CN113916455A - 一种光器件高密封严密性的检测方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种光器件高密封严密性的检测方法，包括如下：1)利用轻氟油、重氟油密度不同，将光器件在轻氟油加压，在100℃重氟油下观察，如出现气泡，则产品密封性不合格，能够将漏率大于1×10‑6Pa.m3/s的不良光器件挑出；2)将漏率不大于1×10‑6Pa.m3/s的光器件放在氦气中加压，然后在氦质谱检漏仪中检测，将漏率在1×10‑6Pa.m3/s‑1×10‑10Pa.m3/s之间的产品进行区分，漏率小于4×10‑9Pa.m3/s产品合格，大于4×10‑9Pa.m3/s则产品不合格。本发明保证光器件密封性，延长光器件寿命，保证光器件性能稳定，通过两种检测方法，避免不良产品流入市场，避免由于密封不良带来的产品失效导致客户的投诉，提高客户端使用寿命，提升业界口碑。
Description
技术领域
本发明涉及光通信器件技术领域，特别涉及一种光器件高密封严密性的检测方法。
背景技术
目前，通信光器件以及传感光器件使用环境越来越苛刻，为了增加光器件内部元器件寿命，更好的保证光器件的性能，在光器件封装过程中内部采用惰性气体密闭封装。
任何一个封装结构非常完善的气密封装器件，它的密封性都不可能是绝对的，也就是说当处在某一压力条件下时，都会出现一定的泄漏现象，因此需要严格的进行检测漏率，由于每种检验方法都有局限性，单一的检漏方法容易造成密封性不好的光器件流入市场。为了实现对光器件气密性的严格检测，发明了光器件高密封严密性的检测方法。
发明内容
为了解决背景技术提出的技术问题，本发明提供一种光器件高密封严密性的检测方法，保证光器件密封性，延长光器件寿命，保证光器件性能稳定，通过两种检测方法，避免不良产品流入市场，避免由于密封不良带来的产品失效导致客户的投诉，提高客户端使用寿命，提升业界口碑。
为了达到上述目的，本发明采用以下技术方案实现：
一种光器件高密封严密性的检测方法，包括如下：
1)利用轻氟油、重氟油密度不同，将光器件在轻氟油加压，在100℃重氟油下观察，如出现气泡，则产品密封性不合格，能够将漏率大于1×10-6Pa.m3/s的不良光器件挑出；
2)将漏率不大于1×10-6Pa.m3/s的光器件放在氦气中加压，然后在氦质谱检漏仪中检测，能够将漏率在1×10-6Pa.m3/s-1×10-10Pa.m3/s之间的产品进行区分，漏率小于4×10-9Pa.m3/s产品合格，大于4×10-9Pa.m3/s则产品不合格。
所述的一种光器件高密封严密性的检测方法，具体包括如下步骤：
步骤1：将待检测光器件放置在轻氟油中加压4小时以上；
步骤2：将压好轻氟油的光器件放置在100℃的重氟油中，观察是否有气泡冒出；
步骤3：将有气泡的光器件与无气泡的光器件分开清洗，分开放置；有气泡的为漏率大于1×10-6Pa.m3/s的不良光器件；
步骤4：将清洗后的无气泡光器件放置在氦气中加压4小时以上；
步骤5：将加压后的光器件放置在空气中10-11分钟，将外部氦气散发掉；
步骤6：将放置后的光器件通过氦质谱检测仪器检测，漏率＜4×10-9Pa.m3/s，产品合格，否则不合格。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
本发明可以有效的将封帽/封焊过程中出现密封不严的产品筛选出来，避免光器件密封不好造成内部水汽含量过高导致芯片失效，从而保证了光器件的稳定性、可靠性，工艺简单，适合各种气密性封装的光器件。本发明可以更加准确更加严格的判定光器件气密性，避免单一检测造成的遗漏，保证光器件气密性，提升产品寿命，减少产品不良，减少客户端产品失效率，更好的保证产品的可靠性。
附图说明
图1是本发明的一种光器件高密封严密性的检测方法的流程图。
具体实施方式
以下结合附图对本发明提供的具体实施方式进行详细说明。
光器件的生产工艺包括以下步骤：(1)光器件贴装(2)光器件金线键合(3)光器件测试(4)光器件封帽/封焊(5)光器件检漏。本发明可以有效的将封帽/封焊过程中出现密封不严的产品筛选出来，避免光器件密封不好造成内部水汽含量过高导致芯片失效，从而保证了光器件的稳定性、可靠性，工艺简单，适合各种气密性封装的光器件。
本发明的一种光器件高密封严密性的检测方法，包括如下：
1)利用轻氟油、重氟油密度不同，将光器件在轻氟油加压，在100℃重氟油下观察，如出现气泡，则产品密封性不合格，能够将漏率大于1×10-6Pa.m3/s的不良光器件挑出；
2)将漏率不大于1×10-6Pa.m3/s的光器件放在氦气中加压，然后再氦质谱检漏仪中检测，将漏率在1×10-6Pa.m3/s-1×10-10Pa.m3/s之间的产品进行区分，漏率小于4×10- 9Pa.m3/s产品合格，大于4×10-9Pa.m3/s则产品不合格。
如图1所示，具体包括如下步骤：
步骤1：将待检测光器件放置在轻氟油中加压4小时以上；
步骤2：将压好轻氟油的光器件放置在100℃的重氟油中，观察是否有气泡冒出；
步骤3：将有气泡的光器件与无气泡的光器件分开清洗，分开放置；有气泡的为漏率大于1×10-6Pa.m3/s的不良光器件；
步骤4：将清洗后的无气泡光器件放置在氦气中加压4小时以上；
步骤5：将加压后的光器件放置在空气中10-11分钟，将外部氦气散发掉；
步骤6：将放置后的光器件通过氦质谱检测仪器检测，漏率＜4×10-9Pa.m3/s，产品合格，否则不合格。
本发明可以更加准确更加严格的判定光器件气密性，避免单一检测造成的遗漏，保证光器件气密性，提升产品寿命，减少产品不良，减少客户端产品失效率，更好的保证产品的可靠性。
以上实施例在以本发明技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本发明的保护范围不限于上述的实施例。上述实施例中所用方法如无特别说明均为常规方法。
Claims (2)
1.一种光器件高密封严密性的检测方法，其特征在于，包括如下：
1)利用轻氟油、重氟油密度不同，将光器件在轻氟油中加压，在100℃重氟油下观察，如出现气泡，则产品密封性不合格，能够将漏率大于1×10-6Pa.m3/s的不良光器件挑出；
2)将漏率不大于1×10-6Pa.m3/s的光器件放在氦气中加压，然后在氦质谱检漏仪中检测，能够将漏率在1×10-6Pa.m3/s-1×10-10Pa.m3/s之间的产品进行区分，漏率小于4×10- 9Pa.m3/s产品合格，大于4×10-9Pa.m3/s则产品不合格。
2.根据权利要求1所述的一种光器件高密封严密性的检测方法，其特征在于，具体包括如下步骤：
步骤1：将待检测光器件放置在轻氟油中加压4小时以上；
步骤2：将压好轻氟油的光器件放置在100℃的重氟油中，观察是否有气泡冒出；
步骤3：将有气泡的光器件与无气泡的光器件分开清洗，分开放置；有气泡的为漏率大于1×10-6Pa.m3/s的不良光器件；
步骤4：将清洗后的无气泡光器件放置在氦气中加压4小时以上；
步骤5：将加压后的光器件放置在空气中10-11分钟，将外部氦气散发掉；
步骤6：将放置后的光器件通过氦质谱检测仪器检测，漏率＜4×10-9Pa.m3/s，产品合格，否则不合格。
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