CN109029849A - 一种批量检测晶体管密封泄漏的系统 - Google Patents

Abstract

本发明提出的一种批量检测晶体管密封泄漏的系统，包括：箱体、测试底座、三通阀、酒精测试仪和真空泵；测试底座安装在箱体内部，测试底座上设有多个用于容纳带测试晶体管的凹槽；箱体顶部安装有与凹槽一一对应的伸缩杆，各伸缩杆的底端设有用于密封凹槽的盖板，伸缩杆伸长状态下，各盖板抵靠测试底座并密封对应的凹槽；伸缩杆收缩状态下，各盖板脱离测试底座；箱体外部设有多个与伸缩杆一一对应地驱动机构。本发明实现了在密封的箱体内部对于测试环境的调整和各晶体管测试前准备工作的统一，有利于保证不同凹槽中晶体管测试环境和自身状态的统一，实现各凹槽中的晶体管在相同的环境和相同的状态下进行测试，从而确保最终测试结果的精确。

Description

一种批量检测晶体管密封泄漏的系统

技术领域

本发明涉及晶体管检测技术领域，尤其涉及一种批量检测晶体管密封泄漏的系统。

背景技术

半导体晶体管的金属管座与管脚的气密封装是一种保证半导体器件空腔内芯片与大气中水气、氧气等有害气氛隔离的重要技术，该技术能更好的保证半导体器件的性能。故而，晶体管生产过程中，对于气密性的检测非常重要。目前，晶体管的气密性检测，都是逐一进行的，晶体管体积小，操作不易，且效率低，成本高。

发明内容

基于背景技术存在的技术问题，本发明提出了一种批量检测晶体管密封泄漏的系统。

本发明提出的一种批量检测晶体管密封泄漏的系统，包括：箱体、测试底座、三通阀、酒精测试仪和真空泵；

测试底座安装在箱体内部，测试底座上设有多个用于容纳带测试晶体管的凹槽；箱体顶部安装有与凹槽一一对应的伸缩杆，各伸缩杆的底端设有用于密封凹槽的盖板，伸缩杆伸长状态下，各盖板抵靠测试底座并密封对应的凹槽；伸缩杆收缩状态下，各盖板脱离测试底座；箱体外部设有多个与伸缩杆一一对应地驱动机构；

三通阀的输出端、酒精测试仪的气体输入端和真空泵的输入端均与箱体内部连通，三通阀的第一输入端和第二输入端分别用于连接酒精气体供给装置和空气供给装置。

优选地，凹槽位于对应的伸缩杆的延伸方向上。

优选地，三通阀和真空泵设置在箱体相对的两侧。

优选地，箱体内部设有压强传感器，箱体外部设有与压强传感器连接的显示器。

优选地，每个凹槽容纳一个或者多个晶体管。

优选地，盖板下表面设有密封垫。

优选地，箱体由盖体和与盖体拆卸连接的基底组成，基底上设有固定测试底座的卡接结构，三通阀、真空泵和酒精测试仪均与盖体连接。

本发明提出的一种批量检测晶体管密封泄漏的系统，测试底座上设有多个凹槽，有利于依次装载多个晶体管进行测试；同时通过凹槽和盖板实现箱体内部各个凹槽中晶体管的相互隔离，从而可根据箱体内部各盖板的状态调整实现不同凹槽中的晶体管所在环境的统一或者隔离。如此，当各凹槽打开时，实现了在密封的箱体内部对于测试环境的调整和各晶体管测试前准备工作的统一，有利于保证不同凹槽中晶体管测试环境和自身状态的统一，实现各凹槽中的晶体管在相同的环境和相同的状态下进行测试，从而确保最终测试结果的精确。

附图说明

图1为本发明提出的一种批量检测晶体管密封泄漏的系统结构图。

具体实施方式

参照图1，本发明提出的一种批量检测晶体管密封泄漏的系统，包括：箱体1、测试底座2、三通阀3、酒精测试仪4和真空泵5。

测试底座2安装在箱体1内部，测试底座2上设有多个用于容纳带测试晶体管的凹槽2-1。箱体1顶部安装有与凹槽2-1一一对应的伸缩杆6，各伸缩杆6的底端设有用于密封凹槽2-1的盖板7，伸缩杆6伸长状态下，各盖板7抵靠测试底座2并密封对应的凹槽2-1。伸缩杆6收缩状态下，各盖板7脱离测试底座2。箱体1外部设有多个与伸缩杆6一一对应地驱动机构8，以便在箱体1密封的情况下通过各驱动机构8控制各伸缩杆6伸缩。

三通阀3的输出端、酒精测试仪4的气体输入端和真空泵5的输入端均与箱体1内部连通，三通阀3的第一输入端和第二输入端分别用于连接酒精气体供给装置和空气供给装置。

本实施方式提供的批量检测晶体管密封泄漏的系统，工作时，步骤如下。

第一步，将待检测晶体管摆放到测试底座2上的各凹槽2-1中，然后将测试底座2安装到箱体1内部，并确保三通阀3、酒精测试仪4和真空泵5与箱体1正确连接，并将各伸缩杆6调整到收缩状态。

具体地，本实施方式中，箱体1由盖体1A和与盖体1A拆卸连接的基底1B组成，基底1B上设有固定测试底座2的卡接结构，三通阀3、真空泵5和酒精测试仪4均与盖体1A连接。如此，可在基底1B脱离盖体1A的情况下将测试底座2安装在基底1B上，然后再将基底1B组装到盖体1A上，如此，不要触动盖体1A与三通阀3、酒精测试仪4和真空泵5的连接，有利于提高系统组装效率。

第二步，通过真空泵5将箱体1内部以及可能存在的泄漏晶体管抽真空至负压状态，然后通过酒精气体供给装置和三通阀3向箱体1内充入酒精气体，如果箱体内存在泄漏的晶体管，酒精气体也会进入泄漏的晶体管。

第三步，通过空气供给装置和三通阀3向箱体内冲入空气的同时，通过真空泵5给箱体1内部排气，该过程中，保持箱体1内部的气压不变，以便在置换箱体1内部的酒精气体的同时避免泄漏的晶体管内的酒精气体散发。

具体的，本实施方式中，箱体1内部设有压强传感器9，箱体1外部设有与压强传感器9连接的显示器。如此，通过压强传感器9和显示器可实时监测箱体1内的压强变化，从而适时调整空气供给装置和真空泵的工作效率，以保证箱体1内部酒精气体置换的稳定。

第四步，将各伸缩杆6调整到伸长状态，从而通过盖板7密封各凹槽2-1，实现各凹槽2-1中的晶体管与箱体1内部的隔离后，再将箱体1内部抽真空，以实现泄漏的晶体管与箱体1内部的压强差，从而为泄漏的晶体管内部的酒精气体的散发提供条件。

第五步，任意驱动一个伸长状态的伸缩杆6缩短，将该伸缩杆6对应的凹槽中的晶体管暴露在箱体1内部，当箱体1内部的压强稳定后，根据酒精测试仪4检测到酒精浓度变化，判断该凹槽2-1中是否存在泄漏的晶体管。

具体的，本步骤中，如果酒精测试仪4检测到凹槽2-1打开后，箱体1内酒精浓度上升，则说明该凹槽2-1中存在泄漏的晶体管，反之，则凹槽2-1中的晶体管均合格。

本步骤中，为了保证测试结果的准确，伸缩杆6缩短后应等待一定的时间再观察酒精测试仪4的检测值；或者通过压强传感器9和显示器确认箱体1内的压强稳定后再观察酒精测试仪4的检测值。以避免由于测试短导致的箱体内酒精变化不明显造成错误的检测结果。

第六步，将箱体1内部抽真空后，再任意驱动一个伸长状态的伸缩杆6缩短，将该伸缩杆6对应的凹槽中的晶体管暴露在箱体1内部，当箱体1内部的压强稳定后，根据酒精测试仪4检测到酒精浓度变化，判断该凹槽2-1中是否存在泄漏的晶体管。循环执行该步骤，直至箱体1内部的所有伸缩杆6均切换到缩短状态，然后统计该测试底座2上的晶体管检测情况。

本实施方式中，凹槽2-1位于对应的伸缩杆6的延伸方向上，以保证伸缩杆6驱动盖板7密封凹槽2-1的可靠性。且盖板7下表面设有密封垫。

本实施方式中，三通阀3和真空泵5设置在箱体1相对的两侧，以提高箱体1内酒精气体的置换效率。

本实施方式中，每个凹槽2-1可容纳一个或者多个晶体管，以便灵活控制晶体管检测效率。

以上所述，仅为本发明涉及的较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种批量检测晶体管密封泄漏的系统，其特征在于，包括：箱体(1)、测试底座(2)、三通阀(3)、酒精测试仪(4)和真空泵(5)；

测试底座(2)安装在箱体(1)内部，测试底座(2)上设有多个用于容纳带测试晶体管的凹槽(2-1)；箱体(1)顶部安装有与凹槽(2-1)一一对应的伸缩杆(6)，各伸缩杆(6)的底端设有用于密封凹槽(2-1)的盖板(7)，伸缩杆(6)伸长状态下，各盖板(7)抵靠测试底座(2)并密封对应的凹槽(2-1)；伸缩杆(6)收缩状态下，各盖板(7)脱离测试底座(2)；箱体(1)外部设有多个与伸缩杆(6)一一对应地驱动机构(8)；

三通阀(3)的输出端、酒精测试仪(4)的气体输入端和真空泵(5)的输入端均与箱体(1)内部连通，三通阀(3)的第一输入端和第二输入端分别用于连接酒精气体供给装置和空气供给装置。

2.如权利要求1所述的批量检测晶体管密封泄漏的系统，其特征在于，凹槽(2-1)位于对应的伸缩杆(6)的延伸方向上。

3.如权利要求1所述的批量检测晶体管密封泄漏的系统，其特征在于，三通阀(3)和真空泵(5)设置在箱体(1)相对的两侧。

4.如权利要求1所述的批量检测晶体管密封泄漏的系统，其特征在于，箱体(1)内部设有压强传感器(9)，箱体(1)外部设有与压强传感器(9)连接的显示器。

5.如权利要求1所述的批量检测晶体管密封泄漏的系统，其特征在于，每个凹槽(2-1)容纳一个或者多个晶体管。

6.如权利要求1所述的批量检测晶体管密封泄漏的系统，其特征在于，盖板(7)下表面设有密封垫。

7.如权利要求1至6任一项所述的批量检测晶体管密封泄漏的系统，其特征在于，箱体(1)由盖体(1A)和与盖体(1A)拆卸连接的基底(1B)组成，基底(1B)上设有固定测试底座(2)的卡接结构，三通阀(3)、真空泵(5)和酒精测试仪(4)均与盖体(1A)连接。