CN113943969A - 电镀厂中飞散物质的处理方法及用于该处理方法的电镀设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种电镀厂中飞散物质的处理方法及用于该处理方法的电镀设备，不将电镀液的飞散物质排出室外，而是回收空气中含有的电镀液的飞散物质，防止飞散物质引起的公共危害。电镀厂中飞散物质的处理方法，是建筑物内的电镀槽（1）中产生的电镀液（11）的飞散物质的处理方法，电镀槽（1）的上方开口部（10）被循环空气送风形成的风幕（20）封闭，将风幕（20）经过上方开口部（10）后排出的循环空气引导至喷淋塔（3），向喷淋塔（3）内的循环空气喷洒回收液（31），电镀液（11）的飞散物质被回收液（31）吸收，循环空气在喷淋塔（3）和风幕（20）之间形成循环，进而在建筑物内，用回收液（31）回收电镀液（11）的飞散物质。

Description

电镀厂中飞散物质的处理方法及用于该处理方法的电镀设备

技术领域

本发明涉及一种在不向室外排出的情况下，回收由电镀槽产生的铬酸等飞散物质来改善环境的飞散物质的处理方法及电镀设备。

背景技术

在电镀工艺中，从电镀槽中会产生有害的铬酸飞散物质。为了回收飞散物质，开发了在电镀槽中设置风道，吸入开口部含有飞散物质的空气，再用喷淋塔喷洒分离飞散物质的装置（请参见专利文献1）。

现有技术文献，专利文献1日本实用公开昭和S52-132369号公报。

专利文献1公开了回收从电镀槽产生的铬酸飞散物质的装置。该公报公开了通过喷淋塔回收从电镀槽上方开口部吸入的空气中包含的铬酸，降低从喷淋塔排出空气的铬酸浓度。喷淋塔可以降低排出到室外的空气中的铬酸浓度。例如，在上述公报中，用喷淋塔吸收铬酸浓度为4mg/m³的空气，排出空气的铬酸浓度降低至0.03mg/m³，将铬酸浓度减少到1/100以下，但在电镀厂由于从喷淋塔连续排出含有铬酸等飞散物质的空气，即使能够减少1立方米空气中所含的铬酸量，总排放量也会累积的相当大。例如，将铬酸浓度为0.03mg/m³的空气以每分钟1000m³的风量连续8小时排气的电镀厂，一天排出约15g铬酸。因此，降低排出到外部的空气中所含的飞散物浓度，可以减少单位时间排出的飞散物质，但是在电镀厂长时间连续排出的总量仍然相当可观。

发明内容

本发明是以解决以上缺点为目的而开发的，提供不将电镀液飞散物质排出到室外，而是回收空气中含有的电镀液飞散物质，防止飞散物质造成公共危害的处理方法及用于该处理方法的电镀设备。

解决问题的技术手段及发明效果：

一方面，本发明所涉及的电镀厂中飞散物质的处理方法，是建筑物内的电镀槽中产生的电镀液飞散物质的处理方法，其中，电镀槽的上方开口部被循环空气送风形成的风幕封闭，将风幕经过上方开口部后排出的循环空气引导至喷淋塔，向喷淋塔内的循环空气喷洒回收液，电镀液的飞散物质被回收液吸收，循环空气在喷淋塔和风幕之间形成循环，进而在建筑物内循环，用回收液回收电镀液飞散物质。

上述电镀厂中飞散物质的处理方法，具有不将含有电镀液飞散物质的空气排出工厂外，而是回收电镀液飞散物质，防止因电镀液飞散物质引起公共危害的优点。上述处理方法，电镀槽上方开口部被风幕封闭，飞散物质由风幕的循环空气引导至喷淋塔，喷淋塔将飞散物质吸收到回收液中回收，循环空气不向室外排出而是在喷淋塔和风幕之间形成循环。喷淋塔向循环空气喷洒回收液将飞散物质吸收到回收液中进行回收，风幕实质上封闭电镀槽上方开口部防止飞散物质飞散，循环空气作为运输气体使飞散物质流入喷淋塔。循环空气不向外部排出，而是在风幕和喷淋塔之间形成循环来回收飞散物质。喷淋塔中回收的飞散物质还可以提供给电镀槽有效再利用，再利用回收的飞散物质可以降低电镀的运行成本。

另一方面，本发明所涉及的电镀厂中飞散物质的处理方法，电镀槽下方设有循环风道，将风幕和喷淋塔闭环连接。

上述处理方法，由于循环空气循环的循环风道设置在电镀槽下方，循环空气在循环风道中反过来向风幕送风，循环空气可以在较短的循环路径中循环，因此具有可以在狭窄区域配置风幕和喷淋塔，即使在狭小的电镀厂也可以安装的优点。

另一方面，本发明所涉及的电镀厂中飞散物质的处理方法，喷淋塔将循环空气向与回收液液面碰撞的方向送风，使飞散物质与回收液接触而被回收。

上述处理方法，由于循环空气与回收液的表面碰撞，使飞散物质被回收液吸收，因此具有可以高效地利用回收液回收飞散物质的优点。特别是具有可以用回收液有效地回收雾状飞散物质的优点。这是因为雾状飞散物质的比重比循环空气大，所以通过将循环空气向与回收液液面碰撞的方向送风，比重大的飞散物质雾有效地与回收液接触而被吸收。

另一方面，本发明所涉及的电镀厂中飞散物质的处理方法，喷淋塔具有交替地沿上、下方向送风循环空气的上下风道，在上下风道的底部填充回收液，使在上下风道内送风的循环空气与回收液液面碰撞。

上述结构，具有以喷淋塔的简单结构，可以有效地利用回收液回收飞散物质的优点。这是因为，将循环空气送风至上下风道内，使其与底部填充的回收液液面碰撞，可以高效地将飞散物质吸收到回收液中。

另一方面，本发明所涉及的电镀厂中飞散物质的处理方法，喷淋塔与两个以上相互并联的风幕相连接，循环空气在两个以上风幕和喷淋塔之间循环。

上述处理方法，由于可以用一个喷淋塔从在复数个风幕中循环的循环空气中回收飞散物质，因此具有可以低成本地回收来自多个电镀槽的飞散物质的优点。

另一方面，本发明所涉及的电镀厂中飞散物质的处理方法，将喷淋塔的回収液回流到电镀槽中。

上述处理方法，具有可以将回收了飞散物质的回收液回流到电镀槽中有效地再利用，从而降低电镀的运行成本的优点。

另一方面，本发明所涉及的电镀厂中飞散物质的处理方法，当浸入电镀液的被镀物通过电镀槽的上方开口部时，循环空气的风幕被减弱或停止向上方开口部送风。

另一方面，本发明所涉及的电镀厂中飞散物质的处理方法，电镀液是镀铬液，电镀液的飞散物质是铬酸。

上述处理方法，具有可以将镀铬工艺中产生的有害铬酸不排出室外而有效地回收的优点。

一方面，本发明还涉及电镀设备，包括上方开口的电镀槽；风幕机构，其沿水平方向强制向电镀槽的上方开口部送风循环空气，并用循环空气的风幕实质上封闭电镀槽的上方开口部，用循环空气运输从电镀槽的上方开口部排出的飞散物质；喷淋塔，其与风幕机构的排出侧相连，向从风幕机构流入的循环空气喷洒回收液，将循环空气中包含的飞散物质吸收到回收液中进行回收；循环风道，其连接风幕机构和喷淋塔，使循环空气在风幕机构和喷淋塔之间循环；循环风机，使循环空气在风幕机构、喷淋塔和循环风道之间循环；循环空气，在由喷淋塔、风幕机构、循环风道和循环风机构成的闭环循环路径中循环，用回收液回收电镀液的飞散物质。

上述电镀设备，具有不将含有电镀液飞散物质的空气排出工厂外，而是回收电镀液飞散物质，防止因电镀液飞散物质引起公共危害的优点。上述处理装置，电镀槽上方开口部被风幕封闭，将风幕的循环空气引导至喷淋塔，喷淋塔将飞散物质吸收到回收液中回收，循环空气不向室外排出而是在喷淋塔和风幕之间形成循环。喷淋塔向循环空气喷洒回收液将飞散物质吸收到回收液中进行回收，风幕实质上封闭电镀槽上方开口部防止飞散物质飞散，循环空气作为运输气体使飞散物质流入喷淋塔。循环空气不向外部排出，而是在风幕和喷淋塔之间形成循环来回收飞散物质。喷淋塔中回收的飞散物质还可以提供给电镀槽有效再利用，再利用回收的飞散物质可以降低电镀的运行成本。

另一方面，本发明所涉及的电镀设备，风幕机构包括，喷出风道，其将循环空气水平方向喷出到电镀槽的上方开口部；吸入风道，其吸入通过电镀槽上方开口部的循环空气；喷出风道和吸入风道设在电镀槽的相对两侧。

另一方面，本发明所涉及的电镀设备，循环风道设置在电镀槽下方。

上述电镀设备，由于循环空气循环的循环风道设置在电镀槽下方，循环空气在循环风道中反过来向风幕送风，循环空气可以在较短的循环路径中循环，因此具有可以在狭窄区域配置风幕和喷淋塔，即使在狭小的电镀厂也可以安装的优点。

另一方面，本发明所涉及的电镀设备，喷淋塔包括，喷嘴，其将回收液喷洒到循环空气中的；循环泵，其将从喷嘴喷出的回收飞溅物质的回收液循环至喷嘴中。

另一方面，本发明所涉及的电镀设备，还包括回流泵，其将在喷淋塔中循环的回收液提供给电镀槽重复使用。

上述电镀设备，具有将回收了飞散物质的回收液回流至电镀槽中有效地再利用，降低电镀的运行成本的优点。

另一方面，本发明所涉及的电镀设备，还包括浓度传感器，其检测被循环的回收液的飞散物浓度并控制回流泵。

另一方面，本发明所涉及的电镀设备，包括两个以上风幕机构，两个以上风幕机构相互并联，与喷淋塔串联连接。

另一方面，本发明所涉及的电镀设备，喷淋塔包括在底部填充回收液并且在内部设置有交替地沿上、下方向送风循环空气的上下风道的外壳，将循环空气从上下风道的顶部向底部送风与外壳底部回收液液面碰撞，飞散物质被回收液吸收。

上述电镀设备，具有以简单结构的喷淋塔，有效地利用回收液回收飞散物质的优点。这是因为，将循环空气送风至上下风道内，使其与底部填充的回收液液面碰撞，可以高效地将飞散物质吸收到回收液中。

另一方面，本发明所涉及的电镀设备，包括两个以上电镀槽、设置在各个电镀槽上的风幕机构，与两个以上风幕机构相连的喷淋塔，喷淋塔通过与两个以上风幕机构之间循环的循环空气中回收飞散物质。

另一方面，本发明所涉及的电镀设备，电镀液是镀铬液，电镀液的飞散物质是铬酸。

上述电镀设备，具有可以将镀铬工艺中产生的有害铬酸不排出室外而有效地回收的优点。

附图说明

图1是本发明一实施例中电镀设备的结构示意图；

图2是图1所示的电镀设备的电镀槽的俯视示意图；

图3是本发明另一实施例中喷淋塔的剖面示意图；

图4是本发明另一实施例中电镀设备的俯视示意图；

图5是本发明另一实施例中电镀设备的剖面示意图。

附图标号说明：

100、200、300——电镀设备；

1——电镀槽；

1A——划分区域；

2——风幕机构；

3——喷淋塔；

4——循环风道；

5——循环风机；

9——被镀物；

10——上方开口部；

11——电镀液；

12——清洗液；

20——风幕；

21——喷出风道；

21A——喷出口；

22——吸入风道；

22A——吸入口；

22B——前端开口部；

30——外壳；

31——回收液；

32——喷嘴；

33——循环泵；

34——回流泵；

35——上下风道；

36——垂直壁；

36A——第一垂直壁；

36B——第二垂直壁；

37——送风间隙；

38——浓度传感器。

具体实施方式

以下根据附图详细说明本发明。注意，在下述说明中，根据需要使用指示特定方向和位置的术语（例如，“上”、“下”和包括这些术语的其他术语），但是这些术语的使用是为了便于通过参考附图来理解发明，本发明的技术范围不受这些术语的含义限制。另外，在多个附图中表示的相同符号的部位表示相同或同等的部位或部件。另外，以下所示的具体实施方式表示本发明的技术思想的具体例子，本发明不限定于以下具体实施方式。另外，以下所述的构成部件的尺寸、材质、形状、相对配置等，只要没有特定的记载，就不表示将本发明的范围限定于此，而是意图举例说明。另外，在一个实施方式、实施例中说明的内容也可以适用于其他实施方式、实施例。另外，附图所示的部件的大小和位置关系等，为了明确说明，会有部分夸张。

实施例一

如图1所示的本发明实施例一中电镀设备100的结构示意图。该图中的电镀设备100，包括上方开口的电镀槽1；风幕机构2，其沿水平方向强制向电镀槽1的上方开口部10送风循环空气，用循环空气实质上封闭电镀槽1的上方开口部10，用循环空气运输从电镀槽1的上方开口部10排出的飞散物质；喷淋塔3，其与风幕机构2的排出侧相连，向从风幕机构2流入的循环空气喷洒回收液31，将循环空气中包含的飞散物质吸收到回收液31中进行回收；循环风道4，其连接风幕机构2和喷淋塔3，使循环空气在风幕机构2和喷淋塔3之间循环；循环风机5，使循环空气在风幕机构2、喷淋塔3和循环风道4之间循环。如图所示的电镀设备100，循环空气在由喷淋塔3、风幕机构2、循环风道4和循环风机5构成的闭环循环路径中循环而不排出到室外，喷淋塔3用回收液31回收飞散物质。

电镀槽1：

图1的概略结构图和图2的概略平面图所示的电镀槽1，将被镀物9浸入液体中电镀，将电镀后的被镀物9吊起移动至下一个工序，为了被镀物9能够通过而在其上方开口。如图所示的电镀槽1，是上方开口部10为细长矩形的箱形，其纵向划分为两个以上区域，在各个划分区域1A中填充有电镀液11、清洗液12等。被镀物9被依次浸入相邻的划分区域1A的液体中进行电镀。上方开口的电镀槽1无法防止电镀液11的飞散物质从上方开口部10排出。例如，在填充有镀铬液的电镀槽1中，铬酸成为了飞散物质以雾状被排出。

风幕机构2：

风幕机构2，其自电镀槽1的上方开口部10的一侧向另一侧沿水平方向送风循环空气，上方开口部10实质上被循环空气封闭，将从电镀液11分离出的飞散物质，随运送气体一起移送至喷淋塔3。风幕机构2包括，将循环空气水平方向喷出到电镀槽1的上方开口部10的喷出风道21，吸入通过电镀槽1的上方开口部10的运送气体的吸入风道22。喷出风道21有沿着电镀槽1的侧边缘向长边方向延伸的细长喷出口21A，吸入风道22开口处沿着电镀槽1的另一侧边缘向长边方向延伸的细长吸入口22A。喷出口21A和吸入口22A通过将长度延伸到电镀槽1长边方向两端，可以使风幕20封闭电镀槽1的全部上方开口部10。喷出风道21具有垂直宽度朝前端方向变窄的形状，可以使喷出的循环空气高速送风。吸入风道22的具有垂直宽度自前端开口部22B向吸入口22A变宽的形状（与原文意思不一致，但与图1的吸入风道22截面一致），可以高效地吸入通过了电镀槽1的上方开口部10的循环空气。喷出风道21和吸入风道22设置在电镀槽1的相对两侧，循环空气从设置在一侧的喷出风道21喷出，再由设置在另一侧的吸入风道22吸入，用风幕20实质上封闭了电镀槽1的上方开口部10。被镀物9在电镀槽1的上方开口部10移动时，风幕机构2可以减弱或停止循环空气的送风，防止循环空气与被镀物9碰撞而分散在室内。

喷淋塔3：

喷淋塔3从被循环的循环空气中吸收电镀液11的飞散物质并回收。图1所示的喷淋塔3将回收液31以雾状方式喷洒到流入外壳30内的循环空气中以吸收飞散物质。喷淋塔3在外壳30内设有喷嘴32，用于向被循环的循环空气喷洒回收液31。喷淋塔3还包括循环泵33，用于对回收液31加压后提供至喷嘴32。循环泵33吸收储存在外壳30底部的回收液体31，并将其加压后提供至喷嘴32。从喷嘴32喷洒出的雾状回收液31与被循环的循环空气大面积接触来吸收飞散的物质。图1的喷淋塔3从上向下或从下向上洒水回收液31，吸收飞散物质后使其下落到外壳30的底部。

落在外壳30底部的回收液31通过反复从循环空气中吸收飞散物质，浓度逐渐变浓。变成高浓度的回收液31可以通过回流泵34回流到电镀槽1中有效再利用。回流泵34通过浓度传感器38检测回收液31的飞散物质浓度，当浓度比设定值高时，将回收液31提供至电镀槽1从而可以有效再利用。电镀设备100将回收的飞散物质回流到电镀槽1并有效再利用，进而可以有效利用电镀液11来降低运行成本。

图3所示的喷淋塔3，在外壳30的内部设有交替向上、下方向送风循环空气的上下风道35，并在上下风道35的底部填充回收液31。该喷淋塔3使上下风道35内被向上、下呈齿状送风的循环空气与底部存储的回收液31的液面碰撞。该喷淋塔3可以有效地将飞散物质回收到回收液31中。这是因为循环空气被向下送风，比空气重的飞散物质雾与回收液31的液面碰撞并被吸收。

图3所示的喷淋塔3，在外壳30内部以预定的间隔设置垂直壁36，并在垂直壁36之间设置上下风道35。垂直壁36由第一垂直壁36A和第二垂直壁36B构成，该第一垂直壁36A从上向下延伸并且在其与回收液31的液面之间设有送风间隙37，该第二垂直壁36B从下向上延伸并且在其上端边缘处设有送风间隙37。喷淋塔3内交替设置第一垂直墙36A和第二垂直墙36B，并且在相邻的垂直墙36之间设置上下风道35。该喷淋塔3结构简单，并且由于循环空气与回收液31的液面反复碰撞，因此具有可以有效地回收飞散物的优点。

循环风道4：

循环风道4连接风幕机构2和喷淋塔3，使循环空气在闭环路径中循环，无需向外部排出。图1的电镀设备100，在电镀槽1的下方设有循环管道4，将空风幕机构2和喷淋塔3以闭环方式相互连接。在这种结构的电镀设备100中，喷淋塔3可以设置在电镀槽1旁边邻接处，从而可以紧凑地设置喷淋塔3和风幕机构2。在配置了多个电镀槽1的电镀工厂中使用这种结构的电镀设备100，不需要用长风道将设置在各个电镀槽槽1中的气幕机构2连接起来，具有可以简化工厂内的风道配置的优点。

实施例二

图4所示的电镀设备200，将设置在各个电镀槽1上并联连接的两个以上风幕机构2连接到喷淋塔3。该电镀设备200（原件中100）具有通过一个喷淋塔3从两个以上风幕机构2循环的循环空气中回收飞散物质，从而降低喷淋塔3的成本的优点。

实施例三

在电镀设备100中，喷淋塔3和循环风道4可以是一体构造。在图5所示的电镀设备300中，沿着电镀槽1设置的喷淋塔3和循环风道4互为一体。该循环管4与喷淋塔3共用，垂直部分设置在电镀槽1的两侧，水平部分设置在电镀槽1的下方。循环风道4的垂直部分，从喷嘴32向内部喷洒回收液31，将循环空气的飞散物质吸收到回收液31中并回收。循环风道4的水平部分，设有向上、下方向延伸的垂直壁36，将使循环空气在上、下方向呈锯齿状送风的上下管道35设置在邻接的垂直壁36之间，在底部存储有回收液31。垂直壁36采用交替在下端边缘处和上端边缘处设置送风间隙37，使循环空气呈锯齿状送风的结构。垂直壁36将下端边缘处设置在回收液31的液体表面上方，在液体表面之间设有送风间隙37。

如图5的剖视图所示的电镀设备300中，循环风道4的流入侧和排出侧分别垂直设置在电镀槽1的两侧，两者与喷淋塔3共用，均设有喷回收液31的喷嘴32。该结构具有将循环风管4的流入侧和排出侧两者均用作喷淋塔3，可以将飞散物质有效地吸收到回收液31中并回收的优点。

飞散物质的处理方法：

上述电镀设备100、200和300通过下述工序，处理从电镀槽1产生的电镀液11的飞散物质，防止飞散物质被排出到室外。飞散物质的处理方法是将从电镀液11产生的飞散物质吸收到回收液31中进行回收，防止飞散物质被排出到室外。例如，本发明的处理方法可以回收在金属镀铬的电镀工厂中产生的飞散物质铬酸。在镀铬工厂中，如果飞散物质铬酸从电镀液11中飞散到室内就会使工作环境恶化，这是公共危害被排放到室外的原因。下述处理方法是，在镀铬工厂中回收飞散物质的铬酸，改善室内的工作环境，进而防止飞散物质被排出到室外的弊病。但是，本发明的飞散物质的处理方法并不是将飞散物质特定于在电镀工厂产生的铬酸，而是可以在电镀工厂中回收与电镀液分离的其他飞散物质，因此也可以应用于镀铬以外的电镀方法。

飞散物质的处理方法是用风幕20实质上封闭电镀槽1的上方开口部10，以防止飞散物质飞散到室内，使工作环境恶化。风幕20从电镀槽1的一侧边缘向另一侧边缘水平方向送风循环空气，实质上封闭上方开口部10。风幕20将被送风至电镀槽1的上方开口部10的循环空气作为飞散物质的运输介质，将飞散物质移送至喷淋塔3。喷淋塔3将飞散物质从循环空气中分离出来。喷淋塔3为了从循环空气中分离飞散物质，从喷嘴32以雾状向循环空气喷洒回收液31。雾状回收液31与循环空气的飞散物质接触，吸收飞散物质并回收。图3及图5的喷淋塔3将循环空气向上下风道送风，将向底部存储的回收液31送风循环空气，使飞散物质与回收液31碰撞并被吸收。含有吸收了飞散物质的雾状回收液31的循环空气，不向室外排出，再次循环到风幕20。

被镀物9在电镀槽1的上方开口部10移动时，风幕机构2可以减弱或停止循环空气的送风，防止循环空气与被镀物9碰撞而分散在室内。电镀槽1被划分成两个以上区域，在各个划分区域1A中填充有清洗液12、电镀液11等。由于被镀物9依次浸入相邻划分区域1A的液体中进行电镀，因此存在被镀物9通过电镀槽1的上部开口10的时间。此时，循环空气有可能与板状的被镀物9表面碰撞而飞散。由于被镀物9通过上部开口10的时间极短，因此即使此时减弱或停止风幕20的送风，飞散物质也极少飞散到室内。

上述处理方法，利用循环风道4将风幕机构2的风幕20和喷淋塔3连接形成闭环。循环风道4在中途连接了循环风机5。循环风机5强行送风循环空气，使循环空气在风幕机构2、喷淋塔3和循环风道4中循环。由于喷淋塔3与不断循环的循环空气接触以吸收飞散物质，因此其飞散物质的浓度逐渐提高。飞散物质浓度变高的回收液31可以通过回流泵34提供给电镀槽1进行再利用。回流泵34可以由检测回收液31中的飞散物浓度的浓度传感器38控制。当喷淋塔3中存储的回收液31的浓度超过设定值时，浓度传感器38工作以将回收液31提供至电镀槽1。当回收液31提供给电镀槽1使回收液31的液位下降时，向喷淋塔供水直到液位达到设定值。喷淋塔3用循环泵33吸入设定水平的回收液31，并从喷嘴32喷洒出。

工业利用的可能性：

本发明可以在从电镀液中产生飞散物质的电镀厂中有效地利用。

Claims (18)

1.一种电镀工厂中飞散物质的处理方法，是建筑物内的电镀槽中产生的电镀液飞散物质的处理方法，其特征在于：

所述的电镀槽的上方开口部被循环空气送风形成的风幕封闭；

将所述的风幕经过所述的上方开口部后排出的循环空气引导至喷淋塔；

向所述的喷淋塔内的循环空气中喷洒回收液，所述的回收液吸收电镀液飞散物质；

在所述的喷淋塔和所述的风幕之间循环空气形成循环，进而在建筑物内循环；

所述的回收液回收电镀液飞散物质。

2.根据权利要求1所述的电镀工厂中飞散物质的处理方法，其特征在于：根据

所述的电镀槽下方设有循环风道，将所述的风幕和所述的喷淋塔闭环连接。

3.根据权利要求1或2所述的电镀工厂中飞散物质的处理方法，其特征在于：

所述的喷淋塔将循环空气向与所述的回收液液面碰撞的方向送风，使飞散物质与所述的回收液接触而被回收。

4.根据权利要求3所述的电镀工厂中飞散物质的处理方法，其特征在于：

所述的喷淋塔具有交替地沿上、下方向送风所述的循环空气的上下风道；

在所述的上下风道的底部填充所述的回收液，使在所述上下风道内送风的循环空气与所述回收液液面碰撞。

5.权利要求1-4中任一项所述的电镀工厂中飞散物质的处理方法，其特征在于：

所述的喷淋塔与两个以上相互并联的所述的风幕相连接；

循环空气在两个以上所述的风幕和所述的喷淋塔之间循环。

6.权利要求1-5中任一项所述的电镀工厂中飞散物质的处理方法，其特征在于：

将所述的喷淋塔的所述的回收液回流到所述的电镀槽中。

7.权利要求1-6中任一项所述的电镀工厂中飞散物质的处理方法，其特征在于：

当浸入所述电镀液的被镀物通过所述电镀槽的所述上方开口部时；

循环空气的所述的风幕减弱或停止向所述的上方开口部送风。

8.权利要求1-7中任一项所述的电镀工厂中飞散物质的处理方法，其特征在于：

电镀液是镀铬液，电镀液的飞散物质是铬酸。

9.一种电镀设备，其特征在于，包括：

上方开口的电镀槽；

风幕机构，其沿水平方向强制向所述的电镀槽的上方开口部送风循环空气，用循环空气的风幕实质上封闭所述的电镀槽的所述的上方开口部，用循环空气运输从所述的电镀槽的所述的上方开口部排出的飞散物质；

喷淋塔，其与所述风幕机构的排出侧相连，向从所述风幕机构流入的循环空气喷洒回收液，将循环空气中包含的飞散物质吸收到所述的回收液中进行回收；

循环风道，其连接所述的风幕机构和所述的喷淋塔，使循环空气在所述的风幕机构和所述的喷淋塔之间循环；

循环风机，使循环空气在所述的风幕机构、所述的喷淋塔和所述的循环风道之间循环；

循环空气在由所述的喷淋塔、所述的风幕机构、所述的循环风道和所述的循环风机构成的闭环循环路径中循环，用所述的回收液回收电镀液的飞散物质。

10.根据权利要求9所述的电镀设备，其特征在于：

所述的风幕机构，包括

将循环空气水平方向喷出到所述的电镀槽的所述的上方开口部的喷出风道；

吸入通过所述电镀槽的所述上方开口部的循环空气的吸入风道；

所述喷射风道和所述吸入风道设置在所述电镀槽的相对两侧。

11.权利要求9或10所述的电镀设备，其特征在于：

所述的循环风道设置在所述的电镀槽下方。

12.权利要求9-11任一项所述的电镀设备，其特征在于：

所述喷淋塔，包括

将所述的回收液喷洒到循环空气中的喷嘴；

将从所述的喷嘴喷出的回收飞溅物质的所述的回收液循环至喷嘴中的循环泵。

13.权利要求9-12任一项所述的电镀设备，其特征在于：

还包括将在所述的喷淋塔中循环的所述的回收液提供给所述的电镀槽重复使用的回流泵。

14.权利要求13所述的电镀设备，其特征在于：

还包括检测被循环的所述的回收液的飞散物浓度并控制所述的回流泵的浓度传感器。

15.权利要求9至14中任一项所述的电镀设备，其特征在于：

包括两个以上所述的风幕机构；

两个以上所述的风幕机构相互并联，与所述的喷淋塔串联连接。

16.权利要求9至15中任一项所述的电镀设备，其特征在于：

所述的喷淋塔，包括

在底部填充所述的回收液，并且

在内部设置有交替地沿上、下方向送风循环空气的上下风道的外壳；

将循环空气从所述的上下风道的顶部向底部送风与外壳底部所述的回收液液面碰撞；

飞散物质被所述的回收液吸收。

17.权利要求9至16中任一项所述的电镀设备，其特征在于：

包括

两个以上所述的电镀槽；

设置在各个所述的电镀槽上的两个以上所述的风幕机构；

与两个以上所述的风幕机构相连的所述的喷淋塔；

所述的喷淋塔通过与两个以上所述的风幕机构之间循环的循环空气中回收飞散物质。

18.权利要求9至17中任一项所述的电镀设备，其特征在于：

电镀液是镀铬液，电镀液的飞散物质是铬酸。

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