（此时第一阀门203和第二阀门206为关闭状态），保持焊接室1处于真空隔离状态，然后打开第一阀门203充入保护气体，待焊接室1气压平衡后关闭第一阀门203，维持在此状态下静置冷却，随时监测焊件温度。待焊件温度达到规定温度时（如100℃），打开第三阀门208由泵组将焊接室1内热保护气抽出排入大气，约3min后即可关闭第三阀门208。然后打开第二阀门206，充入大气卸真空，打开焊接室1进一步冷却后，即可进行更换待焊件。

实施例二

为了提高工件的焊接效率，如图1-3所示，本申请实施例中还提供了一种电子束焊装置，包括设置在所述焊接室1上的抽真空装置，所述抽真空装置包括用于粗抽真空的第一抽真空装置9和用于辅助抽真空的第二抽真空装置10。所述第一抽真空装置9包括抽气泵209，所述抽气泵209与焊接室1上第二阀门206连接。

第二抽真空装置10包括设置在焊接室1内的回形管道301，以及与所述回形管道301连接的冷阱302、冷阱主机303。在本申请实施例中，第二真空装置可以用于颗粒沉积，防止大量焊接物进入第一抽真空装置9的干泵，导致干泵故障；另外，对于焊接室1中的水汽，靠冷阱302的低温使其冷凝成液，减少对真空度的影响。

其中，所述回形管道301内有循环流动有冷却介质，例如液氮等。通过冷阱主机303将储液池中的液体介质注入到回形管道301中，并循环流动。在经过冷阱302时，将介质中的可凝性组分进行去除，保证了真空系统长时间的稳定运行。在本申请实施例中，并不限制冷阱302的结构，冷阱302可以采用现有技术中的任一结构。

需要说明的是，在本申请实施例中，所述回形管道301可设置在所述焊接室1的内壁上，还可以设置在第一移动机构上，本申请对此并不限制。在本申请实施例中，在焊接室1外的管道为隔热管道，其上包裹有隔热材料。另外，对于第二抽真空装置10可以采用现有技术中用于实现冷却真空的各种介质，例如液氮等，本申请对此并不限制。

在应用时，如图10所示，本申请提供了一种电子束焊装置的控制方法，采用如以上任一所述的电子束焊装置，所述方法包括焊前阶段、焊接阶段T0以及焊后阶段，所述焊前阶段包括连续设置的第一时段t1、第二时段t2，所述焊后阶段包括连续设置的第一阶段T10、第二阶段T20、第三阶段T30、第四阶段T40、第五阶段T50。

在进行焊接之前，启动冷阱主机303，使得使储液池内液体介质温度降至-140℃，待后续使用。

在所述焊前阶段的第一时段t1进行粗抽真空，可以采用焊接室1上的第一抽真空装置9，通过第三阀门208维持打开状态，第一阀门203、第二阀门206保持关闭状态，通过抽气泵209持续抽气维持所述焊接室1内的真空状态。

在所述焊前阶段的第二时段t2进行冷却抽真空，开启冷阱302，控制冷却液流入真空室内回形铜管路，进一步冷却抽真空；在此阶段内，所述第一抽真空装置9中维持第三阀门208打开状态。

在所述焊接阶段T0，所述第二抽真空装置10维持冷却抽真空状态一段时间后关闭第二抽真空装置10，仅维持第一抽真空装置9通过第三阀门208进行抽真空。完成焊接。

在所述焊后阶段的第一阶段T10，所述第一阀门203、第二阀门206、第三阀门208保持关闭状态，维持所述焊接室1内的真空状态，使得所述焊接室1内的工件整体温度均匀；

在所述第二阶段T20，所述第一阀门203打开，所述第二阀门206、第三阀门208保持关闭，保护气进入所述焊接室1内，在所述焊接室1内的气压维持平衡后关闭所述第一阀门203；

在所述第三阶段T30，所述第一阀门203、第二阀门206、第三阀门208保持关闭状态，所述焊接室1内的工件在此状态下静置冷却到预设温度；

在所述第四阶段T40，所述第三阀门208打开，所述第一阀门203、第二阀门206保持关闭，所述焊接室1内保护气通过所述抽气泵209抽出，所述焊接室1进入真空状态；

在所述第五阶段T50，所述第二阀门206打开，所述第一阀门203、第三阀门208保持关闭，所述焊接室1内充入大气解除真空状态，打开所述焊接室1，所述工件进入自然冷却状态。

本申请实施例中提供的控制方法，在原有散热条件下，增加保护气体热对流换热，提高散热速度，且能有效保护焊接件，缩短焊后冷却时间，提升工作效率。

需要理解的是，术语“ 长度”、“ 宽度”、“ 上”、“ 下”、“ 前”、“ 后”、“ 左”、“ 右”、“ 竖直”、“ 水平”、“ 顶”、“ 底”“ 内”、“ 外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“ 第一”、“ 第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“ 第一”、“ 第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“ 多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

除非另有定义，本文中所使用的技术和科学术语与本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中使用的术语只是为了描述具体的实施目的，不是旨在限制本发明。本文中出现的诸如“设置”等术语既可以表示一个部件直接附接至另一个部件，也可以表示一个部件通过中间件附接至另一个部件。本文中在一个实施方式中描述的特征可以单独地或与其它特征结合地应用于另一个实施方式，除非该特征在该另一个实施方式中不适用或是另有说明。

本发明已经通过上述实施方式进行了说明，但应当理解的是，上述实施方式只是用于举例和说明的目的，而非意在将本发明限制于所描述的实施方式范围内。本领域技术人员可以理解的是，根据本发明的教导还可以做出更多种的变型和修改，这些变型和修改均落在本发明所要求保护的范围以内。

Claims (10)

1.一种电子束焊装置，其特征在于，包括焊接室以及位于所述焊接室上的电子枪，所述焊接室内设置有第一移位机构、第一转动机构、第二转动机构，所述焊接室上还设置有第二移位机构，其中，

所述第一移位机构用于带动工件沿第一方向运动；

所述第二移位机构用于带动所述电子枪沿第二方向运动，所述第一方向与所述第二方向垂直；

所述第一移位机构上设置有多个工位，每一工位上设置有用于夹持所述工件的夹具；

所述第一转动机构用于带动所述夹具绕所述夹具的轴线转动；

所述第二转动机构用于带动所述夹具沿第三方向转动。

2.根据权利要求1所述的电子束焊装置，其特征在于，所述焊接室内还设置有与所述第一移位机构固定连接的固定座以及设置在所述固定座上并与所述固定座枢转连接的俯仰转台，所述俯仰转台通过所述第二转动机构驱动实现沿所述第三方向转动。

3.根据权利要求2所述的电子束焊装置，其特征在于，多个所述夹具设置在所述俯仰转台上，所述俯仰状态上还设置有与所述夹具配合的传送机构，所述传动机构通过所述第一转动机构驱动，实现各个所述夹具绕所述夹具的轴线转动。

4.根据权利要求3所述的电子束焊装置，其特征在于，所述传动机构包括第一传动齿轮组和第二传动齿轮组，其中，所述第一传动齿轮组包括与所述夹具一一对应连接的第一齿轮，所述第二传动齿轮组包括设置在相邻两第一齿轮之间的第二齿轮。

5.根据权利要求4所述的电子束焊装置，其特征在于，所述第一齿轮中的一个为主动齿轮，其余为从动齿轮，所述主动齿轮通过与所述主动齿轮啮合的所述第二齿轮驱动所述从动齿轮。

6.根据权利要求5所述的电子束焊装置，其特征在于，所述传动机构包括第三传动齿轮组，所述第三传动齿轮组包括与所述主动齿轮连接的第三齿轮以及与所述第一转动机构连接的第四齿轮，所述第三齿轮与所述第四齿轮啮合，所述第一转动机构带动所述第四齿轮转动时推动所述第三齿轮转动，实现与所述第三齿轮连接的主动齿轮转动。

7.根据权利要求6所述的电子束焊装置，其特征在于，所述主动齿轮的轴线与所述电子枪的焊接行程范围的中线重叠。

8.根据权利要求3所述的电子束焊装置，其特征在于，所述俯仰转台包括第一支架以及与所述第一支架固定连接的第二支架，所述第一支架上设置有用于固定所述第一转动机构的容纳腔；所述第二支架用于固定所述传动机构和所述夹具。

9.根据权利要求8所述的电子束焊装置，其特征在于，所述焊接室上设置有抽气口和充气口，其中，所述充气口通过第一阀门与保护气管道连接，所述充气口通过第二阀门与大气管道连接；所述抽气口通过第三阀门与抽气泵连接。

10.一种电子束焊装置的控制方法，其特征在于，采用如权利要求1-9任一所述的电子束焊装置，所述方法包括焊接阶段以及焊后阶段，所述焊后阶段包括连续设置的第一阶段、第二阶段、第三阶段、第四阶段、第五阶段，其中，

在所述焊接阶段，第三阀门维持打开状态，第一阀门、第二阀门保持关闭状态，通过抽气泵持续抽气维持所述焊接室内的真空状态；

在所述第一阶段，所述第一阀门、第二阀门、第三阀门保持关闭状态，维持所述焊接室内的真空状态，使得所述焊接室内的工件整体温度均匀；

在所述第二阶段，所述第一阀门打开，所述第二阀门、第三阀门保持关闭，保护气进入所述焊接室内，在所述焊接室内的气压维持平衡后关闭所述第一阀门；

在所述第三阶段，所述第一阀门、第二阀门、第三阀门保持关闭状态，所述焊接室内的工件在此状态下静置冷却到预设温度；

在所述第四阶段，所述第三阀门打开，所述第一阀门、第二阀门保持关闭，所述焊接室内保护气通过所述抽气泵抽出，所述焊接室进入真空状态；

在所述第五阶段，所述第二阀门打开，所述第一阀门、第三阀门保持关闭，所述焊接室内充入大气解除真空状态，打开所述焊接室，所述工件进入自然冷却状态。

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